JP2008177351A - 電子装置および電子装置の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 64
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 41
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 26
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 107
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 65
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 25
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 abstract 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
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- G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
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- G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
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- G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
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- G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
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- H01L24/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
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- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
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Abstract
【課題】
ボイドの発生を抑えることで信頼性を向上した電子装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】
電子装置1の製造方法において、樹脂材料からなるフィルム111上に導体パターン1112を形成することによって基体11を形成するパターン形成工程と、フィルム111上の、回路チップが搭載される搭載領域11cおよび裏側の背後領域11dの一方に、フィルム111の伸縮を抑える補強層14を形成する補強工程と、熱硬化接着剤13pを付着させる付着工程と、回路チップ12を載せる搭載工程と、熱硬化接着剤を加熱する加熱装置2によって回路チップ12が載せられた基体11を回路チップ12側と基体11側との両側から挟む挟持工程と、加熱装置2によって上記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって回路チップ12を導体パターン112に固定する加熱工程とを備えた。
【選択図】 図3
ボイドの発生を抑えることで信頼性を向上した電子装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】
電子装置1の製造方法において、樹脂材料からなるフィルム111上に導体パターン1112を形成することによって基体11を形成するパターン形成工程と、フィルム111上の、回路チップが搭載される搭載領域11cおよび裏側の背後領域11dの一方に、フィルム111の伸縮を抑える補強層14を形成する補強工程と、熱硬化接着剤13pを付着させる付着工程と、回路チップ12を載せる搭載工程と、熱硬化接着剤を加熱する加熱装置2によって回路チップ12が載せられた基体11を回路チップ12側と基体11側との両側から挟む挟持工程と、加熱装置2によって上記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって回路チップ12を導体パターン112に固定する加熱工程とを備えた。
【選択図】 図3
Description
本発明は、電子装置および電子装置の製造方法に関し、特にフィルム状の基体に回路チップが搭載された電子装置および電子装置の製造方法に関する。
従来より、プリント配線基板等の基体に回路チップが搭載されてなる電子装置が広く知られている。このような電子装置は、電子機器に内蔵されてこの電子機器を制御したり、あるいは単体として外部機器と情報をやり取りしたりする用途に用いられている。電子装置の一例として、リーダライタに代表される外部機器と、電波によって非接触で情報のやり取りを行う種々のRFID(Radio_Frequency_IDentification)タグが知られている。このRFIDタグの一種として、ベースシート上に電波通信用の導体パターンとICチップが搭載された構成のものが提案されており、このようなタイプのRFIDタグについては、物品などに貼り付けられ、その物品に関する情報を外部機器とやり取りすることで物品の識別などを行うという利用形態が考えられている。
RFIDタグには、小型軽量化、特に薄型化やフレキシビリティ、そして低コスト化が求められている。これに対応し、ICチップが搭載される基体の材料として、例えば、ポリエチレン‐テレフタラート(PET)等の樹脂材料からなるフィルムを採用したRFIDタグが提案されている。(例えば、特許文献1参照)。
図10は、従来技術におけるRFIDタグを製造する方法を説明する図である。
図10には、RFIDタグを製造するための各工程がパート(a)からパート(d)まで順に示されている。
RFIDタグを製造するには、まず、図10のパート(a)に示すように、PETからなるフィルム911にRFIDタグのアンテナとして機能する導体パターン912が形成されてなる基体91を用意し、この基体91の上に、加熱によって硬化する熱硬化接着剤93pを付着させる。
次に、図10のパート(b)に示すように、基体91の熱硬化接着剤93pが付着した部分にIC92チップを載せる。ICチップ92には導体パターン912に接続されるバンプ921が形成されている。図10のパート(c)に示すように、ICチップ92は、バンプ921の位置と導体パターン912の位置が合うように基体91に載せられる。
次に、図10のパート(d)に示すように、ICチップ92が載せられた基体91は、基体91のフィルム911の側と、ICチップ92の側の両側から、加熱装置8によって挟まれる。次に、加熱装置8のうちICチップ92の側に当接する加熱ヘッド81によって、熱硬化接着剤93pが加熱されて硬化する。このようにして、ICチップ92は、バンプ921が導体パターン912に接触した状態で基体91に固定され、小型軽量のRFIDタグが完成する。
特開2001−156110号公報
しかしながら、フィルム911の材料であるPETは、ガラス転移点が約67℃であり、耐熱温度が低いため、熱硬化接着剤93pを硬化する際の加熱によって変形しやすい。
図11は、図10のパート(d)の加熱工程における基体の状態を説明する図である。
図11のパート(a)に示すように、ICチップ92が基体91に載せられた状態で加熱処理が行われると、基体91の温度が上昇し、図11のパート(b)に示すようにフィルム911が変形する。硬化中の熱硬化接着剤93pがフィルム911の変形に伴い流動すると、熱硬化接着剤93p中には気泡が発生し、硬化した後もボイド931となって残留する。硬化した熱硬化接着剤93p中のボイドは、ICチップ92と基体91との接着力を低下させるため、RFIDタグの信頼性を低下させる。
このようなボイドの発生による信頼性低下の問題はRFIDタグに限らず、フィルム状の基体に回路チップが搭載された電子装置に共通の問題である。
本発明は、上記事情に鑑み、ボイドの発生を抑えることで信頼性を向上した電子装置および電子装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明の電子装置の製造方法は、
樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンを形成することによって、回路チップが搭載される基体を形成するパターン形成工程と、
上記フィルム上の、上記回路チップが搭載される搭載領域、およびこのフィルムを挟んでこの搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に、このフィルムの伸縮を抑える補強層を形成する補強工程と、
上記基体の上記導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
上記導体パターンに接続する上記回路チップを、上記熱硬化接着剤を介して上記基体の搭載領域に載せる搭載工程と、
上記回路チップが載せられた上記基体の、上記回路チップ側に当接する押さえ部と、上記基体側に当接してこの基体を支持する支持部とを有する、上記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、上記回路チップが載せられた上記基体を回路チップ側と基体側との両側から挟む挟持工程と、
上記加熱装置によって上記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって上記回路チップを上記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする。
樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンを形成することによって、回路チップが搭載される基体を形成するパターン形成工程と、
上記フィルム上の、上記回路チップが搭載される搭載領域、およびこのフィルムを挟んでこの搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に、このフィルムの伸縮を抑える補強層を形成する補強工程と、
上記基体の上記導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
上記導体パターンに接続する上記回路チップを、上記熱硬化接着剤を介して上記基体の搭載領域に載せる搭載工程と、
上記回路チップが載せられた上記基体の、上記回路チップ側に当接する押さえ部と、上記基体側に当接してこの基体を支持する支持部とを有する、上記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、上記回路チップが載せられた上記基体を回路チップ側と基体側との両側から挟む挟持工程と、
上記加熱装置によって上記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって上記回路チップを上記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする。
ここで、搭載領域および背後領域のうち少なくとも一方に補強層を形成するという概念は、補強層が、搭載領域または背後領域をはみ出す広さで形成されることも含む概念である。
本発明の電子装置の製造方法では、加熱装置の押さえ部および支持部によって、回路チップが載せられた基体を両側から挟み熱硬化接着剤を加熱する。基体のフィルムには、このフィルムの伸縮を抑える補強層が形成されているため、フィルムが加熱によって溶融しても変形が抑えられる。したがって、熱硬化接着剤中における、フィルム変形に伴うボイドの発生が抑えられて、電子装置の信頼性が向上する。また、電子装置の製造歩留まりが向上するので、製造コストが低廉化する。
ここで、上記本発明の電子装置の製造方法において、上記補強工程が、上記補強層を上記導体パターンと同じ材料で形成する上記パターン形成工程と一緒に実行される工程であることが好ましい。
補強層を導体パターンと同じ材料で形成し、補強工程をパターン形成工程とを一緒に実行することによって、工程を簡略化しつつ、フィルムの変形を抑える補強層を形成することができる。
また、上記本発明の電子装置の製造方法において、上記補強工程が、上記補強層を上記搭載領域に形成する工程であり、
上記搭載工程が、上記導体パターンに接触する第1の突起と、上記補強層に接触する第2の突起とを有する上記回路チップを上記基体に搭載する工程であることが好ましい。
上記搭載工程が、上記導体パターンに接触する第1の突起と、上記補強層に接触する第2の突起とを有する上記回路チップを上記基体に搭載する工程であることが好ましい。
回路チップが有する第2の突起が補強層に接触する場合には、挟持工程において、回路チップが載せられた基体が加熱装置によって挟まれるとき、回路チップに第2の突起を介して接する補強層によって、フィルムが支持部に押さえられる。したがって、フィルムの変形が確実に抑えられる。
また、上記本発明の電子装置の製造方法において、上記搭載工程が、上記導体パターンに接触する複数の第1の突起を有する上記回路チップを上記基体に搭載する工程であり、
上記補強工程が、上記背面領域に上記補強層を上記複数の第1の突起に対向する各位置に及ぶ広さで形成する工程であることが好ましい。
上記補強工程が、上記背面領域に上記補強層を上記複数の第1の突起に対向する各位置に及ぶ広さで形成する工程であることが好ましい。
補強層が、第1の突起に対向する各位置に及ぶ広さで背面領域に形成される場合には、挟持工程において、回路チップが載せられた基体が加熱装置によって挟まれるとき、フィルムが、第1の突起を介して回路チップに接する導体パターンと、補強層とによって挟まれた状態となる。したがって、この場合にもフィルムの変形が確実に抑えられる。
また、上記本発明の電子装置の製造方法において、上記補強工程が、上記補強層を絶縁性の材料で形成する工程であることが好ましい。
補強層が絶縁性の材料で形成されると、導体パターンから放射される電磁波に対する放射妨害や、導体パターンに対し発生する寄生容量の発生が抑えられる。
また、上記目的を達成する本発明の電子装置は、
樹脂材料からなるフィルムと、
上記フィルム上に設けられた導体パターンと、
上記フィルムに搭載され、上記導体パターンに電気的に接続された回路チップと、
上記フィルム上の、上記回路チップが搭載される搭載領域、およびこのフィルムを挟んでこの搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に形成された、このフィルムの伸縮を抑える補強層とを備えたことを特徴とする。
樹脂材料からなるフィルムと、
上記フィルム上に設けられた導体パターンと、
上記フィルムに搭載され、上記導体パターンに電気的に接続された回路チップと、
上記フィルム上の、上記回路チップが搭載される搭載領域、およびこのフィルムを挟んでこの搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に形成された、このフィルムの伸縮を抑える補強層とを備えたことを特徴とする。
本発明の電子装置では、フィルムに、このフィルムの伸縮を抑える補強層が形成されているため、製造において加熱装置によって、回路チップが載せられた基体を両側から挟み熱硬化接着剤を加熱する際のフィルムの変形が抑えられる。したがって、本発明の電子装置によれば、熱硬化接着剤中におけるボイドが少ないため、信頼性が向上する。
ここで、上記本発明の電子装置において、上記補強層が、このフィルムのうち導体パターンが形成された側の面上に形成された、この導体パターンと同じ材料からなるものであることが好ましい。
また、上記本発明の電子装置において、上記補強層が上記搭載領域に形成されたものであり、
上記回路チップが、上記導体パターンに接触する第1の突起と、上記補強層に接触する第2の突起とを有するものであることが好ましい。
上記回路チップが、上記導体パターンに接触する第1の突起と、上記補強層に接触する第2の突起とを有するものであることが好ましい。
また、上記本発明の電子装置において、上記回路チップが、上記導体パターンに接触する第1の突起を有し、
上記補強層が、上記基体のうち導体パターンが形成された側とは反対側の面上に、このフィルムが広がる方向における上記第1の突起が接触する位置を含む領域に設けられるものであることが好ましい。
上記補強層が、上記基体のうち導体パターンが形成された側とは反対側の面上に、このフィルムが広がる方向における上記第1の突起が接触する位置を含む領域に設けられるものであることが好ましい。
また、上記本発明の電子装置において、上記補強層が、絶縁性の材料からなるものであることが好ましい。
以上説明したように、本発明によれば、ボイドの発生を抑えることで、信頼性が向上した電子装置および電子装置の製造方法が実現する。
以下図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図1および図2は、本発明の第1実施形態であるRFIDタグを示す斜視図である。図1は、RFIDタグ1のICチップが配置された搭載面11aを臨む斜視図であり、図2は、搭載面11aとは反対側の裏面11bを臨む斜視図である。
図1および図2に示すRFIDタグ1は、PET材からなるフィルム111の上に金属製のアンテナパターン112が形成されてなる基体11と、基体11に搭載されたICチップ12と、基体11とICチップ12とを接着する熱硬化接着剤13とで構成されている。ICチップ12は、基体11のアンテナパターン112が形成された搭載面11aの搭載領域11cに搭載されており、アンテナパターン112に電気的に接続されている。また、図2に示すように、RFIDタグ1のフィルム111上には、搭載領域11c(図1参照)の裏側の背後領域11dに補強層14が形成されている。本実施形態では、補強層14は、背後領域11dよりも広い矩形状であり、アンテナパターン112と同一の金属材料からなる。
本実施形態のRFIDタグ1は、図示しないリーダライタと非接触で情報のやり取りを行う電子装置であり、リーダライタが発する電磁場のエネルギーをアンテナパターン112で電気エネルギーとして受け取り、その電気エネルギーでICチップ12が駆動される。アンテナパターン112は通信用のアンテナとして機能し、ICチップ12はアンテナパターン112を介した無線通信を実行する。
ここで、RFIDタグ1は本発明にいう電子装置の一例に相当し、アンテナパターン112は本発明にいう導体パターンの一例に相当し、ICチップ12は本発明にいう回路チップの一例に相当する。
なお、本願技術分野における当業者間では、本願明細書で使用する「RFIDタグ」のことを、「RFIDタグ」用の内部構成部材(インレイ;inlay)であるとして「RFIDタグ用インレイ」と称する場合もある。あるいは、この「RFIDタグ」のことを「無線ICタグ」と称する場合もある。また、この「RFIDタグ」には、非接触型ICカードも含まれる。
以下、このRFIDタグ1の製造方法について説明する。
図3および図4は、図1に示すRFIDタグの製造工程を示す図である。
図3には、RFIDタグ1を製造するための各工程がパート(a)からパート(f)まで順に示されており、図4には、図3の工程に続く各工程がパート(h)およびパート(i)まで順に示されている。図の見やすさのため、RFIDタグ1の厚み方向の寸法と、ICチップ12とが図1に示すものよりも誇張して表わされている。
RFIDタグ1を製造するには、まず、図3のパート(a)からパート(d)に示す導体形成工程で、フィルム111の搭載面11a上にアンテナパターン112を形成する。この導体形成工程では、搭載面11aの反対側の裏面11bに、補強層14を形成する。より詳細には、導体形成工程では、まず、図3のパート(a)に示すように、フィルム111の両面に銅からなる金属層112p,14pを形成し、この金属層112p,14pのうち、搭載面11a側の金属層112pの上に、アンテナパターンに応じた形状のアンテナレジスト層115を形成する。次に、図3のパート(b)に示すように、裏面11b側の金属層14pの上に補強層の形状に応じた形状の補強レジスト層116を形成する。次に、金属層112p,14pに対しエッチング処理を行い、図3のパート(c)に示すように、アンテナパターン112および補強層14を形成する。次に、アンテナレジスト層115および補強レジスト層116を除去する。これによって、図3のパート(d)に示すように、フィルム111上にアンテナパターン112および補強層14が形成された基体11が得られる。後述する工程では、ICチップ12が、この基体11のうち、アンテナパターン112が形成された搭載面11aの搭載領域11cに搭載されることとなる。また、補強層14は、フィルム111の伸縮を抑えるものであり、フィルム111を挟んで搭載領域11cの裏側の背後領域11dに形成されている。本実施形態では、補強層14が背後領域11dよりも広く形成されている。
ここで、図3のパート(a)からパート(d)に示す導体形成工程が、本発明にいうパターン形成工程および補強工程のそれぞれ一例に相当し、この導体形成工程では、パターン形成工程および補強工程に相当する工程が同時に実施されている。
次に、図3のパート(e)に示す付着工程で、基体11の上に液状の熱硬化接着剤13pを付着させる。熱硬化接着剤13pは、基体11の搭載面11aのうちの、ICチップ12が搭載される搭載領域11c(パート(d)参照)およびその周辺に塗布される。
次に、図3のパート(f)およびパート(g)に示す搭載工程で、搭載領域11cにICチップ12を載せる。ICチップ12は、フリップチップ技術によって基体11に載せられる。すなわち、ICチップ12は、回路が形成された面12aを基体11に向けた姿勢で熱硬化接着剤13pを介して基体11に載せられる。ICチップ12の回路が形成された面12aにはアンテナパターン112に接続されるバンプ121が形成されている。図2のパート(f)に示すように、ICチップ12は、バンプ121の位置とアンテナパターン112の位置を合わせた状態で基体11に載せられる。
次に、図2のパート(h)に示す挟持工程で、ICチップ12が載せられた基体11を、ICチップ12側と基体11側との両側から、加熱装置2によって挟む。加熱装置2は、ICチップ12に当接する加熱ヘッド21と、基体11に当接し、ICチップ12が載せられた基体11を支える加熱ステージ22とを有している。加熱ステージ22は、より詳細には、基体11の裏面11bに設けられた補強層14に当接する。また、加熱ヘッド21は、図示しないヒータを内蔵している。図4のパート(h)に示す挟持工程によって、バンプ121がアンテナパターン112に確実に接触した状態となる。
また、本実施形態における補強層14は、背後領域11d(図3のパート(d)参照)よりも広く形成されており、したがって、バンプ121に対向する位置に及ぶ広さを有している。このため、図4のパート(h)に示す挟持工程では、フィルム111が、バンプ121を介してICチップ12に接するアンテナパターン112と、バンプ121に対向する位置に形成された補強層14とによって挟まれた状態となる。
次に、図4のパート(i)に示す加熱工程で、加熱ヘッド21を発熱させ、熱硬化接着剤13pを加熱して硬化させる。ICチップ12は、熱硬化接着剤13pが硬化することによって、バンプ121がアンテナパターン112に接触した状態で基体11に固定される。フィルム111上の、ICチップ12が搭載される搭載領域11cの裏側の背後領域11dには、フィルム111の伸縮を抑える補強層14が形成されているため、加熱によってフィルム111が溶融してもフィルム111の変形が抑えられる。さらに、フィルム111が、バンプ121を介してICチップ12に接するアンテナパターン112と、バンプ121に対向する位置に形成された補強層14とによって挟まれているため、フィルム111の伸縮がさらに抑えられる。この結果、熱硬化接着剤13p中で、フィルム変形に伴うボイドの発生が抑えられる。
図4のパート(i)の加熱工程が終了すると、RFIDタグ1(図1参照)が完成する。
加熱装置2が本発明にいう電子装置の製造装置の一例に相当し、加熱ヘッド21が本発明にいう押さえ部の一例と加熱部の一例を組み合わせたものに相当し、加熱ステージ22が本発明にいう支持部の一例に相当する。
続いて、上述した実施形態とは補強層の材料が異なる、本発明の第2の実施形態について説明する。以下に説明する第2実施形態では、第1実施形態の説明で参照した図を流用し、これまで説明してきた実施形態との相違点について主に説明する。
第2実施形態のRFIDタグは、図1および図2に示す第1実施形態のRFIDタグ1と同一外観を有しているので、以下、第2実施形態のRFIDタグは、図1および図2を流用して説明する。第2実施形態のRFIDタグは、第1実施形態のRFIDタグと異なり、補強層14が絶縁性材料で形成されている。このため、第2実施形態のRFIDタグは、アンテナパターン112からの電磁波の放射が妨げられない。なお、補強層14の材料としては、セラミックスや樹脂を採用することができる。
図5は、本発明の第2実施形態のRFIDタグを製造する製造工程を示す図である。
第2実施形態のRFIDタグを製造する製造工程は、図3に示す第1実施形態の製造工程に対し、図3のパート(a)からパート(d)に示す導体形成工程でアンテナパターン112のみを形成し、補強層14は形成しない点が異なる。第2実施形態のRFIDタグを製造する製造工程では、アンテナパターン112を形成した後、図5のパート(a)に示すように、絶縁材料からなる薄板14pに接着剤15を付与し、次に、図5のパート(b)に示すように、薄板14pをフィルム111の裏面側に取り付け、治具24で挟んで接着することにより補強層14を形成する。この後は、図3のパート(e)および図4に示す工程と同じ工程を実施することによって、第2実施形態のRFIDタグが得られる。図5のパートに示す、薄板14pを取り付ける工程が、本発明にいう補強工程の一例に相当する。
続いて、上述した実施形態とは補強層の形成位置が異なる、本発明の第3の実施形態について説明する。以下に説明する第3実施形態では、第1実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、また、第1実施形態の説明で参照した図を流用し、これまで説明してきた実施形態との相違点について主に説明する。
図6は、本発明の第3実施形態のRFIDタグを製造する製造工程を示す図である。
図6には、第3実施形態のRFIDタグを製造するための各工程がパート(a)からパート(e)まで順に示されている。
第3実施形態のRFIDタグは、図1に示す第1実施形態のRFIDタグ1とほぼ同一外観を有している。ただし、第3実施形態のRFIDタグは、第1実施形態のRFIDタグと異なり、補強層が背後領域11d(図2参照)ではなく、搭載領域11cに形成されている。
第3実施形態のRFIDタグを製造するには、まず、図6のパート(a)に示す導体形成工程で、フィルム111の搭載面11a上に同一の銅からなるアンテナパターン112と補強層43とを同時に形成する。
図7は、図6のパート(a)に示す導体形成工程で形成された基体を示す平面図である。
図7に示すように、基体41には、フィルム111の搭載面11a上にアンテナパターン112と補強層43とが形成されている。補強層43は、ICチップ12が載せられる搭載領域41cに十字形に形成される。
図6に戻って説明を続けると、次に、図6のパート(b)に示す付着工程で、基体11の搭載領域11cおよびその周辺に熱硬化接着剤13pを付着させ、次に図6のパート(b)およびパート(c)に示す搭載工程で、基体41の搭載領域11cにICチップ42を載せる。ICチップ42は、回路が形成された面12aに形成された、アンテナパターン112に接続するバンプ121の他に、補強層43に接触するダミーバンプ422が形成されている。補強層43およびダミーバンプ422は、電気的な機能を有していないが、例えば、電気的なフローティング状態を避けるため、ICチップ42のグランド電位に接続されていてもよい。
次に、図6のパート(e)に示す挟持工程で、ICチップ42が載せられた基体41を、ICチップ42側と基体41側との両側から加熱装置2によって挟む。フィルム111は、ダミーバンプ422を介してICチップ42に接する補強層43と、加熱ステージ22とによって挟まれた状態となる。
次に、図6のパート(f)に示す加熱工程で、加熱ヘッド21を発熱させ、熱硬化接着剤13pを加熱して硬化させる。ICチップ42は、熱硬化接着剤13pが硬化することによって、バンプ121がアンテナパターン112に接触した状態で基体41に固定される。
フィルム111上の搭載領域11cには補強層43が形成されているため、フィルム111の伸縮が抑えられる。したがって、加熱によってフィルム111が溶融してもフィルム111の変形が抑えられる。さらに、フィルム111が、ダミーバンプ422を介してICチップ42に接する補強層43と、加熱ステージ22とによって挟まれているため、フィルム111の伸縮がより効果的に抑えられる。この結果、熱硬化接着剤13p中で、フィルム変形に伴うボイドの発生が抑えられる。
以上、第3の実施形態について説明したが、続いて、第3の実施形態とは、アンテナパターンおよび補強層43の形状および配置が異なる、第3の実施形態の変形例について説明する。
図8および図9は、本発明の第3実施形態のRFIDタグにおける変形例を示す平面図である。
図8および図9には、RFIDタグからICチップが除去された、基体41が示されている。図8には、図7の場合と同様に、アンテナパターン112が2本形成された場合の7つの例が、パート(a)からパート(g)までにそれぞれ示されている。また、図9には、アンテナパターンが4本形成された場合の5つの例が、パート(a)からパート(e)までにそれぞれ示されている。
図8のパート(a)に示す補強層43aは、H字形であり、パート(b)に示す補強層43bは、円形であり、パート(c)に示す補強層43cは、アンテナパターン112が延びる方向と平行に延びる2本の直線であり、パート(d)およびパート(g)に示す補強層43d,43gは、アンテナパターン112が延びる方向と垂直な直線であり、パート(e)に示す補強層43eは、X字形であり、パート(f)に示す補強層43fは、アンテナパターン112が延びる方向と平行に延びる3本の直線である。
また、図9のパート(a)およびパート(d)に示す補強層43h,43kは、十字形であり、パート(b)に示す補強層43iは、6角形であり、パート(c)に示す補強層43jは矩形であり、パート(e)に示す補強層43mは円形である。
補強層43a〜43mは、搭載領域11cに形成されているが、図8のパート(g)および図9のパート(e)に示すように、搭載領域11cをはみ出して形成されたものであってもよい。
尚、上述した実施形態では、RFIDタグを製造する方法および加熱装置の例を説明したが、本発明は、フィルム状の基体に回路チップが搭載された電子装置の製造方法であればRFIDタグを対象とするものに限られない。本発明は、例えば、極薄型のICカードの製造方法や、基体としてのフレキシブル印刷回路(FPC)に熱硬化接着剤によって回路チップを固定したプリント回路基板装置の製造方法等にも適用される。
また、上述した実施形態では、RFIDタグの基部を構成するフィルムは、PET材からなるものとして説明したが、本発明が対象とする電子装置のフィルムはこれに限らず、ポリエステル材、ポリオレフィン材、ポリカーボネート材、アクリル系材料などから選択された材料で構成されてもよい。
上述した実施形態では、加熱ヘッドが本発明にいう押さえ部と加熱部との組合わせに相当し、加熱ステージが発熱しないものとして説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、支持部と加熱部とが組合わされていてもよく、また、加熱部が、押さえ部および支持部とは別個の部分として設けられたものであってもよい。
以下、本発明の種々の形態について付記する。
(付記1)
樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンを形成することによって、回路チップが搭載される基体を形成するパターン形成工程と、
前記フィルム上の、前記回路チップが搭載される搭載領域、および該フィルムを挟んで該搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に、該フィルムの伸縮を抑える補強層を形成する補強工程と、
前記基体の前記導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
前記導体パターンに接続する前記回路チップを、前記熱硬化接着剤を介して前記基体の搭載領域に載せる搭載工程と、
前記回路チップが載せられた前記基体の、前記回路チップ側に当接する押さえ部と、前記基体側に当接して該基体を支持する支持部とを有する、前記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、前記回路チップが載せられた前記基体を回路チップ側と基体側との両側から挟む挟持工程と、
前記加熱装置によって前記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって前記回路チップを前記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする電子装置の製造方法。
樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンを形成することによって、回路チップが搭載される基体を形成するパターン形成工程と、
前記フィルム上の、前記回路チップが搭載される搭載領域、および該フィルムを挟んで該搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に、該フィルムの伸縮を抑える補強層を形成する補強工程と、
前記基体の前記導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
前記導体パターンに接続する前記回路チップを、前記熱硬化接着剤を介して前記基体の搭載領域に載せる搭載工程と、
前記回路チップが載せられた前記基体の、前記回路チップ側に当接する押さえ部と、前記基体側に当接して該基体を支持する支持部とを有する、前記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、前記回路チップが載せられた前記基体を回路チップ側と基体側との両側から挟む挟持工程と、
前記加熱装置によって前記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって前記回路チップを前記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする電子装置の製造方法。
(付記2)
前記補強工程が、前記補強層を前記導体パターンと同じ材料で形成する前記パターン形成工程と一緒に実行される工程であることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
前記補強工程が、前記補強層を前記導体パターンと同じ材料で形成する前記パターン形成工程と一緒に実行される工程であることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
(付記3)
前記補強工程が、前記補強層を前記搭載領域に形成する工程であり、
前記搭載工程が、前記導体パターンに接触する第1の突起と、前記補強層に接触する第2の突起とを有する前記回路チップを前記基体に搭載する工程であることを特徴とする付記2記載の電子装置の製造方法。
前記補強工程が、前記補強層を前記搭載領域に形成する工程であり、
前記搭載工程が、前記導体パターンに接触する第1の突起と、前記補強層に接触する第2の突起とを有する前記回路チップを前記基体に搭載する工程であることを特徴とする付記2記載の電子装置の製造方法。
(付記4)
前記搭載工程が、前記導体パターンに接触する複数の第1の突起を有する前記回路チップを前記基体に搭載する工程であり、
前記補強工程が、前記背面領域に前記補強層を前記複数の第1の突起に対向する各位置に及ぶ広さで形成する工程であることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
前記搭載工程が、前記導体パターンに接触する複数の第1の突起を有する前記回路チップを前記基体に搭載する工程であり、
前記補強工程が、前記背面領域に前記補強層を前記複数の第1の突起に対向する各位置に及ぶ広さで形成する工程であることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
(付記5)
前記補強工程が、前記補強層を絶縁性の材料で形成する工程であることを特徴とする付記4記載の電子装置の製造方法。
前記補強工程が、前記補強層を絶縁性の材料で形成する工程であることを特徴とする付記4記載の電子装置の製造方法。
(付記6)
前記電子装置が、前記導体パターンを通信用のアンテナとして機能させるとともに、前記回路チップによって該導体パターンを介した無線通信を行うRFIDタグであることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
前記電子装置が、前記導体パターンを通信用のアンテナとして機能させるとともに、前記回路チップによって該導体パターンを介した無線通信を行うRFIDタグであることを特徴とする付記1記載の電子装置の製造方法。
(付記7)
樹脂材料からなるフィルムと、
前記フィルム上に設けられた導体パターンと、
前記フィルムに搭載され、前記導体パターンに電気的に接続された回路チップと、
前記フィルム上の、前記回路チップが搭載される搭載領域、および該フィルムを挟んで該搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に形成された、該フィルムの伸縮を抑える補強層とを備えたことを特徴とする電子装置。
樹脂材料からなるフィルムと、
前記フィルム上に設けられた導体パターンと、
前記フィルムに搭載され、前記導体パターンに電気的に接続された回路チップと、
前記フィルム上の、前記回路チップが搭載される搭載領域、および該フィルムを挟んで該搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に形成された、該フィルムの伸縮を抑える補強層とを備えたことを特徴とする電子装置。
(付記8)
前記補強層が、該フィルムのうち導体パターンが形成された側の面上に形成された、該導体パターンと同じ材料からなるものであることを特徴とする付記7記載の電子装置。
前記補強層が、該フィルムのうち導体パターンが形成された側の面上に形成された、該導体パターンと同じ材料からなるものであることを特徴とする付記7記載の電子装置。
(付記9)
前記補強層が前記搭載領域に形成されたものであり、
前記回路チップが、前記導体パターンに接触する第1の突起と、前記補強層に接触する第2の突起とを有するものであることを特徴とする付記8記載の電子装置。
前記補強層が前記搭載領域に形成されたものであり、
前記回路チップが、前記導体パターンに接触する第1の突起と、前記補強層に接触する第2の突起とを有するものであることを特徴とする付記8記載の電子装置。
(付記10)
前記回路チップが、前記導体パターンに接触する第1の突起を有し、
前記補強層が、前記基体のうち導体パターンが形成された側とは反対側の面上に、該フィルムが広がる方向における前記第1の突起が接触する位置を含む領域に設けられるものであることを特徴とする付記7記載の電子装置。
前記回路チップが、前記導体パターンに接触する第1の突起を有し、
前記補強層が、前記基体のうち導体パターンが形成された側とは反対側の面上に、該フィルムが広がる方向における前記第1の突起が接触する位置を含む領域に設けられるものであることを特徴とする付記7記載の電子装置。
(付記11)
前記補強層が、絶縁性の材料からなるものであることを特徴とする付記10記載の電子装置。
前記補強層が、絶縁性の材料からなるものであることを特徴とする付記10記載の電子装置。
(付記12)
前記導体パターンが、通信用のアンテナとして機能するものであり、
前記回路チップが前記導体パターンを介した無線通信を行うものであることを特徴とする付記7記載の電子装置。
前記導体パターンが、通信用のアンテナとして機能するものであり、
前記回路チップが前記導体パターンを介した無線通信を行うものであることを特徴とする付記7記載の電子装置。
1 RFIDタグ(電子装置)
2 加熱装置(製造装置)
11,41 基体
11a 搭載面
11b 裏面
11c,41c 搭載領域
11d 背後領域
111 フィルム
112 アンテナパターン(導体パターン)
12,42 ICチップ(回路チップ)
121 バンプ(第1の突起)
422 ダミーバンプ(第2の突起)
13p 熱硬化接着剤
14,43,43a〜43m 補強層
2 加熱装置(電子装置の製造装置)
21 加熱ヘッド(加熱部、押さえ部)
22 加熱ステージ(支持部)
2 加熱装置(製造装置)
11,41 基体
11a 搭載面
11b 裏面
11c,41c 搭載領域
11d 背後領域
111 フィルム
112 アンテナパターン(導体パターン)
12,42 ICチップ(回路チップ)
121 バンプ(第1の突起)
422 ダミーバンプ(第2の突起)
13p 熱硬化接着剤
14,43,43a〜43m 補強層
2 加熱装置(電子装置の製造装置)
21 加熱ヘッド(加熱部、押さえ部)
22 加熱ステージ(支持部)
Claims (10)
- 樹脂材料からなるフィルム上に導体パターンを形成することによって、回路チップが搭載される基体を形成するパターン形成工程と、
前記フィルム上の、前記回路チップが搭載される搭載領域、および該フィルムを挟んで該搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に、該フィルムの伸縮を抑える補強層を形成する補強工程と、
前記基体の前記導体パターンが形成された側の面に熱硬化接着剤を付着させる付着工程と、
前記導体パターンに接続する前記回路チップを、前記熱硬化接着剤を介して前記基体の搭載領域に載せる搭載工程と、
前記回路チップが載せられた前記基体の、前記回路チップ側に当接する押さえ部と、前記基体側に当接して該基体を支持する支持部とを有する、前記熱硬化接着剤を加熱する加熱装置によって、前記回路チップが載せられた前記基体を回路チップ側と基体側との両側から挟む挟持工程と、
前記加熱装置によって前記熱硬化接着剤を加熱して硬化させることによって前記回路チップを前記導体パターンに固定する加熱工程とを備えたことを特徴とする電子装置の製造方法。 - 前記補強工程が、前記補強層を前記導体パターンと同じ材料で形成する前記パターン形成工程と一緒に実行される工程であることを特徴とする請求項1記載の電子装置の製造方法。
- 前記補強工程が、前記補強層を前記搭載領域に形成する工程であり、
前記搭載工程が、前記導体パターンに接触する第1の突起と、前記補強層に接触する第2の突起とを有する前記回路チップを前記基体に搭載する工程であることを特徴とする請求項2記載の電子装置の製造方法。 - 前記搭載工程が、前記導体パターンに接触する複数の第1の突起を有する前記回路チップを前記基体に搭載する工程であり、
前記補強工程が、前記背面領域に前記補強層を前記複数の第1の突起に対向する各位置に及ぶ広さで形成する工程であることを特徴とする請求項1記載の電子装置の製造方法。 - 前記補強工程が、前記補強層を絶縁性の材料で形成する工程であることを特徴とする請求項4記載の電子装置の製造方法。
- 樹脂材料からなるフィルムと、
前記フィルム上に設けられた導体パターンと、
前記フィルムに搭載され、前記導体パターンに電気的に接続された回路チップと、
前記フィルム上の、前記回路チップが搭載される搭載領域、および該フィルムを挟んで該搭載領域の裏側の背後領域のうち少なくとも一方に形成された、該フィルムの伸縮を抑える補強層とを備えたことを特徴とする電子装置。 - 前記補強層が、該フィルムのうち導体パターンが形成された側の面上に形成された、該導体パターンと同じ材料からなるものであることを特徴とする請求項6記載の電子装置。
- 前記補強層が前記搭載領域に形成されたものであり、
前記回路チップが、前記導体パターンに接触する第1の突起と、前記補強層に接触する第2の突起とを有するものであることを特徴とする請求項7記載の電子装置。 - 前記回路チップが、前記導体パターンに接触する第1の突起を有し、
前記補強層が、前記基体のうち導体パターンが形成された側とは反対側の面上に、該フィルムが広がる方向における前記第1の突起が接触する位置を含む領域に設けられるものであることを特徴とする請求項6記載の電子装置。 - 前記補強層が、絶縁性の材料からなるものであることを特徴とする請求項9記載の電子装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007009263A JP2008177351A (ja) | 2007-01-18 | 2007-01-18 | 電子装置および電子装置の製造方法 |
US11/983,868 US7851258B2 (en) | 2007-01-18 | 2007-11-13 | Method of manufacturing an RFID tag |
TW096142824A TWI350720B (en) | 2007-01-18 | 2007-11-13 | Electronic device and method of manufacturing the same |
EP07121154A EP1956873B1 (en) | 2007-01-18 | 2007-11-20 | RFID tag and method of manufacturing the same |
CN200710195965A CN100584153C (zh) | 2007-01-18 | 2007-12-07 | 电子器件及其制造方法 |
KR1020070126916A KR100945775B1 (ko) | 2007-01-18 | 2007-12-07 | 전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법 |
US12/896,998 US7960752B2 (en) | 2007-01-18 | 2010-10-04 | RFID tag |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007009263A JP2008177351A (ja) | 2007-01-18 | 2007-01-18 | 電子装置および電子装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008177351A true JP2008177351A (ja) | 2008-07-31 |
Family
ID=39387341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007009263A Pending JP2008177351A (ja) | 2007-01-18 | 2007-01-18 | 電子装置および電子装置の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7851258B2 (ja) |
EP (1) | EP1956873B1 (ja) |
JP (1) | JP2008177351A (ja) |
KR (1) | KR100945775B1 (ja) |
CN (1) | CN100584153C (ja) |
TW (1) | TWI350720B (ja) |
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-
2007
- 2007-01-18 JP JP2007009263A patent/JP2008177351A/ja active Pending
- 2007-11-13 TW TW096142824A patent/TWI350720B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-11-13 US US11/983,868 patent/US7851258B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-11-20 EP EP07121154A patent/EP1956873B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-12-07 KR KR1020070126916A patent/KR100945775B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-12-07 CN CN200710195965A patent/CN100584153C/zh not_active Expired - Fee Related
-
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Publication number | Publication date |
---|---|
EP1956873B1 (en) | 2011-05-18 |
CN100584153C (zh) | 2010-01-20 |
US20080173997A1 (en) | 2008-07-24 |
US20110025507A1 (en) | 2011-02-03 |
EP1956873A2 (en) | 2008-08-13 |
TWI350720B (en) | 2011-10-11 |
KR100945775B1 (ko) | 2010-03-08 |
KR20080068531A (ko) | 2008-07-23 |
US7851258B2 (en) | 2010-12-14 |
EP1956873A3 (en) | 2009-10-07 |
CN101227798A (zh) | 2008-07-23 |
TW200835414A (en) | 2008-08-16 |
US7960752B2 (en) | 2011-06-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090907 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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