JP2009004540A - Mems等のチップおよびその作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チップ(7A〜7I)としての素子(1A〜1I)と、素子(1A〜1I)と隣接する隣接部(1A〜1I)とが配列された第1の基板(1)と、第1の基板(1)を挟むようにして配設され、第1の基板(1)と接合された第2の基板及び第3の基板(2、3)と、を含むチップ配列体(6)を用意し、素子(1A〜1I)と隣接部(1A〜1I)の間において第2の基板及び第3の基板(2、3)を切断する。
【選択図】図4
Description
次に、本実施形態の一例を、図7を参照して力学量検出センサチップ100について説明する。力学量検出センサチップ100はその外形が、例えば、3〜5mm辺の略正方形状である。
2 第2の基板
3 第3の基板
4 接合体
5 素子配列体
6 チップ配列体
7 チップ
11 第1のガラス基板
12 第2のガラス基板
13 シリコン基板
50 ダイシング装置
60 エッチング装置
100 センサチップ
110 第1のガラス電極
120 第2のガラス電極
130 容量素子
Claims (19)
- チップとしての素子と、前記素子から分離して配設され、かつ前記素子と隣接する隣接部とが配列された第1の基板と、
前記第1の基板を挟むようにして配設され、前記第1の基板と接合された第2の基板及び第3の基板と、を含むチップ配列体を用意し、
前記素子と前記隣接部の間において前記第2の基板及び前記第3の基板を切断することを特徴とするチップ配列体のダイシング方法。 - 前記第2の基板と前記前記第3の基板とは同じ材料からなることを特徴とする請求項1に記載のチップ配列体のダイシング方法。
- 前記第2の基板と前記第3の基板とは異なる材料からなることを特徴とする請求項1に記載のチップ配列体のダイシング方法。
- 前記第2の基板と前記第3の基板を同時に切断することを特徴とする請求項2に記載のチップ配列体のダイシング方法。
- 第1の基板にチップとしての素子を形成する工程と、
前記第1の基板と第2の基板とを接合する工程と、
前記素子と、当該素子に隣接する隣接部とを分離する工程と、
前記第1の基板を前記第2の基板と前記第3の基板とで挟むようにして、前記第1の基板と前記第3の基板とを接合する工程と、
前記素子と前記隣接部との間において前記第2の基板又は/及び前記第3の基板を切断する工程と、
を含むことを特徴とするチップ作製方法。 - 前記素子と前記隣接部とを分離する工程が、素子の形成と同時に行われることを特徴とする請求項5に記載のチップ作製方法。
- 請求項5または6に記載のチップがMEMSであることを特徴とするチップ作製方法。
- 請求項5または6に記載のチップが力学量を検出する力学量検出センサであることを特徴とするチップ作製方法。
- 前記第2の基板と前記第3の基板とは同じ材料からなる請求項5から8のいずれか1項に記載のチップ作製方法。
- 前記第2の基板と前記第3の基板とは異なる材料からなる請求項5から8のいずれか1項に記載のチップ作製方法。
- 前記第2の基板と前記第3の基板を同時に切断することを特徴とする請求項9に記載のチップ作製方法。
- 少なくとも一つの素子が形成された第1の基板を、第2の基板と第3の基板とで挟むようにして接合して構成されるチップであって、
前記第2の基板および前記第3の基板の外周部の少なくとも一部が前記第1の基板の外周部よりも張り出していることを特徴とするチップ。 - チップはMEMSであることを特徴とする請求項12に記載のチップ。
- チップは力学量を検出する力学量検出センサであることを特徴とする請求項12に記載のチップ。
- 前記第2の基板と前記第3の基板とは同じ材料からなる請求項12から14のいずれか1項に記載のチップ。
- 前記第2の基板と前記第3の基板とは異なる材料からなる請求項12から14のいずれか1項記載のチップ。
- 第1の基板にチップとしての素子を形成する工程と、
前記第1の基板を第2の基板と接合する工程と、
前記素子と、当該素子に隣接する隣接部とを分離する工程と、
前記素子と前記隣接部との間において前記第2の基板を切断する工程と
を含むことを特徴とするチップ作製方法。 - 請求項16に記載のチップはMEMSであることを特徴とするチップ作製方法。
- 請求項16に記載のチップは力学量を検出する力学量検出センサであることを特徴とするチップの作製方法。
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