JP4196809B2 - ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1及び特許文献2では、複数のヘッドチップによってラインヘッドを形成するヘッドアセンブリの技術が開示されている。
以上の構成において、流路板の共通流路を介してインクタンクから各インク液室内にインクが満たされる。そして、そのインク液室内のインクが発熱抵抗体によって加熱され、この加熱時のエネルギーによってノズルからインクが吐出される。
また、ヘッドアセンブリの部分的な故障であっても、全体を交換することとなり、修理の費用が高額になるという問題がある。
このような高温の環境下は、半導体部分を有するヘッドチップの性能や寿命、故障に対して悪影響を及ぼし、また、共通流路内のインクを変質させる要因にもなる。
本発明の1つである請求項1の発明は、複数のエネルギー発生素子を一定間隔で一方向に配列したヘッドチップと、液滴を吐出するためのノズルを形成したノズルシートと、前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズルシートとの間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と、前記ノズルシートの一方の面に貼り合わせられることにより前記ノズルシートを支持し、前記ヘッドチップを内部に配置するためのヘッドチップ配置孔が形成されたモジュールフレームと、前記モジュールフレームの前記ノズルシートとの貼合せ面と反対側の面に積層され、前記ヘッドチップの全ての前記液室と連通する共通液体流路を形成するためのバッファタンクとを備え、前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズルから吐出するヘッドモジュールであって、前記バッファタンクは、前記モジュールフレームに積層される下面側が開口されるとともに、積層方向の断面が側壁及び天壁によって逆凹形となるように形成されることで、前記共通液体流路を形成し、前記バッファタンクの側壁の内面は、前記ヘッドチップの上面が全て前記共通液体流路内の液体と接するように、前記ヘッドチップが配置された前記ヘッドチップ配置孔内に嵌まり込むことのない形状となされ、前記バッファタンクの側壁の外面は、前記モジュールフレームの外形に沿った形状となされているヘッドモジュールである。
さらにまた、請求項5の発明の液体吐出装置は、上記請求項4の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
さらに請求項4又は請求項5の発明においては、上記請求項1のヘッドモジュールを直列に繋ぐことで、液体吐出ヘッドが形成される。
ヘッドチップ20は、シリコン等からなる半導体基板21と、この半導体基板21の一方の面に析出形成された発熱抵抗体22(本発明におけるエネルギー発生素子に相当するもの)とを備えている。半導体基板21の発熱抵抗体22が形成された面と同一面側であって発熱抵抗体22が形成された縁部と反対側の縁部には、アルミニウムからなる接続パッド23が形成されている。そして、発熱抵抗体22とこの接続パッド23とは、半導体基板21上に形成された導体部(図示せず)を介して接続されている。
図3は、1つのヘッドモジュール10を示す平面図及び正面図である。本実施形態のヘッドモジュール10は、内部に配置された4つのヘッドチップ20と、モジュールフレーム11と、ノズルシート13と、バッファタンク15とから構成されている。
また、各ヘッドチップ配置孔11b内に形成されるノズル13a列のノズル13a間ピッチは、ヘッドチップ20の発熱抵抗体22の配列ピッチと同一(解像度が600dpiのヘッドモジュール10とする場合には、約42.3μm)となるように形成する。
なお、本実施形態では、1つのモジュールフレーム11に対して4つのヘッドチップ配置孔11bを形成したが、本実施形態より多くヘッドチップ配置孔11bを形成したときであっても、上記関係を満たすようにする。
また、図9に示すように、バッファタンク15の天壁には、穴15bが形成されており、この穴15bを介してインクタンク(図示せず)から共通液体流路15a内にインクが供給される。
図11は、ヘッドモジュール10を並べて配置した状態を示す平面図及び正面図である。図11中、平面図では複数のヘッドモジュール10を図示しているが、正面図では、1つのヘッドモジュール10が配置された状態を図示している。
図12に示すように、ヘッドモジュール10のモジュールフレーム11は、バッファタンク15の外面から全体的に突出する鍔部11cを有している。そして、ヘッドモジュール配置孔2aの大きさは、バッファタンク15よりも若干大きく、モジュールフレーム11よりも若干小さくなっている。
(1)モジュールフレーム11には4つのヘッドチップ配置孔11bを形成することで、1つのヘッドモジュール10には4つのヘッドチップ20が搭載されるようにした。しかし、これに限らず、1つのヘッドモジュール10に対してヘッドチップ20を何個搭載しても良い。
図13に示すヘッドモジュール10は、バッファタンク15とモジュールフレーム11とが同一外形になるようにしたものであり、それによってバッファタンク15がより拡大される。したがって、内部に一時貯留されるインク量が一層増え、さらなる冷却効果の向上が期待できる。
2 ヘッドフレーム
2a ヘッドモジュール配置孔
3 プリント基板
10 ヘッドモジュール
11 モジュールフレーム
11a 係合部
11b ヘッドチップ配置孔
11c 鍔部
12 バリア層
13 ノズルシート
13a ノズル
13b 配線パターン部
13c 電極
13d 開口部
14 インク液室
15 バッファタンク
15a 共通液体流路
15b 穴
16 流路
20 ヘッドチップ
21 半導体基板
22 発熱抵抗体
23 接続パッド
31 プリント基板
31a 導電体
C ベース治具
Claims (6)
- 複数のエネルギー発生素子を一定間隔で一方向に配列したヘッドチップと、
液滴を吐出するためのノズルを形成したノズルシートと、
前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズルシートとの間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と、
前記ノズルシートの一方の面に貼り合わせられることにより前記ノズルシートを支持し、前記ヘッドチップを内部に配置するためのヘッドチップ配置孔が形成されたモジュールフレームと、
前記モジュールフレームの前記ノズルシートとの貼合せ面と反対側の面に積層され、前記ヘッドチップの全ての前記液室と連通する共通液体流路を形成するためのバッファタンクと
を備え、
前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズルから吐出するヘッドモジュールであって、
前記バッファタンクは、前記モジュールフレームに積層される下面側が開口されるとともに、積層方向の断面が側壁及び天壁によって逆凹形となるように形成されることで、前記共通液体流路を形成し、
前記バッファタンクの側壁の内面は、前記ヘッドチップの上面が全て前記共通液体流路内の液体と接するように、前記ヘッドチップが配置された前記ヘッドチップ配置孔内に嵌まり込むことのない形状となされ、
前記バッファタンクの側壁の外面は、前記モジュールフレームの外形に沿った形状となされている
ヘッドモジュール。 - 請求項1に記載のヘッドモジュールにおいて、
前記バッファタンクと前記モジュールフレームとの積層方向から見た前記バッファタンクの平面形状が、前記モジュールフレームの外形と同一形である
ヘッドモジュール。 - 請求項1に記載のヘッドモジュールにおいて、
前記バッファタンクと前記モジュールフレームとの積層方向から見た前記バッファタンクの平面形状が、前記モジュールフレームの外形よりも小さい相似形である
ヘッドモジュール。 - 複数のヘッドモジュールと、
直列に配置された複数の前記ヘッドモジュールを内部に配置するためのヘッドモジュール配置孔が形成され、そのヘッドモジュール配置孔内に配置された各前記ヘッドモジュールと貼り合わせられたヘッドフレームと
を備えるとともに、
前記ヘッドモジュールは、
複数のエネルギー発生素子を一定間隔で一方向に配列したヘッドチップと、
液滴を吐出するためのノズルを形成したノズルシートと、
前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズルシートとの間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と、
前記ノズルシートの一方の面に貼り合わせられることにより前記ノズルシートを支持し、前記ヘッドチップを内部に配置するためのヘッドチップ配置孔が形成されたモジュールフレームと、
前記モジュールフレームの前記ノズルシートとの貼合せ面と反対側の面に積層され、前記ヘッドチップの全ての前記液室と連通する共通液体流路を形成するためのバッファタンクと
を備え、
前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズルから吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記バッファタンクは、前記モジュールフレームに積層される下面側が開口されるとともに、積層方向の断面が側壁及び天壁によって逆凹形となるように形成されることで、前記共通液体流路を形成し、
前記バッファタンクの側壁の内面は、前記ヘッドチップの上面が全て前記共通液体流路内の液体と接するように、前記ヘッドチップが配置された前記ヘッドチップ配置孔内に嵌まり込むことのない形状となされ、
前記バッファタンクの側壁の外面は、前記モジュールフレームの外形に沿った形状となされており、
前記モジュールフレームは、前記バッファタンクの外面から部分的又は全体的に突出する鍔部を有し、
各前記モジュールフレームの各前記鍔部と前記ヘッドフレームとが貼り合わせられて、複数の前記ヘッドモジュールが前記ヘッドモジュール配置孔内に配置されている
液体吐出ヘッド。 - 複数のエネルギー発生素子を一定間隔で一方向に配列したヘッドチップと、
液滴を吐出するためのノズルを形成したノズルシートと、
前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズルシートとの間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と、
前記ノズルシートの一方の面に貼り合わせられることにより前記ノズルシートを支持し、前記ヘッドチップを内部に配置するためのヘッドチップ配置孔が形成されたモジュールフレームと、
前記モジュールフレームの前記ノズルシートとの貼合せ面と反対側の面に積層され、前記ヘッドチップの全ての前記液室と連通する共通液体流路を形成するためのバッファタンクと
を備えるとともに、
前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズルから吐出する液体吐出装置であって、
前記バッファタンクは、前記モジュールフレームに積層される下面側が開口されるとともに、積層方向の断面が側壁及び天壁によって逆凹形となるように形成されることで、前記共通液体流路を形成し、
前記バッファタンクの側壁の内面は、前記ヘッドチップの上面が全て前記共通液体流路内の液体と接するように、前記ヘッドチップが配置された前記ヘッドチップ配置孔内に嵌まり込むことのない形状となされ、
前記バッファタンクの側壁の外面は、前記モジュールフレームの外形に沿った形状となされており、
前記ヘッドチップ、前記ノズルシート、前記液室形成部材、前記モジュールフレーム、及び前記バッファタンクによって構成されるヘッドモジュールを、複数直列に配置した液体吐出ヘッドを備える
液体吐出装置。 - 複数のヘッドモジュールと、
直列に配置された複数の前記ヘッドモジュールを内部に配置するためのヘッドモジュール配置孔が形成され、そのヘッドモジュール配置孔内に配置された各前記ヘッドモジュールと貼り合わせられたヘッドフレームと
を備えるとともに、
前記ヘッドモジュールは、
複数のエネルギー発生素子を一定間隔で一方向に配列したヘッドチップと、
液滴を吐出するためのノズルを形成したノズルシートと、
前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズルシートとの間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と、
前記ノズルシートの一方の面に貼り合わせられることにより前記ノズルシートを支持し、前記ヘッドチップを内部に配置するためのヘッドチップ配置孔が形成されたモジュールフレームと、
前記モジュールフレームの前記ノズルシートとの貼合せ面と反対側の面に積層され、前記ヘッドチップの全ての前記液室と連通する共通液体流路を形成するためのバッファタンクと
を備え、
前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズルから吐出する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記バッファタンクは、前記モジュールフレームに積層される下面側が開口されるとともに、積層方向の断面が側壁及び天壁によって逆凹形となるように形成されることで、前記共通液体流路を形成し、
前記バッファタンクの側壁の内面は、前記ヘッドチップの上面が全て前記共通液体流路内の液体と接するように、前記ヘッドチップが配置された前記ヘッドチップ配置孔内に嵌まり込むことのない形状となされ、
前記バッファタンクの側壁の外面は、前記モジュールフレームの外形に沿った形状となされており、
前記ノズルシートの一方の面に前記モジュールフレームを貼り合わせる第1工程と、
前記ヘッドチップ配置孔の領域内にある前記ノズルシートに、前記ヘッドチップ配置孔の領域内に前記ヘッドチップが配置されたときに前記ヘッドチップの各前記エネルギー発生素子と対向する位置に前記ノズルが配置されるようにノズル列を形成する第2工程と、
前記ヘッドチップの各前記エネルギー発生素子と、前記ヘッドチップ配置孔の領域内にある前記ノズルシートに形成された各前記ノズルとが対向するように、前記ヘッドチップ配置孔内に、前記液室形成部材を設けた前記ヘッドチップを配置する第3工程と、
前記バッファタンクを前記モジュールフレームと前記ノズルシートとの貼合わせ面と反対側の面に配置する第4工程と
を含む工程により前記ヘッドモジュールを形成するとともに、
前記第4工程により形成された前記ヘッドモジュールを前記ヘッドフレームの前記ヘッドモジュール配置孔内に配置し、前記バッファタンクの外面から部分的又は全体的に突出する前記モジュールフレームの鍔部と前記ヘッドフレームとを貼り合わせる第5工程と
を含む液体吐出ヘッドの製造方法。
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