JP2010181210A5 - センサ - Google Patents

Claims (9)

1. ２つの基端部、前記基端部間を延長している１対の振動ビーム、及び前記振動ビームの表面に配置されている励振電極からなり、前記振動ビームにその両端から作用する力の変化に応じて共振周波数が変化する双音叉振動片と、
   固定端部、前記固定端部に関して変位可能な自由端部、前記固定両端部と前記自由端部間に延在している梁部、及び前記梁部に幅方向に沿って設けられている薄肉部からなり、前記自由端部に作用する力に応じて該自由端部が変位するように前記薄肉部が撓む片持ち梁と、を有し、
   前記双音叉振動片と前記片持ち梁とを、前記振動ビームと前記梁部との間に隙間を画定しつつ、一方の前記基端部を前記固定端部にかつ他方の前記基端部を前記自由端部に固定することによって一体化したセンサ本体を備え、
   前記双音叉振動片の厚さｔと前記片持ち梁の前記薄肉部の厚さｂとの関係が、０．１≦ｂ／ｔ≦０．７であることを特徴とするセンサ。
2. 前記双音叉振動片の厚さｔと前記薄肉部の厚さｂとの関係が、０．１≦ｂ／ｔ≦０．４であることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
3. 前記片持ち梁が前記双音叉振動片とヤング率の同じ材料からなることを特徴とする請求項１または２に記載のセンサ。
4. 前記双音叉振動片と前記片持ち梁とが水晶材料からなることを特徴とする請求項３に記載のセンサ。
5. ２つの前記センサ本体と、中間支持板とを備え、前記各センサ本体が、それぞれ前記片持ち梁の前記固定端部において前記中間支持板の各面に一体に固定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のセンサ。
6. 前記２つのセンサ本体が、互いに前記中間支持板を挟んで対向する位置にかつ前記各片持ち梁の前記固定端部及び自由端部をそれぞれ同じ側に配置して、前記中間支持板の各面に固定され、前記各センサ本体の前記双音叉振動片がそれぞれ発振する周波数を差動的に検出する差動検出回路を更に備えることを特徴とする請求項５に記載のセンサ。
7. 前記センサ本体を収容しているパッケージを備えていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のセンサ。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項のセンサは、加速度を検知するものであることを特徴とする。
9. 請求項１乃至８のいずれか一項のセンサは、姿勢変化を検知するものであることを特徴とする。