JP2008203556A - デジタル露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】床面占有面積の増加を防ぎ、且つケーブル類の長尺化を抑制して露光精度の向上を図る。
【解決手段】デジタル露光装置2は、装置本体3、画像処理ユニット4a〜4j、載置台5、光源ユニット6a〜6t、光ファイバ22、信号ケーブル21を備える。装置本体3の上方に載置台5が配され、この載置台5の上面に画像処理ユニット4a〜4j及び光源ユニット6a〜6jを載置した2階建て構造となっている。画像処理ユニット4a〜4j及び光源ユニット6a〜6tは、装置本体3に内蔵される露光ヘッドに近接する位置に配設している。
【選択図】図1
【解決手段】デジタル露光装置2は、装置本体3、画像処理ユニット4a〜4j、載置台5、光源ユニット6a〜6t、光ファイバ22、信号ケーブル21を備える。装置本体3の上方に載置台5が配され、この載置台5の上面に画像処理ユニット4a〜4j及び光源ユニット6a〜6jを載置した2階建て構造となっている。画像処理ユニット4a〜4j及び光源ユニット6a〜6tは、装置本体3に内蔵される露光ヘッドに近接する位置に配設している。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板上へ2次元パターンを露光するデジタル露光装置に関する。
デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)等の空間光変調素子を露光部に設け、画像データに基づいてDMDを駆動制御し、光ビームを変調することにより、基板上に露光を行うデジタル露光装置(マルチビーム露光装置とも称される)が製品化されている。DMDは、半導体基板に2次元配列された各メモリセル(SRAMセル)に微小なマイクロミラーを揺動自在に取り付けてなるミラーデバイスであり、各メモリセルに書き込まれたデータ(電荷)に応じた静電気力によりマイクロミラーの反射面の角度が変化する。
一方、近年では液晶ディスプレイ装置が益々普及してきており、特に画面の大きなものが望まれるようになっている。そこで、液晶ディスプレイ装置を構成する基板を低コスト且つ効率良く製造するために、上述のデジタル露光装置が用いられているが、液晶ディスプレイ装置の画面大型化に伴い、それを製造するデジタル露光装置も大型化の傾向にある。
そこで、特許文献1に記載されている露光装置では、本体を構成するチャンバに内側に陥没する凹部を形成し、この凹部に周辺機器を配して床面占有面積の減少とメンテナンス性の向上を図っている。また、特許文献2では、露光装置本体と、光源としてのレーザ装置のメンテナンスエリアを共通化し、必要床面積の減少を図っている。
特開2005−37914号公報
しかしながら、上述したような大型基板に対応するデジタル露光装置は、多数の画像処理ユニットや光源ユニットを配置しなければならず、これらの製造に必要な空間及びメンテナンス用のスペースのために床面占有面積が増加する傾向にあるが、上記特許文献1,2記載の露光装置では、多数の画像処理ユニットや光源ユニットを配置するための空間は考えられておらず、床面占有面積のスペース効率化は困難である。さらに画像データを送信する信号ケーブルや、光ビームを送信する光ファイバなどのケーブル類が長尺下の一途を辿っており、このようなケーブル類の長尺化は、ノイズ混入や、伝送効率の低下の原因となる。
液晶ディスプレイ用の基板は、画面を大型化しつつ、性能も従来以上のものが求められているため、基板への露光精度を向上させなければならないが、上述したようなデジタル露光装置の大型化や、それに伴うノイズ混入、伝送効率の問題は、露光精度低下の原因になる。
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、床面占有面積の増加を防ぎ、且つケーブル類の長尺化を抑制して、メンテナンス性の向上及び露光精度の向上を図ることが可能なデジタル露光装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明のデジタル露光装置は、露光ヘッドが基板に描画処理を行う装置本体と、前記露光ヘッドへ光ビームを入力する複数の光源ユニットと、前記露光ヘッドが基板に露光する画像データを入力する複数の画像処理ユニットと、前記光源ユニットから前記露光部へ光ビームを伝達する光ケーブルと、前記画像処理ユニットから前記露光ヘッドへ画像データを送信する信号ケーブルとを備えた画像処理装置において、前記装置本体の上方に、前記画像処理ユニット及び前記光源ユニットを配置した2階建て構造とし、且つ前記露光ヘッドに近接する位置に前記画像処理ユニットを配置していることを特徴とする。
また、前記露光ヘッドと前記画像処理ユニットとは、互いに分離して配置されていることが好ましい。さらにまた、前記光源ユニットと前記露光ヘッドを近接して配置していることが好ましい。あるいは、前記装置本体の床面占有面積の範囲内に前記画像処理ユニットを配置していることも効果的である。
前記装置本体、前記画像処理ユニット、及び前記光源ユニットに供給される電力をそれぞれ独立して遮断する電源遮断手段を備えていることが好ましい。
本発明は、装置本体の上方に、画像処理ユニット及び光源ユニットを配置した2階建て構造とし、且つ露光ヘッドに近接する位置に画像処理ユニットを配置しているから、床面占有面積の増大を防ぎ、ケーブル類の長尺化を抑制することができるので、メンテナンス性の向上を図ることができるとともに、及び露光精度の向上を図ることができる。
図1において、デジタル露光装置2は、基板10への露光を行う装置本体3と、装置本体3へ画像データを入力する複数の画像処理ユニット4a〜4jと、載置台5と、露光部3へ光ビームを入力する複数の光源ユニット6a〜6tとを備えている。基板10は、プリント基板やフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であり、表面に感光材料が塗布または貼着されている。
このデジタル露光装置2は、図1及び図2に示すように、装置本体3の床面占有面積上方に載置台5が配され、この載置台5の上面に画像処理ユニット4a〜4j及び光源ユニット6a〜6jを載置した2階建て構造となっている。なお、本実施形態では、10台の画像処理ユニット4a〜4jが使用されており、これら10台の画像処理ユニット4a〜4jの全てが載置台5の上面に配されている。また、本実施形態では、載置台5を間に挟み、装置本体3と画像処理ユニット4a〜4jとを分離して配置することで、メンテナンス用のスペースを確保している。
また、図2に示すように、本実施形態では、20台の光源ユニット6a〜6tが使用されており、この20台の光源ユニット6のうち半数を占める10台の光源ユニット6a〜6jが載置台5の上面に、残り半数の10台の光源ユニット6k〜6tが装置本体3と同じ床面上に配されている。さらまた、床面から載置台5に上がるための階段8を設けており、作業者は、載置台5の上面を移動して操作やメンテナンスを行うことができる。
装置本体3は、図3に示すように、露光部11と、移動ステージ12a,12bと、基体14と、ガイドレール15と、これらを覆う箱状のチャンバ16とを備える。第1及び第2移動ステージ12a,12bは、チャック機構を備えており、このチャック機構によって基板10を表面に吸着保持して移動させる。また、チャンバ16には、基板10の出入り口となるスリット16a,16bが形成されている。
また、移動ステージ12a,12bの付近には、エアを吹き出す除電エア吹きだし部17a,17bを備えており、基板10と移動ステージ12a,12bとの接触面に合わせて配されたスリット状の吹き出し口からエアを吹き出す。この除電エア吹き出し部17a,17bからエアを吹き出すことによって、基板10と移動ステージとの間に発生する静電気の除去と、基板10及び移動ステージ12a,12bの冷却とを行う。
基体14は、4本の脚部を有する平板状で、上面には、その長手方向(Y方向)に沿って2本のガイドレール15が互いに平行となるように延設されている。第1及び第2移動ステージ12a,12bは、ガイドレール15によって同一の一次元軌道上を往復移動自在に支持されており、リニアモータ等により構成された第1及び第2移動ステージ駆動部51a,51b(図9参照)によってそれぞれ駆動される。
基体14上のY方向に関する中央部には、ガイドレール15を跨ぐように門型のゲート19が立設されており、このゲート19には、露光部11が取り付けられている。露光部11は、第1及び第2移動ステージ12a,12bの移動経路に直交する方向に複数列(例えば2列)配列された計40個の露光ヘッド20からなり、第1及び第2移動ステージ12a,12bの移動経路上に固定配置されている。なお、図面の煩雑化を防ぐため図3においては20個の露光ヘッド20を図示している。
露光部11には、画像処理ユニット4a〜4jから引き出された信号ケーブル21と、光源ユニット6a〜6tから引き出された光ファイバ22とがそれぞれ接続されている。各露光ヘッド20は、画像処理ユニット4a〜4jから入力されるフレームデータに基づいて、光源ユニット6a〜6tから入力される光ビームを変調し、第1及び第2移動ステージ12a,12bによって搬送された基板10に対して露光を行う。なお、露光ヘッド20の数や配列は、基板10のサイズ等に応じて適宜変更してよい。また、ゲート19には、露光部11の周りを囲む矩形枠状のフレーム23が取り付けられている。なお、図3においては、図面の煩雑化を避けるため、20個のうち、1個の露光ヘッド20について光ファイバ22及び信号ケーブル21が接続されている状態を図示しているが、実際は、残りの全ての露光ヘッド20についてもそれぞれ対応する光ファイバ22及び信号ケーブル21が接続されている。
図4及び図5に示すように、露光部11の上方には、チャンバ16の上面壁に対して着脱自在に取り付けられた開閉蓋24を設けており、この開閉蓋24は、箱状に形成されており、閉じ状態にあるときは露光部11を覆い隠し、開放状態となったときは、露光部11を外部に露呈させて接続作業やメンテナンスを行うことが可能となっている。さらに開閉蓋24は、内部へ貫通する筒状部材26,27を設けている。
画像処理ユニット4a〜4jは、開閉蓋24を間に挟んで、露光ヘッド20の配列方向と平行に且つ露光ヘッド20と可能な限り近接する位置で2列、すなわち、画像処理ユニット4a〜4eの列と、画像処理ユニット4f〜4jの列に並んで配置されており、画像処理ユニット4a〜4jに接続された信号ケーブル21を筒状部材26から内部に通過させて露光ヘッド20に接続させる。
上層に位置する光源ユニット6a〜6jは、開閉蓋24の一端側付近で、露光ヘッド20の配列方向と直交する方向に沿って且つ露光ヘッド20と可能な限り近接する位置に配置されており、また、下層に位置する光源ユニット6k〜6tは、上層に位置する光源ユニット6a〜6jの、ほぼ直下に並んで配置されている。また、露光ヘッド20へ接続状態とするときは、フレーム23の上方に信号ケーブル21や光ファイバ20を引っ掛けておくことで、メンテナンス作業を容易に行うことができる。
基体14上にはさらに、ゲート19に関してY方向に対称な位置に、ガイドレール15を跨ぐように一対のゲート28a,28bが設けられている。ゲート28aは、第1移動ステージ12a側に位置し、3個のカメラ29aが取り付けられている。これらのカメラ29aは、第1移動ステージ12aの移動経路上に固定配置されおり、第1移動ステージ12aに載置された基板10の位置測定(アライメント計測)を行う第1基板位置検出部30aを構成している。他方のゲート28bは、第2移動ステージ12b側に位置し、同様に3個のカメラ29bが取り付けられている。これらのカメラ29bは、第2移動ステージ12bの移動経路上に固定配置されおり、第2移動ステージ12bに載置された基板10の位置測定(アライメント計測)を行う第2基板位置検出部30bを構成している。第1及び第2基板位置検出部30a,30bは、基板10上に設けられたマークやパターンを読み取ることによってステージ上の適正位置に対する基板10の位置ずれ量(X,Y,θ方向のずれ量)を検出する。この検出値は、フレームデータの補正に用いられる。なお、カメラ29a,29bの数は、基板10のサイズ等に応じて適宜変更してよい。
基体14のY方向に関する両端部には、レーザ干渉式の測長器31a,31bがそれぞれ設けられている。測長器31aは、第1移動ステージ12a側の基体14の端部に、X方向に離間するように2個設けられており、第1移動ステージ12aの位置測定を行う第1ステージ位置検出部32aを構成している。他方の測長器31bは、第2移動ステージ12b側の基体14の端部に、X方向に離間するように2個設けられており、第2移動ステージ12bの位置測定を行う第2ステージ位置検出部32bを構成している。第1及び第2ステージ位置検出部32a,32bは、第1及び第2移動ステージ12a,12bの端面33a,33bにそれぞれレーザ光を照射して、軌道上の位置(Y方向の位置)を検出する。この検出値は、第1及び第2移動ステージ12a,12bの位置ずれ補正に用いられる。
図6は、露光ヘッド20の内部構成を示す。露光ヘッド20は、空間光変調素子としてのDMD35を備えている。DMD35の光入射側には、光ファイバ22の端部から射出されたレーザ光をDMD35に向けて反射するミラー36が配置されている。DMD35は、図7に示すように、SRAMセルアレイ37の各セル上にマイクロミラー38が支柱により揺動自在に支持されてなる。マイクロミラー38は、例えば、600個×800個の2次元正方格子状に配列され、DMD35は、全体として矩形状(長方形)となっている。SRAMセルアレイ37には、DMDドライバ44を介してフレームデータ(デジタル信号)が書き込まれる。なお、DMDドライバ44には、前述の信号ケーブル21が接続され、画像処理ユニット4a〜4jからフレームデータが入力される。
SRAMセルアレイ37の各セルは、フリップフロップ回路によって構成されており、書き込まれるデータ(“0”または“1”)に応じて電荷状態が切り替わる。各マイクロミラー38は、SRAMセルの電荷状態に応じた静電気力により各マイクロミラー38の傾きが切り替わり、ミラー36から入射されるレーザ光の反射方向を変化させる。つまり、DMD35は、入射されるレーザ光をフレームデータに応じて変調して反射し、反射光をレンズ系39に入射させる。例えば、データ“0”が書き込まれたSRAMセルのマイクロミラー38による反射光のみがレンズ系39に入射し、データ“1”が書き込まれたSRAMセルのマイクロミラー38による反射光は、不図示の光吸収体に吸収されて露光には寄与しない。
レンズ系39,40は、拡大光学系として構成されており、DMD35からの反射光の断面積を所定の大きさに拡大し、射出側に設けられたマイクロレンズアレイ41に反射光の拡大像を入射させる。マイクロレンズアレイ41は、DMD35の各マイクロミラー38に1対1に対応するように複数のマイクロレンズ41aが一体形成されたものであり、各マイクロレンズ41aは、レンズ系39,40を通過したレーザ光の各光軸上に配置されている。マイクロレンズアレイ41は、入射された拡大像を鮮鋭化してレンズ系42に入射させる。レンズ系42,43は、例えば、等倍光学系として構成されており、基板10に像を投影(露光)する。露光ヘッド20は、レンズ系42,43の後方焦点位置に基板10の露光面が位置するように配置される。
図8に示すように、各露光ヘッド20による基板10上の露光エリア(描画領域)45は、DMD35に相似した形状(矩形状)となる。DMD35は、短辺がステージ移動方向(Y方向)に対して僅かに(例えば、0.1°〜0.5°)傾斜させて配置されており、これに応じて露光エリア45が傾斜している。これにより、DMD35の各マイクロミラー38による正方格子状の露光点(描画点)の配列方向が走査方向に対して傾斜し、露光点による走査軌跡(走査線)のピッチ(X方向に関する間隔)が狭くなるため、DMD35を傾斜させない場合より、解像度を向上させることができる。
各露光ヘッド20は、ステージ移動方向と直交する方向(X方向)に2列に分けられ、各列において隙間無く配列されている。また、露光ヘッド20は、第1列目と第2列目とで配列方向に所定間隔(配列ピッチの1/2倍)ずらして配列されている。これにより、第1列目の露光ヘッド20によって露光できない部分が第2列目の露光ヘッド20によって露光され、ステージ移動に伴って形成される帯状の露光済み領域46がX方向に隙間無く形成される。
図9は、デジタル露光装置2の電気的構成を示す。デジタル露光装置10には、装置全体を制御する全体制御部50が設けられている。全体制御部50は、第1及び第2移動ステージ12a,12bをそれぞれ移動させる第1及び第2移動ステージ駆動部51a,51bを制御してステージ移動を行わせるとともに、光源ユニット6a〜6t及び画像処理ユニット4a〜4jを制御して露光を行わせる。また、全体制御部50は、第1及び第2ステージ位置検出部32a,32bを制御し、このステージ位置の検出値を第1及び第2移動ステージ駆動部51a,51bの制御にフィードバックして各ステージの位置補正を行うとともに、第1及び第2基板位置検出部30a,30bを制御し、この基板位置の検出値を画像処理ユニット4a〜4j内のフレームデータ生成部52に与え、フレームデータの補正を行わせる。
画像処理ユニット4a〜4jは、外部の画像データ出力装置53から出力されるラスター化された第1及び第2画像データ54a,54bを格納する画像データ記憶部55を備えている。第1画像データ54aは、第1移動ステージ12a上の基板10に露光を行う際に用いられ、第2画像データ54bは、第2移動ステージ12b上の基板10に露光を行う際に用いられる。なお、第1及び第2移動ステージ12a,12bは、露光時の移動方向(走査方向)が逆方向、つまり180°異なり、同一の画像データに基づいて露光を行うと各ステージ上の基板10には同一のパターンが描画されないため、同一のパターンが描画されるように2種の画像データ(第1及び第2画像データ54a,54b)が画像データ出力装置53にて用意されている。
画像データ記憶部55は、書き込み制御部56によって書き込みが制御され、読み出し制御部57によって読み出しが制御されている。書き込み制御部56は、画像データ出力装置53から入力される第1及び第2画像データ54a,54bを画像データ記憶部55に書き込む。読み出し制御部57は、全体制御部50の制御に基づき、画像データ記憶部55から選択的に第1画像データ54aまたは第2画像データ54bを読み出して、フレームデータ生成部52に入力する。なお、画像データ記憶部55は、1つのメモリ装置として構成され、第1及び第2画像データ54a,54bがメモリ領域内の異なる領域に格納されるものであってもよいし、2つのメモリ装置として構成され、第1及び第2画像データ54a,54bが各メモリ装置にそれぞれ格納されるものであってもよい。
フレームデータ生成部52は、入力された第1画像データ54aまたは第2画像データ54bに基づいてフレームデータを生成し、生成したフレームデータをDMDドライバ44に入力する。具体的には、フレームデータ生成部52は、DMD35の各マイクロミラー38の配置及び各露光ヘッド20の配置に応じて決まる露光エリア40内の各露光点の座標に基づいて、フレームデータを生成する。また、フレームデータ生成部52は、前述のように、第1及び第2基板位置検出部30a,30bによって検出される基板10の位置ずれ量に基づき、位置ずれのない場合と同一の位置に露光点が形成されるように、フレームデータを補正する。
第1〜第3インターロックスイッチ61〜63は装置本体3、画像処理ユニット4a〜4j、光源ユニット6a〜6tの扉、開閉蓋など、メンテナンスの際に開閉動作を行う開閉部材にそれぞれ取り付けられており、それらの開閉部材を開放状態としたときにオン状態となることでインターロック機能を動作させる。本実施形態では、これらのインターロックスイッチ61〜63がオン状態となったとき、装置本体3、画像処理ユニット4a〜4j、光源ユニット6a〜6tへの電源供給をそれぞれ独立して遮断するものであり、例えば装置本体3に取り付けられたインターロックスイッチ61だけがオン状態となったときは、画像処理ユニット4a〜4j、光源ユニット6a〜6tは通電状態で、装置本体3のみが電源遮断状態となる。これによって、デジタル露光装置2全体の電源を遮断しなくても、メンテナンスをしたい箇所だけインターロックスイッチ61〜63により電源を遮断することができるので、電源の復旧や、装置内部を適温状態にするまでの時間が短くなり、メンテナンス性が向上する。
また、温度調整機構64は、周知の空調設備が組み込まれたものであり、チャンバ16の内部温度を調整する。この温度調整機構64は、目標温度が低めの温度、例えば22.5°Cに設定されている。これによって、チャンバ16内の温度を予め下げておくことができるため、デジタル露光装置2が基板10への連続露光を行う際に移動ステージ12a,12bが温度上昇しても、基板10の飽和温度を低下させることができるので、移動ステージ12a,12bから伝導される熱の影響で基板10が変形することを防ぐことができる。
さらにまた、圧力調整機構65は、チャンバ16に取り付けられており、例えば圧力タンクと圧力調節弁とからなり、圧力調節弁の開度を調節することでチャンバ16内部の圧力を調節することができる。本実施形態では、この圧力調整機構65によって、チャンバ16の外側を覆うチャンバ68(図10参照)の内部よりも、チャンバ16内部の圧力を高くするように設定している。これによって、チャンバ16内部への塵埃などの異物の進入を防ぐことができる。
図10は、以上のように構成されたデジタル露光装置2に基板10の交換(ロード・アンロード)機構を付加したデジタル露光システム70を示す。デジタル露光システム70には、コンベア71、第1及び第2搬送ロボット72a,72b、第1及び第2プリアライメントステージ73a,73b、これらを覆うチャンバ68が設けられており、各部は、不図示の制御部によって駆動制御されている。なお、図10では、図面の煩雑化を防ぐために画像処理ユニット4a〜4j、光源ユニット6a〜6tなどを省略している。
コンベア71は、デジタル露光装置10の基体14の長辺に沿って延在するように配置されており、第1及び第2搬送ロボット72a,72bは、それぞれ基体14の短辺に対向するように配置されている。コンベア71は、複数の基板10を所定間隔離間して、例えば、第1移動ステージ12a側から第2移動ステージ12b側へ搬送する。なお、基板10には、その方向を示すために「F」の文字を描画パターンとして示している。
第1搬送ロボット72aは、基板10を積載するフォーク状の積載部74aと、一端が積載部74aに連結され、積載部74aを第1移動ステージ12aに対して近接/離間する方向に移動させるアーム部75aと、アーム部75aの他端を支持してθ方向への回転及びZ方向(紙面に直交する方向)への上下動を行う可動式の台座76aとからなる。同様に、第2搬送ロボット72bは、基板10を積載するフォーク状の積載部74bと、一端が積載部74bに連結され、積載部74bを第1移動ステージ12aに対して近接/離間する方向に移動させるアーム部75bと、アーム部75bの他端を支持してθ方向への回転及びZ方向への上下動を行う可動式の台座76bとからなる。
コンベア71、第1及び第2プリアライメントステージ73a,73b、及び第1及び第2移動ステージ12a,12bの上面には、基板10を、その下面に点接触して持ち上げる複数のリフトピン(図示せず)が設けられている。第1及び第2搬送ロボット72a,72bは、積載部74a,74bをリフトピンの間に挿入し、基板10を下面側から持ち上げることで、基板10を積載部74a,74b上に載置して搬送する。具体的には、第1搬送ロボット72aは、コンベア71上から未露光の基板10を1枚取り出し、該基板10を第1プリアライメントステージ73a上に移送し、そして、第1プリアライメントステージ73aによって位置補正がなされた該基板10を第1移動ステージ12a上に移送する。また、第1搬送ロボット72aは、露光が終了した該基板10を第1移動ステージ12aからコンベア71上に移送する。第2搬送ロボット72bの動作は、第1搬送ロボット72aの動作と同様であり、コンベア71、第2プリアライメントステージ73b、及び第2移動ステージ12bの間で基板10の移送を行う。
なお、第1及び第2プリアライメントステージ73a,73bはそれぞれ、基板10上に設けられたマークやパターンを読み取るカメラ(図示せず)と、X,Y,θ方向にステージを移動させるステージ駆動機構(図示せず)とを備え、基板10を第1及び第2移動ステージ12a,12b上の適正位置に移送するための準備的な基板位置の補正動作を行う。
以上のように構成されたデジタル露光システム70が動作するときには、第1及び第2搬送ロボット72a,72bにより、第1及び第2移動ステージ12a,12b上にそれぞれ基板10がセットされ、各基板10は、互いに180°の回転対称となる向きに配置される。この状態から先ずは第1移動ステージ12aが第2移動ステージ12bに近接する方向へ向かって移動する。この移動中、第1基板位置検出部30aを通過する際に基板10のアライメント計測を行う。そして第1移動ステージ12aが露光部11を一端通過して今度は第2移動ステージ12bと離間する反対方向へ移動する。この反対方向の移動中に第1移動ステージ12aが露光部11を通過する際、基板10に対して第1画像データ54aに基づいた露光を行う。また、この露光中に、第2移動ステージ12bが第1移動ステージ12aに近接する方向に向けて移動し、第2基板位置検出部30bを通過する際に基板10のアライメント計測を行う。
第1移動ステージ12aは、露光部11を通過した後、初期位置へ戻る。このとき第2移動ステージ12bは、露光部11を一端通過した後、第1移動ステージ12aから離間する方向に移動し、露光部11を通過する際に、露光部11によって第2移動ステージ12b上の基板10に対して第2画像データ54bに基づいた露光を行う。また、この露光中に、第1搬送ロボット72aによって第1移動ステージ12a上の基板10が交換され、第1移動ステージ12aは、新たな基板10を積載して第2移動ステージ12bに近接する方向に向けて移動し、先程と同様に、基板10のアライメント計測を行う。第2移動ステージ12bは、露光部11を通過した後、初期位置へ戻り、このとき、第1移動ステージ12aは、露光部11を一端通過して反対方向に移動し、基板10に対して第1画像データ54aに基づいた露光を行う。また、この露光中に、第2搬送ロボット72bによって基板10が交換された第2移動ステージ12bは、新たな基板10を積載して第1移動ステージ12aに近接する方向に向けて移動し、第2基板位置検出部30bによって基板10のアライメント計測を行う。これ以降は、以上の工程を1サイクルとして、同一動作が繰り返される。
本実施形態の効果について説明する。図11は、本実施形態を適用したデジタル露光装置2を上方から見た図面であり、上述したようにデジタル露光装置2は、装置本体3の上層に画像処理ユニット4a〜4jの全てと、半数の光源ユニット6a〜6jを配列した2階建て構造とし、さらに、画像処理ユニット4a〜4j及び光源ユニット6a〜6tを露光部11に近接させて設置しているので、デジタル露光装置2の床面占有面積が増大することを防ぎ、さらに、露光部11と、画像処理ユニット4a〜4j及び光源ユニット6a〜6tとを接続する信号ケーブル21及び光ファイバ22の全長を短くして、電気ノイズの抑制及び高い伝送効率(光学効率)を保持することができる。
これに対して、図12に示す従来のデジタル露光装置80の構成では、装置本体81と同じ床面に、本実施形態と同数の画像処理ユニット82や光源ユニット83を配置した場合、画像処理ユニット82及び光源ユニット83の床面占有面積、及びメンテナンス用のスペースが増大し、また、露光部84から離れた位置に画像処理ユニット82及び光源ユニット83を配置しなければならず、信号ケーブル86及び光ファイバ87が長尺化してしまうが、本実施形態ではそのようなことがない。
また、デジタル露光装置2では、画像処理ユニット4及び光源ユニット6を上層に配置し、さらに装置本体3の上面に開閉蓋24を設け、この開閉蓋24を開放状態にして露光ヘッド20にアクセスすることができるので、装置本体3の上面でメンテナンス作業のほとんどを行うことができるから、メンテナンス用のスペースを装置本体の周囲に設ける必要が無く床面占有面積の増加を防ぐことができる。
なお、上記実施形態では、2つの移動ステージを備え、交互に基板への露光を行う公正としているが、本発明がこれに限定されるものではなく、1つの移動ステージで基板への露光を行う構成としてもよい。また、上記実施形態では、固定配置された露光部に対してステージを移動させているが、本発明はこれに限定されるものではなく、ステージを固定し、露光部を移動させてもよい。
2 デジタル露光装置
3 装置本体
4a〜4j 画像処理ユニット
6a〜6t 光源ユニット
10 基板
11 露光部
20 露光ヘッド
21 信号ケーブル
22 光ファイバ
3 装置本体
4a〜4j 画像処理ユニット
6a〜6t 光源ユニット
10 基板
11 露光部
20 露光ヘッド
21 信号ケーブル
22 光ファイバ
Claims (5)
- 露光ヘッドが基板に描画処理を行う装置本体と、前記露光ヘッドへ光ビームを入力する複数の光源ユニットと、前記露光ヘッドが基板に露光する画像データを入力する複数の画像処理ユニットと、前記光源ユニットから前記露光部へ光ビームを伝達する光ケーブルと、前記画像処理ユニットから前記露光ヘッドへ画像データを送信する信号ケーブルとを備えた画像処理装置において、
前記装置本体の上方に、前記画像処理ユニット及び前記光源ユニットを配置した2階建て構造とし、且つ前記露光ヘッドに近接する位置に前記画像処理ユニットを配置していることを特徴とする露光装置。 - 前記露光ヘッドと前記画像処理ユニットとは、互いに分離して配置されていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記光源ユニットと前記露光ヘッドとを近接して配置したことを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。
- 前記装置本体の床面占有面積の範囲内に前記画像処理ユニットを配置したことを特徴とする請求項1ないし3記載の露光装置。
- 前記装置本体、前記画像処理ユニット、及び前記光源ユニットに供給される電力をそれぞれ独立して遮断する電源遮断手段を備えたことを特徴とする請求項1ないし4記載の露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007039918A JP2008203556A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | デジタル露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008203556A true JP2008203556A (ja) | 2008-09-04 |
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JP2007039918A Pending JP2008203556A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | デジタル露光装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2007
- 2007-02-20 JP JP2007039918A patent/JP2008203556A/ja active Pending
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