JP2008164464A - 超音波出力素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電セラミック振動板21に、駆動用の電極22,23以外に、駆動電圧の印加に伴い当該の圧電セラミック振動板21に生ずる超音波振動の圧電モニタリング信号を取り出すためのモニタ用部分電極24を設けたので、駆動信号が入力された圧電セラミック素子の振動波形をリアルタイムでモニタリングできる。
【選択図】 図3A
Description
板厚方向に分極処理された圧電セラミック振動板と、
該圧電セラミック振動板の各主表面を覆う形で該圧電セラミック振動板を挟んで対向形成され、該圧電セラミック振動板を超音波振動させるための駆動電圧が印加される主電極対と、
主電極対のいずれとも絶縁分離した形で圧電セラミック振動板上に形成され、駆動電圧の印加に伴い圧電セラミック振動板に生ずる超音波振動の圧電モニタリング信号を取り出すためのモニタ用部分電極とを備えたことを特徴とする。
図3Aの実施形態では駆動パルスは1個のみ入力していたが、駆動波形の均一化及び安定化のために、図3Bに示すように、複数個の駆動パルスを連続して入力するようにしてもよい。
20 隙間
21 圧電セラミック振動板
22,23 主電極対
22 接地電極
23c 切欠き領域
24 モニタ用部分電極
25 音響インピーダンス整合層
25c 凹状部
26 絶縁層
28 底部
29 ケーシング
29t 天面部
30 側壁部
31 ワイヤ(導通経路)
31b ワイヤ
31a 接地用リード層
31s 半田付け部
41 接地端子
43 駆動端子
46 導電性接着層
Claims (15)
- 板厚方向に分極処理された圧電セラミック振動板と、
該圧電セラミック振動板の各主表面を覆う形で該圧電セラミック振動板を挟んで対向形成され、該圧電セラミック振動板を超音波振動させるための駆動電圧が印加される主電極対と、
前記主電極対のいずれとも絶縁分離した形で前記圧電セラミック振動板上に形成され、前記駆動電圧の印加に伴い前記圧電セラミック振動板に生ずる超音波振動の圧電モニタリング信号を取り出すためのモニタ用部分電極と、
を備えたことを特徴とする超音波出力素子。 - 前記主電極対は、前記圧電セラミック振動板の第一主表面を覆う接地電極と、同じく第二主表面を覆う駆動電極とからなり、前記モニタ用部分電極は、それら接地電極及び駆動電極のいずれよりも前記圧電セラミック振動板に対する被覆面積が小さく形成されてなる請求項1記載の超音波出力素子。
- 前記駆動電極は前記接地電極よりも前記圧電セラミック振動板に対する被覆面積が小さく形成されてなり、該圧電セラミック振動板の前記第二主表面の前記駆動電極に覆われていない残余領域に前記モニタ用部分電極が形成されてなる請求項2記載の超音波出力素子。
- 前記モニタ用部分電極は圧電セラミック振動板の前記第二主表面の外周縁領域に形成されてなる請求項3記載の超音波出力素子。
- 前記圧電セラミック振動板が円板状に形成され、前記駆動電極は該圧電セラミック振動板の外周縁に沿う円状の外周縁形状を有するとともに、当該円状の外周縁の一部を半径方向内側に凹状に引っ込ませる形で前記駆動電極の一部が切り欠かれ、その切欠き領域の内側に前記モニタ用部分電極が形成されてなる請求項4記載の超音波出力素子。
- 前記駆動電極側の外周縁は、前記モニタ用部分電極との隣接位置にて、該駆動電極とモニタ用部分電極との間に所定幅の隙間を形成する形で、該モニタ用部分電極の外周縁に倣う形状に形成されてなる請求項4又は請求項5に記載の超音波出力素子。
- 前記駆動電極とモニタ用部分電極との間に形成される前記隙間の幅が0.5mm以上2.5mm以下とされてなる請求項6記載の超音波出力素子。
- 前記圧電セラミック振動板は、前記駆動電極及び前記モニタ用部分電極の形成された第一主表面側がケーシングの底部内面と対向する形で該ケーシング内に配置され、
前記ケーシングの底部裏面に突出形成された駆動端子及びモニタ端子に対し、前記駆動電極及び前記モニタ用部分電極がそれぞれ接続されてなる請求項2ないし請求項7のいずれか1項に記載の超音波出力素子。 - 前記圧電セラミック振動板と前記ケーシングの底部との間に絶縁層が配置され、前記駆動端子と前記駆動電極及び前記モニタ端子と前記モニタ用部分電極とが、前記絶縁層を貫く個別のワイヤによりそれぞれボンディングされてなる請求項8記載の超音波出力素子。
- 前記接地電極への導通経路が前記圧電セラミック振動板の前記第二主表面側から該圧電セラミック振動板の側周面を経て前記第一主表面側に回り込む形で形成され、前記ケーシングの底部裏面に突出形成された接地端子に前記接地電極が該導通経路を介して接続されてなる請求項8又は請求項9に記載の超音波出力素子。
- 前記ケーシングの前記底部と反対側の開口に望む位置に前記圧電セラミック振動板が配置されるとともに、該開口を塞ぐ形で、前記圧電セラミック振動板との接触側と反対側の主表面に超音波放出面が形成された音響インピーダンス整合層が、前記圧電セラミック振動板の前記第二主表面上に形成された前記接地電極と密着する形で設けられている請求項10記載の超音波出力素子。
- 前記導通経路は、前記圧電セラミック振動板の前記第二主表面側にて一端が前記接地電極に半田付けされるワイヤであり、前記音響インピーダンス整合層の該接地電極との対向面に、前記ワイヤの半田付け部を収容する凹状部が形成されてなる請求項11記載の超音波出力素子。
- 前記配線部は、一端が前記接地電極に接続し、前記駆動電極及び前記モニタ用部分電極のいずれとも絶縁分離された形で前記圧電セラミック振動板の第一主表面に形成された接地用接続パッドに他端が接続する形で前記圧電セラミック振動板の周側面上に形成された接地用リード層と、一端が前記接地用接続パッドに半田付けされ、他端が前記接地端子に半田付けされるワイヤとからなり、
前記接地電極の全面に渡って前記音響インピーダンス整合層が密着配置されてなる請求項11記載の超音波出力素子。 - 前記ケーシングは、前記底部と、該底部の周縁から立ち上がる側壁部と、該側壁部の前記底部と反対側の開口を塞ぐ天面部とが互いに導通する金属部材にて形成され、前記天面部の内面に前記圧電セラミック振動板の前記第二主表面を覆う前記接地電極が導電性接着層を介して密着配置され、当該ケーシングを介して前記駆動電圧が接地される請求項8又は請求項9に記載の超音波出力素子。
- 前記天面部の外側主表面に、当該天面部との接触側と反対側の主表面に超音波放出面が形成された音響インピーダンス整合層が密着配置されてなる請求項14に記載の超音波出力素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006354917A JP5111846B2 (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 超音波出力素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006354917A JP5111846B2 (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 超音波出力素子 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008164464A true JP2008164464A (ja) | 2008-07-17 |
JP5111846B2 JP5111846B2 (ja) | 2013-01-09 |
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JP (1) | JP5111846B2 (ja) |
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US10458957B2 (en) | 2016-08-24 | 2019-10-29 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic device, ultrasonic module, and ultrasonic measuring device |
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-
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- 2006-12-28 JP JP2006354917A patent/JP5111846B2/ja not_active Expired - Fee Related
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