JP2008185376A - 荷重検出機構 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 174
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 35
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 25
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 8
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】ワークWを把持可能なチャック装置10に設けられた荷重検出部20は、磁歪素子からなる検出素子66と、前記検出素子66の外周部位に非接触で設けられるコイル68とを有し、前記検出素子66の一端部が前記ワークWを把持する第2フィンガ60に保持される。そして、ワークWを把持した際に、第2フィンガ60に付与される荷重によって検出素子66が押圧されて変形し、その変形量に伴って磁気特性が変化する。この検出素子66の磁気変化を電圧変化としてコイル68で検出し、コントローラ70へと出力することにより、電圧変化に基づいて前記ワークWに付与される荷重が検出される。
【選択図】図4
Description
前記可動部材に保持され、前記荷重が付与されることにより電力を発生する素子と、
前記装置に固定されると共に前記素子に対して非接触に設けられ、該素子において発生する電力変化を検出する検出部と、
前記検出部に接続され、前記電力変化に基づいて荷重を算出するコントローラと、
を備え、
前記検出部に対して前記素子が変位自在に設けられる。
14a、14b…ピストン 16…シリンダ機構
18…把持部 20、152…荷重検出部
22…変位検出部 24…調整機構
26…ピニオン 30a、30b…スライダ
32…第1貫通孔 34…第2貫通孔
38…第1ポート 40…第2ポート
56…第1フィンガ 58…保持部材
60…第2フィンガ 66、154a〜154f…検出素子
68…コイル 70…コントローラ
84…支柱 86…遮蔽部材
100…凸部 102…凹部
Claims (7)
- ワークに当接して押圧自在な可動部材を有する装置に設けられ、該可動部材から前記ワークに対して付与される荷重を検出する荷重検出機構において、
前記可動部材に保持され、前記荷重が付与されることにより電力を発生する素子と、
前記装置に固定されると共に前記素子に対して非接触に設けられ、該素子において発生する電力変化を検出する検出部と、
前記検出部に接続され、前記電力変化に基づいて荷重を算出するコントローラと、
を備え、
前記検出部に対して前記素子が変位自在に設けられることを特徴とする荷重検出機構。 - 請求項1記載の荷重検出機構において、
前記素子は、前記荷重の付与により変形する磁歪素子からなり、前記検出部は、導線が巻回されたコイルからなり、前記コイルの内部に前記素子が挿通されることを特徴とする荷重検出機構。 - 請求項1又は2記載の荷重検出機構において、
前記ワークに前記可動部材から前記荷重が付与されていない無負荷状態で、前記検出部で検出される電力値を基準として校正する校正手段を有することを特徴とする荷重検出機構。 - 請求項3記載の荷重検出機構において、
前記校正手段は、前記装置に配設され、前記可動部材に対する相対位置を該可動部材の変位方向に沿って調整自在に設けられることを特徴とする荷重検出機構。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の荷重検出機構において、
前記素子は、前記可動部材の変位方向に沿って同軸状となるように複数設けられることを特徴とする荷重検出機構。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の荷重検出機構において、
前記素子に対して常に押圧力を付与する押圧手段を備え、前記押圧手段によって前記素子に圧縮荷重が付与されることを特徴とする荷重検出機構。 - 請求項1記載の荷重検出機構において、
前記装置は、一組の可動部材を有するチャック装置であり、該可動部材によって前記ワークが把持される際の把持力を前記検出部によって検出することを特徴とする荷重検出機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007017239A JP4721065B2 (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | 荷重検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007017239A JP4721065B2 (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | 荷重検出機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008185376A true JP2008185376A (ja) | 2008-08-14 |
JP4721065B2 JP4721065B2 (ja) | 2011-07-13 |
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ID=39728535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007017239A Active JP4721065B2 (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | 荷重検出機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4721065B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS527739B1 (ja) * | 1970-07-14 | 1977-03-04 | ||
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