JP2012013696A - 撮影装置とその撮影方法 - Google Patents
撮影装置とその撮影方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012013696A JP2012013696A JP2011140321A JP2011140321A JP2012013696A JP 2012013696 A JP2012013696 A JP 2012013696A JP 2011140321 A JP2011140321 A JP 2011140321A JP 2011140321 A JP2011140321 A JP 2011140321A JP 2012013696 A JP2012013696 A JP 2012013696A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- sensing device
- image
- child
- video
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【解決手段】測量物に対してスキャンを行い、光源と、第1分光器と、顕微接物レンズ組と、第2分光器と、単色映像センシングデバイスと、映像センシングデバイスと、を含む撮影装置において、光源は、照射光ビームを射出するためのものであり、第1分光器は、照射光ビームを反射するためのものであり、顕微接物レンズ組は、測量物の上方に設けられ、反射基準面を含み、第2分光器は、第1分光器の上方に設けられ、工作光ビームを第1子光ビームと第2子光ビームとに分け、単色映像センシングデバイスは、第1子光ビームの行進経路に設けられ、映像センシングデバイスは、第2子光ビームの行進経路に設けられる。
【選択図】図2
Description
前記光源は、照射光ビームを射出するためのものであり、
前記第1分光器は、前記照射光ビームを反射するためのものであり、
前記顕微接物レンズ組は、前記測量物の上方に設けられ、反射基準面を含み、前記照射光ビームを測量光ビームと基準光ビームとに変換するためのものであり、前記測量光ビームは、前記測量物の表面に投射して、前記顕微接物レンズ組に反射される第1反射光ビームを発生し、前記基準光ビームは、前記反射基準面に投射して、前記顕微接物レンズ組に反射される第2反射光ビームを発生し、前記第1反射光ビームと前記第2反射光ビームとは、前記第1分光器を透過する工作光ビームに合成され、
前記第2分光器は、前記第1分光器の上方に設けられ、前記工作光ビームを第1子光ビームと第2子光ビームとに分けるためのものであり、
前記単色映像センシングデバイスは、前記第1子光ビームの行進経路に設けられて前記第1子光ビームを受け取って、前記第1子光ビームの第1干渉区域において、単色干渉映像を撮り、
前記映像センシングデバイスは、前記第2子光ビームの行進経路に設けられて前記第2子光ビームを受け取って、前記第2子光ビームの第2干渉区域外に無干渉映像を撮ることを特徴とする。
複数のスキャン位置に前記顕微接物レンズ組を順次に移動するステップと、
前記単色映像センシングデバイスにより前記第1子光ビームを受け取って、これらの前記スキャン位置に応じて前記測量物の一系列の単色干渉映像を得るステップと、
前記映像センシングデバイスにより前記第2子光ビームを受け取って、これらの前記スキャン位置に応じて前記測量物の一系列の無干渉映像を得るステップと、
前記一系列の単色干渉映像に対して表面輪郭の還元計算を行って、前記測量物の単色立体的輪郭映像を得るステップと、
前記一系列の無干渉映像に対して映像比べ計算を行って、前記一系列の無干渉映像における複数の明瞭部分を取出して、少なくとも一つの平面的明瞭映像を合成するステップと、
を含むことを特徴とする。
まず、図2及び図3を参照する。図2は本発明の撮影装置の模式図であり、図3は本発明の撮影装置の機構を示す斜視図である。本発明の撮影装置400は、測量物200に対してスキャンを行い、光源41と、第1分光器42と、顕微接物レンズ組43と、第2分光器44と、単色映像センシングデバイス45と、映像センシングデバイス46と、を含む。光源41は、照射光ビーム51を射出するためのものである。第1分光器42は、照射光ビーム51を反射するためのものである。
複数のスキャン位置に顕微接物レンズ組43を順次に移動して、単色映像センシングデバイス45により第1子光ビーム57を受け取って、前記スキャン位置に応じて測量物200の一系列の単色干渉映像を得ると同時に、映像センシングデバイス46により第2子光ビーム58を受け取って、前記スキャン位置に応じて測量物200の一系列の無干渉映像を得るステップS101と、
前記一系列の単色干渉映像に対して表面輪郭の還元計算を行って、測量物200の単色立体的輪郭映像を得るステップS103(このステップで得られる単色立体的輪郭映像は、従来の撮影方法によって得られる単色立体的輪郭映像である。)と、
前記一系列の無干渉映像に対して映像比べ計算を行って、前記一系列の無干渉映像における複数の明瞭部分を取出して、測量物200の平面的明瞭映像を合成するステップS105(映像センシングデバイス46は、第2子光ビーム58の第2干渉区域外に無干渉映像を撮るため、各無干渉映像には干渉模様がない。映像比べ計算というのは、各無干渉映像を処理して、各無干渉映像の奥行き内の明瞭部分を取出して、奥行きがより深い平面的明瞭映像を合成する。)と、
映像センシングデバイス46がカラー映像センシングデバイスである場合には、本発明の撮影方法は、更に、前記平面的明瞭映像から顔色-位置の情報を取出して、前記顔色-位置の情報により前記単色立体的輪郭映像に対して顔色模倣の計算を行って、カラー立体的輪郭映像を得るステップS107と、を含む。
12:分光ユニット
13:干渉レンズ組
14:白黒カメラ
15:アクチュエータ
16:アクチュエータ
31:光ビーム
32:反射光ビーム
33:基準光ビーム
34:測量光ビーム
35:干渉光ビーム
41:光源
42:第1分光器
43:顕微接物レンズ組
44:第2分光器
45:単色映像センシングデバイス
46:映像センシングデバイス
47:アクチュエータ
48:反射器
51:照射光ビーム
52:測量光ビーム
53:基準光ビーム
54:第1反射光ビーム
55:第2反射光ビーム
56:工作光ビーム
57:第1子光ビーム
58:第2子光ビーム
100:撮影装置
131:反射基準面
200:測量物
400:撮影装置
431:反射基準面
Claims (8)
- 測量物に対してスキャンを行う撮影装置であって、
照射光ビームを射出する光源と、
前記照射光ビームを反射する第1分光器と、
前記測量物の上方に設けられ、反射基準面を有し、前記照射光ビームを、前記測量物の表面に投射され反射されて第1反射光ビームとなる測量光ビームと、前記反射基準面に投射され反射されて第2反射光ビームとなる基準光ビームとに変換し、前記第1反射光ビームと前記第2反射光ビームとを、前記第1分光器を透過する工作光ビームに合成する顕微接物レンズ組と、
前記第1分光器の上方に設けられ、前記工作光ビームを第1子光ビームと第2子光ビームとに分ける第2分光器と、
前記第1子光ビームの行進経路に設けられて前記第1子光ビームを受け取って、前記第1子光ビームの第1干渉区域において、単色干渉映像を撮る単色映像センシングデバイスと、
前記第2子光ビームの行進経路に設けられて前記第2子光ビームを受け取って、前記第2子光ビームの第2干渉区域外に無干渉映像を撮る映像センシングデバイスと
を含む撮影装置。 - 前記顕微接物レンズ組に結合されるアクチュエータを更に含むことを特徴とする、請求項1に記載の撮影装置。
- 前記第2分光器から分光される第2子光ビームを前記映像センシングデバイスに反射する反射器を更に含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の撮影装置。
- 前記映像センシングデバイスは延長リングを有し、前記延長リングにより前記映像センシングデバイスの撮影絞りを調整できることを特徴とする、請求項1から3の何れか1項に記載の撮影装置。
- 前記映像センシングデバイスは単色映像センシングデバイスであることを特徴とする、請求項1から4の何れか1項に記載の撮影装置。
- 前記映像センシングデバイスはカラー映像センシングデバイスであることを特徴とする、請求項1から4の何れか1項に記載の撮影装置。
- 請求項1から6の何れか1項に記載の撮影装置により測量物に対してスキャンを行う撮影方法であって、
複数のスキャン位置に前記顕微接物レンズ組を順次に移動するステップと、
前記単色映像センシングデバイスにより前記第1子光ビームを受け取って、前記第1子光ビームを受け取ったスキャン位置に応じて前記測量物の一系列の単色干渉映像を得るステップと、
前記映像センシングデバイスにより前記第2子光ビームを受け取って、前記第2子光ビームを受け取ったスキャン位置に応じて前記測量物の一系列の無干渉映像を得るステップと、
前記一系列の単色干渉映像に対して表面輪郭の還元計算を行って、前記測量物の単色立体的輪郭映像を得るステップと、
前記一系列の無干渉映像に対して映像比べ計算を行って、前記一系列の無干渉映像における複数の明瞭部分を取出して、少なくとも一つの平面的明瞭映像を合成するステップと
を含むことを特徴とする撮影方法。 - 前記映像センシングデバイスがカラー映像センシングデバイスである場合には、前記撮影方法は、更に、前記平面的明瞭映像から顔色及び位置の少なくとも一方の情報を取出して、前記顔色及び位置の少なくとも一方の情報により前記単色立体的輪郭映像に対して顔色模倣の計算を行って、カラー立体的輪郭映像を得るステップを含むことを特徴とする、請求項7に記載の撮影方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW099121180A TWI500963B (zh) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | An image capturing device and method |
TW099121180 | 2010-06-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012013696A true JP2012013696A (ja) | 2012-01-19 |
JP5799473B2 JP5799473B2 (ja) | 2015-10-28 |
Family
ID=45352263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011140321A Active JP5799473B2 (ja) | 2010-06-29 | 2011-06-24 | 撮影装置とその撮影方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8638445B2 (ja) |
JP (1) | JP5799473B2 (ja) |
TW (1) | TWI500963B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016102713A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | Ntn株式会社 | 形状等測定装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9719777B1 (en) * | 2014-05-30 | 2017-08-01 | Zygo Corporation | Interferometer with real-time fringe-free imaging |
TWI573998B (zh) * | 2015-12-24 | 2017-03-11 | 致茂電子股份有限公司 | 光學檢測裝置 |
CN106023225B (zh) | 2016-05-30 | 2019-03-08 | 武汉沃亿生物有限公司 | 生物样本显微成像的自动修改成像区间方法 |
TWI735390B (zh) * | 2020-12-01 | 2021-08-01 | 財團法人金屬工業研究發展中心 | 影像定位系統之即時定位補償方法及可即時定位補償之影像定位系統 |
DE102022107897B4 (de) | 2022-04-01 | 2023-12-28 | Besi Switzerland Ag | Messvorrichtung basierend auf kombinierter optischer 2D- und 3D-Bilderfassungsverfahren, Fertigungssystem und Inspektionssystem |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0764144A (ja) * | 1993-08-25 | 1995-03-10 | Kyocera Corp | カメラのフラッシュ同調撮影装置 |
JPH07333164A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Hitachi Ltd | 検査方法および検査装置 |
JP2000292705A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-20 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
JP2005172805A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-30 | Olympus Corp | 試料情報測定方法および走査型共焦点顕微鏡 |
JP2006266861A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Topcon Corp | 光画像計測装置 |
JP2007033217A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Keyence Corp | 干渉計測装置及び干渉計測方法 |
JP2008275538A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 三次元形状測定器及び試料画像構築装置 |
JP2009293925A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Nidec-Read Corp | 光学検査装置の誤差補正装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6690473B1 (en) * | 1999-02-01 | 2004-02-10 | Sensys Instruments Corporation | Integrated surface metrology |
CN101349540B (zh) * | 2007-07-18 | 2011-06-29 | 财团法人工业技术研究院 | 影像调整方法及影像撷取装置 |
CN101726260A (zh) * | 2008-10-13 | 2010-06-09 | 陈亮嘉 | 抗振型干涉扫描***及其方法 |
US8004688B2 (en) * | 2008-11-26 | 2011-08-23 | Zygo Corporation | Scan error correction in low coherence scanning interferometry |
US20110032534A1 (en) * | 2009-05-19 | 2011-02-10 | Camtek Ltd | System and a method for broadband interferometry |
-
2010
- 2010-06-29 TW TW099121180A patent/TWI500963B/zh active
-
2011
- 2011-06-20 US US13/163,862 patent/US8638445B2/en active Active
- 2011-06-24 JP JP2011140321A patent/JP5799473B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0764144A (ja) * | 1993-08-25 | 1995-03-10 | Kyocera Corp | カメラのフラッシュ同調撮影装置 |
JPH07333164A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Hitachi Ltd | 検査方法および検査装置 |
JP2000292705A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-20 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
JP2005172805A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-30 | Olympus Corp | 試料情報測定方法および走査型共焦点顕微鏡 |
JP2006266861A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Topcon Corp | 光画像計測装置 |
JP2007033217A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Keyence Corp | 干渉計測装置及び干渉計測方法 |
JP2008275538A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 三次元形状測定器及び試料画像構築装置 |
JP2009293925A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Nidec-Read Corp | 光学検査装置の誤差補正装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016102713A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | Ntn株式会社 | 形状等測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5799473B2 (ja) | 2015-10-28 |
TW201200902A (en) | 2012-01-01 |
TWI500963B (zh) | 2015-09-21 |
US20110317169A1 (en) | 2011-12-29 |
US8638445B2 (en) | 2014-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3531066B1 (en) | Three-dimensional scanning method including a plurality of lasers with different wavelengths, and scanner | |
JP5799473B2 (ja) | 撮影装置とその撮影方法 | |
JP6299111B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6769971B2 (ja) | 焦点体積方法を用いたウェーハ検査 | |
KR102016802B1 (ko) | 편광 이미지 취득 장치, 패턴 검사 장치, 편광 이미지 취득 방법 및 패턴 검사 방법 | |
JP2009031150A (ja) | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、三次元形状計測プログラム、および記録媒体 | |
TWI636231B (zh) | 物體表面或內部光反射介面三維形貌偵測光學系統與方法 | |
JP2008096439A (ja) | 物体の3次元座標を判定するための方法および装置 | |
US20120288157A1 (en) | Image processing apparatus, image processing method, and image processing program | |
CN107121084B (zh) | 测量方法和测量程序 | |
JP5447516B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、プログラム、および、顕微鏡 | |
JPH10290389A (ja) | マルチフォーカス画像作成方法及び画像作成装置 | |
WO2016067508A1 (ja) | 画像形成システム、画像形成方法、撮像素子、およびプログラム | |
US11159712B2 (en) | Range differentiators for auto-focusing in optical imaging systems | |
CN107367243B (zh) | 非接触三维形状测定机及方法 | |
JP2012002676A (ja) | マスク欠陥検査装置およびマスク欠陥検査方法 | |
JPWO2020183711A1 (ja) | 画像処理装置及び3次元計測システム | |
US11356593B2 (en) | Methods and systems for single frame autofocusing based on color- multiplexed illumination | |
CN117571744A (zh) | 一种用于盖板玻璃双表面缺陷光学检测方法 | |
JP2021077859A (ja) | リフレクトメトリ終了点イメージング装置及び方法 | |
JP2011133360A (ja) | 距離計測装置、距離計測方法、及びプログラム | |
JP4197898B2 (ja) | 顕微鏡、三次元画像生成方法、三次元画像を生成する制御をコンピュータに行わせるプログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体 | |
JP2011107573A (ja) | 光軸調整システム、光軸調整装置、光軸調整方法、及びプログラム | |
CN102313524A (zh) | 一种取像装置与方法 | |
JP2007102102A (ja) | 共焦点顕微鏡及び合焦カラー画像の生成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130604 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150521 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5799473 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |