KR100359981B1 - 초음파 트랜스듀서 및 초음파 유량계 - Google Patents
초음파 트랜스듀서 및 초음파 유량계 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 초음파를 송수신하는 초음파 트랜스듀서에 있어서,2개 대향면상에 전극면을 가진 압전체; 및압전체의 전극면의 하나가 도전성 탄성체를 경유하여 외부 전극부에 전기적으로 접속된, 전기 신호를 상기 압전체로 송신하는 외부 전극부를 포함하는 초음파 트랜스듀서.
- 제1항에 있어서, 상기 외부 전극부는 2개의 외부 전극을 포함하고, 상기 압전체의 전극면의 하나는 상기 외부 전극에 도전성 탄성체를 경유하여 전기적으로 접속되고, 상기 압전체의 전극면의 나머지는 상기 외부 전극에 본딩으로써 전기적으로 접속되는 초음파 트랜스듀서.
- 제1항에 있어서, 상기 외부 전극부는 2개의 외부 전극을 포함하고, 상기 압전체의 각각의 전극면은 각각의 상기 외부 전극에 도전성 탄성체를 경유하여 전기적으로 접속되는 초음파 트랜스듀서.
- 제1항에 있어서, 상기 압전체의 전극면 및 상기 외부 전극부는 도전성 탄성체를 사이에 끼우고 압축하여서 전기적으로 접속되는 초음파 트랜스듀서.
- 제2항에 있어서, 상기 외부 전극부에 각각 전기적으로 접속되는 2개의 전기적 분리 단자를 가진, 단자 블록을 추가로 포함하는 초음파 트랜스듀서.
- 제5항에 있어서, 상기 도전성 탄성체가 횡방향에서 이동하는 것을 방지하는 수단을 추가로 포함하고, 상기 수단은 상기 단자 블록에 구비되는 초음파 트랜스듀서.
- 제6항에 있어서, 도전성 탄성체의 이동을 방지하는 상기 수단은 상기 단자 블록상에 배열된 홈이며, 상기 도전성 탄성체 및 상기 외부 전극부의 하나가 상기 홈의 내부측상에 구비되는 초음파 트랜스듀서.
- 제6항에 있어서, 도전성 탄성체의 이동을 방지하는 상기 수단은 상기 단자 블록상에 배열된 돌기부이며, 상기 도전성 탄성체 및 상기 외부 전극부의 하나가 상기 돌기부의 내부측상에 구비되는 초음파 트랜스듀서.
- 제2항에 있어서, 상기 도전성 탄성체는 도전부 및 절연부를 포함하며, 2개의 외부 전극은 상기 절연부에 의해서 전기적으로 단락되는 것이 방지되는 초음파 트랜스듀서.
- 제9항에 있어서, 상기 도전부 및 상기 절연부는 층으로서 교호로 배열되고,양측의 최외곽층은 절연층인 초음파 트랜스듀서.
- 제1항에 있어서, 상기 외부 전극부는 2개의 외부 전극을 포함하고, 적어도 상기 외부 전극의 하나는 벤딩부를 가지는 초음파 트랜스듀서.
- 측정될 유체가 흐르는 유량 측정부와;2개 대향면상에 전극면을 보유한 압전체, 및 상기 압전체에 전기적 신호를 송신하는 외부 전극부를 가지며, 압전체 전극면의 하나가 도전성 탄성체를 경유하여 외부 전극부에 전기적으로 접속되고, 상기 유량 측정부상에 배열되는 한 쌍의 초음파 트랜스듀서와;상기 초음파 트랜스듀서의 하나를 구동하는 구동 회로와;상기 초음파 트랜스듀서의 나머지에 접속되어 초음파 펄스를 검지하는 수신 검지 회로와;상기 초음파 펄스의 전파시간을 측정하는 타이머; 및상기 타이머의 출력으로부터 유량을 연산하는 연산부를 포함하는 초음파 유량계.
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JP2003075218A (ja) * | 2001-09-06 | 2003-03-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波流量計 |
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JP4123044B2 (ja) * | 2003-05-13 | 2008-07-23 | ソニー株式会社 | マイクロマシンおよびその製造方法 |
JPWO2005029912A1 (ja) * | 2003-09-18 | 2006-11-30 | 松下電器産業株式会社 | 超音波振動子を用いた超音波流量計 |
DE10356114A1 (de) * | 2003-11-27 | 2005-06-23 | Endress + Hauser Flowtec Ag, Reinach | Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung des Volumen- und/oder Massendurchflusses eines Messmediums |
JP2006023098A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動子およびそれを用いた超音波式流れ計測装置 |
JP4523879B2 (ja) * | 2005-06-20 | 2010-08-11 | 株式会社日立製作所 | 電気・音響変換素子、アレイ型超音波トランスデューサおよび超音波診断装置 |
US7518914B2 (en) * | 2006-08-07 | 2009-04-14 | Micron Technology, Inc. | Non-volatile memory device with both single and multiple level cells |
JP2008275607A (ja) | 2007-04-05 | 2008-11-13 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 超音波流量計 |
CN101603011B (zh) * | 2009-06-18 | 2012-02-22 | 北京师范大学 | 制备表鬼臼毒素双葡萄糖苷的方法及其专用菌株 |
JP2012021899A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Panasonic Corp | 超音波流量計測ユニットおよびこれを用いた超音波流量計 |
DE102012105719A1 (de) * | 2012-06-28 | 2014-01-02 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflussmessgerät |
CN103868555B (zh) * | 2012-12-11 | 2017-08-04 | 南京理工大学 | 一种用于超声波流量计的循环时差检测方法 |
CN103776497B (zh) * | 2014-01-26 | 2017-09-01 | 哈尔滨工业大学(威海) | 一种流量计用超声波传感器 |
CA2895361C (en) * | 2015-06-19 | 2023-08-01 | Accutron Instruments Inc. | Method and system for ultrasonic airflow measurements |
DK3130407T3 (da) * | 2015-08-10 | 2021-02-01 | Apator Miitors Aps | Fremgangsmåde til binding af en piezoelektrisk ultralydstransducer |
JP6500713B2 (ja) * | 2015-09-07 | 2019-04-17 | Tdk株式会社 | 加速度センサ |
WO2017138542A1 (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 日本バルカー工業株式会社 | 振動センサー、振動測定方法および振動センサー作製用キット |
KR101963732B1 (ko) * | 2016-03-17 | 2019-03-29 | (주)동일기연 | 액체 레벨 측정용 초음파 트랜스듀서 |
JP6941763B2 (ja) * | 2017-04-18 | 2021-09-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 超音波送受信器 |
USD851524S1 (en) | 2018-01-18 | 2019-06-18 | Norgas Metering Technologies, Inc. | Ultrasonic flow meter |
CN110275577B (zh) * | 2019-06-25 | 2022-04-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 超声模组及显示屏 |
JP7318495B2 (ja) * | 2019-11-15 | 2023-08-01 | Tdk株式会社 | 超音波デバイス及び流体検出装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3619672A (en) * | 1970-09-11 | 1971-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Piezoelectric ceramic resonator and mounting |
US4283649A (en) * | 1978-09-21 | 1981-08-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric ultrasonic transducer with resonator laminate |
US4556814A (en) * | 1984-02-21 | 1985-12-03 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoelectric ultrasonic transducer with porous plastic housing |
JPS61144565A (ja) * | 1984-12-18 | 1986-07-02 | Toshiba Corp | 高分子圧電型超音波探触子 |
US4754440A (en) * | 1985-12-27 | 1988-06-28 | Aisin Seiki Kabushikikaisha | Ultrasonic transducer |
FR2641281B1 (fr) | 1989-01-05 | 1993-05-14 | Saduc Developp Utilisations Cu | Procede de purification de polymeres naturels ou synthetiques en solution, hydrosolubles ou solubles en milieu hydro-alcoolique comportant des groupements sulfates |
US5066884A (en) * | 1989-02-10 | 1991-11-19 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor having high drive efficiency |
JP3014801B2 (ja) | 1991-05-10 | 2000-02-28 | 三共化成株式会社 | 電子部品の製造方法 |
DE69215599T2 (de) * | 1991-08-09 | 1997-06-19 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | Biegsame piezoelektrische Vorrichtung |
US5506463A (en) * | 1993-08-23 | 1996-04-09 | Rohm Co., Ltd. | Packaged piezoelectric oscillator and method of making the same |
EP0735842B1 (en) * | 1993-12-22 | 1999-03-31 | Sulzer Osypka GmbH | Ultrasonic marked cardiac ablation catheter |
US5939817A (en) * | 1994-09-22 | 1999-08-17 | Nippon Electric Co | Surface acoustic wave device |
US5503154A (en) * | 1994-10-13 | 1996-04-02 | Cardiovascular Imaging Systems, Inc. | Transducer for intraluminal ultrasound imaging catheter with provision for electrical isolation of transducer from the catheter core |
US5650571A (en) * | 1995-03-13 | 1997-07-22 | Freud; Paul J. | Low power signal processing and measurement apparatus |
JP3216769B2 (ja) * | 1995-03-20 | 2001-10-09 | 富士電機株式会社 | クランプオン型超音波流量計における温度圧力補償方法 |
US5777238A (en) * | 1996-06-12 | 1998-07-07 | Welch Allyn, Inc. | Driver-receiver apparatus for use with ultrasonic flowmeters |
DE29611678U1 (de) * | 1996-07-04 | 1997-08-07 | Siemens AG, 80333 München | Schallwandler, insbesondere Ultraschallwandler |
JPH10107579A (ja) * | 1996-08-06 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
-
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