JP2008286588A - 位置検知装置 - Google Patents
位置検知装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008286588A JP2008286588A JP2007130462A JP2007130462A JP2008286588A JP 2008286588 A JP2008286588 A JP 2008286588A JP 2007130462 A JP2007130462 A JP 2007130462A JP 2007130462 A JP2007130462 A JP 2007130462A JP 2008286588 A JP2008286588 A JP 2008286588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- detector
- center
- detection device
- position detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
【解決手段】 磁石2の円形の表面2aがN極に着磁され、背面2bがS極に着磁されている。検知器10は、磁石2の表面2aから離れた位置でX−Y平面内で移動する。検知器10内にはX方向検知素子20xとY方向検知素子20yが設けられている。X方向検知素子20xとY方向検知素子20yは、それぞれ磁気抵抗効果素子である。磁石2の表面2aを中心Oが突出するテーパ形状とすることにより、X方向検知素子20xとY方向検知素子20yとで、中心Oからの距離を正確に得ることができる。
【選択図】図7
Description
前記磁石は、前記検知器が対向する表面を有し、前記表面と裏側部分とが互いに異なる磁極に着磁されており、
前記検知器には、前記磁石の表面から発せられて磁石の端部に向かう磁束の水平成分を検知する検知素子が搭載されており、
前記磁石の表面と前記検知器との間隔が、磁石の中心から磁石の端部に向かうにしたがって徐々に広がることを特徴とするものである。
位置検知装置1は、磁石2とこの磁石2に対向する検知器10を有している。磁石2は、表面2aと裏側部分に位置する背面2bとを有している。図1および図3などに示すX0軸とY0軸は直交座標を意味している。X0軸とY軸0を含む面と平行な面が移動平面であり、磁石2が前記移動平面内においてX−Y座標内の任意の位置へ移動する。あるいは、磁石2が固定されて、前記検知器10が、移動平面内においてX−Y座標内の任意の位置へ移動する。
この検知器110には、図8に示したのと同じ構造の磁気抵抗効果素子20がX方向検知素子120xと、Y方向検知素子120yとして搭載されている。X方向検知素子120xは、固定磁性層24の固定磁化の向き(P方向)がX方向であり、自由磁性層26に与えられているバイアス磁界の向き(B方向)がY方向である。また、Y方向検知素子120yは、固定磁性層24の固定磁化の向き(P方向)がY方向であり、自由磁性層26に与えられているバイアス磁界の向き(B方向)がX方向である。
2 磁石
2a 表面
2c 端部
10 検知器
20 磁気抵抗効果素子
20x X方向検知素子
20y Y方向検知素子
21 素子部
22 基板
23 反強磁性層
24 固定磁性層
25 非磁性導電層
26 自由磁性層
B バイアス磁界の方向
P 固定磁性層の固定磁化の方向
O 磁石の中心
Claims (7)
- 固定部と、この固定部に対向して移動する可動部とを有し、前記固定部と前記可動部の一方に磁石が、他方に前記磁石から発せられた磁界を検知する検知器が設けられた位置検知装置において、
前記磁石は、前記検知器が対向する表面を有し、前記表面と裏側部分とが互いに異なる磁極に着磁されており、
前記検知器には、前記磁石の表面から発せられて磁石の端部に向かう磁束の水平成分を検知する検知素子が搭載されており、
前記磁石の表面と前記検知器との間隔が、磁石の中心から磁石の端部に向かうにしたがって徐々に広がることを特徴とする位置検知装置。 - 前記検知器には、前記磁束の水平成分のうちのX方向成分を検知するX方向検知素子と、前記X方向成分と直交するY方向成分を検知するY方向検知素子とが搭載されている請求項1記載の位置検知装置。
- 前記磁石の表面は円形であり、前記磁石の中心から磁石の端部に向かって、どの方向であっても、前記端部に向かうにしたがって、前記磁石の表面と前記検知器との間隔が徐々に広がる請求項2記載の位置検知装置。
- 前記磁石の表面は、磁石の中心が磁石の端部よりも前記検知器に向かって突出する形状である請求項1ないし3のいずれかに記載の位置検知装置。
- 前記可動部は、平面内で移動する請求項4記載の位置検知装置。
- 前記磁石を前記中心を通る面で切断した断面図では、前記表面と前記面との交線が直線状に傾斜している請求項4または5記載の位置検知装置。
- 前記磁石の表面が平坦面であり、磁石の中心から離れるにしたがって前記検知器と磁石との距離が徐々に離れるように前記可動部を案内する案内機構が設けられている請求項1ないし3のいずれかに記載の位置検知装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007130462A JP4832358B2 (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 位置検知装置 |
US12/035,824 US7969145B2 (en) | 2007-05-16 | 2008-02-22 | Position detecting device with a magnetoresistive element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007130462A JP4832358B2 (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 位置検知装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008286588A true JP2008286588A (ja) | 2008-11-27 |
JP4832358B2 JP4832358B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=40026866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007130462A Active JP4832358B2 (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 位置検知装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7969145B2 (ja) |
JP (1) | JP4832358B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010266305A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Alps Electric Co Ltd | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 |
WO2014083460A1 (en) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | International Business Machines Corporation | Position sensor |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4768066B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2011-09-07 | アルプス電気株式会社 | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 |
JP2008249556A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tdk Corp | 磁気センサ |
WO2008139930A1 (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-20 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 |
US11773293B2 (en) | 2017-11-15 | 2023-10-03 | S. C. Johnson & Son, Inc. | Freeze-thaw stable water-in-oil emulsion cleaner and/or polish compositions |
US11846529B2 (en) | 2021-04-19 | 2023-12-19 | Joral Llc | Magnetic rack and pinion linear magnetic encoder and position sensing system |
Citations (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4846654A (ja) * | 1971-10-15 | 1973-07-03 | ||
JPS55122113A (en) * | 1979-03-16 | 1980-09-19 | Ricoh Co Ltd | Position detector |
JPS5821158A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-07 | Denki Onkyo Co Ltd | 多チヤネル磁気センサ |
JPS6183910A (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検出装置 |
JPS61134601A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Kokusan Denki Co Ltd | 磁気形変位センサ |
JPS61187415A (ja) * | 1985-02-14 | 1986-08-21 | Omron Tateisi Electronics Co | 光電スイツチ |
JPS62288518A (ja) * | 1986-06-07 | 1987-12-15 | Graphtec Corp | 非接触変移検出器 |
JPS63231201A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Fujitsu Ltd | 漏洩磁界型リニアポジシヨナ |
JPS646701A (en) * | 1987-06-27 | 1989-01-11 | Graphtec Kk | Non-contact displacement detector |
JPS649302A (en) * | 1987-07-01 | 1989-01-12 | Graphtec Kk | Non-contact displacement detector |
JPH02131614A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-21 | Mitsubishi Electric Corp | パルス発生装置 |
JPH03277901A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-12-09 | Nkk Corp | 磁気式変位計 |
JPH04278415A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-05 | Fujitsu Ltd | ポテンショメータ |
JPH0821880A (ja) * | 1994-07-07 | 1996-01-23 | Nippon Autom Kk | 磁性体検出機 |
JP2000500862A (ja) * | 1995-11-14 | 2000-01-25 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル,インコーポレイテッド | 磁気変位センサー |
JP2000180114A (ja) * | 1998-12-09 | 2000-06-30 | Cts Corp | テ―パ―付きの二極の磁石を用いる非接触式のポジションセンサ |
JP2002005613A (ja) * | 2000-06-15 | 2002-01-09 | Yazaki Corp | 回転角検知センサ |
JP2002022485A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-23 | Kayaba Ind Co Ltd | 回転角度センサ |
JP2003084007A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Takechi Kogyo Gomu Co Ltd | 回転方向検出装置 |
US6552532B1 (en) * | 1998-07-24 | 2003-04-22 | Next Corporation | Displacement detector with relatively movable magnet and sensor |
JP2003167627A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Sanetec:Kk | 位置検出センサ |
US20030112006A1 (en) * | 2001-12-14 | 2003-06-19 | Luetzow Robert H. | Magnetic position sensor having shaped pole pieces to provide a magnetic field having a varying magnetic flux density field strength |
JP2004508562A (ja) * | 2000-09-08 | 2004-03-18 | シーティーエス・コーポレーション | 非接触式線形位置センサ |
US6992478B2 (en) * | 2003-12-22 | 2006-01-31 | Cts Corporation | Combination hall effect position sensor and switch |
JP2006276983A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Yamaha Corp | ポインティングデバイス用の磁気センサ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3060370A (en) * | 1960-02-23 | 1962-10-23 | Gen Motors Corp | Displacement transducer |
US4395695A (en) * | 1980-07-25 | 1983-07-26 | Copal Company Limited | Non-contact magnetic potentiometer |
US5644228A (en) * | 1993-08-31 | 1997-07-01 | Eastman Kodak Company | Permanent magnet assembly with MR and DC compensating bias |
US5955881A (en) * | 1994-10-18 | 1999-09-21 | Cts Corporation | Linkage position sensor having a magnet with two ramped sections for providing variable magnetic field |
US6323641B1 (en) * | 1999-05-13 | 2001-11-27 | Cts Corporation | Non-contacting position sensor with helical flux linkage |
JP3597733B2 (ja) * | 1999-08-09 | 2004-12-08 | アルプス電気株式会社 | 磁気式変位検出装置 |
US6639399B2 (en) * | 2001-02-06 | 2003-10-28 | Delphi Technologies, Inc. | Target wheel sensor assembly for determining position and direction of motion of a rotating target wheel |
JP4169536B2 (ja) * | 2002-06-26 | 2008-10-22 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | アクチュエータ |
JP4315759B2 (ja) | 2002-07-25 | 2009-08-19 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | ポインティングデバイス用磁気センサ |
JP2005069744A (ja) | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Hamamatsu Koden Kk | 磁気検出素子 |
JP2005331401A (ja) | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 位置検出装置、手振れ補正機構及び撮像装置 |
JP4607049B2 (ja) * | 2006-02-23 | 2011-01-05 | 株式会社デンソー | 回転角検出装置 |
-
2007
- 2007-05-16 JP JP2007130462A patent/JP4832358B2/ja active Active
-
2008
- 2008-02-22 US US12/035,824 patent/US7969145B2/en active Active
Patent Citations (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4846654A (ja) * | 1971-10-15 | 1973-07-03 | ||
JPS55122113A (en) * | 1979-03-16 | 1980-09-19 | Ricoh Co Ltd | Position detector |
JPS5821158A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-07 | Denki Onkyo Co Ltd | 多チヤネル磁気センサ |
JPS6183910A (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検出装置 |
JPS61134601A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Kokusan Denki Co Ltd | 磁気形変位センサ |
JPS61187415A (ja) * | 1985-02-14 | 1986-08-21 | Omron Tateisi Electronics Co | 光電スイツチ |
JPS62288518A (ja) * | 1986-06-07 | 1987-12-15 | Graphtec Corp | 非接触変移検出器 |
JPS63231201A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Fujitsu Ltd | 漏洩磁界型リニアポジシヨナ |
JPS646701A (en) * | 1987-06-27 | 1989-01-11 | Graphtec Kk | Non-contact displacement detector |
JPS649302A (en) * | 1987-07-01 | 1989-01-12 | Graphtec Kk | Non-contact displacement detector |
JPH02131614A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-21 | Mitsubishi Electric Corp | パルス発生装置 |
JPH03277901A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-12-09 | Nkk Corp | 磁気式変位計 |
JPH04278415A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-05 | Fujitsu Ltd | ポテンショメータ |
JPH0821880A (ja) * | 1994-07-07 | 1996-01-23 | Nippon Autom Kk | 磁性体検出機 |
JP2000500862A (ja) * | 1995-11-14 | 2000-01-25 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル,インコーポレイテッド | 磁気変位センサー |
US6552532B1 (en) * | 1998-07-24 | 2003-04-22 | Next Corporation | Displacement detector with relatively movable magnet and sensor |
JP2000180114A (ja) * | 1998-12-09 | 2000-06-30 | Cts Corp | テ―パ―付きの二極の磁石を用いる非接触式のポジションセンサ |
JP2002005613A (ja) * | 2000-06-15 | 2002-01-09 | Yazaki Corp | 回転角検知センサ |
JP2002022485A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-23 | Kayaba Ind Co Ltd | 回転角度センサ |
JP2004508562A (ja) * | 2000-09-08 | 2004-03-18 | シーティーエス・コーポレーション | 非接触式線形位置センサ |
JP2003084007A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Takechi Kogyo Gomu Co Ltd | 回転方向検出装置 |
JP2003167627A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Sanetec:Kk | 位置検出センサ |
US20030112006A1 (en) * | 2001-12-14 | 2003-06-19 | Luetzow Robert H. | Magnetic position sensor having shaped pole pieces to provide a magnetic field having a varying magnetic flux density field strength |
US6992478B2 (en) * | 2003-12-22 | 2006-01-31 | Cts Corporation | Combination hall effect position sensor and switch |
JP2006276983A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Yamaha Corp | ポインティングデバイス用の磁気センサ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010266305A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Alps Electric Co Ltd | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 |
WO2014083460A1 (en) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | International Business Machines Corporation | Position sensor |
US9719804B2 (en) | 2012-11-29 | 2017-08-01 | International Business Machines Corporation | Position sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7969145B2 (en) | 2011-06-28 |
US20080284420A1 (en) | 2008-11-20 |
JP4832358B2 (ja) | 2011-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4768066B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 | |
US10989769B2 (en) | Magneto-resistive structured device having spontaneously generated in-plane closed flux magnetization pattern | |
US9644994B2 (en) | Magnetic sensor | |
JP4832358B2 (ja) | 位置検知装置 | |
JP6220971B2 (ja) | 多成分磁場センサー | |
EP1292029B1 (en) | Magnetic switch capable of instantaneous switching of an output signal and magnetic sensor | |
US9279866B2 (en) | Magnetic sensor | |
US20060038559A1 (en) | Magnetically biased eddy current sensor | |
US9810748B2 (en) | Tunneling magneto-resistor device for sensing a magnetic field | |
JP2009192261A (ja) | 直線変位検出装置 | |
CN106066461B (zh) | 磁阻装置 | |
JP2016170167A (ja) | 磁気センサ | |
US20150145506A1 (en) | Magnetic sensor | |
US7800356B2 (en) | Position detection apparatus using magnetoresistive effect element | |
JP2008170273A (ja) | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 | |
JP4639216B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP5497621B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
US20160131683A1 (en) | Magnetic sensor and electrical current sensor using the same | |
JP2011007685A (ja) | 磁気センサ | |
JP5191946B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 | |
JP6954327B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP5139196B2 (ja) | 磁性体通過検出装置 | |
JP2015155796A (ja) | 電流センサ | |
JP2010009170A (ja) | 平面ポインティングデバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091026 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110906 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4832358 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |