JP2008229480A - Liquid droplet discharge head and liquid droplet discharge device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid droplet discharge head capable of uniformizing the amount of the liquid droplets supplied to a substrate when the liquid droplet discharge head is moved to the substrate from the standby position separated from the substrate to arrange liquid droplets to the substrate, and a liquid droplet discharge device. <P>SOLUTION: A cartridge heater H is provided at the vicinal position of the nozzle plate 41 of a liquid droplet discharge head main body 40a and a Peltier element PT is provided at the position of the liquid droplet discharge head main body 40a separated from the cartridge heater H and the nozzle plate 41. When the liquid droplet discharge head 40 of which the liquid material is heated by the cartridge heater H stands by, the Peltier element PT is used to adjust the peripheral temperature of a standby stage to set the liquid droplet discharge head 40 to the same state as a discharging state. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。   The present invention relates to a droplet discharge head and a droplet discharge device.

従来の注入法に代わって、液滴吐出装置を使用して液晶材料の液滴を吐出させて貼り合
わせ前のガラス基板上のシール材の枠内に充填することが知られている。
この種の液滴吐出装置には、ステージに載置したマザー基板と、マザー基板上にマトリ
クス状に区画形成された各セル内に液晶を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、マザー
基板（ステージ）と液滴吐出ヘッドを２次元的に相対移動させる機構を備えている。そし
て、液滴吐出ヘッドから吐出させた液晶の液滴を、各セルの四角枠状に形成されたシール
部材内に、所定に量だけ配置させる。このとき、各セルに配置される液晶の液滴の量は、
全て同じである必要がある。そして、マザー基板と対向基板を貼り合わせた後、セル毎に
切断して複数の液晶パネルが製造される。 Instead of the conventional injection method, it is known that a droplet of a liquid crystal material is discharged using a droplet discharge device and filled in a frame of a sealing material on a glass substrate before bonding.
This type of liquid droplet ejection apparatus includes a mother substrate placed on a stage, a liquid droplet ejection head that ejects liquid crystal as liquid droplets in each cell partitioned and formed on the mother substrate in a matrix, and a mother substrate ( A mechanism for relatively moving the stage) and the droplet discharge head two-dimensionally. Then, a predetermined amount of liquid crystal droplets discharged from the droplet discharge head is disposed in a seal member formed in a square frame shape of each cell. At this time, the amount of liquid crystal droplets placed in each cell is
All need to be the same. And after bonding a mother board | substrate and a counter substrate, it cut | disconnects for every cell and several liquid crystal panels are manufactured.

ところで、液晶は常温において粘度が高く、粘度が高い状態で液滴吐出ヘッドから吐出
すると、吐出重量が安定せず、各セルに配置される液晶の液滴の量が均一にならない。ま
た、目詰まりの原因にもなる。そのため、液滴吐出装置では、液晶を加熱手段で加熱し粘
度を下げた状態にして液晶を液滴にして吐出させるようにしている（特許文献１）。特許
文献１では、液滴吐出ヘッドに加熱手段を設け、その加熱手段を制御手段で制御し常に、
液晶が所定の温度になるようにしている。
特開２００３−１９７９０号 公報 By the way, the liquid crystal has a high viscosity at room temperature, and when discharged from the droplet discharge head in a high viscosity state, the discharge weight is not stable, and the amount of liquid crystal droplets arranged in each cell is not uniform. It also causes clogging. Therefore, in the droplet discharge device, the liquid crystal is heated by a heating unit to reduce the viscosity, and the liquid crystal is discharged as droplets (Patent Document 1). In Patent Document 1, a heating unit is provided in the droplet discharge head, and the heating unit is controlled by the control unit.
The liquid crystal is set to a predetermined temperature.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-19790

ところで、液滴吐出ヘッドを、マザー基板から離れた待機位置（待機ステージ）からマ
ザー基板に移動して、マザー基板の各セルへの液滴の配置を開始する際には、液滴吐出ヘ
ッドから吐出する液滴の吐出量がすでに安定していることが要求される。そのため、吐出
ヘッドが待機位置で待機している時は、その待機位置での周辺の温度を検出し、加熱手段
を駆動して、液晶の温度をフィードバックして温度制御が行われている。 By the way, when the droplet discharge head is moved from the standby position (standby stage) away from the mother substrate to the mother substrate and the placement of the droplets on each cell of the mother substrate is started, the droplet discharge head is It is required that the discharge amount of the droplets to be discharged is already stable. Therefore, when the ejection head is waiting at the standby position, the temperature control is performed by detecting the temperature around the standby position, driving the heating means, and feeding back the temperature of the liquid crystal.

しかしながら、待機位置（待機ステージ）からマザー基板に移動して各セルへの液滴の
吐出を開始するとき、待機位置（待機ステージ）での液晶の温度は、移動先で下がる。
これは、今まで、待機位置におけるその周辺と吐出ヘッドとの間での熱収支が安定して
行われていたのが、マザー基板上に移動することによって、その周辺と吐出ヘッドとの間
での熱収支が急激に大きく変動し、温度制御が追従できないことに起因して、液晶の温度
が下がる。 However, when moving from the standby position (standby stage) to the mother substrate and starting discharge of droplets to each cell, the temperature of the liquid crystal at the standby position (standby stage) decreases at the destination.
Up to now, the heat balance between the periphery and the discharge head at the standby position has been stably performed. The temperature of the liquid crystal is lowered due to a sudden and large fluctuation in the heat balance and the inability to follow the temperature control.

また、吐出ヘッドのノズルプレートは、非常に薄い金属板で形成され、熱の放熱が高い
く吐出ヘッドにある液晶は熱を奪われることから、さらに液晶の温度が下がる。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板から離れ
た待機位置から基板に移動して基板に液滴の配置するとき、基板に供給される液滴の量を
一様にすることができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供することにある。 Further, the nozzle plate of the discharge head is formed of a very thin metal plate, and the heat dissipation is high and the liquid crystal in the discharge head is deprived of heat, so that the temperature of the liquid crystal is further lowered.
The present invention has been made to solve the above-described problems, and its object is to move the droplets from the standby position away from the substrate to the substrate and place the droplets on the substrate. It is an object of the present invention to provide a droplet discharge head and a droplet discharge device capable of making the amount uniform.

本発明の液滴吐出ヘッドは、液滴吐出ヘッド本体に貯留された液状体を、前記液滴吐出
ヘッド本体に設けたノズルプレートに形成したノズルから液滴にして吐出する液滴吐出ヘ
ッドであって、前記液滴吐出ヘッド本体に、前記液状体を加熱する加熱手段と前記液状体
を冷却する冷却手段を設けた。 The droplet discharge head of the present invention is a droplet discharge head that discharges a liquid material stored in a droplet discharge head main body as droplets from nozzles formed on a nozzle plate provided in the droplet discharge head main body. The droplet discharge head main body is provided with heating means for heating the liquid material and cooling means for cooling the liquid material.

本発明の液滴吐出ヘッドによれば、加熱手段にて液状体が加熱されている液滴吐出ヘッ
ドが待機しているとき、冷却手段を使って、待機ステージの周辺の温度を調整することで
、液滴吐出ヘッドが吐出をしている状態と同じ状態にすることできる。 According to the droplet discharge head of the present invention, when the droplet discharge head in which the liquid is heated by the heating unit is on standby, the cooling unit is used to adjust the temperature around the standby stage. The liquid discharge head can be in the same state as the discharge state.

つまり、液滴吐出ヘッドが加熱手段にて液状体を加熱した状態で、待機ステージで待機
しているとき、液滴吐出ヘッドのノズルプレートと待機ステージとの間の狭い隙間（プラ
テンギャップ）に熱が溜まり、ノズルプレートの温度が高い温度状態で熱の収支バランス
が図られる。そして、液滴吐出ヘッドが移動しその移動先で吐出を開始するとき、その周
辺とノズルプレートとの間での熱収支が急激に大きく変動する。この変動は、その周辺に
液滴吐出ヘッドからの熱が奪われることから、ノズルプレートの温度が低い温度状態で熱
の収支バランスが図られるため、液状体の温度が下がる。 That is, when the liquid droplet discharge head is heated on the standby stage while the liquid material is heated by the heating means, heat is generated in the narrow gap (platen gap) between the nozzle plate of the liquid droplet discharge head and the standby stage. The heat balance is achieved in a temperature state where the temperature of the nozzle plate is high. Then, when the droplet discharge head moves and starts discharging at the destination, the heat balance between the periphery and the nozzle plate fluctuates greatly. This fluctuation causes the heat from the droplet discharge head to be taken away in the vicinity thereof, so that the balance of heat balance is achieved at a low temperature state of the nozzle plate, and the temperature of the liquid material is lowered.

そこで、待機中に、冷却手段を駆動制御して、ヘッド周辺を吐出している状態にするこ
とによって、待機位置から移動したとき、その前後で、液滴吐出ヘッドと該吐出ヘッドの
周辺との熱収支バランスは大きく崩れない。従って、加熱手段の制御量は低く抑えられ、
それに基づく液状体の温度変動も低く抑えられる。その結果、初期段階において液状体の
加熱温度が大きく変動することによる吐出量の変動を防止する。 Therefore, during standby, by driving and controlling the cooling means so that the periphery of the head is discharged, when moving from the standby position, before and after moving between the droplet discharge head and the periphery of the discharge head. The balance of heat balance does not collapse greatly. Therefore, the control amount of the heating means is kept low,
The temperature fluctuation of the liquid based on it is also suppressed low. As a result, it is possible to prevent fluctuations in the discharge amount due to large fluctuations in the heating temperature of the liquid in the initial stage.

この液滴吐出ヘッドにおいて、前記液滴吐出ヘッド本体のノズルプレート近傍部に前記
加熱手段を設けてもよい。
この液滴吐出ヘッドによれば、加熱手段をノズルプレートに近い位置に設け、冷却手段
をノズルプレートから離間した位置に設けたので、液滴吐出ヘッドの周辺温度を所望の温
度に制御できる。また、ノズルプレートが冷却手段にて熱が奪われ難くしていることから
、液状体の温度を変動幅の小さい安定した温度に維持制御できる。従って、終始安定した
吐出量の液滴を吐出することができる。その結果、短時間で安定した吐出量の液滴を吐出
できる。 In this droplet discharge head, the heating means may be provided in the vicinity of the nozzle plate of the droplet discharge head main body.
According to this droplet discharge head, since the heating means is provided at a position close to the nozzle plate and the cooling means is provided at a position separated from the nozzle plate, the ambient temperature of the droplet discharge head can be controlled to a desired temperature. In addition, since the nozzle plate makes it difficult for heat to be taken away by the cooling means, the temperature of the liquid material can be maintained and controlled at a stable temperature with a small fluctuation range. Accordingly, it is possible to discharge a droplet having a stable discharge amount from start to finish. As a result, it is possible to discharge a droplet having a stable discharge amount in a short time.

この液滴吐出ヘッドにおいて、前記液状体は、液晶であってもよい。
この液滴吐出ヘッドによれば、液晶を液滴にして吐出できる粘性の温度に、安定して制
御でき、吐出できる粘性を一定に維持できることから、常に吐出量が一定の液晶の液滴を
吐出できる。 In the droplet discharge head, the liquid material may be a liquid crystal.
According to this droplet discharge head, liquid crystal droplets can be stably controlled at a viscosity temperature that can be discharged as droplets, and the dischargeable viscosity can be kept constant. it can.

本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッド本体に貯留された液状体を、前記液滴吐出ヘ
ッド本体に設けたノズルプレートに形成したノズルから液滴にして吐出する液滴吐出ヘッ
ドを備え、前記ノズルから液滴を基板に吐出して、該基板に液状体を配置する液滴吐出装
置であって、前記液滴吐出ヘッド本体には、前記液状体を加熱する加熱手段と、前記液状
体を冷却する冷却手段と、前記液滴吐出ヘッドが待機状態の時、前記加熱手段と前記冷却
手段を適宜選択し、前記液状体を温度制御し、かつ前記液滴吐出ヘッドが吐出状態の時、
前記加熱手段を選択して前記液状体を温度制御する制御手段とを設けた。 The droplet discharge apparatus of the present invention includes a droplet discharge head that discharges a liquid material stored in a droplet discharge head main body as a droplet from a nozzle formed on a nozzle plate provided in the droplet discharge head main body. A droplet discharge device that discharges droplets from the nozzle onto a substrate and disposes the liquid material on the substrate, the droplet discharge head main body including heating means for heating the liquid material, and the liquid When the cooling means for cooling the body and the droplet discharge head are in the standby state, the heating means and the cooling means are appropriately selected, the temperature of the liquid material is controlled, and the droplet discharge head is in the discharge state ,
Control means for controlling the temperature of the liquid material by selecting the heating means is provided.

本発明の液滴吐出装置によれば、加熱手段にて液状体が加熱されている液滴吐出ヘッド
が待機しているとき、冷却手段を使って、液状体の温度を液滴吐出ヘッドが吐出をしてい
る状態と同じ状態にすることできる。 According to the droplet discharge device of the present invention, when the droplet discharge head in which the liquid is heated by the heating unit is waiting, the droplet discharge head discharges the temperature of the liquid using the cooling unit. It can be in the same state as the

つまり、液滴吐出ヘッドが加熱手段にて液状体を加熱した状態で、待機ステージで待機
しているとき、液滴吐出ヘッドのノズルプレートと待機ステージとの間の狭い隙間（プラ
テンギャップ）に熱が溜まり、ノズルプレートの温度が高い温度状態で熱の収支バランス
が図られる。そして、液滴吐出ヘッドが移動しその移動先で吐出を開始するとき、その周
辺とノズルプレートとの間での熱収支が急激に大きく変動する。この変動は、その周辺に
液滴吐出ヘッドからの熱が奪われることから、ノズルプレートの温度が低い温度状態で熱
の収支バランスが図られるため、液状体の温度が下がる。 That is, when the liquid droplet discharge head is heated on the standby stage while the liquid material is heated by the heating means, heat is generated in the narrow gap (platen gap) between the nozzle plate of the liquid droplet discharge head and the standby stage. The heat balance is achieved in a temperature state where the temperature of the nozzle plate is high. Then, when the droplet discharge head moves and starts discharging at the destination, the heat balance between the periphery and the nozzle plate fluctuates greatly. This fluctuation causes the heat from the droplet discharge head to be taken away in the vicinity thereof, so that the balance of heat balance is achieved at a low temperature state of the nozzle plate, and the temperature of the liquid material is lowered.

そこで、待機中に、冷却手段を駆動制御して、液滴吐出ヘッドの周辺を吐出している状
態にすることによって、待機位置から移動したとき、その前後で、液滴吐出ヘッドと該吐
出ヘッドの周辺との熱収支バランスは大きく崩れない。従って、加熱手段の制御量は低く
抑えられ、それに基づく液状体の温度変動も低く抑えられ、終始安定した吐出量の液滴を
吐出することができる。その結果、短時間で安定した吐出量の液滴を吐出でき、基板上に
均一な液状体のパターンを、短時間に形成することができる。 Therefore, during the standby, the cooling means is driven and controlled so that the periphery of the droplet discharge head is discharged, so that the droplet discharge head and the discharge head before and after moving from the standby position are moved. The balance of heat balance with the surrounding area is not greatly broken. Therefore, the control amount of the heating means is kept low, the temperature fluctuation of the liquid based on it is also kept low, and a stable discharge amount of droplets can be discharged from start to finish. As a result, it is possible to discharge a droplet having a stable discharge amount in a short time, and a uniform liquid pattern can be formed on the substrate in a short time.

この液滴吐出装置において、前記液状体は、液晶であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液晶を液滴にして吐出できる粘性の温度に、短時間に到達
させることができるとともに、吐出できる粘性を一定に維持できることから、常に吐出量
が一定の液晶の液滴を吐出できる。従って、例えば、液晶表示装置における基板のシール
材に囲まれた領域に均一な液晶のパターンを、短時間に形成できる。 In this droplet discharge device, the liquid material may be a liquid crystal.
According to this droplet discharge device, it is possible to reach the viscosity temperature at which the liquid crystal can be discharged as droplets in a short time, and the dischargeable viscosity can be kept constant. Droplets can be ejected. Therefore, for example, a uniform liquid crystal pattern can be formed in a short time in a region surrounded by the sealing material of the substrate in the liquid crystal display device.

以下、本発明を具体化した液滴吐出装置の一実施形態を図１〜図８に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置を使って、表示パネルに液晶を配置して作製された液晶表示
装置１０について説明する。図１は、液晶表示装置１０の斜視図であり、図２は、図１の
２−２線断面図である。 Hereinafter, an embodiment of a droplet discharge device embodying the present invention will be described with reference to FIGS.
First, a liquid crystal display device 10 manufactured by arranging liquid crystal on a display panel using the droplet discharge device of the present invention will be described. 1 is a perspective view of the liquid crystal display device 10, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line 2-2 of FIG.

図１において、液晶表示装置１０の下側には、ＬＥＤなどの光源１１を有して四角板状
に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。バックライト１２の
上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の液晶パネル１３が備
えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１３に向かって照射さ
れるようになっている。 In FIG. 1, an edge light type backlight 12 having a light source 11 such as an LED and formed in a square plate shape is provided below the liquid crystal display device 10. Above the backlight 12, there is provided a square plate-like liquid crystal panel 13 that is formed to be approximately the same size as the backlight 12. The light emitted from the light source 11 is irradiated toward the liquid crystal panel 13.

液晶パネル１３には、相対向する素子基板１４と対向基板１５が備えられている。これ
ら素子基板１４と対向基板１５は、図２に示すように、光硬化性樹脂からなる四角枠状の
シール材１６を介して貼り合わされている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５
との間の間隙に、液晶１７が封入されている。 The liquid crystal panel 13 includes an element substrate 14 and a counter substrate 15 that face each other. As shown in FIG. 2, the element substrate 14 and the counter substrate 15 are bonded together via a square frame-shaped sealing material 16 made of a photocurable resin. These element substrate 14 and counter substrate 15
Liquid crystal 17 is sealed in the gap between the two.

素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相差板などの光学
基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２からの光を直線偏光
にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向基板１５側の側
面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ矢印方向）略全幅にわったって延びる複数の走
査線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に配設さ
れる走査線駆動回路１９に電気的に接続されるとともに、走査線駆動回路１９からの走査
信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。また、素子形成面１４ａには
、Ｙ矢印方向略全幅にわたって延びる複数のデータ線Ｌｙが配列形成されている。各デー
タ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線駆動回路２１に電気的に
接続されるとともに、データ線駆動回路２１からの表示データに基づくデータ信号が、所
定のタイミングで入力されるようになっている。素子形成面１４ａであって、走査線Ｌｘ
とデータ線Ｌｙの交差する位置には、対応する走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙに接続されて
マトリックス状に配列される複数の画素２２が形成されている。各画素２２には、それぞ
れＴＦＴなどの図示しない制御素子や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２３
が備えられている。 An optical substrate 18 such as a polarizing plate or a retardation plate is bonded to the lower surface (side surface on the backlight 12 side) of the element substrate 14. The optical substrate 18 is configured to emit light from the backlight 12 to the liquid crystal 17 as linearly polarized light. On the upper surface of the element substrate 14 (side surface on the counter substrate 15 side: element formation surface 14 a), a plurality of scanning lines Lx extending in substantially one direction (X arrow direction) are arranged. Each scanning line Lx is electrically connected to a scanning line driving circuit 19 disposed on one side of the element substrate 14, and a scanning signal from the scanning line driving circuit 19 is input at a predetermined timing. It is like that. A plurality of data lines Ly extending over substantially the entire width in the Y arrow direction are arranged on the element formation surface 14a. Each data line Ly is electrically connected to a data line driving circuit 21 disposed on the other side of the element substrate 14, and a data signal based on display data from the data line driving circuit 21 has a predetermined timing. It is supposed to be input in. The element formation surface 14a and the scanning line Lx
A plurality of pixels 22 that are connected to the corresponding scanning lines Lx and data lines Ly and arranged in a matrix are formed at positions where the data lines Ly intersect. Each pixel 22 has a light-transmissive pixel electrode 23 made of a control element (not shown) such as a TFT or a transparent conductive film.
Is provided.

図２において、各画素２２の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施され
た配向膜２４が積層されている。配向膜２４は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子か
らなる薄膜パターンであって、対応する画素電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の
配向に設定するようになっている。 In FIG. 2, an alignment film 24 subjected to an alignment process such as a rubbing process is laminated on the entire upper side of each pixel 22. The alignment film 24 is a thin film pattern made of an alignment polymer such as alignment polyimide, and the alignment of the liquid crystal 17 is set to a predetermined alignment in the vicinity of the corresponding pixel electrode 23.

前記対向基板１５の上面には、光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外方（
図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。対向基板１５の下面（素子
基板１４側の側面：電極形成面１５ａ）全体には、各画素電極２３と相対向するように形
成された光透過性の導電膜からなる対向電極２６が積層されている。対向電極２６は、前
記データ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路２１から
の所定の共通電位が付与されるようになっている。対向電極２６の下面全体には、ラビン
グ処理などによる配向処理の施された配向膜２７が積層され、対向電極２６の近傍で液晶
１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。 On the upper surface of the counter substrate 15, linearly polarized light orthogonal to the light from the optical substrate 18 is transmitted outward (
A polarizing plate 25 that emits light (upward in FIG. 2) is disposed. On the entire lower surface of the counter substrate 15 (side surface on the element substrate 14 side: electrode forming surface 15a), a counter electrode 26 made of a light-transmitting conductive film formed so as to face each pixel electrode 23 is laminated. Yes. The counter electrode 26 is electrically connected to the data line drive circuit 21 and is given a predetermined common potential from the data line drive circuit 21. An alignment film 27 subjected to an alignment process such as a rubbing process is laminated on the entire lower surface of the counter electrode 26, and the alignment of the liquid crystal 17 is set to a predetermined alignment in the vicinity of the counter electrode 26.

そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、
各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子
に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信
号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電
極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち
、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光
が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の
上側に表示される。 Then, each scanning line Lx is selected one by one at a predetermined timing based on line sequential scanning,
The control element of each pixel 22 is turned on only during the selection period. Then, a data signal based on display data from the corresponding data line Ly is output to each pixel electrode 23 corresponding to each control element. When a data signal is output to each pixel electrode 23, the alignment state of the corresponding liquid crystal 17 is modulated based on the potential difference between each pixel electrode 23 and the counter electrode 26. That is, the polarization state of the light from the optical substrate 18 is modulated for each pixel 22. Then, an image based on the display data is displayed on the upper side of the liquid crystal panel 13 depending on whether or not the modulated light passes through the polarizing plate 25.

次に、液晶パネル１３の製造方法について図３に従って説明する。図３は、液晶パネル
１３の製造方法を説明する説明図である。
図３に示すように、まず、本実施例では２４枚（６行×４列）の対向基板１５を切り出
し可能にしたマザー基板ＭＡの一側面（配向膜２７側の側面：吐出面ＭＡａ）に、ディス
ペンサ装置などを利用してシール材１６を形成する。すなわち、吐出面ＭＡａに形成され
た各対向基板１５に対応する領域の外縁に、それぞれ紫外線光硬化性樹脂からなる四角枠
状のシール材１６を吐出形成する。各シール材１６を形成すると、図４に示す液滴吐出装
置３０を利用して、各シール材１６で囲まれた領域（各対象領域Ｓ）に、それぞれ複数の
液滴Ｆｂを吐出する。そして、対象領域Ｓに着弾した各液滴Ｆｂを接合し、所定容量の液
晶材料Ｆからなる液状膜ＬＦを各対象領域Ｓ内に形成する。 Next, a method for manufacturing the liquid crystal panel 13 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining a method of manufacturing the liquid crystal panel 13.
As shown in FIG. 3, first, in this embodiment, on one side surface (side surface on the alignment film 27 side: ejection surface MAa) of the mother substrate MA in which 24 (6 rows × 4 columns) counter substrates 15 can be cut out. The sealing material 16 is formed using a dispenser device or the like. That is, a rectangular frame-shaped sealing material 16 made of an ultraviolet light curable resin is discharged and formed on the outer edge of a region corresponding to each counter substrate 15 formed on the discharge surface MAa. When each sealing material 16 is formed, a plurality of liquid droplets Fb are ejected to regions (each target region S) surrounded by the respective sealing materials 16 by using the droplet ejection device 30 shown in FIG. Then, the droplets Fb that have landed on the target regions S are joined to form a liquid film LF made of a predetermined volume of the liquid crystal material F in each target region S.

各対象領域Ｓに液晶材料Ｆの液状膜ＬＦを形成すると、マザー基板ＭＡを減圧雰囲気内
に搬送し、マザー基板ＭＡの吐出面ＭＡａ側に、２４枚（６行×４列）の素子基板１４を
切出し可能にしたマザー基板ＭＢを貼り合わせる。マザー基板ＭＡにマザー基板ＭＢを貼
り合わせると、マザー基板ＭＡ及びマザー基板ＭＢを大気開放するとともに、各シール材
１６に紫外線を照射して硬化し、各対象領域Ｓ内に液晶材料Ｆを封入する。液晶材料Ｆを
封入すると、マザー基板ＭＡ及びマザー基板ＭＢをダイシングして、各液晶パネル１３を
形成する。 When the liquid film LF of the liquid crystal material F is formed in each target region S, the mother substrate MA is transported in a reduced-pressure atmosphere, and 24 (6 rows × 4 columns) element substrates 14 are disposed on the ejection surface MAa side of the mother substrate MA. The mother substrate MB that can be cut out is bonded. When the mother substrate MB is bonded to the mother substrate MA, the mother substrate MA and the mother substrate MB are released to the atmosphere, and the sealing material 16 is irradiated with ultraviolet rays to be cured, and the liquid crystal material F is sealed in each target region S. . When the liquid crystal material F is sealed, the mother substrate MA and the mother substrate MB are diced to form each liquid crystal panel 13.

図４は、液滴吐出装置３０を説明する全体斜視図である。
図４において、液滴吐出装置３０は、直方体形状に形成された基台３１を有している。
基台３１の上面には、その長手方向（Ｙ方向）に沿って延びる一対の案内溝３２が形成さ
れている。案内溝３２の上方には、案内溝３２に沿ってＹ方向及び反Ｙ方向に移動するス
テージ３３が備えられている。 FIG. 4 is an overall perspective view illustrating the droplet discharge device 30.
In FIG. 4, the droplet discharge device 30 has a base 31 formed in a rectangular parallelepiped shape.
A pair of guide grooves 32 extending along the longitudinal direction (Y direction) is formed on the upper surface of the base 31. Above the guide groove 32, a stage 33 that moves in the Y direction and the anti-Y direction along the guide groove 32 is provided.

ステージ３３の上面には、載置部３４が形成されて、各対象領域Ｓを上側にしたマザー
基板ＭＡを載置する。載置部３４は、載置された状態のマザー基板ＭＡをステージ３３に
対して位置決め固定して、マザー基板ＭＡをＹ方向及び反Ｙ方向に搬送する。 On the upper surface of the stage 33, a placement portion 34 is formed, and the mother substrate MA with each target region S facing upward is placed. The placement unit 34 positions and fixes the placed mother substrate MA with respect to the stage 33, and transports the mother substrate MA in the Y direction and the anti-Y direction.

基台３１には、Ｙ方向と直交する方向（Ｘ方向）に跨ぐ門型のガイド部材３５が架設さ
れている。
ガイド部材３５には、そのＸ矢印方向略全長にわたって、Ｘ方向に延びる上下一対のガ
イドレール３７が形成されている。上下一対のガイドレール３７には、キャリッジ３８が
取り付けられている。キャリッジ３８は、ガイドレール３７に案内されてＸ方向及び反Ｘ
方向に移動する。キャリッジ３８には、液滴吐出ヘッド４０が搭載されている。 A gate-shaped guide member 35 straddling the base 31 in a direction (X direction) orthogonal to the Y direction is installed.
The guide member 35 is formed with a pair of upper and lower guide rails 37 extending in the X direction over substantially the entire length in the X arrow direction. A carriage 38 is attached to the pair of upper and lower guide rails 37. The carriage 38 is guided by the guide rail 37 to be X direction and anti-X.
Move in the direction. A droplet discharge head 40 is mounted on the carriage 38.

図５は吐出ヘッド４０の要部断面図を示す。図６及び図７は吐出ヘッド４０とキャリッ
ジ３８の取付状態を説明するための斜視図及び要部分解斜視図を示す。
図７に示すように、吐出ヘッド４０は、吐出ヘッド本体４０ａがＸ方向に長い直方体形
状であって、その上面４０ｂに図示しない液晶カートリッジの導入口に対して抜き差し可
能に連結されるポートＰ０が設けられている。液晶カートリッジは、そのケース本体がス
テンレスにて形成され、ケース本体内に形成した収容室に液晶材料Ｆが収容されている。
そして、液晶カートリッジが、吐出ヘッド４０と抜き差し可能に連結されると、収容室の
液晶材料ＦがポートＰ０を介して吐出ヘッド本体４０ａ内に供給される。 FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part of the ejection head 40. 6 and 7 are a perspective view and an exploded perspective view of a main part for explaining the attachment state of the ejection head 40 and the carriage 38. FIG.
As shown in FIG. 7, the ejection head 40 has a rectangular parallelepiped shape in which the ejection head main body 40a is long in the X direction, and a port P0 connected to an introduction port of a liquid crystal cartridge (not shown) on the upper surface 40b. Is provided. The liquid crystal cartridge has a case body made of stainless steel, and a liquid crystal material F is housed in a housing chamber formed in the case body.
When the liquid crystal cartridge is detachably connected to the ejection head 40, the liquid crystal material F in the storage chamber is supplied into the ejection head body 40a via the port P0.

また、吐出ヘッド本体４０ａの上部側面には、フランジ４０ｃが形成されている。そし
て、吐出ヘッド４０は、キャリッジ３８の支持板３９に形成したＸ方向に長い長方形の貫
通穴３９ａに対して上方から貫挿させる。このとき、吐出ヘッド４０に形成したフランジ
４０ｃは、抜け止めの役目を果たすとともに、図示しない、ネジ等で支持板３９と連結固
定される連結部の役目を果たす。つまり、吐出ヘッド４０は、支持板３９に形成した貫通
穴３９ａを上方（反Ｚ方向）から貫挿させてフランジ４０ｃをネジ（図示せず）で支持板
３９に固定することによって、キャリッジ３８に取着される。尚、支持板３９は、本実施
形態では、ステンレスにて形成されている。 A flange 40c is formed on the upper side surface of the discharge head body 40a. The ejection head 40 is inserted from above into a rectangular through hole 39a formed in the support plate 39 of the carriage 38 and extending in the X direction. At this time, the flange 40c formed on the ejection head 40 serves to prevent the removal, and also serves as a connection portion (not shown) that is connected and fixed to the support plate 39 with screws or the like. In other words, the ejection head 40 allows the through hole 39a formed in the support plate 39 to be inserted from above (anti-Z direction), and the flange 40c is fixed to the support plate 39 with a screw (not shown). To be attached. In this embodiment, the support plate 39 is made of stainless steel.

キャリッジ３８の支持板３９から突出した吐出ヘッド本体４０ａの下側には、ノズルプ
レート４１が備えられている。ノズルプレート４１は、その下面（ノズル形成面４１ａ）
がマザー基板ＭＡの吐出面ＭＡａと略平行に形成されている。ノズルプレート４１は、マ
ザー基板ＭＡが吐出ヘッド４０の直下に位置するとき、ノズル形成面４１ａとマザー基板
ＭＡの吐出面ＭＡａとの間の距離（プラテンギャップ）を所定の距離（例えば、５００μ
ｍ）に保持する。 A nozzle plate 41 is provided below the discharge head main body 40 a protruding from the support plate 39 of the carriage 38. The nozzle plate 41 has a lower surface (nozzle formation surface 41a).
Are formed substantially parallel to the ejection surface MAa of the mother substrate MA. The nozzle plate 41 has a predetermined distance (for example, 500 μm) between the nozzle forming surface 41a and the discharge surface MAa of the mother substrate MA when the mother substrate MA is located immediately below the discharge head 40.
m).

図６において、ノズル形成面４１ａには、Ｘ方向に沿って配列された複数のノズルＮか
らなる一対のノズル列が形成されている。一対のノズル列には、それぞれ１インチ当たり
に１８０個のノズルＮが形成されている。なお、図６では、説明の都合上、一列当り数を
省略して記載している。 In FIG. 6, a pair of nozzle rows composed of a plurality of nozzles N arranged along the X direction is formed on the nozzle forming surface 41a. In the pair of nozzle rows, 180 nozzles N are formed per inch. In FIG. 6, for convenience of explanation, the number per row is omitted.

一対のノズル列では、Ｘ方向から見て、一方のノズル列の各ノズルＮが、他方のノズル
列の各ノズルＮの間を補間する。すなわち、吐出ヘッド４０は、Ｘ方向に、１インチ当り
に１８０個×２＝３６０個のノズルＮを有する（最大解像度が３６０ｄｐｉである）。 In the pair of nozzle rows, each nozzle N of one nozzle row interpolates between the nozzles N of the other nozzle row as viewed from the X direction. That is, the discharge head 40 has 180 × 2 = 360 nozzles N per inch in the X direction (the maximum resolution is 360 dpi).

図５において、各ノズルＮの上側には、ポートＰ０に連通するキャビティ４２が形成さ
れている。キャビティ４２は、液晶カートリッジからの液晶材料Ｆを、ポートＰ０を介し
て収容して、対応するノズルＮに液晶材料Ｆを供給する。キャビティ４２の上側には、上
下方向に振動してキャビティ４２内の容積を拡大及び縮小する振動板４３が貼り付けられ
ている。振動板４３の上側には、ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設されている。圧
電素子ＰＺは、上下方向に収縮及び伸張して振動板４３を上下方向に振動させる。上下方
向に振動する振動板４３は、液晶材料Ｆを所定サイズの液滴Ｆｂにして対応するノズルＮ
から吐出させる。吐出された液滴Ｆｂは、対応するノズルＮの反Ｚ方向に飛行して、マザ
ー基板ＭＡの吐出面ＭＡａに着弾する。 In FIG. 5, a cavity 42 communicating with the port P <b> 0 is formed above each nozzle N. The cavity 42 accommodates the liquid crystal material F from the liquid crystal cartridge via the port P0 and supplies the liquid crystal material F to the corresponding nozzle N. A vibration plate 43 is attached to the upper side of the cavity 42 to vibrate in the vertical direction and expand and contract the volume in the cavity 42. Above the diaphragm 43, a piezoelectric element PZ corresponding to the nozzle N is disposed. The piezoelectric element PZ contracts and expands in the vertical direction to vibrate the diaphragm 43 in the vertical direction. The vibration plate 43 that vibrates in the vertical direction makes the liquid crystal material F a droplet Fb of a predetermined size and the corresponding nozzle N.
Discharge from. The discharged droplets Fb fly in the anti-Z direction of the corresponding nozzle N and land on the discharge surface MAa of the mother substrate MA.

支持板３９から突出した吐出ヘッド本体４０ａのＹ方向及び反Ｙ方向の側面であって、
その両側面のノズルＮに近い下側部（近傍部）には、加熱手段としてのカートリッジヒー
タＨが、面接触して取着されている。カートリッジヒータＨは、キャビティ４２内の液晶
材料Ｆを第１目標温度（本実施形態では、７０℃）になるように加熱して、低粘度化（本
実施形態では、粘度を２０ｃＰに低下）する。カートリッジヒータＨは、アルミ板に貫通
穴を形成しその貫通穴に電流を流すことによって発熱する発熱体を挿入した構成であって
、その発熱体の発熱によって、液晶材料Ｆを加熱する。 A side surface of the discharge head body 40a protruding from the support plate 39 in the Y direction and the anti-Y direction,
A cartridge heater H as a heating means is attached to the lower side (near part) near the nozzle N on both side surfaces in surface contact. The cartridge heater H heats the liquid crystal material F in the cavity 42 to the first target temperature (70 ° C. in the present embodiment), thereby reducing the viscosity (in this embodiment, the viscosity is reduced to 20 cP). . The cartridge heater H has a structure in which a through-hole is formed in an aluminum plate and a heating element that generates heat by passing a current through the through-hole is inserted, and the liquid crystal material F is heated by the heat generated by the heating element.

支持板３９から突出した吐出ヘッド本体４０ａのＹ方向及び反Ｙ方向の側面であって、
カートリッジヒータＨの上側には、冷却手段としてのペルチェ素子ＰＴが、面接触して取
着されている。ペルチェ素子ＰＴは、前記カートリッジヒータＨと協働して、吐出ヘッド
４０の周辺の雰囲気（周辺温度）を、所定の雰囲気（第２目標温度）にしつつキャビティ
４２に貯留されている液晶材料Ｆを第１目標温度になるようにする。 A side surface of the discharge head body 40a protruding from the support plate 39 in the Y direction and the anti-Y direction,
On the upper side of the cartridge heater H, a Peltier element PT as a cooling means is attached in surface contact. The Peltier element PT cooperates with the cartridge heater H to store the liquid crystal material F stored in the cavity 42 while changing the atmosphere around the ejection head 40 (ambient temperature) to a predetermined atmosphere (second target temperature). The first target temperature is set.

また、図６に示すように、吐出ヘッド本体４０ａのＸ矢印側の側面には、第１温度検出
手段としての第１温度検出センサＳＥ１が取着され、吐出ヘッド４０を介してキャビティ
４２に収容された液晶材料Ｆの温度を検出するようになっている。 Further, as shown in FIG. 6, a first temperature detection sensor SE <b> 1 as a first temperature detection means is attached to the side surface on the X arrow side of the discharge head body 40 a and is accommodated in the cavity 42 via the discharge head 40. The temperature of the liquid crystal material F is detected.

さらに、図４に示すように、ステージ３３の反Ｘ矢印方向側には、待機ステージ４５が
設けられている。待機ステージ４５は、その上面４５ａが四角形状をなし、その直上位置
に、吐出ヘッド４０が、対向配置されるようになっている。ここで、この吐出ヘッド４０
がステージ３３の反Ｘ矢印方向側に設けた待機ステージ４５に位置する位置を待機位置と
いう。尚、本実施形態では、待機ステージ４５は、吐出ヘッド４０のノズルプレート４１
と待機ステージ４５の上面４５ａとの間隔が、該ノズルプレート４１とステージ３３に載
置されたマザー基板ＭＡと同じ間隔となるように高さ調整がなされている。 Further, as shown in FIG. 4, a standby stage 45 is provided on the side of the stage 33 in the direction opposite to the arrow X. The standby stage 45 has a rectangular upper surface 45a, and the ejection head 40 is arranged to face the position immediately above the standby stage 45a. Here, the discharge head 40
Is a position on the standby stage 45 provided on the side of the stage 33 opposite to the arrow X direction is referred to as a standby position. In the present embodiment, the standby stage 45 is the nozzle plate 41 of the ejection head 40.
And the height of the standby stage 45 are adjusted so that the distance between the nozzle plate 41 and the mother substrate MA placed on the stage 33 is the same.

又、待機ステージ４５の上面４５ａには、第２温度検出手段としての第２温度検出セン
サＳＥ２が設けられ、待機位置の周辺の温度、即ち、吐出ヘッド４０が待機位置に位置す
るときの該吐出ヘッド４０の周辺の温度を検出するようになっている。 Further, the upper surface 45a of the standby stage 45 is provided with a second temperature detection sensor SE2 as second temperature detection means, and the temperature around the standby position, that is, the discharge when the discharge head 40 is located at the standby position. The temperature around the head 40 is detected.

次に、上記のように構成した液滴吐出装置３０の電気的構成を図８に従って説明する。
図８において、制御装置５０は、ＣＰＵ５０Ａ、ＲＯＭ５０Ｂ、ＲＡＭ５０Ｃ等を有し
ている。制御装置５０は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステ
ージ３３の搬送処理、キャリッジ３８の搬送処理、吐出ヘッド４０の液滴吐出処理を実行
する。また、制御装置５０は、同様に、カートリッジヒータＨ及びペルチェ素子ＰＴの駆
動制御などを実行する。 Next, the electrical configuration of the droplet discharge device 30 configured as described above will be described with reference to FIG.
In FIG. 8, the control device 50 includes a CPU 50A, a ROM 50B, a RAM 50C, and the like. The control device 50 executes the transport process of the stage 33, the transport process of the carriage 38, and the droplet discharge process of the discharge head 40 in accordance with the stored various data and various control programs. Similarly, the control device 50 executes drive control of the cartridge heater H and the Peltier element PT.

制御装置５０には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置５１が接続さ
れている。入出力装置５１は、液滴吐出装置３０が実行する各種処理の処理状況を表示す
る。入出力装置５１は、マザー基板ＭＡ上に液滴Ｆｂでパターンを形成するためのビット
マップデータＢＤを生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置５０に入力する。 An input / output device 51 having various operation switches and a display is connected to the control device 50. The input / output device 51 displays the processing status of various processes executed by the droplet discharge device 30. The input / output device 51 generates bitmap data BD for forming a pattern with the droplets Fb on the mother substrate MA, and inputs the bitmap data BD to the control device 50.

ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺの
オンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、吐出ヘッド４０
（各ノズルＮ）の通過する描画平面（吐出面ＭＡａ）上の各位置に、液滴Ｆｂを吐出する
か否かを規定したデータである。すなわち、ビットマップデータＢＤは、吐出面ＭＡａに
規定されたパターンの目標形成位置に液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。 The bitmap data BD is data that specifies whether each piezoelectric element PZ is turned on or off according to the value (0 or 1) of each bit. The bitmap data BD is stored in the ejection head 40.
This data defines whether or not the droplets Fb are ejected at each position on the drawing plane (ejection surface MAa) through which each nozzle N passes. That is, the bitmap data BD is data for ejecting the droplets Fb to the target formation position of the pattern defined on the ejection surface MAa.

そして、本実施形態のビットマップデータＢＤは、図３に示すように、マザー基板ＭＡ
の各シール材１６で囲まれた各対象領域Ｓに対して予め定めた同じ量の液晶材料Ｆを供給
するために、各対象領域Ｓ内のどの位置に液滴Ｆｂを配置（着弾）させる、即ち、各対象
領域Ｓ内を液滴Ｆｂでパターンを形成（描画）するためのビットマップデータＢＤである
。 As shown in FIG. 3, the bitmap data BD of the present embodiment is a mother board MA.
In order to supply a predetermined amount of the liquid crystal material F to each target region S surrounded by each sealing material 16, the droplets Fb are arranged (landed) at any position in each target region S. That is, it is bitmap data BD for forming (drawing) a pattern with each droplet Fb in each target region S.

制御装置５０には、Ｘ軸モータ駆動回路５２が接続されている。制御装置５０は、駆動
制御信号をＸ軸モータ駆動回路５２に出力する。Ｘ軸モータ駆動回路５２は、制御装置５
０からの駆動制御信号に応答して、キャリッジ３８を移動させるためのＸ軸モータＭＸを
正転又は逆転させる。制御装置５０には、Ｙ軸モータ駆動回路５３が接続されている。制
御装置５０は、駆動制御信号をＹ軸モータ駆動回路５３に出力する。Ｙ軸モータ駆動回路
５３は、制御装置５０からの駆動制御信号に応答して、ステージ３３を移動させるための
Ｙ軸モータＭＹを正転又は逆転させる。 An X-axis motor drive circuit 52 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a drive control signal to the X-axis motor drive circuit 52. The X-axis motor drive circuit 52 is connected to the control device 5
In response to the drive control signal from 0, the X-axis motor MX for moving the carriage 38 is rotated forward or backward. A Y-axis motor drive circuit 53 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a drive control signal to the Y-axis motor drive circuit 53. In response to the drive control signal from the control device 50, the Y-axis motor drive circuit 53 rotates the Y-axis motor MY for moving the stage 33 forward or backward.

制御装置５０には、ヘッド駆動回路５４が接続されている。制御装置５０は、所定の吐
出周波数に同期させた吐出タイミング信号ＬＴをヘッド駆動回路５４に出力する。制御装
置５０は、各圧電素子ＰＺを駆動するための駆動電圧ＣＯＭを吐出周波数に同期させてヘ
ッド駆動回路５４に出力する。 A head drive circuit 54 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a discharge timing signal LT synchronized with a predetermined discharge frequency to the head drive circuit 54. The control device 50 outputs a drive voltage COM for driving each piezoelectric element PZ to the head drive circuit 54 in synchronization with the ejection frequency.

制御装置５０は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン
形成用制御信号ＳＩを生成し、パターン形成用制御信号ＳＩをヘッド駆動回路５４にシリ
アル転送する。ヘッド駆動回路５４は、制御装置５０からのパターン形成用制御信号ＳＩ
を各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路５４は
、制御装置５０からの吐出タイミング信号ＬＴを受けるたびに、シリアル／パラレル変換
したパターン形成用制御信号ＳＩをラッチし、パターン形成用制御信号ＳＩによって選択
される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動電圧ＣＯＭを供給する。 The control device 50 uses the bitmap data BD to generate a pattern formation control signal SI synchronized with a predetermined frequency, and serially transfers the pattern formation control signal SI to the head drive circuit 54. The head drive circuit 54 receives the pattern formation control signal SI from the control device 50.
Are sequentially converted into serial / parallel corresponding to each piezoelectric element PZ. Each time the head drive circuit 54 receives the ejection timing signal LT from the control device 50, the head drive circuit 54 latches the serial / parallel converted pattern formation control signal SI and applies it to each piezoelectric element PZ selected by the pattern formation control signal SI. A drive voltage COM is supplied.

制御装置５０には、カートリッジヒータ駆動回路５５が接続されている。制御装置５０
は、カートリッジヒータ駆動回路５５に駆動制御信号を出力する。カートリッジヒータ駆
動回路５５は、制御装置５０からの駆動制御信号に応答して、カートリッジヒータＨを駆
動制御する。そして、吐出ヘッド４０に設けたカートリッジヒータＨは、吐出ヘッド４０
内の液晶材料Ｆを予め定めた第１目標温度になるように加熱する。 A cartridge heater drive circuit 55 is connected to the control device 50. Control device 50
Outputs a drive control signal to the cartridge heater drive circuit 55. The cartridge heater drive circuit 55 controls the drive of the cartridge heater H in response to a drive control signal from the control device 50. The cartridge heater H provided in the ejection head 40 is connected to the ejection head 40.
The liquid crystal material F inside is heated so as to have a predetermined first target temperature.

制御装置５０には、ペルチェ素子駆動回路５６が接続されている。制御装置５０は、ペ
ルチェ素子駆動回路５６に駆動制御信号を出力する。ペルチェ素子駆動回路５６は、制御
装置５０からの駆動制御信号に応答して、ペルチェ素子ＰＴを駆動制御する。 A Peltier element driving circuit 56 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a drive control signal to the Peltier element drive circuit 56. The Peltier element drive circuit 56 controls the drive of the Peltier element PT in response to the drive control signal from the control device 50.

そして、吐出ヘッド本体４０ａに設けたペルチェ素子ＰＴは、吐出ヘッド４０の周辺の
状態が、待機位置に待機しているときにおいて、マザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに対して
順番に液滴Ｆｂを吐出している時の吐出ヘッド４０の周辺の温度状態（第２目標温度）と
同じ状態と同じ状態となるように、温度制御するようになっている。つまり、制御装置５
０は、吐出ヘッド４０の周辺の温度が第２目標温度となるように、ペルチェ素子ＰＴを駆
動制御する。 The Peltier element PT provided in the ejection head main body 40a causes the droplets Fb to be sequentially applied to the target areas S of the mother substrate MA when the peripheral state of the ejection head 40 is waiting at the standby position. The temperature is controlled so as to be in the same state as the temperature state (second target temperature) around the discharge head 40 during discharge. That is, the control device 5
0 controls the drive of the Peltier element PT so that the temperature around the ejection head 40 becomes the second target temperature.

制御装置５０には、第１温度検出センサＳＥ１が接続されている。制御装置５０は、第
１温度検出センサＳＥ１からの検出信号を入力して、その時々の吐出ヘッド４０内の液晶
材料Ｆの温度を求めるようになっている。制御装置５０は、求めた液晶材料Ｆの温度と前
記予め設定した第１目標温度と比較し、液晶材料Ｆの温度が第１目標温度になるように、
カートリッジヒータＨを駆動制御するようになっている。 A first temperature detection sensor SE1 is connected to the control device 50. The control device 50 receives a detection signal from the first temperature detection sensor SE1, and obtains the temperature of the liquid crystal material F in the ejection head 40 at that time. The control device 50 compares the obtained temperature of the liquid crystal material F with the preset first target temperature so that the temperature of the liquid crystal material F becomes the first target temperature.
The cartridge heater H is driven and controlled.

制御装置５０には、第２温度検出センサＳＥ２が接続されている。制御装置５０は、第
２温度検出センサＳＥ２からの検出信号を入力して、その時々の待機ステージ４５の周辺
の温度（待機位置にいる吐出ヘッド４０の周辺の温度）を求めるようになっている。制御
装置５０は、求めた周辺の温度と前記予め設定した第２目標温度と比較し、周辺の温度が
第２目標温度になるように、ペルチェ素子ＰＴを駆動制御するようになっている。 A second temperature detection sensor SE2 is connected to the control device 50. The control device 50 receives a detection signal from the second temperature detection sensor SE2 and obtains the temperature around the standby stage 45 at that time (temperature around the ejection head 40 at the standby position). . The control device 50 compares the determined ambient temperature with the preset second target temperature, and drives and controls the Peltier element PT so that the ambient temperature becomes the second target temperature.

次に、上記液滴吐出装置３０を利用してマザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに、予め定めた
量の液晶材料Ｆを供給する方法について説明する。
いま、図１に示すように、吐出ヘッド４０は、ステージ３３から離間した反Ｘ矢印方向
の待機位置で待機している。この待機状態において、制御装置５０は、第１温度検出セン
サＳＥ１からの検出信号を入力し、吐出ヘッド４０内の液晶材料Ｆが第１目標温度になる
ように、カートリッジヒータ駆動回路５５を介してカートリッジヒータＨを駆動して、加
熱制御している。また、制御装置５０は、第２温度検出センサＳＥ２からの検出信号を入
力し、待機ステージ４５の周辺が第２目標温度になるように、ペルチェ素子駆動回路５６
を介してペルチェ素子ＰＴを駆動して、待機ステージ４５の周辺の温度を制御している。 Next, a method for supplying a predetermined amount of the liquid crystal material F to each target region S of the mother substrate MA using the droplet discharge device 30 will be described.
As shown in FIG. 1, the ejection head 40 is waiting at a standby position in the direction of the anti-X arrow that is separated from the stage 33. In this standby state, the control device 50 inputs a detection signal from the first temperature detection sensor SE1, and passes through the cartridge heater drive circuit 55 so that the liquid crystal material F in the ejection head 40 reaches the first target temperature. The cartridge heater H is driven to control heating. Further, the control device 50 inputs a detection signal from the second temperature detection sensor SE2, and the Peltier element driving circuit 56 so that the periphery of the standby stage 45 becomes the second target temperature.
The Peltier element PT is driven via the control to control the temperature around the standby stage 45.

従って、待機位置にある吐出ヘッド４０と該吐出ヘッド４０の周辺の温度状態は、吐出
ヘッド４０が、その直下を、マザー基板ＭＡを通過させて、マザー基板ＭＡの各対象領域
Ｓに対して順番に液滴Ｆｂを吐出している時の、該吐出ヘッド４０と該吐出ヘッド４０の
周辺の温度状態と同じ状態（第２目標温度）になるように温度制御される。 Therefore, the discharge head 40 in the standby position and the temperature state around the discharge head 40 are sequentially changed with respect to each target region S of the mother substrate MA by allowing the discharge head 40 to pass through the mother substrate MA. The temperature is controlled so as to be in the same state (second target temperature) as the temperature state of the discharge head 40 and the periphery of the discharge head 40 when the droplet Fb is being discharged.

その結果、待機状態において、吐出ヘッド４０と該吐出ヘッド４０の周辺との熱収支は
、マザー基板ＭＡを通過させて、マザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに対して液滴Ｆｂを吐出
している時の、吐出ヘッド４０と該吐出ヘッド４０の周辺との熱収支と同じとなっている
。言い換えると、カートリッジヒータ駆動回路５５は、マザー基板ＭＡを通過させて、マ
ザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに対して液滴Ｆｂを吐出している時と同じ、出力（電力）で
カートリッジヒータＨを第１目標温度になるように加熱制御している。 As a result, in the standby state, the heat balance between the ejection head 40 and the periphery of the ejection head 40 passes the mother substrate MA and ejects the droplets Fb to each target region S of the mother substrate MA. At this time, the heat balance between the discharge head 40 and the periphery of the discharge head 40 is the same. In other words, the cartridge heater drive circuit 55 causes the cartridge heater H to pass through the mother substrate MA and output the cartridge heater H with the same output (electric power) as when the droplet Fb is discharged to each target region S of the mother substrate MA. Heating control is performed to achieve the first target temperature.

また、マザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに液滴Ｆｂによるパターンを形成するためのビッ
トマップデータＢＤが入出力装置５１から制御装置５０に入力されている。従って、制御
装置５０は、入出力装置５１からのビットマップデータＢＤを格納している。 In addition, bitmap data BD for forming a pattern of droplets Fb in each target region S of the mother substrate MA is input from the input / output device 51 to the control device 50. Therefore, the control device 50 stores the bitmap data BD from the input / output device 51.

やがて、マザー基板ＭＡがステージ３３に載置される。このとき、マザー基板ＭＡは、
ステージ３３の載置部３４上の反Ｙ矢印方向側に配置され、入出力装置５１から、制御装
置５０へ作業開始の指令信号が出力される。 Eventually, the mother substrate MA is placed on the stage 33. At this time, the mother substrate MA is
A work start command signal is output from the input / output device 51 to the control device 50 on the side of the stage 33 opposite to the Y arrow direction on the placement portion 34.

制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを駆動して吐出ヘッ
ド４０を待機位置からＸ矢印方向に移動させる。そして、吐出ヘッド４０が、マザー基板
ＭＡの最も反Ｘ矢印方向側にある各対象領域Ｓがその直下をＹ矢印方向に通過する位置ま
で移動すると、制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを停止
させるとともに、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭＹを駆動して、マザー基
板ＭＡをＹ矢印方向移動させる。 The control device 50 drives the X-axis motor MX via the X-axis motor drive circuit 52 to move the ejection head 40 from the standby position in the X arrow direction. Then, when the ejection head 40 moves to a position where each target region S closest to the X-arrow direction of the mother substrate MA passes in the Y-arrow direction, the control device 50 moves the X-axis motor drive circuit 52. The X-axis motor MX is stopped via the Y-axis motor drive circuit 53 and the Y-axis motor MY is driven via the Y-axis motor drive circuit 53 to move the mother board MA in the Y-arrow direction.

マザー基板ＭＡをＹ矢印方向に移動させると、制御装置５０は、ビットマップデータＢ
Ｄに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩを生成して、パターン形成用制御信号ＳＩと駆
動電圧ＣＯＭをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０は、ヘッド駆動
回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御し、各対象領域Ｓ内に液晶材料Ｆを供給する
ための着弾位置が吐出ヘッド４０の直下を通過するたびに、選択されたノズルＮから液滴
Ｆｂを吐出させる。 When the mother board MA is moved in the direction of the arrow Y, the control device 50 reads the bitmap data B
A pattern formation control signal SI is generated based on D, and the pattern formation control signal SI and the drive voltage COM are output to the head drive circuit 54. That is, the control device 50 drives and controls each piezoelectric element PZ via the head drive circuit 54, and every time the landing position for supplying the liquid crystal material F into each target region S passes directly below the ejection head 40. Then, the droplet Fb is ejected from the selected nozzle N.

そして、待機位置において、待機ステージ４５（吐出ヘッド４０）の周辺は、マザー基
板ＭＡの各対象領域Ｓに対して順番に液滴Ｆｂを吐出している時の、該吐出ヘッド４０と
該吐出ヘッド４０の周辺の温度状態と同じ状態（第２目標温度）になるように温度制御さ
れていた。従って、待機位置からこのＹ矢印方向にステージ３３（マザー基板ＭＡ）を移
動させる時、その前後で、吐出ヘッド４０と該吐出ヘッド４０の周辺との熱収支バランス
は崩れない。従って、制御装置５０は、カートリッジヒータ駆動回路５５に対する制御量
は小さく抑えられ、カートリッジヒータ駆動回路５５は小さな出力（電力）でカートリッ
ジヒータＨを加熱制御する。そのため、吐出開始時点で、既に液晶材料Ｆは吐出ヘッド４
０内で、第１目標温度に安定制御されることから、最初に液滴Ｆｂを吐出する対象領域Ｓ
から、安定した低粘度の液晶材料Ｆの液滴Ｆｂが吐出される。その結果、各対象領域Ｓに
供給される液滴Ｆｂの量を、初期の段階に供給される対象領域Ｓから一様に供給すること
ができる。 At the standby position, the periphery of the standby stage 45 (discharge head 40) is the discharge head 40 and the discharge head when the droplets Fb are sequentially discharged to the target areas S of the mother substrate MA. The temperature was controlled so as to be in the same state (second target temperature) as the temperature state around 40. Therefore, when the stage 33 (mother substrate MA) is moved in the Y arrow direction from the standby position, the balance of heat balance between the ejection head 40 and the periphery of the ejection head 40 is not lost before and after the stage 33 is moved. Therefore, the control device 50 can keep the control amount for the cartridge heater drive circuit 55 small, and the cartridge heater drive circuit 55 controls the heating of the cartridge heater H with a small output (electric power). Therefore, the liquid crystal material F has already been discharged from the discharge head 4 at the start of discharge.
The target region S from which the droplets Fb are ejected first is controlled stably within the range of 0 to the first target temperature.
Thus, a stable low-viscosity liquid crystal material F droplet Fb is discharged. As a result, the amount of the droplet Fb supplied to each target area S can be supplied uniformly from the target area S supplied in the initial stage.

マザー基板ＭＡの最も反Ｘ矢印方向側にある各対象領域Ｓへの液晶材料Ｆ（液滴Ｆｂ）
の供給が終了すると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭＹ
を停止させるとともに、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを駆動して吐出
ヘッド４０を、マザー基板ＭＡの次の反Ｘ矢印方向側にある各対象領域Ｓが、その直下を
反Ｙ矢印方向に通過する位置まで、移動（フィード）させる。 Liquid crystal material F (droplet Fb) to each target region S on the most anti-X arrow direction side of the mother substrate MA
When the supply of the motor is completed, the control device 50 passes the Y-axis motor MY through the Y-axis motor drive circuit 53.
And the X-axis motor MX is driven via the X-axis motor drive circuit 52 so that the discharge head 40 is moved directly below each target area S on the side opposite to the X-arrow in the mother substrate MA. Move (feed) to a position passing in the direction of arrow Y.

吐出ヘッド４０がフィードされると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介し
てＹ軸モータＭＹを駆動して、ステージ３３を反Ｙ矢印方向に移動（スキャン）させる。
ステージ３３の反Ｙ矢印方向に移動を開始させると、制御装置５０は、ビットマップデー
タＢＤに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩを生成して、パターン形成用制御信号ＳＩ
と駆動電圧ＣＯＭをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０は、ヘッド
駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御し、各対象領域Ｓ内に液晶材料Ｆを供給
するための着弾位置が吐出ヘッド４０の直下を通過するたびに、選択されたノズルＮから
液滴Ｆｂを吐出させる。 When the discharge head 40 is fed, the controller 50 drives the Y-axis motor MY via the Y-axis motor drive circuit 53 to move (scan) the stage 33 in the anti-Y arrow direction.
When the movement of the stage 33 in the direction opposite to the arrow Y starts, the control device 50 generates the pattern formation control signal SI based on the bitmap data BD, and the pattern formation control signal SI.
And the drive voltage COM is output to the head drive circuit 54. That is, the control device 50 drives and controls each piezoelectric element PZ via the head drive circuit 54, and every time the landing position for supplying the liquid crystal material F into each target region S passes directly below the ejection head 40. Then, the droplet Fb is ejected from the selected nozzle N.

以後、同様な動作を繰り返して、マザー基板ＭＡの全ての対象領域Ｓに全て同じ量の液
晶材料Ｆを供給して、一つのマザー基板ＭＡに対する各対象領域Ｓへの液晶材料Ｆの供給
が完了する。そして、吐出ヘッド４０は待機位置に移動し、次の新たなマザー基板ＭＡが
ステージ３３にセットされるのを待つ。 Thereafter, the same operation is repeated to supply the same amount of liquid crystal material F to all target areas S of the mother substrate MA, and the supply of the liquid crystal material F to each target area S for one mother substrate MA is completed. To do. Then, the ejection head 40 moves to the standby position and waits for the next new mother substrate MA to be set on the stage 33.

このとき、前記と同様に、制御装置５０は、第２温度検出センサＳＥ２からの検出信号
を入力し、待機ステージ４５の周辺が第２目標温度になるように、ペルチェ素子駆動回路
５６を介してペルチェ素子ＰＴを駆動して、待機ステージ４５の周辺の温度を制御してい
る。 At this time, similarly to the above, the control device 50 inputs the detection signal from the second temperature detection sensor SE2, and passes through the Peltier element drive circuit 56 so that the periphery of the standby stage 45 becomes the second target temperature. The temperature around the standby stage 45 is controlled by driving the Peltier element PT.

次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド４０が待機位置から前記マザー基板ＭＡ
へ移動してマザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに加熱された液晶材料Ｆの液滴Ｆｂを吐出する
前に、待機位置で該液滴吐出ヘッド４０の周辺温度を、該マザー基板ＭＡの各対象領域Ｓ
の液滴を吐出している時の吐出ヘッド４０の周辺温度と同じ第２目標温度にして待機させ
た。従って、待機位置からマザー基板ＭＡに移動したとき、その前後で、吐出ヘッド４０
と該吐出ヘッド４０の周辺との熱収支バランスは大きく崩れない。その結果、各対象領域
Ｓに液滴の供給の初期段階において、液滴吐出ヘッド４０を加熱する加熱手段の加熱制御
量が大きく変動するのを未然に抑制でき、初期段階において液晶材料Ｆの加熱温度が大き
く変動することによる吐出量の変動を防止する。 Next, effects of the embodiment configured as described above will be described below.
(1) According to the embodiment, the droplet discharge head 40 is moved from the standby position to the mother substrate MA.
Before the droplet Fb of the liquid crystal material F heated to each target region S of the mother substrate MA is discharged, the ambient temperature of the droplet discharge head 40 is set to each target of the mother substrate MA at the standby position. Region S
The second target temperature, which is the same as the ambient temperature of the ejection head 40 when the liquid droplets are being ejected, was put on standby. Accordingly, when moving from the standby position to the mother substrate MA, before and after that, the ejection head 40 is moved.
And the balance of heat balance between the discharge head 40 and the periphery of the discharge head 40 are not greatly lost. As a result, it is possible to prevent the heating control amount of the heating means for heating the droplet discharge head 40 from fluctuating greatly in the initial stage of supplying the droplets to each target region S, and heating the liquid crystal material F in the initial stage. Prevents fluctuations in the discharge rate due to large fluctuations in temperature.

（２）上記実施形態によれば、待機位置で液滴吐出ヘッド４０の周辺温度を、マザー基
板ＭＡの各対象領域Ｓの液滴を吐出している時の吐出ヘッド４０の周辺温度と同じ第２
目標温度にして待機させたので、直ちに、マザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに対して一様な
液晶材料Ｆの供給の開始できる。従って、生産性を上げることができる。 (2) According to the above embodiment, the ambient temperature of the droplet ejection head 40 at the standby position is the same as the ambient temperature of the ejection head 40 when ejecting droplets of each target region S of the mother substrate MA. 2
Since the target temperature is set to stand by, the supply of the uniform liquid crystal material F can be started immediately to each target region S of the mother substrate MA. Therefore, productivity can be increased.

（３）上記実施形態によれば、待機ステージ４５（吐出ヘッド４０）の周辺温度の調整
・制御が容易なペルチェ素子ＰＴで行った。従って、ペルチェ素子ＰＴで待機ステージ４
５の周辺の温度を上昇又は下降させて簡単に第２目標温度に調整することができる。 (3) According to the above embodiment, the Peltier element PT allows easy adjustment and control of the ambient temperature of the standby stage 45 (discharge head 40). Therefore, the standby stage 4 is operated by the Peltier element PT.
5 can be easily adjusted to the second target temperature by raising or lowering the temperature around it.

（４）上記実施形態によれば、第２目標温度を、マザー基板ＭＡの各対象領域Ｓに対し
て順番に液滴Ｆｂを吐出している時の、該吐出ヘッド４０と該吐出ヘッド４０の周辺の温
度状態と同じ状態の温度とした。従って、マザー基板ＭＡに液滴を吐出させているときと
非常に近い条件を待機位置で作りだすことができる。 (4) According to the above embodiment, when the droplet Fb is discharged in sequence to each target region S of the mother substrate MA at the second target temperature, the discharge head 40 and the discharge head 40 The temperature was the same as the surrounding temperature state. Therefore, a condition very close to that when droplets are ejected to the mother substrate MA can be created at the standby position.

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、液晶材料Ｆを吐出する液滴吐出ヘッド４０（液滴吐出装置３０）
に具体化したが、これに限定されるものではなく、液滴として吐出できる液状体であれば
良く、特に、液晶表示装置に用いられる配向膜等、粘性の高い液状体を吐出させる場合に
は、優れた効果を発する。 In addition, you may change the said embodiment as follows.
In the above embodiment, the droplet discharge head 40 that discharges the liquid crystal material F (droplet discharge device 30)
However, the present invention is not limited to this, and any liquid material that can be ejected as droplets may be used. Particularly, when a highly viscous liquid material such as an alignment film used in a liquid crystal display device is ejected. Emits excellent effects.

○上記実施形態では、加熱手段をカートリッジヒータＨで実施したが、これに代えて、
例えば、ラバーヒータで実施してもよい。
○上記実施形態では、冷却手段をペルチェ素子ＰＴで実施したが、これに代えて、例え
ば、水冷、空冷の冷却機構で実施してもよい。 In the above embodiment, the heating means is implemented by the cartridge heater H, but instead of this,
For example, a rubber heater may be used.
In the above embodiment, the cooling means is implemented by the Peltier element PT. However, instead of this, for example, it may be implemented by a cooling mechanism of water cooling or air cooling.

○上記実施形態では、マザー基板の各対象領域Ｓに液晶材料Ｆを吐出する液滴吐出装置
３０であったが、１枚の液晶表示パネルに対して液晶材料Ｆを吐出する液滴吐出装置に応
用してもよい。 In the above embodiment, the liquid droplet ejection device 30 ejects the liquid crystal material F to each target area S of the mother substrate. However, the liquid droplet ejection device 30 ejects the liquid crystal material F to one liquid crystal display panel. You may apply.

○上記実施形態では、液滴吐出手段を、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッド４０に具体
化した。これに限らず、液滴吐出ヘッドを、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに
具体化してもよい。 In the above embodiment, the droplet discharge means is embodied in the piezoelectric element drive type droplet discharge head 40. However, the present invention is not limited to this, and the droplet discharge head may be embodied as a resistance heating type or electrostatic drive type discharge head.

液晶表示装置の斜視図。The perspective view of a liquid crystal display device. 液晶表示装置の２−２線断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line 2-2 of the liquid crystal display device. 素子基板側のマザー基板と対向基板側のマザー基板を説明する斜視図。The perspective view explaining the mother substrate by the side of an element substrate, and the mother substrate by the side of a counter substrate. 液滴吐出装置の全体斜視図。The whole perspective view of a droplet discharge device. 吐出ヘッドの要部断面図。The principal part sectional view of an ejection head. 吐出ヘッドを下側から見た斜視図。The perspective view which looked at the discharge head from the lower side. 吐出ヘッドの取り付け状態を説明する分解斜視図Exploded perspective view explaining the mounting state of the ejection head 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。The electric block circuit diagram which shows the electric constitution of a droplet discharge apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１０…液晶表示装置、１３…液晶パネル、１４…素子基板、１５…対向基板、３０…液
滴吐出装置、４０…液滴吐出ヘッド、４０ａ…液滴吐出ヘッド本体、４１…ノズルプレー
ト、４５…待機ステージ、５０…制御装置、Ｆ…液晶材料、Ｆｂ…液滴、Ｈ…カートリッ
ジヒータ、ＭＡ…マザー基板、Ｎ…ノズル、ＰＴ…ペルチェ素子、ＰＺ…圧電素子、Ｓ…
対象領域、ＳＥ１…第１温度検出センサ、ＳＥ２…第２温度検出センサ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Liquid crystal display device, 13 ... Liquid crystal panel, 14 ... Element substrate, 15 ... Opposite substrate, 30 ... Droplet discharge device, 40 ... Droplet discharge head, 40a ... Droplet discharge head main body, 41 ... Nozzle plate, 45 ... Standby stage, 50 ... control device, F ... liquid crystal material, Fb ... droplet, H ... cartridge heater, MA ... mother substrate, N ... nozzle, PT ... Peltier element, PZ ... piezoelectric element, S ...
Target region, SE1 ... first temperature detection sensor, SE2 ... second temperature detection sensor.

Claims (5)

液滴吐出ヘッド本体に貯留された液状体を、前記液滴吐出ヘッド本体に設けたノズルプレ
ートに形成したノズルから液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドであって、
前記液滴吐出ヘッド本体に、前記液状体を加熱する加熱手段と前記液状体を冷却する冷
却手段を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 A liquid discharge head that discharges a liquid material stored in a liquid discharge head main body as a liquid droplet from a nozzle formed on a nozzle plate provided in the liquid droplet discharge head main body,
A droplet discharge head comprising a heating unit for heating the liquid material and a cooling unit for cooling the liquid material in the droplet discharge head main body. 請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液滴吐出ヘッド本体のノズルプレート近傍部に前記加熱手段を設けたことを特徴と
する液滴吐出ヘッド。 The droplet discharge head according to claim 1,
A droplet discharge head comprising the heating means provided in the vicinity of a nozzle plate of the droplet discharge head main body. 請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液状体は、液晶であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 The droplet discharge head according to claim 1 or 2,
A liquid droplet ejection head, wherein the liquid material is a liquid crystal. 液滴吐出ヘッド本体に貯留された液状体を、前記液滴吐出ヘッド本体に設けたノズルプレ
ートに形成したノズルから液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドを備え、前記ノズルから液
滴を基板に吐出して、該基板に液状体を配置する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッド本体には、
前記液状体を加熱する加熱手段と、
前記液状体を冷却する冷却手段と、
前記液滴吐出ヘッドが待機状態の時、前記加熱手段と前記冷却手段を適宜選択し、前記
液状体を温度制御し、かつ前記液滴吐出ヘッドが吐出状態の時、前記加熱手段を選択して
前記液状体を温度制御する制御手段と、
を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。 A droplet discharge head for discharging a liquid material stored in a droplet discharge head main body into droplets from a nozzle formed on a nozzle plate provided in the droplet discharge head main body. A droplet discharge device that discharges and places a liquid material on the substrate,
In the droplet discharge head body,
Heating means for heating the liquid material;
Cooling means for cooling the liquid material;
When the droplet discharge head is in a standby state, the heating unit and the cooling unit are appropriately selected, the temperature of the liquid material is controlled, and when the droplet discharge head is in a discharge state, the heating unit is selected. Control means for controlling the temperature of the liquid material;
A droplet discharge device characterized by comprising: 請求項４に記載の液滴吐出装置において、
前記液状体は、液晶であることを特徴とする液滴吐出装置。 In the droplet discharge device according to claim 4,
A liquid droplet ejection apparatus, wherein the liquid material is a liquid crystal.

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