JP2008275538A - 三次元形状測定器及び試料画像構築装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】三次元形状測定器により取得された試料の表面各部の高さを示す高さ情報が高さ画像記憶部201で記憶される。画像−擬似輝度画像変換部207は、まず、当該試料の表面各部の高さ情報に基づいて当該表面各部の傾きを示す傾き情報を算出する。そして、この表面各部の傾きを当該試料表面の画像における当該表面各部の輝度に対応付けて当該画像における輝度情報を生成し、この輝度情報を用いて当該試料表面の輝度画像を構築する。
【選択図】 図2
Description
例えば特許文献1には、顕微干渉計測法による試料の計測結果の取り込みと、その試料の三次元画像の形成方法とについて開示されている。顕微干渉計測法では、まず、低コヒーレントな照明光を分岐し、その一方を対物レンズにて試料表面に集光させ、もう一方を参照ミラーなどに集光させる。そして、これら2つの反射光を干渉させた干渉像を取り込む。この干渉像の取り込みを、対物レンズと試料との相対距離を変えながら行うことで得られる干渉像の強度分布より、試料の高さ画像(試料表面各部の高さ(厚み)の違いを色彩等の違いとして表した画像も含む)を構築する。
まず、図示しない対物レンズ走査機構を動作させて干渉対物レンズ5をその光軸方向に沿って走査して得られる干渉画像を順次取得する。そして、得られた画像の画素毎に、その干渉強度が最大であるときの走査位置を求める。この画素毎の干渉強度最大の走査位置に基づいて試料9の高さ情報が得られる。また、この画素毎の干渉強度最大の走査位置に高さ情報を対応付けると試料9の高さ画像(三次元画像)が構築される。
図4は、高さ画像−擬似輝度画像変換部207によって行われる、試料9の画像の変換例を示したものである。
続くS102では、前ステップの処理によって取得した高さ画像を構成する各画素に対して微分演算処理を施すことによって、各画素における傾き値を算出する処理が行われる。なお、本実施例では、図6に示した3×3の一次微分フィルタを用いてこの微分演算処理を行うものとする。すなわち、傾き値の算出対象である画素を中心とする上下左右の9つの画素の高さ情報に対し、図6に示す係数を乗算し、その結果を合計することによって、各画素の傾き値を算出する。
以上のように、本実施例によれば、試料9の表面の傾斜の程度に応じ、急な斜面に対しては低輝度であり、水平面に対しては高輝度である試料9の擬似輝度画像を構築することができる。すなわち、主に高さ情報を取得する三次元形状測定器で、高さ画像(三次元画像)のみでなく、擬似的な輝度画像をも提供することができるようになる。
次に、この最大値と最小値との差を算出し、更に、この差の値の例えば20%の値を算出し、この値を定数Aとする。
なお、ここでは、最大値に定数Aの値を減算して傾き値Bを求めたが、基準となる傾き値が求められれば、他の方法でもよい。
なお、上述したようにする代わりに、図7Aのような傾き値の分布の場合に適した対応付けテーブルを用意してカラーマップ記憶部204に予め格納しておき、このテーブルを参照して傾き値から輝度値への変換を行うようにしてもよい。
本実施例に係る三次元形状測定器の構成は、図1に示した実施例1に係るものと同一である。但し、コントローラ12内の画像処理部13の機能構成が、実施例1におけるもの(図2)と異なっている。
図8の構成は、ノイズ除去処理部209と検出器特性記憶部210とを有している点において、図2に示した実施例1の構成と異なっており、図2に示したものと同一の構成要素は同様の機能を提供する。
三次元形状測定器では、対物レンズ6のNA(開口数)に依存して分解能が定まるため、試料9表面において、このNAによって定まる特定の傾き値よりも急な傾斜は、本来検出することができない。従って、試料9の高さ画像から算出される傾き値が、この検出限界閾値を超えている場合、この傾き値は、ノイズとみなすことができる。
ここで図10について説明する。図10は、画像処理部13におけるノイズ除去処理部209によって行われる、ノイズ除去処理の処理内容をフローチャートで示したものである。なお、この処理は、コントローラ12であるコンピュータの記憶装置に予め格納されている所定の制御プログラムを、当該コンピュータの演算処理装置が読み出して実行することによって実現される。
まず、S201では、検出器特性記憶部210に予め格納されている、図1に示した三次元形状測定器についての傾き値の検出限界閾値を参照して取得する処理が行われる。
なお、本実施例では、各画素の傾き値を利用するノイズ除去の処理を例に挙げて説明したが、他の一般的なノイズ除去フィルタを使用してノイズ除去を行うことも可能である。
図11において、レーザ光源501から出射した光は、PBS(偏光ビームスプリッタ)502を透過した後、二次元走査部503に入射する。なお、レーザ光源501からさせる光量は、コントローラ512により、レーザパワー調整用DA(デジタル−アナログ)変換器511を介して制御される。
図12の構成は、表面画像記憶部203と画像合成部208とを有している点において、図2に示した実施例1における画像処理部13の構成と異なっており、図2に示したものと同一の構成要素は同様の機能を提供する。なお、本実施例では、カラーマップ記憶部204に予め格納しておく対応付けテーブルは、試料506の表面形状における傾き値と反射特性との関係を示すものとしておき、反射型顕微鏡自体の特性の影響が含まれている場合には、その影響を除外したものとしておくことが好ましい。
画像合成部208は、表面画像記憶部203で記憶されている試料506表面の二次元カラー画像のデータを読み出し、このカラー画像を構成している各画素の輝度情報を、高さ画像−擬似輝度画像変換部207により生成される輝度情報に置換することで、当該カラー画像の変換を行う。
続くS302では、前ステップの処理によって取得した二次元カラー画像のデータで示されている画素毎のRGB各色の輝度値を、前述した色情報C及び輝度値yに変換する演算処理が行われる。
なお、本実施例では、元の二次元カラー画像を構成する各画素の輝度値を擬似輝度値に置換することで二次元カラー画像を再構築したが、擬似輝度画像を他の画像との組合せに利用することも可能である。例えば、共焦点走査型レーザ顕微鏡において、実施例1のように、試料の高さ画像から擬似輝度画像を構築し、この擬似輝度画像と、当該高さ画像とを組み合わせることで、三次元画像である擬似輝度画像を構築することも可能である。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
2、514 白色光源
3 投影光学系
4 ハーフミラー
5 干渉対物レンズ
6、505 対物レンズ
7 参照ミラー
8 ビームスプリッタ
9、506 試料
11、516 CCDカメラ
12、512 コントローラ
13、520 画像処理部
14、513 モニタ
201 画像記憶部
202 擬似輝度画像記憶部
203 表面画像記憶部
204 カラーマップ記憶部
205 画像転送I/O
206 高さ画像構築部
207 画像−擬似輝度画像変換部
208 画像合成部
209 ノイズ除去処理部
210 検出器特性記憶部
301 高さ画像
302 傾き画像
303 擬似輝度画像
500 レーザ顕微鏡本体
501 レーザ光源
502 PBS
503 二次元走査部
504 1/4λ板
507、515 結像レンズ
508 ピンホール
509 光検出器
510 AD変換器
511 レーザパワー調整用DA変換器
Claims (10)
- 測定対象である試料の表面各部の高さを示す高さ情報を取得する高さ情報取得手段と、
前記試料の表面各部の高さ情報に基づいて、該表面各部の傾きを示す傾き情報を算出する傾き情報算出手段と、
前記傾き情報で示されている前記試料の表面各部の傾きを該試料表面の画像における該表面各部の輝度に対応付けて該画像における輝度情報を生成する輝度情報生成手段と、
前記輝度情報を用いて該試料表面の輝度画像を構築する輝度画像構築手段と、
を有することを特徴とする三次元形状測定器。 - 前記輝度情報生成手段による前記試料の表面各部の傾きと輝度との対応付けでは、該傾きが大きくなるほど輝度が単調に低下するように対応付けることを特徴とする請求項1に記載の三次元形状測定器。
- 前記輝度情報生成手段による前記試料の表面各部の傾きと輝度との対応付けは、前記試料の表面に白色光を照射したときにおける該試料の表面からの反射光の輝度特性に従って行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の三次元形状測定器。
- 前記輝度情報生成手段による前記試料の表面各部の傾きと輝度との対応付けは、該傾きと該輝度との対応関係を予め定義しておいたテーブルを参照して行うことを特徴とする請求項1から3のうちのいずれか一項に記載の三次元形状測定器。
- 前記傾き情報算出手段は、前記高さ情報で示されている前記試料の表面各部の高さを微分演算することで前記傾き情報を算出することを特徴とする請求項1から4のうちのいずれか一項に記載の三次元形状測定器。
- 前記高さ情報に基づいて、前記試料の三次元画像を構築する三次元画像構築手段と、
前記三次元画像と前記輝度画像とを重畳合成する画像合成手段と、
を更に有することを特徴とする請求項1から5のうちのいずれか一項に記載の三次元形状測定器。 - 前記高さ情報に含まれていたノイズ成分の影響を、前記傾き情報に基づいて除去する除去手段を更に有することを特徴とする請求項1から6のうちのいずれか一項に記載の三次元形状測定器。
- 前記ノイズ成分除去手段は、前記傾き情報算出手段により算出された傾き情報で示されている傾きのうち、前記高さ情報取得手段によって定まる該傾きの検出限界の範囲外のものを、該検出限界の値に制限することで、ノイズ成分の影響を除去することを特徴とする請求項7に記載の三次元形状測定器。
- 前記試料の表面のカラー画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段が取得したカラー画像を構成している各画素の輝度情報を、前記輝度情報生成手段により生成される輝度情報に置換することで、該カラー画像を変換する画像変換手段と、
を更に有することを特徴とする請求項1から8のうちのいずれか一項に記載の三次元形状測定器。 - 試料の表面各部の高さを示す高さ情報に基づいて、該表面各部の傾きを示す傾き情報を算出する傾き情報算出手段と、
前記傾き情報で示されている前記試料の表面各部の傾きを該試料表面の画像における該表面各部の輝度に対応付けて該画像における輝度情報を生成する輝度情報生成手段と、
前記輝度情報を用いて該試料表面の輝度画像を構築する輝度画像構築手段と、
を有することを特徴とする試料画像構築装置。
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