JP2008261838A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 一端部または両端部が固定された梁状であり、質量を有した物質の付着または吸着により振動特性が変化する振動子と、
   前記振動子の近傍に設けられて、設定された振動特性で振動するアクチュエータと、
   前記アクチュエータと前記振動子を連結し、前記アクチュエータの振動を前記振動子に伝達することで前記振動子を振動させる連結部材と、
   前記振動子における振動の変化を検出することで、前記物質を検出する検出部と、
   を備えることを特徴とする検出センサ。
2. 前記アクチュエータは、一端部または両端部が固定された梁状のアクチュエータ本体と、
   前記アクチュエータ本体に振動を生じさせるために前記アクチュエータ本体の表面に設けられ、圧電材料からなる圧電層と、
   前記アクチュエータ本体の表面に設けられ、前記圧電層に電圧を印加する駆動電極と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の検出センサ。
3. 前記圧電層に内在する残留応力による前記アクチュエータ本体の反りを矯正するための矯正部材が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の検出センサ。
4. 前記アクチュエータと前記振動子は、前記振動子が振動するときに前記振動子の表面近傍に形成される境界層の厚さよりも大きな間隔を隔てて設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の検出センサ。
5. 前記検出部は、前記振動子の固定端部近傍に設けられ、前記振動子の振動によって生じる応力変化を検出するピエゾ抵抗素子からなることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の検出センサ。
6. 前記連結部材は、前記振動子が前記アクチュエータによって２次以上の高次の振動モードで駆動されるときに、前記振動子の振幅がゼロとなる節の位置またはその近傍にて前記振動子に連結されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の検出センサ。
7. 前記検出部は、前記振動子に付着した前記物質の量を検出することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の検出センサ。
8. 前記物質が特定の分子、あるいは特定の特性または特徴を有する複数種の分子であることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の検出センサ。
9. 一端部または両端部が固定された梁状の振動子本体と、
   前記振動子本体の近傍に設けられて、設定された振動特性で振動するアクチュエータと、
   前記アクチュエータと前記振動子本体を連結し、前記アクチュエータの振動を前記振動子本体に伝達することで前記振動子本体を振動させる連結部材と、
   を備えることを特徴とする振動子。
10. 前記アクチュエータは、前記振動子の両端部を結ぶ軸線方向と交差する方向に配置され、前記アクチュエータの一端部または他端部が固定された梁状であることを特徴とする請求項１に記載の検出センサ。
11. 前記アクチュエータは、前記振動子の軸線方向とほぼ直交する方向に配され、前記アクチュエータの一端部が固定された梁状であることを特徴とする請求項１０に記載の検出センサ。
12. 前記アクチュエータが少なくとも３点によって支持されていることを特徴とする請求項１に記載の検出センサ。