JP2008536337A - 集積回路の微小流体冷却法 - Google Patents
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Abstract
Description
半導体集積回路チップと、
前記チップの上部に形成された複数の微小チャネルであって、微小チャネル内に形成された気泡を除去するように作動することが可能な弁を有する、複数の微小チャネルと、
を有する集積回路が提供される。
複数の微小チャネルと、
前記微小チャネルの一つにある弁であって、微小チャネル内で形成された気泡を除去する弁と、
を有する冷却装置が提供される。
Claims (25)
- 微小チャネル内で形成された微小気泡を、前記微小チャネルから除去するように作動することが可能な弁を提供するステップを有する方法。
- 気泡が形成された際に、前記微小チャネルを流れる流体の流れを自動的に閉止する弁を提供するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 熱で活性化される弁を提供するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- バイメタル弁を提供するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記弁を、半導体製作技術によって製作するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 弁の材料を成膜するステップと、
前記弁の材料をパターン処理するステップと、
前記弁の材料の下側の材料を分解して、前記弁を離すステップと、
によって、前記弁を形成するステップを有することを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 気泡が生じた際に、前記微小チャネルと連通する通路を提供するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 気泡が生じた際に、前記弁によって、前記通路と前記微小チャネルの間に、選択的な連通路が提供されることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 気泡が形成された際に、前記微小チャネルを通る流体の流れを自動的に閉止する弁であって、前記気泡が除去された後に、制限されない流体の流れを提供するため、自動的に開になる弁を提供するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 底部と側壁を有するU字型の微小チャネル内に、前記弁を形成するステップであって、前記側壁の一つに、前記弁を形成するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 半導体集積回路チップと、
前記チップの上部に形成された複数の微小チャネルであって、微小チャネル内に形成された気泡を除去するように作動することが可能な弁を有する、複数の微小チャネルと、
を有する集積回路。 - 前記弁は、気泡が形成された際に、前記微小チャネルを通る流体の流れを自動的に閉止することを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 前記弁は、熱で活性化されることを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 前記弁は、バイメタル弁であることを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 前記弁は、微細加工された弁であることを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 気泡が形成された際に、前記微小チャネルと連通する通路を含むことを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 前記弁は、気泡が形成された際に、前記通路と前記微小チャネルの間に選択的な連通路を提供することを特徴とする請求項16に記載の集積回路。
- 前記弁によって、気泡が形成された際に、前記微小チャネルを通る流体の流れが自動的に閉止され、前記気泡が除去された後、制限されない流体の流れが自動的に提供されることを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 前記微小チャネルは、底部と側壁を有するU字型であり、前記弁は、前記側壁の一つに形成されることを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 前記弁は、加熱された際に曲がることを特徴とする請求項11に記載の集積回路。
- 複数の微小チャネルと、
前記微小チャネルの一つにある弁であって、微小チャネル内で形成された気泡を除去する弁と、
を有する冷却装置。 - 前記弁は、気泡が形成された際、前記微小チャネルを通る流体の流れを自動的に閉止することを特徴とする請求項21に記載の冷却装置。
- 前記弁は、熱で活性化されることを特徴とする請求項21に記載の冷却装置。
- 前記弁は、バイメタル弁であることを特徴とする請求項21に記載の冷却装置。
- 前記弁は、微細加工された弁であることを特徴とする請求項21に記載の冷却装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/103,216 US7652372B2 (en) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | Microfluidic cooling of integrated circuits |
US11/103,216 | 2005-04-11 | ||
PCT/US2006/014148 WO2006110903A1 (en) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | Microfluidic cooling of integrated circuits |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008536337A true JP2008536337A (ja) | 2008-09-04 |
JP4966962B2 JP4966962B2 (ja) | 2012-07-04 |
Family
ID=37082939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008506762A Expired - Fee Related JP4966962B2 (ja) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | 集積回路の微小流体冷却法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7652372B2 (ja) |
EP (1) | EP1869703A1 (ja) |
JP (1) | JP4966962B2 (ja) |
TW (1) | TWI298937B (ja) |
WO (1) | WO2006110903A1 (ja) |
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- 2006-04-10 TW TW095112703A patent/TWI298937B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-04-11 JP JP2008506762A patent/JP4966962B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-11 WO PCT/US2006/014148 patent/WO2006110903A1/en active Application Filing
- 2006-04-11 EP EP06750238A patent/EP1869703A1/en not_active Withdrawn
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US7652372B2 (en) | 2010-01-26 |
EP1869703A1 (en) | 2007-12-26 |
JP4966962B2 (ja) | 2012-07-04 |
US20060227513A1 (en) | 2006-10-12 |
TWI298937B (en) | 2008-07-11 |
WO2006110903A1 (en) | 2006-10-19 |
US20060227512A1 (en) | 2006-10-12 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100908 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150406 Year of fee payment: 3 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |