JP2008246744A - 液体吐出装置及び液体吐出装置製造方法 - Google Patents
液体吐出装置及び液体吐出装置製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】キャビティユニット2上に設けられ、表面端子61として設けられた共通電極51が形成された圧電アクチュエータ4と、圧電アクチュエータ4の反対側の面上に重ねられ、共通電極61に対向して共通電極用配線91が形成された基板8とを備え、共通電極用配線91が、複数の導電性ろう材部71を介して共通電極61に接合されてなる液体吐出装置1において、複数の導電性ろう材部71の少なくとも一つが第1導電性ろう材部71′であり、共通電極61及び共通電極用配線91は、第1導電性ろう材部71′が共通電極用配線91と共通電極61との間に介在され、その間から第1導電性ろう材部71′の余剰部分が圧電アクチュエータ4の側端面4cを含んでキャビティユニット2の上面2aにまで達した状態で接合される。
【選択図】図8
Description
2 キャビティユニット
4 圧電アクチュエータ
6 ヘッドユニット(液体吐出ヘッド)
8 配線基板(基板)
27b スリット溝
34 圧力室
51 共通電極
61 共通電極用端子(表面電極)
61a 左側部(島部)
61b 右側部(島部)
61c 中央部(島部)
71 共通電極用バンプ(導電性ろう材部)
71′ 第1バンプ(第1の導電性ろう材部)
91 共通電極用配線
101 補強フレーム
Claims (6)
- 液滴を吐出するノズル、及び該ノズルと連通する圧力室を有するキャビティユニットと、
前記キャビティユニット上に設けられ、前記キャビティユニット側とは反対側の面上に表面電極として設けられた共通電極を有する圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータにおける前記反対側の面上に重ねられ、前記共通電極に対向する共通電極用配線が設けられた基板と、を備え、
前記共通電極用配線が複数の導電性ろう材部を介して前記共通電極に接合されてなる液体吐出装置において、
前記複数の導電性ろう材部のうちの少なくとも一つが、第1導電性ろう材部であり、
前記共通電極用配線及び前記共通電極は、前記第1導電性ろう材部が、前記共通電極用配線及び前記共通電極の間に介在すると共にその間から前記圧電アクチュエータの側端面を含んで前記キャビティユニットの上面に達した状態で、接合されていることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記共通電極が、前記圧電アクチュエータにおける前記反対側の面のいずれか一辺の端部近傍に、該一辺に沿って帯状に延在し、前記圧電アクチュエータの成形材よりも前記第1導電性ろう材部のろう材に対する濡れ性の高い導電材から成形されており、
前記複数の導電性ろう材部が、前記共通電極の延在方向に相互に間隔をおいて設けられ、
前記共通電極が、前記延在方向にいくつかに分断されて形成された複数の島部からなり、
該複数の島部のうち少なくとも1つが、前記延在方向と直交する方向に延びて前記反対側の面上を前記一辺の端部に達するまで設けられ、該島部に溶着される導電性ろう材部が前記第1導電性ろう材部であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 - 前記キャビティユニットの上端面における第1導電性ろう材部が達する部分に、少なくとも一つのスリット溝が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置。
- 前記第1導電性ろう材部が、他の導電性ろう材部よりも体積が大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出装置。
- 前記キャビティユニットの上端面には、その内壁に前記圧電アクチュエータを表出するよう、前記圧電アクチュエータの外形状より略大きい貫通孔が形成された平面視枠形状の保持部材が取り付けられていて、
前記スリット溝は、前記アクチュエータと前記貫通孔の内壁との間の前記キャビティユニットの上端面に形成されていることを特徴とする請求項3乃至4のいずかれに記載の液滴吐出装置。 - 液滴を吐出するノズル、及び該ノズルと連通する圧力室を有したキャビティユニットと、前記キャビティユニット上に設けられ、前記キャビティユニット側とは反対側の面上に表面電極として設けられた共通電極が形成された圧電アクチュエータとを備えて構成される液体吐出ヘッドに対し、共通電極用配線が設けられた基板を接合することによって液体吐出装置を製造する液体吐出装置製造方法であって、
前記共通電極用配線上に複数の導電性ろう材のバンプを設ける第1工程と、
前記複数の導電性ろう材のバンプを前記共通電極と対向させるようにして、前記基板を前記圧電アクチュエータの前記反対側の面上に設置する第2工程と、
前記複数の導電性ろう材のバンプを溶融し、前記基板を前記圧電アクチュエータにおける前記反対側の面上に接合する第3工程と、を含み、
前記第3工程において、前記複数の導電性ろう材のバンプの少なくとも一つを、前記共通電極及び前記共通電極用配線の間に介在させ、且つ、その間から前記圧電アクチュエータの側端面を通過して前記キャビティユニットの上端面にまで流れ出させることを特徴とする液体吐出装置製造方法。
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