JP2008298623A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査対象に光束を照射する光源と、被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系と、反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサと、光電イメージセンサを分割した複数の領域毎に、それぞれに対応する信号補正部、A/D変換器および画像生成部から構成されるチャンネルをもつ検出信号伝送部と、検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成して被検査対象表面の画像を作成する画像合成部と、合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、検出信号伝送部は、光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる。
【選択図】図1
Description
の検査感度を一致させることは困難である。このため、これを低減するための補正方法が必要とされている。
Claims (19)
- 被検査対象に光束を照射する光源と、
前記被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系と、
導かれた前記反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサと、
前記光電イメージセンサを分割した複数の領域ごとに、それぞれに対応する信号補正部、A/D変換器および画像生成部から構成されるチャンネルをもつ検出信号伝送部と、
前記検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成して被検査対象表面の画像を作成する画像合成部と、前記合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、
前記検出信号伝送部は、前記光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる検出信号補正機能を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記基準検出信号強度の基準目標値を外部より入手する外部入力手段を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項2記載の検査装置において、
前記光電イメージセンサは、座標上で一次元的または二次元的に前記光電セルが配列されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項2記載の検査装置において、
基準検査対象検査より得る検出信号の強度と前記基準検出信号強度とを比べての前記基準目標値に近づける補正するための補正係数を算出する補正係数算出部と、前記補正係数を格納する補正係数格納部を備え、
上記補正係数格納部の補正係数が前記検出信号補正機能に提供されることを特徴とする検査装置。 - 請求項4記載の検査装置において、
前記補正係数算出部は前記各チャンネル毎に前記補正係数を算出し、
前記各チャンネル毎の補正係数が補正係数格納部を格納されることを特徴とする検査装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載された検査装置において、
前記検出信号補正機能による補正を前記光学系の複数の光学条件で行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項4または5記載の検査装置において、
前記補正係数算出部により補正係数の算出が定期または不定期に行われることを特徴とする検査装置。 - 被検査対象に光束を照射する光源と、
前記被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系と、
導かれた前記反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサと、
記光電イメージセンサを分割した複数の領域ごとに、それぞれに対応する信号補正部、A/D変換器および画像生成部から構成されるチャンネルをもつ検出信号伝送部と、
前記検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成して被検査対象表面の画像を作成する画像合成部と、前記合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置が複数置かれる検査システムにおいて、
前記検査装置を管理する管理部を備えることを特徴とする検査システム。 - 請求項8記載の検査システムにおいて、
基準検査対象検査より得る検出信号の強度と前記基準検出信号強度とを比べての前記基準目標値に近づける補正するための補正係数を算出する補正係数算出部と、前記補正係数を格納する補正係数格納部を備え、
上記補正係数格納部の補正係数が前記検出信号補正機能に提供されることを特徴とする検査システム。 - 請求項9記載の検査システムにおいて、
前記補正係数算出部と、前記補正係数格納部を前記管理部に備えることを特徴とする検査システム。 - 被検査対象に光束を照射する光源と、
前記被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系と、
導かれた前記反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサと、
記光電イメージセンサを分割した複数の領域ごとに、それぞれに対応する信号補正部、A/D変換器および画像生成部から構成されるチャンネルをもつ検出信号伝送部と、
前記検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成して被検査対象表面の画像を作成する画像合成部と、前記合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査方法において、
前記検出信号伝送部が、前記光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正されることを特徴とする検査方法。 - 請求項11記載の検査方法において、
前記基準検出信号強度の基準目標値を外部より入手することを特徴とする検査方法。 - 請求項12記載の検査方法において、
基準検査対象検査より得る検出信号の強度と前記基準検出信号強度とを比べての前記基準目標値に近づける補正するための補正係数を算出する補正係数算出部と、前記補正係数を格納する補正係数格納部を備え、
上記補正係数格納部の補正係数を前記検出信号補正機能に提供することを特徴とする検査方法。 - 請求項13記載の検査方法において、
前記補正係数算出部は前記各チャンネル毎に前記補正係数を算出し、
前記各チャンネル毎の補正係数を補正係数格納部に格納することを特徴とする検査方法。 - 請求項14記載の検査方法において、
前記検出信号補正機能による補正を前記光学系の複数の光学条件のそれぞれで行うことを特徴とする検査方法。 - 請求項13または14記載の検査方法において、
前記補正係数算出部により補正係数の算出が定期または不定期に行われることを特徴とする検査方法。 - 請求項11記載の検査方法において、
前記検出信号強度の基準目標値と、基準検査対象検査より得る検出信号を、基準目標値として他の検査装置に送信する送信処理を行うことができることを特徴とする検査方法。 - 請求項1〜7の何れかに記載の検査装置において、
前記各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値は、チャンネルの中央が最大、両端が最小値になる二次曲線状の分布にしたことを特徴とする検査装置。 - 請求項1〜7の何れかに記載の検査装置において、
前記検出信号伝送部の各チャンネルは、検出信号の入力側から順に並ぶ補正部、A/D変換器、画像形成器を有し、
前記検出画像信号補正機能を担う前記補正部のゲイン調整により、検出信号が補正されることを特徴とする検査装置。
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