JP2008221290A - 接合体および接合方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 Pbを実質的に含有しない接合材を用い、高温条件においても良好な機械的強度を保持可能な接合体及び半導体装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、SnとSnより高い融点を有する金属とからなり、これらの成分の金属間化合物もしくは耐熱合金からなる固相線温度400℃以上の接合剤を用いて2つの被接合部材を接合した接合体である。
【選択図】 なし
【解決手段】 本発明は、SnとSnより高い融点を有する金属とからなり、これらの成分の金属間化合物もしくは耐熱合金からなる固相線温度400℃以上の接合剤を用いて2つの被接合部材を接合した接合体である。
【選択図】 なし
Description
本発明は、特に電子機器の部品の接合に好適に用いられる接合体、及び、接合方法に関に関する。
従来から、電気・電子機器において電気的接続を行うための方法として、はんだ接合は極めて広範囲に行われていることであり、このはんだ接合において実用に極めて適しているところから、Sn−Pb系共晶はんだが多用されてきた。しかし、Sn−Pb系共晶はんだに含まれるPbは、人体に対し有害であることから、Pbを含まない、いわゆる非Pn系はんだの開発が急務とされている。
一方、現在半導体デバイスの中で例えばパワーデバイスの接合材としては、主に融点が183℃の低温系はんだ(Sn−Pb共晶はんだ)と、融点が約300℃程度の高温系はんだ(Pb−5Snはんだ)が多用されており、それぞれ工程に応じて使い分けられている。
このうち、低温系はんだについては、Sn−Ag−Cu系合金を中心としたものが実用化の段階に到達しており、今後数年で多くのセットメーカーで非Pb系共晶はんだの代替は完了することが予定されている。
しかしながら、高温系はんだ、すなわち例えば260℃の高温条件下においても良好な機械的強度を保持する接合部を形成する接合材については、高Pb含有材料以外はAuを主成分としたAu系合金が挙げられるが、貴金属のAuを使用するため、大幅な材料価格が上昇するため汎用的に使用するには、難しい材料である。また、Pb及びAu以外の金属材料を主成分とした金属合金も、高温系はんだとして未だに実用化には至ってはいない。
これまでに、Pb及びAu以外の金属材料を主成分とし260℃の高温条件下においても良好な機械的強度を保持する接合部を形成する接合材のひとつとして、Zn系合金が候補として挙げられている(特許文献1、2参照)。この接合材料は、Zn元素から成る金属材料であるため、安価であり、環境にも配慮された接合材である。しかしながら、Cuとのぬれ性が悪く、また、接合材料としても硬いため、実用化にまで至っていない。
また、Snを主成分とするSn系合金を高温はんだ適用しようと試みられている(特許文献3、4参照)が、Sn系合金の場合、Cuなどの被接合材との接合性や硬さなどの加工性には優れるものの、低融点で液化が始まるため、高温はんだとしての耐熱性を満たすことは困難であった。
特開2004−237357号公報
特開2001−121285号公報
特開2003−364363号公報
特開2001−284792号公報
本発明は、実質的にPbおよびAuを含有しない材料を用い、高温条件においてもなお良好な機械的強度を保持する接合部を形成可能とする接合方法、接合体を提供することを目的とするものである。
第1の本発明は、第1の被接合部材と、第2の被接合部材と、これらの被接合部材間に介在している接合層からなる接合体であって、
前記接合層が、Snと、Snより高い融点を有する金属材料を含み、
該接合層中に、Snの量が、20質量%以上50質量%以下である第1の層を有することを特徴とする接合体である。
前記接合層が、Snと、Snより高い融点を有する金属材料を含み、
該接合層中に、Snの量が、20質量%以上50質量%以下である第1の層を有することを特徴とする接合体である。
前記第1の本発明の前記接合層が、質量比の異なる複数の層からなり、SnとSnより高い融点を有する金属材料との金属間化合物を含むことが好ましい。また、前記接合層が固相線温度400℃以上の材料からなるものであることが好ましい。また、第1の被接合部材はCuであることが好ましい。また、前記接合層が、CuとSnの金属間化合物であることが好ましい。また、前記第1の層はSnの質量比が20%以上50%以下であるCu及びSnの金属間化合物であって、Snの質量比が10%以上35%以下であるAg及びSnの金属間化合物である第2の層を更に含むことが好ましい。
第2の本発明は、Snより高い融点を有する金属材料を含む第1の被接合部材表面に、Sn膜を付与する工程と、
このSn膜表面に第2の被接合部材を密着させて、加圧しながら300℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法である。
このSn膜表面に第2の被接合部材を密着させて、加圧しながら300℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法である。
第3の本発明は、第1の被接合部材表面に、Sn膜と、Snより高い融点を有する金属材料膜とを、それぞれ少なくとも1層ずつ付与する工程と、
前記工程で付与した金属材料の膜の表面に第2の被接合部材を密着させて、加圧しながら300℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法である。
前記工程で付与した金属材料の膜の表面に第2の被接合部材を密着させて、加圧しながら300℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法である。
本発明によれば、実質的にPbおよびAuを含有しない材料を用い、高温条件においてもなお良好な機械的強度を保持する接合部を形成可能とする接合方法、接合体を提供することができる。
[第1の実施の形態:接合体]
本実施の形態の接合体は、融点が232℃のSnと、これより高融点の金属元素とを、反応もしくは合金化し、高融点の金属間化合物乃至高融点合金を形成して被接合部材の接合を行うことにより、耐熱性に優れた接合体を得ることができることに着目してなされたものである。
すなわち、接合体の概略断面図である図1に示すように、本実施の形態の接合体10は、第1及び第2の2つの被接合部材11,12と、その間に介在している接合層13とからなる接合体である。
接合層13は13a、13b、13cの3層からなり、いずれも金属間化合物からできている。被接合部材11中の金属成分と接合時に第1及び第2の被接合部材間に配置する接合層用材料(以下接合層用材料と称する)の金属成分とからなる金属間化合物であり、13cは被接合部材12中の金属成分と接合層用材料の金属成分とからなる金属化合物である。また、13bは被接合部材11及び被接合部材12の金属成分と接合層材料の金属成分からなる金属間化合物を指す。
本実施の形態の接合層においては、図中の13a、13b、13cの3層の少なくとも1層が金属間化合物からできていればよく、被接合部材11及び12中の金属成分と接合層用材料の金属成分とからなる合金が含まれていて良い。
本実施の接合体はこの接合層13が、Snと、このSnより高い融点を有する金属材料とからなり、この接合層中に、Snの量が20質量%以上、50質量%以下の範囲にある第1の層を有することを特徴としている。
本実施の形態の接合体は、融点が232℃のSnと、これより高融点の金属元素とを、反応もしくは合金化し、高融点の金属間化合物乃至高融点合金を形成して被接合部材の接合を行うことにより、耐熱性に優れた接合体を得ることができることに着目してなされたものである。
すなわち、接合体の概略断面図である図1に示すように、本実施の形態の接合体10は、第1及び第2の2つの被接合部材11,12と、その間に介在している接合層13とからなる接合体である。
接合層13は13a、13b、13cの3層からなり、いずれも金属間化合物からできている。被接合部材11中の金属成分と接合時に第1及び第2の被接合部材間に配置する接合層用材料(以下接合層用材料と称する)の金属成分とからなる金属間化合物であり、13cは被接合部材12中の金属成分と接合層用材料の金属成分とからなる金属化合物である。また、13bは被接合部材11及び被接合部材12の金属成分と接合層材料の金属成分からなる金属間化合物を指す。
本実施の形態の接合層においては、図中の13a、13b、13cの3層の少なくとも1層が金属間化合物からできていればよく、被接合部材11及び12中の金属成分と接合層用材料の金属成分とからなる合金が含まれていて良い。
本実施の接合体はこの接合層13が、Snと、このSnより高い融点を有する金属材料とからなり、この接合層中に、Snの量が20質量%以上、50質量%以下の範囲にある第1の層を有することを特徴としている。
本実施の形態の接合体は、具体的には、回路基板とその上に搭載される電子部品、あるいはリードフレームとその上に搭載される半導体素子、などが接合して形成される接合体である。この接合体は、電子機器の実装基板の一部に組み込まれたものであっても差し支えない。また、この接合体は、耐熱性が優れていることにより、高温環境において用いられる電子機器製品分野、あるいは、その接合の形成後、さらにリフローはんだ接合処理を施すプロセスを採用する製品分野において特にその効果を発揮する。
本実施の形態の接合体は、有害なPb及び高価なAuを実質的に使用せずとも十分な接合強度を有し、かつ高温条件においても機械的強度が維持可能で、高い耐熱性を持つ。
本実施の形態の接合体は、有害なPb及び高価なAuを実質的に使用せずとも十分な接合強度を有し、かつ高温条件においても機械的強度が維持可能で、高い耐熱性を持つ。
(被接合部材)
被接合部材の材料としては、耐熱性を有する材料であれば何ら制限されず、使用することができる。Snと親和性を有する材料であることが好ましいが、親和性を有しない材料であっても、後述するようにその表面にメタライズ層を形成することによって使用可能となる。
被接合部材の材料としては、耐熱性を有する材料であれば何ら制限されず、使用することができる。Snと親和性を有する材料であることが好ましいが、親和性を有しない材料であっても、後述するようにその表面にメタライズ層を形成することによって使用可能となる。
かかる被接合部材の材料としては、具体的には、Cu、Au、Ni、Ag、Pd、Pt、Al、Ge、Be、Nb、Mn、あるいはこれらの合金などが、好ましい。
さらに、Snとの親和性が低いが、メタライズ層を形成することによって使用するのに適した材料としては、Si、Fe−Ni合金などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
さらに、Snとの親和性が低いが、メタライズ層を形成することによって使用するのに適した材料としては、Si、Fe−Ni合金などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
前記メタライズ層とは、被接合材料表面に、接合層用材料との親和性を改善するために形成した金属膜をいう。例えば、半導体素子のSiは、Snとの親和性に劣り、接合を行うことは困難であるが、Siの表面にSnと親和性のある材料例えばCu、Ti、Ni、Auなどで被覆を形成することによって接合を行うことができるようになる。このような薄膜材料は、メタライゼーション技術として半導体技術分野においては周知のものであり、本実施の形態においてもかかる技術を採用することができる。
このメタライズ層の形成は、スパッタリング、真空蒸着、化学メッキ、イオンプレーティングなど、薄膜形成技術として周知の手段を採用することができる。
このメタライズ層の形成は、スパッタリング、真空蒸着、化学メッキ、イオンプレーティングなど、薄膜形成技術として周知の手段を採用することができる。
また、前記Snとの親和性向上のためのメタライズ層とは異なるが、電気的特性改善のためにCuなどの表面にAuなどの層を形成することがある。このような場合でも、Au層が10μm程度以下であれば全く支障なく用いることができる。
(接合層)
本実施の形態の接合層は、Sn(第1の金属成分)と、このSnより高い融点を有する金属材料(第2の金属成分)とからなるものであり、これらの金属成分が高融点金属間化合物乃至高融点合金を形成していることが好ましく、前記接合層13材料が、固相線温度が400℃以上の材料からなっていることが好ましい。固相線温度が400℃を下回った場合には、この接合体をはんだリフロープロセスなどの加熱処理工程に適用する場合に、接合部の高温強度が維持されないという不都合が生じる。また、高温環境下で使用されるデバイスに適用することが不適切とされる不都合が生じる。
本実施の形態の接合層は、Sn(第1の金属成分)と、このSnより高い融点を有する金属材料(第2の金属成分)とからなるものであり、これらの金属成分が高融点金属間化合物乃至高融点合金を形成していることが好ましく、前記接合層13材料が、固相線温度が400℃以上の材料からなっていることが好ましい。固相線温度が400℃を下回った場合には、この接合体をはんだリフロープロセスなどの加熱処理工程に適用する場合に、接合部の高温強度が維持されないという不都合が生じる。また、高温環境下で使用されるデバイスに適用することが不適切とされる不都合が生じる。
前記第2の金属成分は、Snより融点が高い金属材料であれば使用可能であるが、好ましくは、Snと加熱により反応して高融点の金属間化合物もしくは高融点合金を形成する材料を使用することが好ましい。より好ましくは、Snと高融点の金属間化合物を形成する金属材料である。
かかる第2の金属成分である高融点金属元素として、具体的には、Cu,Ag,Ni,Pd,Au,Coなどが挙げられ、これらの内の少なくとも1種類を用いることができる。
かかる第2の金属成分である高融点金属元素として、具体的には、Cu,Ag,Ni,Pd,Au,Coなどが挙げられ、これらの内の少なくとも1種類を用いることができる。
上記第2の金属成分としてCuを用いてSnと反応させた場合、η相(Cu6Sn5)、ε相(Cu3Sn)あるいはδ相(Cu40.5Sn11)のような金属間化合物が形成される。η相は、融点が415℃、ε相は、融点が676℃であり、接合後の耐熱性としては、十分な温度範囲にあり好ましい。
かかる金属間化合物においては、Sn質量比は20%質量%以上70質量%以下の範囲となる。Snが20質量%未満、あるいは70質量%を超えると金属間化合物が形成できない恐れがあるため、好ましくない。
また、Snの質量比が低い場合には、第2の金属成分として用いた高融点金属元素の拡散が促進され、より強度の高い接合層となる。そのためSnの質量比は50質量%以下がより好ましい。
かかる金属間化合物においては、Sn質量比は20%質量%以上70質量%以下の範囲となる。Snが20質量%未満、あるいは70質量%を超えると金属間化合物が形成できない恐れがあるため、好ましくない。
また、Snの質量比が低い場合には、第2の金属成分として用いた高融点金属元素の拡散が促進され、より強度の高い接合層となる。そのためSnの質量比は50質量%以下がより好ましい。
また、第2の金属成分としてAgを用いた場合には、Ag3Snなどの金属間化合物が形成される。かかる金属間化合物を形成するため、Sn質量比は10%以上35%以下が好ましい。
さらに、第2の金属成分としてAg及びCuを用いた場合には、Ag3Snなどの組成を有する金属間化合物、または、η相(Cu6Sn5)、ε相(Cu3Sn)あるいはδ相(Cu40.5Sn11)などの組成を有する金属間化合物を形成し耐熱性を有する接合材となる。
上記金属間化合物は、構成元素の一部が、他元素により置換されていても構わない。例えば、Ag3SnにCuが置換した場合には(Ag,Cu)3Sn、Cu3SnにAgが置換した場合には(Cu,Ag)3Sn、Cu40.5Sn11にAgが置換した場合には(Cu,Ag)40.5Sn11のような結晶構造となる。
上記接合層は、第1及び第2の被接合部材に挟まれ、質量比などの異なる複数層に分かれて存在している構造とすることが好ましい。
すなわち、第2の金属成分として1種の金属元素を用いた場合には、接合層の中心部分には、第1及び第2の金属成分が反応もしくは合金化して形成された層が存在し、その表層方向の層は、中心部を構成する組成に加えて被接合部材から拡散によって浸透する金属成分が多く含まれている層を存在させることが好ましい。
例えば2層のCu層の間にSn層を積層し反応させる場合、反応はCu層とSn層の界面において開始され、Cu層からCuがSn層に拡散し反応し金属間化合物を形成するが、中心部においては、よりSnがリッチな組成の金属間化合物が形成され、表層部においてはCuがリッチな組成の金属間化合物が形成される。
例えば2層のCu層の間にSn層を積層し反応させる場合、反応はCu層とSn層の界面において開始され、Cu層からCuがSn層に拡散し反応し金属間化合物を形成するが、中心部においては、よりSnがリッチな組成の金属間化合物が形成され、表層部においてはCuがリッチな組成の金属間化合物が形成される。
また、第2の金属成分として複数の金属元素を用いて反応させた場合、例えば、AgとCuを用いた場合には、Ag成分がリッチな(Ag,Cu)Sn層と、Cuがリッチな(Cu,Ag)Sn層とができる。
この接合層を複数層で構成された層とすることにより、単一層で形成した場合と比較して、複数層では完全に金属間化合物化するために要する時間が減少するため、低融点Sn相が残存する可能性が低い点で有利である。
この反応形態によって高融点の金属間化合物が形成され、耐熱性向上に寄与している。
この反応形態によって高融点の金属間化合物が形成され、耐熱性向上に寄与している。
上記接合層は、薄膜状であることが好ましく、その厚さは、1〜20μmの範囲とすることが好ましい。この厚さが20μmをこえると、金属間化合物形成のための所要時間が長時間となり接合効率が悪化する問題が生じ、この厚さが1μmに満たないと、被接合体とのぬれ性が低下する問題が生じて好ましくない。
本実施の形態において、上記構成を採用することにより、接合層は、高い融点を有する金属の金属間化合物乃至高融点合金を構成することにより、接合形成後にさらにリフローによりはんだ接合する場合などに、リフロー温度(通常250℃前後)よりも高温の融点を有しているため、リフロー後の熱劣化がみられないという効果を発揮する。また、この接合採用した電子デバイスにおいては、高温環境下の使用においても接合の劣化を招くことなく高温信頼性のあるデバイスを実現することができる。
[第2の実施の形態:接合方法]
本実施の形態の接合方法は、2つの被接合部材の間に、接合層用材料を配置し、加熱して接合層用材料を反応もしくは合金化させ、耐熱性のある接合層を形成して接合を行うものであり、接合層用材料として、Sn(第1の金属成分)と、これより高い融点を有する金属材料(第2の金属成分)を用いるものである。
この接合方法において、第2の金属成分として、被接合部材に含まれている金属元素を用いることができる。すなわち、2つの被接合部材間に第1の金属成分を介在させ、被接合部材を構成する金属元素と第1の金属成分との間で、反応もしくは合金化を行い、接合層を形成するものである。
この方法によれば、被接合部材に第1の金属成分のみの膜を付与し、第2の金属成分の膜付与工程を省略することができる。また、被接合部材と接合層との結合が強固になることが期待される。
本実施の形態の接合方法は、2つの被接合部材の間に、接合層用材料を配置し、加熱して接合層用材料を反応もしくは合金化させ、耐熱性のある接合層を形成して接合を行うものであり、接合層用材料として、Sn(第1の金属成分)と、これより高い融点を有する金属材料(第2の金属成分)を用いるものである。
この接合方法において、第2の金属成分として、被接合部材に含まれている金属元素を用いることができる。すなわち、2つの被接合部材間に第1の金属成分を介在させ、被接合部材を構成する金属元素と第1の金属成分との間で、反応もしくは合金化を行い、接合層を形成するものである。
この方法によれば、被接合部材に第1の金属成分のみの膜を付与し、第2の金属成分の膜付与工程を省略することができる。また、被接合部材と接合層との結合が強固になることが期待される。
以下本実施の形態である接合方法についてさらに詳細に説明する。
本実施の形態の接合方法は、第1の被接合部材の表面に、Sn膜を付与する工程と、前記Sn膜表面に第2の被接合部材を密接させ、250℃以上450℃以下で加熱して密着させ、接合する工程を有する接合方法である。接合温度はより好ましくは、300℃以上400℃以下である。接合温度がこれより低いと、接合層材料が十分反応もしくは合金化せず、耐熱性の改善が不十分である。一方、接合温度が上記範囲を超える場合、被接合部材に熱的にダメージを与える可能性が大きく、好ましくない。
本実施の形態の接合方法は、第1の被接合部材の表面に、Sn膜を付与する工程と、前記Sn膜表面に第2の被接合部材を密接させ、250℃以上450℃以下で加熱して密着させ、接合する工程を有する接合方法である。接合温度はより好ましくは、300℃以上400℃以下である。接合温度がこれより低いと、接合層材料が十分反応もしくは合金化せず、耐熱性の改善が不十分である。一方、接合温度が上記範囲を超える場合、被接合部材に熱的にダメージを与える可能性が大きく、好ましくない。
この接合方法における接合工程において、第1の被接合部材の表面に形成する接合層材料は、第1の金属成分の箔を載置してもよいし、また、第1の金属成分をスパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法などの物理的薄膜形成技術を用いて付与してもよい。さらに、化学メッキ法を採用することもできる。
この方法においては、第1の被接合部材及び第2の被接合部材に含まれるSnと反応もしくは合金化する第2の金属成分の量が、Snの量より多量である必要がある。Snの量が第2の金属成分の量より少量であると、未反応のSnが残存し、耐熱性が低下する可能性があり好ましくない。
この方法においては、第1の被接合部材及び第2の被接合部材に含まれるSnと反応もしくは合金化する第2の金属成分の量が、Snの量より多量である必要がある。Snの量が第2の金属成分の量より少量であると、未反応のSnが残存し、耐熱性が低下する可能性があり好ましくない。
上記接合工程において、加熱時間は、1秒〜5分となるように加熱すればより好ましい。加熱時間がこれより短いと十分金属間化合物あるいは合金形成に至らず、耐熱性が十分ではない。一方、上記範囲を超えて加熱しても、加熱時間増加に見合った耐熱性向上の効果が望めず、不経済である。
上記接合工程は、大気中雰囲気で行ってもよいが、酸化されやすい金属を含む接合材を用いた場合には、窒素のような非酸化性雰囲気で加熱を行うことが好ましい。さらには、水素を含有した還元性雰囲気で加熱を行うことがなお好ましい。
上記接合工程は、大気中雰囲気で行ってもよいが、酸化されやすい金属を含む接合材を用いた場合には、窒素のような非酸化性雰囲気で加熱を行うことが好ましい。さらには、水素を含有した還元性雰囲気で加熱を行うことがなお好ましい。
前記接合層の厚さは、1μm以上、50μm以下の範囲であることが望ましい。複数層にわたって成層する場合、合計の膜厚を、上記範囲とすることが好ましい。接合層が1μmより薄い場合には、良好な接合性を確保することが困難となり、また、50μm以上の場合には、物理的成膜法によって接合層を形成する場合、製造効率を妨げる恐れがあるため、好ましくない。
本実施の形態の接合方法によれば、270℃以上の耐熱性を有する接合層が形成されるため、270℃の高温条件下においても接合層の耐熱性を維持することができ、高温系マウント材として求められる250℃において耐熱性があるという要求に十分応えることができる。また、接合層材料内部において、第1の被接合部材、または第2の被接合部材の構成元素が、接合層に固溶した相、または、接合層中の接合材構成元素と各被接合部層用材料構成元素とで構成される金属間化合物相等が生成してよい。その結果として、高温条件下においても機械的強度の良好な接合体が短時間で得ることができる。
本実施の形態に係る接合体、接合方法は、はんだ接合を行うことができるいかなる分野で用いられてもよいが、特に製造プロセス、あるいは製品使用時に高温条件下に置かれる電子機器部品、半導体デバイス特にパワー系半導体デバイスにおける部品の接合に好適に用いられる。特に半導体素子とリードフレームとの接合に際しては特に好適に用いられる。
[第3の実施の形態:接合方法の変形例]
上記第2の実施の形態の接合方法においては、第2の金属成分として、被接合部材を構成する金属そのものを用いる例を示したが、本実施の形態は、第1の金属成分と第2の金属成分をそれぞれ膜として被接合部材に付与する例である。
すなわち、本実施の形態の接合方法は、第1の被接合部材表面に、Sn膜と、Snより高い融点を有する金属材料膜とを、それぞれ少なくとも1層ずつ付与する工程と、前記工程で付与した金属材料の膜の表面に第2の被接合部材を密着させて加圧しながら250℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法である。
上記第2の実施の形態の接合方法においては、第2の金属成分として、被接合部材を構成する金属そのものを用いる例を示したが、本実施の形態は、第1の金属成分と第2の金属成分をそれぞれ膜として被接合部材に付与する例である。
すなわち、本実施の形態の接合方法は、第1の被接合部材表面に、Sn膜と、Snより高い融点を有する金属材料膜とを、それぞれ少なくとも1層ずつ付与する工程と、前記工程で付与した金属材料の膜の表面に第2の被接合部材を密着させて加圧しながら250℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法である。
この接合方法における接合工程において、第1の被接合部材の表面に形成する接合層材料は、第1の金属成分及び第2の金属成分の箔をそれぞれ載置してもよいし、また、接合層材料膜をスパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法などの物理的薄膜形成技術を用いて付与してもよい。さらに、化学メッキ法を採用して膜を付与してもよい。
また、本実施の形態の接合層材料である第1の金属成分及び第2の金属成分を同時に薄膜形成してもよいし、それぞれを順次1層ずつもしくは複数層ずつ積層してもよい。各成分を順次成膜する場合、単一元素の層を複数層に分けて成膜してもよい。具体的には、仮にA金属とB金属を成膜する場合、A層、B層、A層、B層のように、複数層に分割して成膜することもできる。このような成膜法によれば、A金属とB金属の反応もしくは合金化が速やかに進行するので好ましい。
また、第2の金属成分として複数の金属元素を用いる場合、それぞれの元素及び第1の金属成分をそれぞれ単独で成膜してもよいし、同時に成膜してもよい。また、単一元素の層を複数回に分けて成膜してもよい。
また、第2の金属成分として複数の金属元素を用いる場合、それぞれの元素及び第1の金属成分をそれぞれ単独で成膜してもよいし、同時に成膜してもよい。また、単一元素の層を複数回に分けて成膜してもよい。
前記薄膜接合材の厚さは、1μm以上、50μm以下の範囲であることが望ましい。複数層にわたって薄膜化する場合、合計の膜厚を、上記範囲とすることが好ましい。金属層が1μmより薄い場合には、良好な接合性を確保することが困難となり、また、50μm以上の場合には、物理的成膜法によって接合層を形成する場合、製造効率を妨げる恐れがあるため、好ましくない。
上記接合工程において、加熱時間は、1秒〜5分となるように加熱すればよい。
上記接合工程は、大気中雰囲気で行ってもよいが、酸化されやすい金属を含む接合用材料を用いた場合には、窒素のような非酸化性雰囲気で加熱を行うことが好ましい。さらには、水素を含有した還元性雰囲気で加熱を行うことがなお好ましい。
上記接合工程は、大気中雰囲気で行ってもよいが、酸化されやすい金属を含む接合用材料を用いた場合には、窒素のような非酸化性雰囲気で加熱を行うことが好ましい。さらには、水素を含有した還元性雰囲気で加熱を行うことがなお好ましい。
上記実施の形態においては、2つの被接合部材の一方の表面に接合層材料を形成する例を示したが、接合層材料を第1の被接合部材および第2の被接合部材の双方の表面に形成してもよい。
この場合、2つの接合層材料は、同一組成の層であってもよいし、それぞれ異なる組成の層であってもよい。最終的にはんだ接合された後の接合層材料が、上記本実施の形態の接合層の組成となるように、各層の組成を調整することによって、本実施の形態のはんだ接合を形成することができる。
また、各基材表面に形成される薄膜の厚さは、それらの合計量が1μm以上、50μm以下の範囲となるよう、それぞれ設定することができる。
この場合、2つの接合層材料は、同一組成の層であってもよいし、それぞれ異なる組成の層であってもよい。最終的にはんだ接合された後の接合層材料が、上記本実施の形態の接合層の組成となるように、各層の組成を調整することによって、本実施の形態のはんだ接合を形成することができる。
また、各基材表面に形成される薄膜の厚さは、それらの合計量が1μm以上、50μm以下の範囲となるよう、それぞれ設定することができる。
[第4の実施の形態:接合方法の他の変形例]
この実施形態の接合方法は、第1の被接合部材および第2の被接合部材の少なくとも一方を、金属、セラミックス、あるいは半導体などからなる母材の表面にメタライズ層を形成したものとするものである。この方法は、上記はんだ接合に適さない材料を被接合部材として用いる場合に適している。
この実施形態の接合方法は、第1の被接合部材および第2の被接合部材の少なくとも一方を、金属、セラミックス、あるいは半導体などからなる母材の表面にメタライズ層を形成したものとするものである。この方法は、上記はんだ接合に適さない材料を被接合部材として用いる場合に適している。
前述のように、第1の被接合部材または第2の被接合部材が、金属、セラミックス、半導体等の材料からなる母材と、その表面に形成されたメタライズ層とからなっている。このメタライズ層は、Cu、Au、Ag、Ni,Pd,Co,Ti,Pt,Alまたはこれらの金属材料を用いた金属合金からなる群より選択される材料であることが好ましいが、用途に応じて選択可能であり特に限定されることはない。このメタライズ層は、単一材料の層であってもよいし、相互に異なる材料からなる複数のメタライズ層からなっていてもよい。母材表面にメタライズする手段としては、蒸着、スパッタリング、めっき処理や電子ビーム処理等の物理的あるいは化学的成膜法を採用することができる。
メタライズ層の厚さ(平均厚さ)は、特に限定されるものではないが、0.1μm以上、500μm以下の範囲であることが望ましい。この厚さが、0.1μm以下であると、十分なはんだ接合強度が得られない。また、500μm以上のメタライズ層を形成するには、薄膜形成に長時間を要し、実用的ではない。
本実施の形態においては、前記メタライズ層表面に、前記成膜法を適用して、接合層を形成し、前記第1の実施の形態における方法と同様にして接合することができる。また、メタライズ層を備えていない接合部材表面に接合材層を形成し、メタライズ層を備えた基材と接合することもできる。
[第5の実施の形態:上記接合技術を適用した半導体装置]
上記はんだ接合技術は、半導体装置の製造に適用することできる。
上記はんだ接合技術は、半導体装置の製造に適用することできる。
以下、本実施の形態を適用することができる半導体装置について、図面を用いて説明する。
図6は、本実施の形態の接合技術を適用した半導体装置の一例を示す断面図である。この実施形態の半導体装置は、外部端子となるリード部65を有するリードフレーム62と、リードフレーム62表面に配置されている半導体素子64と、このリードフレーム62と半導体素子64との間で両者を接合している接合層63と、これらを包囲する封止樹脂61とを有している。
リードフレーム62は、42アロイなどの低熱膨張材料、Cuなど高熱膨張材料の金属の表面に、例えばAgめっきおよびCuめっきなどが施されていてもよい。本実施の形態の半導体装置としては、例えばダイオード、トランジスタ、コンデンサ、サイリスタ等を挙げることができる。
図6は、本実施の形態の接合技術を適用した半導体装置の一例を示す断面図である。この実施形態の半導体装置は、外部端子となるリード部65を有するリードフレーム62と、リードフレーム62表面に配置されている半導体素子64と、このリードフレーム62と半導体素子64との間で両者を接合している接合層63と、これらを包囲する封止樹脂61とを有している。
リードフレーム62は、42アロイなどの低熱膨張材料、Cuなど高熱膨張材料の金属の表面に、例えばAgめっきおよびCuめっきなどが施されていてもよい。本実施の形態の半導体装置としては、例えばダイオード、トランジスタ、コンデンサ、サイリスタ等を挙げることができる。
上記本実施の形態の半導体装置においては、半導体素子表面を、Au、Ni、Ag、Cu、Pd、Pt及びAl、またはこれらの金属材料を用いた金属合金からなる群より選択される材料を用いた金属薄膜でメタライズし、この半導体素子の金属薄膜がメタライズされた面と、前記半導体素子を載置する金属リードフレームとを、Snと、これらより融点の高い金属元素とからなる接合層用材料によって接合するものである。
前記半導体装置において、前記金属フレームは、Au、Ni、Ag、Cu、Pd、Pt及びAl、またはこれらの金属材料を用いた金属合金からなる群より選択される材料で構成されていてもよいし、任意の金属母材表面が、Au、Ni、Ag、Cu、Pd、Pt及びAl、またはこれらの金属材料を用いた金属合金からなる群より選択される材料を用いた金属薄膜でメタライズされていても良い。
本実施の形態において、接合層用材料を構成するSn以上の融点を有する金属材料としては、Ag、Cu、Ni、Pd、Pt及びAl、またはこれらの金属材料を用いた金属合金からなる群により選択される材料を用いることが好ましい。また、これ以外の金属元素が微量添加されていても、本発明の効果は変わらない。
本実施の形態の半導体装置の製造方法及び半導体装置によれば、半導体装置の製造過程において有害な高Pb含有接合層用材料を使用せずとも、高温条件下にさらされても半導体素子とリードフレーム間の接合強度は維持され、信頼性の高い半導体装置を短時間で提供できる。
以下、実施例により本発明を詳細に説明する。
(実施例1)
20mm×20mm、厚さ0.3mmのCu板の表面に、10mm×10mm厚さ0.1mmの純Sn箔を載置し、ロジン活性化フラックスを塗布し、その上に上記サイズのCu板を載置した。これを300℃で5分加熱し接合を行った。
その結果、Cu板の間に、SnCuからなる複数の金属間化合物層が形成されていた。元素分析の結果、中心層は、η相で構成されており、中心層の両側に位置する表層側層は、ε相で構成されていることが分かった。
この接合層は、400℃加熱に耐える耐熱性を備えていた。
20mm×20mm、厚さ0.3mmのCu板の表面に、10mm×10mm厚さ0.1mmの純Sn箔を載置し、ロジン活性化フラックスを塗布し、その上に上記サイズのCu板を載置した。これを300℃で5分加熱し接合を行った。
その結果、Cu板の間に、SnCuからなる複数の金属間化合物層が形成されていた。元素分析の結果、中心層は、η相で構成されており、中心層の両側に位置する表層側層は、ε相で構成されていることが分かった。
この接合層は、400℃加熱に耐える耐熱性を備えていた。
(実施例2)
600μm厚さのシリコンウェハ表面に、Ti、Ni、Au薄膜をスパッタ法によりこの順序により成膜した。その後、その表面に、Sn、Ag、Sn、Cu、Snをこの順序に蒸着して薄膜を形成した。これらの膜厚は、下記表1に示すとおりである。
600μm厚さのシリコンウェハ表面に、Ti、Ni、Au薄膜をスパッタ法によりこの順序により成膜した。その後、その表面に、Sn、Ag、Sn、Cu、Snをこの順序に蒸着して薄膜を形成した。これらの膜厚は、下記表1に示すとおりである。
成膜したシリコンウェハを2.5×3.0mmのサイズに裁断し、これをロジン活性化フラックス処理したCu板と密着させ、300℃で30秒加熱して接合させた。
こうして得た接合体の断面SEM写真及びEDXによる接合層の元素分析結果を図4(a)に示す。元素分析結果は質量%で示した。また、得られた接合体を25℃、250℃及び270℃の温度条件で下記方法によりダイシェア試験を行った。その結果を図2に示す。図2の結果から明らかな様に、各サンプルについて、いずれも10MPaを超えるせん断強度が得られ、高温条件下でも十分なせん断強度があり、耐熱性があることが分かった。
こうして得た接合体の断面SEM写真及びEDXによる接合層の元素分析結果を図4(a)に示す。元素分析結果は質量%で示した。また、得られた接合体を25℃、250℃及び270℃の温度条件で下記方法によりダイシェア試験を行った。その結果を図2に示す。図2の結果から明らかな様に、各サンプルについて、いずれも10MPaを超えるせん断強度が得られ、高温条件下でも十分なせん断強度があり、耐熱性があることが分かった。
(ダイシェア試験)
上記接合体について、図3に示す試験装置を用いて行う高温剪断試験であって、リードフレーム31の表面に接合層32を介して半導体素子33が接合されている試験体を、加圧片34を用いて矢印方向に力を印加し、破断時の強度を測定する。
上記接合体について、図3に示す試験装置を用いて行う高温剪断試験であって、リードフレーム31の表面に接合層32を介して半導体素子33が接合されている試験体を、加圧片34を用いて矢印方向に力を印加し、破断時の強度を測定する。
(実施例3)
パワー系半導体装置における半導体素子とリードフレームとの接合を行った。半導体素子としては、2.5×3.0×0.6mmサイズのものを用いた。このパワー系半導体モジュールでは、10mm角のSi半導体素子に、第1の被接合部材として、Auを蒸着することにより、0.1μm厚のAuよりなるメタライズ層を形成した。さらに、メタライズ層表面には、実質的に質量構成比でSnを25%、Cuを22%含み、残部がAgよりなる5μm厚の接合層用材料を蒸着形成した。
また、第2の被接合部材として、Cuよりなるリードフレームを用いた。
更に、上記接合層用材料とCuとが接するように積層し、その後加熱して接合を行なった。加熱は、100ppm以下の酸素濃度にしたフォーミングガス(窒素+水素)雰囲気中で、熱板上で加熱した。加熱条件は、350℃、5秒とした。
パワー系半導体装置における半導体素子とリードフレームとの接合を行った。半導体素子としては、2.5×3.0×0.6mmサイズのものを用いた。このパワー系半導体モジュールでは、10mm角のSi半導体素子に、第1の被接合部材として、Auを蒸着することにより、0.1μm厚のAuよりなるメタライズ層を形成した。さらに、メタライズ層表面には、実質的に質量構成比でSnを25%、Cuを22%含み、残部がAgよりなる5μm厚の接合層用材料を蒸着形成した。
また、第2の被接合部材として、Cuよりなるリードフレームを用いた。
更に、上記接合層用材料とCuとが接するように積層し、その後加熱して接合を行なった。加熱は、100ppm以下の酸素濃度にしたフォーミングガス(窒素+水素)雰囲気中で、熱板上で加熱した。加熱条件は、350℃、5秒とした。
こうして得た接合体の断面SEM写真及びEDXによる接合層の元素分析結果を図4(b)に示す。元素分析結果は質量%で示した。接合後の接合界面の断面をSEM観察したところ、ボイドの発生は認められず、良好な接合性を示した。
最後に接合したリードフレームと半導体素子とを樹脂封止し、260℃の耐熱性を有したパワー系半導体装置を得た。
(実施例4)
パワー系半導体装置における半導体素子とリードフレームとの接合を行った。半導体素子としては、2.5×3.0×0.6mmサイズのものを用いた。このパワー系半導体モジュールでは、10mm角のSi半導体素子に、第1の被接合部材として、Auを蒸着することにより、0.1μm厚のAuよりなるメタライズ層を形成した。さらに、メタライズ層表面には、実質的に質量構成比でSnを25%、Cuを22%含み、残部がAgよりなる10μm厚の接合層用材料を蒸着形成した。
また、第2の被接合部材として、42アロイよりなるリードフレーム表面上にCuよりなる10μmのメタライズ層を無電解めっき処理により形成したものを用いた。
更に、上記接合層用材料とメタライズ層とが接するように積層し、その後加熱して接合を行なった。加熱は、100ppm以下の酸素濃度にしたフォーミングガス(窒素+水素)雰囲気中で、熱板上で加熱した。加熱条件は、400℃、5秒とした。
パワー系半導体装置における半導体素子とリードフレームとの接合を行った。半導体素子としては、2.5×3.0×0.6mmサイズのものを用いた。このパワー系半導体モジュールでは、10mm角のSi半導体素子に、第1の被接合部材として、Auを蒸着することにより、0.1μm厚のAuよりなるメタライズ層を形成した。さらに、メタライズ層表面には、実質的に質量構成比でSnを25%、Cuを22%含み、残部がAgよりなる10μm厚の接合層用材料を蒸着形成した。
また、第2の被接合部材として、42アロイよりなるリードフレーム表面上にCuよりなる10μmのメタライズ層を無電解めっき処理により形成したものを用いた。
更に、上記接合層用材料とメタライズ層とが接するように積層し、その後加熱して接合を行なった。加熱は、100ppm以下の酸素濃度にしたフォーミングガス(窒素+水素)雰囲気中で、熱板上で加熱した。加熱条件は、400℃、5秒とした。
こうして得た接合体の断面SEM写真及びEDXによる接合層の元素分析結果を図4(c)に示す。元素分析結果は質量%で示した。接合後の接合界面の断面をSEM観察したところ、ボイドの発生は認められず、良好な接合性を示した。
最後に接合したリードフレームと半導体素子とを樹脂封止し、270℃の耐熱性を有したパワー系半導体装置を得た。
(実施例5)
接合層用材料として、実質的に質量構成比でSnを35%、Cuを13%含み、残部がAgよりなる5μm厚の接合層用材料を用いたこと以外には、上記実施例3と同様にして、パワー半導体とリードフレームとの接合を行った。
接合後の接合界面の断面をSEM観察したところ、ボイドの発生は認められず、良好な接合性を示していた。
接合層用材料として、実質的に質量構成比でSnを35%、Cuを13%含み、残部がAgよりなる5μm厚の接合層用材料を用いたこと以外には、上記実施例3と同様にして、パワー半導体とリードフレームとの接合を行った。
接合後の接合界面の断面をSEM観察したところ、ボイドの発生は認められず、良好な接合性を示していた。
(実施例6)
接合層用材料として、実質的に質量構成比でSnを40%、Cuを13%含み、残部がAgよりなる5μm厚の接合層用材料を用いたこと以外には、上記実施例3と同様にして、パワー半導体とリードフレームとの接合を行った。
接合後の接合界面の断面をSEM観察したところ、ボイドの発生は認められず、良好な接合性を示していた。
接合層用材料として、実質的に質量構成比でSnを40%、Cuを13%含み、残部がAgよりなる5μm厚の接合層用材料を用いたこと以外には、上記実施例3と同様にして、パワー半導体とリードフレームとの接合を行った。
接合後の接合界面の断面をSEM観察したところ、ボイドの発生は認められず、良好な接合性を示していた。
(実施例7)
本実施例では、第2の被接合部材としてAgよりなるメタライズ層を42アロイよりなるリードフレーム上に成膜して用いた以外は実施例3と同様にパワー系半導体装置を得た。
本実施例では、第2の被接合部材としてAgよりなるメタライズ層を42アロイよりなるリードフレーム上に成膜して用いた以外は実施例3と同様にパワー系半導体装置を得た。
接合後の接合界面の断面をSEM観察から、ボイドは発生せず良好な接合性を示し、高温での接合性も良好であった。
最後に接合したリードフレームと半導体素子とを樹脂封止し、270℃の耐熱性を有したパワー系半導体装置を得た。
(参考例)
本実施例では、2.5×3.0×0.6mmサイズの半導体素子13上に真空蒸着により形成された0.1μm厚のAu層および10μm厚のSn層の表面上に、更に真空蒸着により10μm厚のZn−Sn系接合層を形成した以外は実施例3と同様にパワー系半導体装置を得た。蒸着により形成されたZn−Sn接合層は、Snが50.0質量%、残りがZnからなるZn-Sn系合金を用いている。この接合層を、Cuからなるリードフレーム上に施されたSn層上に搭載して、100ppmの酸素濃度にしたフォーミングガス(窒素+水素)雰囲気中で、熱板上で加熱した。加熱条件は、400℃、5秒とした。
本実施例では、2.5×3.0×0.6mmサイズの半導体素子13上に真空蒸着により形成された0.1μm厚のAu層および10μm厚のSn層の表面上に、更に真空蒸着により10μm厚のZn−Sn系接合層を形成した以外は実施例3と同様にパワー系半導体装置を得た。蒸着により形成されたZn−Sn接合層は、Snが50.0質量%、残りがZnからなるZn-Sn系合金を用いている。この接合層を、Cuからなるリードフレーム上に施されたSn層上に搭載して、100ppmの酸素濃度にしたフォーミングガス(窒素+水素)雰囲気中で、熱板上で加熱した。加熱条件は、400℃、5秒とした。
接合後の接合界面の断面をSEM観察したところ、ボイドは発生せず良好な接合性を示し、高温での接合性も良好であった。
最後に接合したリードフレームと半導体素子とを樹脂封止し、パワー系半導体装置を得た。
(実施例8〜13及び比較例1〜3)
実施例8では、第1の被接合部材として42アロイにCuメッキした被接合部材を、実施例9〜13は被接合部材にCuを用い、AgCuSn系接合層用材料を表2に示すような比率になるように各元素を蒸着によって成膜した。加熱は実施例7の場合には450℃、実施例9〜13の場合には400℃、N2雰囲気下で接合性を評価した。
一方、比較例1及び2は被接合材として42アロイを用い、表2に示すような比率になるように実施例8同様に各元素を蒸着によって成膜し、比較例3では被接合部材としてCuを用い、実質的に質量構成比でSnを75%、Cuを13%含み、残部がAgとなるように各元素を蒸着によって成膜して、評価した。
表2にその結果を示した。評価は各接合層の接合性と265℃における接合強度により行った。接合性は実施例3と同様に接合界面をSEM観察し、接合が良好であるものは○、接合界面にボイドが発生したり、接合していないものには×を示した。また、接合強度の測定は実施例2と同様に半導体素子が接合されている試験体を作製し、各試験体の260℃におけるせん断強度を測定した。
この測定は、各試験片について、室温及び275℃加熱時について、各10サンプルについて行った。
図5は、本願実施例により提供されるサンプルに対するせん断強度試験結果の一例であり、室温と、275℃におけるせん断強度を測定している。各実施例において試料を3〜5個用意し、それぞれのサンプルのせん断強度を測定し、その平均値を算出した。
図5に見られるように、各結果においては全て275℃加熱時においても室温時並のせん断強度を示しており、耐熱性があることが分かった。
接合しておらずせん断強度の測定ができない試験体については「−」で、測定ができた試験体については破断時の強度(MPa)を示した。
本願発明の実施例8〜13は全て十分接合したのに対して、比較例1は、接合しなかった。また、実施例8〜13はいずれも接合強度13.0MPaより大きく、十分な接合強度を示したのに対し、比較例2及び3については265℃における接合強度が13MPa以下(表2において×で示す)となり、実用上不十分であった。
実施例8では、第1の被接合部材として42アロイにCuメッキした被接合部材を、実施例9〜13は被接合部材にCuを用い、AgCuSn系接合層用材料を表2に示すような比率になるように各元素を蒸着によって成膜した。加熱は実施例7の場合には450℃、実施例9〜13の場合には400℃、N2雰囲気下で接合性を評価した。
一方、比較例1及び2は被接合材として42アロイを用い、表2に示すような比率になるように実施例8同様に各元素を蒸着によって成膜し、比較例3では被接合部材としてCuを用い、実質的に質量構成比でSnを75%、Cuを13%含み、残部がAgとなるように各元素を蒸着によって成膜して、評価した。
表2にその結果を示した。評価は各接合層の接合性と265℃における接合強度により行った。接合性は実施例3と同様に接合界面をSEM観察し、接合が良好であるものは○、接合界面にボイドが発生したり、接合していないものには×を示した。また、接合強度の測定は実施例2と同様に半導体素子が接合されている試験体を作製し、各試験体の260℃におけるせん断強度を測定した。
この測定は、各試験片について、室温及び275℃加熱時について、各10サンプルについて行った。
図5は、本願実施例により提供されるサンプルに対するせん断強度試験結果の一例であり、室温と、275℃におけるせん断強度を測定している。各実施例において試料を3〜5個用意し、それぞれのサンプルのせん断強度を測定し、その平均値を算出した。
図5に見られるように、各結果においては全て275℃加熱時においても室温時並のせん断強度を示しており、耐熱性があることが分かった。
接合しておらずせん断強度の測定ができない試験体については「−」で、測定ができた試験体については破断時の強度(MPa)を示した。
本願発明の実施例8〜13は全て十分接合したのに対して、比較例1は、接合しなかった。また、実施例8〜13はいずれも接合強度13.0MPaより大きく、十分な接合強度を示したのに対し、比較例2及び3については265℃における接合強度が13MPa以下(表2において×で示す)となり、実用上不十分であった。
10…接合体
11…第1の被接合部材
12…第2の被接合部材
13…接合層
11…第1の被接合部材
12…第2の被接合部材
13…接合層
Claims (8)
- 第1の被接合部材と、第2の被接合部材と、これらの被接合部材間に介在している接合層からなる接合体であって、
前記接合層が、Snと、Snより高い融点を有する金属材料を含み、
該接合層中に少なくともSnの量が、20質量%以上70質量%以下である第1の層を有することを特徴とする接合体。 - 前記接合層が前記第1の層と質量比の異なる第2の層を含むことを特徴とする請求項1に記載の接合体。
- 前記接合層が、固相線温度400℃以上の材料からなるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の接合体。
- 前記接合層が、CuとSnの金属間化合物であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の接合体。
- 前記接合層中の前記第1の層はSnの質量比が20%以上50%以下であるCu及びSnの金属間化合物を含み、
前記第2の層はSnの質量比が10%以上35%以下であるAg及びSnの金属間化合物を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の接合体。 - 前記第1の被接合部材はCuであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の接合体。
- Snより高い融点を有する金属材料を含む第1の被接合部材表面に、Sn膜を付与する工程と、
このSn膜表面に第2の被接合部材を密着させて、加圧しながら250℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法。 - 第1の被接合部材表面に、Sn膜と、Snより高い融点を有する金属材料膜とを、それぞれ少なくとも1層ずつ付与する工程と、
前記工程で付与した金属材料の膜の表面に第2の被接合部材を密着させて、加圧しながら250℃以上450℃以下の温度で加熱することを特徴とする接合方法。
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