JP2008300508A - 圧着装置および電子装置の製造方法 - Google Patents
圧着装置および電子装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008300508A JP2008300508A JP2007143349A JP2007143349A JP2008300508A JP 2008300508 A JP2008300508 A JP 2008300508A JP 2007143349 A JP2007143349 A JP 2007143349A JP 2007143349 A JP2007143349 A JP 2007143349A JP 2008300508 A JP2008300508 A JP 2008300508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pressure
- bonding
- crimping
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【課題】 従来の圧着装置を用いて電子部品を実装した実装基板とフレキシブル基板とを加圧圧着し接着させる場合、電子部品の凹凸により実装基板とフレキシブル基板それぞれの基板面を装置のステージ上で平行に維持できないため、それらの間に挟まれた接着剤の厚みを均一にできず、接着性の弱い領域が発生するいという課題があった。
【解決手段】 本発明の圧着装置は、実装基板の基板面を圧着ヘッドの圧着面と水平対向にする基板ガイドを設けたので、それぞれの基板面を平行に維持でき、接着剤の厚みを均一にし、実装基板とフレキシブル基板との間に強い接着性が得られるようになる。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明の圧着装置は、実装基板の基板面を圧着ヘッドの圧着面と水平対向にする基板ガイドを設けたので、それぞれの基板面を平行に維持でき、接着剤の厚みを均一にし、実装基板とフレキシブル基板との間に強い接着性が得られるようになる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、電子部品等を実装した実装基板に電子部品やフレキシブル基板等の配線基板を圧着するのに用いる圧着装置と、その圧着により得られる電子装置の製造方法に関する。
従来の圧着装置は、実装基板とフレキシブル基板等の間に熱硬化性接着剤等の接着剤を挟んだ被基板を圧着装置のステージ上に設置し、加熱した圧着ヘッドを押し付けることにより前記被基板を加圧および加熱し、接着剤を加圧しながら熱硬化させ前記実装基板とフレキシブル基板を接着するものである。しかしながら従来の圧着装置では、実装基板に設けられた電子部品の持つ凹凸のため、実装基板とフレキシブル基板の間の接着剤に均一な加圧および加熱が必ずしもできないという課題があった。この課題の克服のため、従来の圧着装置の中には、装置のステージ表面や圧着ヘッド表面にゴム板などの弾性体を設けることで、圧着ヘッドの押し付け時に実装基板の電子部品をその弾性体中に埋め込ませ、実装基板とフレキシブル基板の間の接着樹脂を均一に加圧および加熱できるようにする圧着装置があった(例えば特許文献1参照)。
従来の弾性体を設けた圧着装置では、ステージ表面や圧着ヘッド表面に設けた弾性体により、圧着ヘッド押し付け時の実装基板の電子部品の凹凸の影響を緩和するようにしている。しかし、被基板をステージに設置する際、実装基板の一部の電子部品とステージの弾性体の一部のみが接触するので片持ち状態になりやすく、ステージ面に対して実装基板の基板面が傾くことがあった。基板面が傾いた被基板を圧着ヘッドで押し付けると、基板面の傾きが維持されたまま加圧されるので、実装基板とフレキシブル基板間の隙間に勾配が生じ、接着剤の厚みを均一にできなくなるという問題点があった。すなわち、実装基板とフレキシブル基板間の接着剤の厚みが均一でないために、接着性の弱い領域が発生した電子装置になるという課題を持っていた。また、弾性体が被基板を介して圧着ヘッドに押し付けられ、変形して生じた反力が実装基板に加わった状態での接着となり、実装基板は圧着ヘッドの加圧領域の外端部から反りやすく、また接着層の一部に応力が残留しやすくなっていた。したがって、従来の圧着装置を用いた接着では、実装基板とフレキシブル基板間に接着性の弱い領域が発生するという課題があった。
この発明は上記のような課題を解決し、実装基板とフレキシブル基板等の配線基板との間の接着剤の厚さを均一にできる圧着装置を得ることを目的とする。
本発明の圧着装置は、弾性体がその主面に配置されたステージと、配線基板と実装基板とを載置するための基板ガイドと、ステージと対になって実装基板と配線基板とを加圧するための圧着ヘッドと、圧着ヘッドを前記ステージに対して進退自在に移動させるアクチュエータ機構とを備え、基板ガイドは圧着中に圧着ヘッドの加圧動作に連動して加圧方向へ移動することを特徴とするものである。
上記のように構成された圧着装置によれば、配線基板と実装基板とを載置した基板ガイドが、圧着ヘッドとともに連動して移動する。そのため、圧着ヘッドによって押された実装基板が弾性体からの反力によって反ることが抑制される。したがって、実装基板の基板面が圧着ヘッドの圧着面に対して傾かなくなり、実装基板とフレキシブル基板間の接着剤の厚さを均一にできるようになる。その結果、実装基板とフレキシブル基板間の接着性を高くした電子装置を得ることができるという効果を有する。
実施の形態1
以下図面に基づき、本発明の実施の形態1について詳細に説明する。図1は本発明の一実施例である圧着装置の基板ガイドに被基板を設置したときの側面図である。図2は圧着ヘッドを降下し、被基板を圧着ヘッドにより押さえ始めた状態を示す側面図である。図3は、さらに圧着ヘッドを降下し、被基板の接着層が圧着変形した状態を示す側面図である。なお、図1ないし図3中の同一部分または相当部分には同一の符号を付与している。
以下図面に基づき、本発明の実施の形態1について詳細に説明する。図1は本発明の一実施例である圧着装置の基板ガイドに被基板を設置したときの側面図である。図2は圧着ヘッドを降下し、被基板を圧着ヘッドにより押さえ始めた状態を示す側面図である。図3は、さらに圧着ヘッドを降下し、被基板の接着層が圧着変形した状態を示す側面図である。なお、図1ないし図3中の同一部分または相当部分には同一の符号を付与している。
図1に示すように本発明の実施の形態1の圧着装置のステージ支持台10上には、ステージ11と鉛直方向に延びたステージ支持柱12が設けられている。ステージ11の上には弾性体20が備えられ、ステージ支持柱12には、第1リニアガイド121およびストッパ122が設けられている。弾性体20には、例えば板状のシリコンゴムを用いる。ステージ11の上方には、一軸方向に進退制御されるアクチュエータ30が設けられている。このアクチュエータ30には圧着ヘッド40およびプッシャ支持梁51が接続され、共にステージ11に向かって上下に移動する。また、プッシャ支持梁51にはプッシャ52が接続されており、前記圧着ヘッド40と連動して上下に移動する。前記ステージ11と圧着ヘッド40との間には基板ガイド60が配置されている。この基板ガイド60には前記第1リニアガイド121に嵌合し基板ガイド60を一軸方向に進退可動とする第2リニアガイド621が備えられ、ステージ支持台10との間に設けられたスプリング81によって押上げられている。基板ガイド60は、前記プッシャ52に押し付けられ上下に連動する。また、基板ガイド60には、実装基板71の基板面710を前記圧着ヘッド40の圧着面400に対して平行となるように対向させて保持・固定するための嵌め込み用の受けを持った基板ホルダ61が備わっている。基板ガイド60および基板ホルダ61は、前記弾性体20を挿入可能とする大きさの空隙部を有し、その空隙部を弾性体20が挿入され、あるいは通れるようになっている。すなわち、前記弾性体20を基板ガイド60の上面を含む面と下面を含む面と内壁面とで形成する空隙部ならびに、基板ホルダ61の嵌め込み用の受け面を含む面と下面を含む面と内壁面とで形成する空隙部に挿入でき、通れるようになっている。なお、基板ガイド60および基板ホルダ61は一体物であっても良いし、分離できる別々の構造体であっても良い。また、基板ホルダ61は、必ずしも嵌め込み用の受けを持ったものである必要性はなく、実装基板71の基板面710を前記圧着ヘッド40の圧着面400に対して平行となるように対向させて保持・固定できるものであればよい。弾性体20の圧着面200のもつ加圧領域は圧着ヘッド40の圧着面400のもつ加圧領域より狭くなっている。また、基板ガイド60は、ストッパ122とスプリング81の間に把持されることにより、その間のみを第1リニアガイド121に沿って移動できるようになっている。圧着ヘッド40には接着剤72を加熱するためのヒータ41を設けても良い。プッシャ支持梁51とプッシャ52には、圧着時の圧着ヘッド40の圧着面400と基板ガイド60との相対的な距離を設定するための一対の雌ネジと雄ネジからなる調整ネジ520が設けられ、必要に応じて調整ネジ520を回転させることで、プッシャ52の長さの調整ができるようになっている。
実施の形態1における被基板70は、電子部品711が実装され、電極712が形成された実装基板71上に例えば導電粒子721を内部に含んだ熱硬化性の接着剤72を塗布し、その上に電極732や図示しない配線を実装したフレキシブル基板73が、電極712と電極732が対応する関係に対向するように設置され仮留めされたものである。
以下、本発明の実施の形態1における圧着装置の動作について説明する。図1に示すように、圧着装置の基板ホルダ61のホールド面611に実装基板71を設置する。このとき、実装基板71の基板面710は圧着ヘッド40の圧着面400と平行となるように対向に配置されている。また、電子部品711を設けた実装基板71の第1の面は下側を向いており、弾性体20の圧着面200と対向に配置されている。なお、この時点では前記実装基板71の電子部品711と弾性体20の圧着面200は接触していない。そのため、実装基板71の姿勢は、電子部品711の形状に影響されることはない。電極712を設けた実装基板71の第2の面は上を向いていて、圧着ヘッド40の圧着面400と平行となるように対向に配置されている。また、この実装基板71の第2の面上には熱硬化性の接着剤72が塗布され、さらにその上にフレキシブル基板73が設置されている。このとき電極732が設けられたフレキシブル基板73の第1の面は、前記接着剤72と接触している。また、フレキシブル基板73の第2の面と圧着ヘッド40は、非接触の対向関係にある。なお、このときのプッシャ52は基板ガイド60と接触していない。
図2はアクチュエータ30を駆動し、圧着ヘッド40とプッシャ支持梁51ならびにプッシャ52を下降させたときの様子を示す。前記圧着ヘッド40の圧着面400は、フレキシブル基板73の第2の面と平行状態を保って接触する。なお、フレキシブル基板73と圧着ヘッド40の接触するタイミングは、プッシャ52と基板ガイド60の接触するタイミングで調整される。具体的には、調整ネジ520によりプッシャ52の長さを調整することから実施される。そのため接触後のプッシャ52の下降に対して、圧着ヘッド40と基板ガイド60ないし基板ホルダ61との距離は一定となる。なお、図2では凹凸のある電子部品711と弾性体20とは非接触である。そのため、実装基板71の姿勢は電子部品711の形状に影響されることはない。
アクチュエータ30をさらに駆動し、圧着ヘッド40とプッシャ支持梁51ならびにプッシャ52をさらに下降させる。基板ガイド60および基板ホルダ61はさらに下降し、弾性体20は電子部品711と接触する。この瞬間から実装基板71は弾性体20からの反力を受ける。ただし、フレキシブル基板73の第2の面と圧着ヘッド40の圧着面400は平行状態を保って接触しており、また、実装基板71の基板面710と圧着ヘッド40の圧着面400も平行となるよう対向状態にある。そのため基板面710の姿勢は、その後の下降に対しても維持され、また、電子部品711は弾性体20のなかに埋め込まれていく。したがって、実装基板71とフレキシブル基板73間の隙間を均一に維持しながら、弾性体20からの反力によって接着剤はしだいに薄くなっていく。
図3はアクチュエータ30をさらに駆動し、被基板70を圧着するために必要な所定距離まで圧着ヘッド40を下降させた後に、アクチュエータ30を停止したときの様子を示す。このときの弾性体20の圧着面200のもつ加圧領域は圧着ヘッド40の圧着面400のもつ加圧領域より狭くなっている。そのため、圧着ヘッド40の加圧領域外の範囲にある実装基板71の領域は、弾性体20からの反力を受けないため反ることがない。また、弾性体20からの反力による余分な応力の残留も抑止できる。このような加圧状態を確保した上で、圧着ヘッド40のヒータ41に通電し加熱することから、実装基板71とフレキシブル基板73間の熱硬化性接着剤の厚さを均一にした状態で、硬化させることが可能となる。したがって、本発明の圧着装置を用いることにより、実装基板71とフレキシブル基板73間を均一に接着でき、機械的接合強度を高くした電子装置を得ることができるという効果が得られる。
なお、本発明の実施の形態1において用いた被基板70は必ずしも仮留めされていなくてもよく、基板ホルダ61の上に設置された実装基板71上に接着剤72を塗布し、その上に置かれたフレキシブル基板73であっても良い。さらに、フレキシブル基板73は、必ずしもフレキシブルである必要性はなく、剛体のソリッド基板であっても良い。また、接着剤72は、導電粒子721を内部に含んだ熱硬化性の接着剤であるが、必ずしもその必要性はなく、他のゲル状あるいは液状の、例えば、エポキシ系接着剤、瞬間接着剤等の化学反応形の接着剤や溶剤を蒸発させることで硬化する接着剤等であっても良い。そして、熱硬化性接着剤以外の硬化性の接着剤を用いた場合、その用いた接着剤にあわせた方法で接着剤を硬化させればよい。
実施の形態2
以下図面に基づき、本発明の実施の形態2について詳細に説明する。図4は本発明の一実施例である圧着装置の基板ガイドに被基板を設置したときの側面図である。図5は圧着ヘッドを降下し、その圧着ヘッドにより被基板の接着層が圧着変形した状態を示す側面図である。なお、図4または図5中の各部位において、図1ないし図3と同一部分ないし相当部分には同一の符号を付与している。
以下図面に基づき、本発明の実施の形態2について詳細に説明する。図4は本発明の一実施例である圧着装置の基板ガイドに被基板を設置したときの側面図である。図5は圧着ヘッドを降下し、その圧着ヘッドにより被基板の接着層が圧着変形した状態を示す側面図である。なお、図4または図5中の各部位において、図1ないし図3と同一部分ないし相当部分には同一の符号を付与している。
図4に示すように本発明の実施の形態2の圧着装置は、実施の形態1で用いた圧着装置の第1リニアガイド121と第2リニアガイド621およびストッパ122とスプリング81を別の機構であるジャッキ100に置換えた点と、プッシャ52の押す個所を基板ガイド60から基板ホルダ61に変更した点のみにおいて、実施の形態1の圧着装置と異なっている。従って、実施の形態2の圧着装置の動作や作用効果は、ジャッキ100に起因する動作や作用効果を除いて、実施の形態1と同じである。
以下、本発明の実施の形態2における圧着装置の動作について説明する。図4に示すように本発明の実施の形態2の圧着装置の基板ガイド60はジャッキ100に支持されている。また、実装基板71は圧着装置の基板ホルダ61のホールド面611に設置されている。ジャッキ100は、ヒンジ113によって回転連結されたリンク111とリンク112によって上下に伸縮できるようになっている。より詳細に説明する。リンク111の下端はステージ支持台10に設けられた固定ヒンジ101に連結されている。リンク112の下端はステージ支持台10上を一軸方向に移動できるカムフォロア102に連結されている。このカムフォロア102はステージ支持台10上を移動できるので、ジャッキ100は上下に伸縮できるようになっている。また、カムフォロア102の移動範囲はステージ支持台10上のストッパ104の位置とスプリング103の押し付けにより制限がかけられている。ジャッキ100上に配置された基板ガイド60は、スプリング103によって上方に押し付けられながら、カムフォロア102の移動範囲内で上下に移動できるようになっている。このような構成のため、アクチュエータ30を下降させプッシャ52で基板ホルダ61を押し付けると、ジャッキ100もそれに連動して縮むので、結果的に、基板ホルダ61はプッシャ52の動きに連動して下降する。実装基板71の基板面710は圧着ヘッド40の圧着面400と平行となるように対向に配置されている。電子部品711を設けた実装基板71の第1の面は下側を向いており、弾性体20の圧着面200と対向に配置されている。なお、図4では前記実装基板71の電子部品711と弾性体20の圧着面200は接触していない。従って実装基板71の姿勢は、電子部品711の形状に影響されることはない。
アクチュエータ30を駆動し、圧着ヘッド40とプッシャ支持梁51ならびにプッシャ52を下降させると、実施の形態1と同様に前記圧着ヘッド40の圧着面400とフレキシブル基板73の第2の面が接触する。その後、基板ガイド60および基板ホルダ61がさらに下降すると、弾性体20が電子部品711と接触する。そして電子部品711は弾性体20のなかに埋め込まれていく。このとき、実装基板71とフレキシブル基板73間の隙間は、実施の形態1と同様に均一に維持され、弾性体20からの反力により接着剤は薄くなっていく。
図5はアクチュエータ30をさらに駆動し、被基板70を圧着するために必要な所定距離まで圧着ヘッド40を下降させた後に、アクチュエータ30を停止したときの様子を示す。このときの弾性体20の圧着面200のもつ加圧領域は圧着ヘッド40の圧着面400のもつ加圧領域より狭くなっている。このような加圧状態を確保した上で、圧着ヘッド40のヒータ41に通電し加熱することから、実装基板71とフレキシブル基板73間の熱硬化性接着剤の厚さを均一にした状態で、硬化させることが可能となる。したがって、本発明の圧着装置を用いることにより、実装基板71とフレキシブル基板73間を均一に接着でき、機械的接合強度を高くできるという効果が得られる。また、実施の形態2ではジャッキ100を用いたことから、実施の形態1に比べて装置の設置面積を狭くできるという効果が得られる。
実施の形態3
以下図面に基づき、本発明の実施の形態3について詳細に説明する。図6は本発明の一実施例である圧着装置の基板ガイドに被基板を設置したときの側面図である。図7は圧着ヘッドを降下し、その圧着ヘッドにより被基板の接着層が圧着変形した状態を示す側面図である。なお、図6または図7中の各部位において、図1ないし図5と同一部分ないし相当部分には同一の符号を付与している。
以下図面に基づき、本発明の実施の形態3について詳細に説明する。図6は本発明の一実施例である圧着装置の基板ガイドに被基板を設置したときの側面図である。図7は圧着ヘッドを降下し、その圧着ヘッドにより被基板の接着層が圧着変形した状態を示す側面図である。なお、図6または図7中の各部位において、図1ないし図5と同一部分ないし相当部分には同一の符号を付与している。
図6に示すように本発明の実施の形態3の圧着装置は、実施の形態1で用いた圧着装置のプッシャ52ならびにストッパ122とスプリング81を別の構成であるサーボ制御機構に置換えたものである。サーボ制御機構は、ステージ支持台10の定盤面の鉛直方向に延びたステージ支持柱12に支持されたサーボモータ90を制御し、ボールネジ91で駆動力を伝達することにより、基板ガイド60を移動させるものであって、それ以外の構成は実施の形態1の圧着装置と全く同じである。サーボモータ90はアクチュエータ30の駆動と連動するように制御されており、圧着ヘッド40の動きに連動して基板ガイド60を上下に移動させる。また、圧着ヘッド40と基板ガイド60の相対的な距離を変えて制御させることも、その制御系に予め動作パターンを設定しておくことで対応可能である。
以下、本発明の実施の形態3における圧着装置の動作について説明する。図6に示すよう基板ホルダ61には、実装基板71の基板面710が圧着ヘッド40の圧着面400に平行となるように対向するよう設置されている。また、電子部品711を設けた実装基板71の第1の面は下側を向き、弾性体20の圧着面200と対向に配置されている。
アクチュエータ30を駆動し圧着ヘッド40を下降させると、サーボモータ90も連動してボールネジ91を下降方向に回転させる。ボールネジ91に螺合把持された基板ガイド60は、ボールネジ91の下降方向の回転により、圧着ヘッド40の動きと連動して下降する。実施の形態1と同様に圧着ヘッド40の圧着面400とフレキシブル基板73の第2の面が接触する。その後、弾性体20は基板ガイド60および基板ホルダ61がさらに下降すると、電子部品711と接触する。そして電子部品711は弾性体20のなかに埋め込まれていく。このとき、実装基板71とフレキシブル基板73間の隙間は、実施の形態1と同様に均一に維持され、弾性体20からの反力により接着剤は薄くなっていく。
図7はアクチュエータ30をさらに駆動し、被基板70を圧着するために必要な所定距離まで圧着ヘッド40を下降させた後に、アクチュエータ30を停止したときの様子を示す。このときの弾性体20の圧着面200のもつ加圧領域は、圧着ヘッド40の圧着面400のもつ加圧領域より狭くなっている。このような加圧状態を確保した上で、圧着ヘッド40のヒータ41に通電し加熱することから、実装基板71とフレキシブル基板73間の熱硬化性接着剤の厚さを均一にした状態で、硬化させることが可能となる。したがって、本発明の圧着装置を用いることにより、実装基板71とフレキシブル基板73間を均一に接着でき、機械的接合強度を高くできるという効果が得られる。また、実施の形態3ではサーボ制御機構を用いたことからプッシャ52を必要とせず、実施の形態1のようなプッシャ52と基板ガイド60との接触に伴う振動や騒音を無くすことができ、上下動作を高速化できるという効果が得られる。
実施の形態4
以下図面に基づき、本発明の実施の形態4について詳細に説明する。図8は本発明の圧着装置に用いられる基板ガイドに取付けられる別構造の基板ホルダに関する側面図である。なお、図8中の各部位において、図1ないし図7と同一部分ないし相当部分には同一の符号を付与している。
以下図面に基づき、本発明の実施の形態4について詳細に説明する。図8は本発明の圧着装置に用いられる基板ガイドに取付けられる別構造の基板ホルダに関する側面図である。なお、図8中の各部位において、図1ないし図7と同一部分ないし相当部分には同一の符号を付与している。
本発明の実施の形態1ないし実施の形態3に用いた基板ホルダ61は、実装基板71の基板面710を圧着ヘッド40の圧着面400に対して平行となるように対向させて保持・固定するための嵌め込み用の受けを持った構造であった。これに対して、本発明の実施の形態4における圧着装置の基板ホルダ61は、特に嵌め込み用の受けのかわりに、位置決めピン611とそれを挿入できるピン穴612を複数個所に開けたものである。位置決めピン611は、基板ガイド60に設けられた基板ホルダ61上に開けられたピン穴612に差し込み固定される。実施の形態1ないし実施の形態3では、基板ホルダ61の受けの形状を実装基板71の外形に合わせて変更する必要があった。これに対して実施の形態4では、以下に説明するように実装基板71の形状が変更されても必ずしも実装基板71の外形に合わせて変更する必要がないという特徴を有する。例えば、予め基板ホルダ61の任意の位置に複数のピン穴612を開けておき、外形形状の異なる実装基板71ごとに、それぞれ適した位置を選択し、その位置に位置決めピン611を取付けられるようにしておけばよい。すなわち、実装基板の外形形状に対応した位置に位置決めピン611を取付けることから、それぞれの実装基板の基板面を圧着ヘッド40の圧着面400に対して平行となるように対向させて保持・固定できるようにすればよい。その結果、実施の形態4の基板ホルダ61においては、実装基板71の品種切り替え時の作業量を低減できるという効果が得られる。
11 ステージ、 20 弾性体、
30 アクチュエータ、 40 圧着ヘッド、
41 ヒータ、 60 基板ガイド、
52 プッシャ、 71 実装基板、
520 調整ネジ
30 アクチュエータ、 40 圧着ヘッド、
41 ヒータ、 60 基板ガイド、
52 プッシャ、 71 実装基板、
520 調整ネジ
Claims (6)
- 弾性体がその主面に配置されたステージと、配線基板と実装基板とを載置するための基板ガイドと、前記ステージと対になって前記実装基板と配線基板とを加圧するための圧着ヘッドと、前記圧着ヘッドを前記ステージに対して進退自在に移動させるアクチュエータ機構とを備え、前記基板ガイドは圧着中に前記圧着ヘッドの加圧動作に連動して加圧方向へ移動することを特徴とする圧着装置。
- 圧着ヘッドの圧着面の面積が、ステージの弾性体と実装基板との圧着係合時の接触面のなす面積より広いことを特徴とする請求項1に記載の圧着装置。
- 圧着ヘッドに加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧着装置。
- 圧着ヘッドと基板ガイドの相対的な距離を設定する調整機構が設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の圧着装置。
- 圧着ヘッドと基板ガイドの相対的な距離を設定する調整ネジがアクチュエータ機構に接続されたプッシャに設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の圧着装置。
- 圧着装置を使用して配線基板と実装基板とを熱圧着して電子装置を製造する方法において、前記配線基板と前記実装基板とが前記圧着装置の基板ガイドに載置され、前記配線基板と前記実装基板とが前記圧着装置の圧着ヘッドと弾性体がその主面に配置されたステージとによって挟持される工程と、前記挟持される工程に引き続いて前記圧着ヘッドによって加圧され、該加圧時に前記圧着ヘッドに連動して前記基板ガイドが加圧方向へ移動する工程とを備えた電子装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007143349A JP2008300508A (ja) | 2007-05-30 | 2007-05-30 | 圧着装置および電子装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007143349A JP2008300508A (ja) | 2007-05-30 | 2007-05-30 | 圧着装置および電子装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008300508A true JP2008300508A (ja) | 2008-12-11 |
Family
ID=40173757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007143349A Pending JP2008300508A (ja) | 2007-05-30 | 2007-05-30 | 圧着装置および電子装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008300508A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103889164A (zh) * | 2014-04-06 | 2014-06-25 | 深圳市诚亿自动化科技有限公司 | 恒压力校平机构 |
CN105428273A (zh) * | 2014-09-17 | 2016-03-23 | 株式会社东芝 | 半导体制造装置 |
KR20190103740A (ko) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 이노6 주식회사 | 전자소자 본딩 장치 |
-
2007
- 2007-05-30 JP JP2007143349A patent/JP2008300508A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103889164A (zh) * | 2014-04-06 | 2014-06-25 | 深圳市诚亿自动化科技有限公司 | 恒压力校平机构 |
CN105428273A (zh) * | 2014-09-17 | 2016-03-23 | 株式会社东芝 | 半导体制造装置 |
KR20190103740A (ko) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 이노6 주식회사 | 전자소자 본딩 장치 |
KR102079165B1 (ko) | 2018-02-28 | 2020-02-19 | 이노6 주식회사 | 전자소자 본딩 장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100555873B1 (ko) | 전자부품 압착 장치 및 그 방법 | |
KR100978697B1 (ko) | 본딩방법 및 그 장치 | |
CN108695180B (zh) | 压接装置 | |
KR20160127807A (ko) | 압착 헤드, 그것을 사용한 실장 장치 및 실장 방법 | |
JP2008300508A (ja) | 圧着装置および電子装置の製造方法 | |
WO2019054284A1 (ja) | 圧着ヘッドおよび実装装置 | |
JP2021044557A (ja) | 圧着装置 | |
KR101139252B1 (ko) | 본딩장치 | |
KR101679953B1 (ko) | 본딩장치 및 본딩방법 | |
JP3780214B2 (ja) | Icの加圧圧着方法 | |
JP5406974B2 (ja) | 熱圧着装置及び電気部品の実装方法 | |
JP2009032845A (ja) | 熱圧着装置及び電気部品の実装方法 | |
JP2008053408A (ja) | Ledモジュールアレイのマウント方法 | |
JP4767518B2 (ja) | 実装方法 | |
JP2007220727A (ja) | 電子部品の加圧接続装置及び加圧接続方法 | |
JPH07130795A (ja) | 半導体素子接続方法および半導体素子接続装置 | |
KR102435883B1 (ko) | 소자 리페어 장치 | |
WO2022030006A1 (ja) | 半導体装置の製造装置および製造方法 | |
JP3775960B2 (ja) | 電子部品の圧着装置および圧着方法 | |
JP4757127B2 (ja) | 基板実装装置および方法 | |
JP2010067715A (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP2009184070A (ja) | Memsデバイスとmemsデバイスの製造方法 | |
JP2008078462A (ja) | 圧着装置、圧着方法及び圧着物の製造方法 | |
JP2021160114A (ja) | ラミネート装置 | |
JP4879828B2 (ja) | フリップチップボンディング方法およびフリップチップボンディング装置 |