JPS5822039A - 超音波振動子 - Google Patents
超音波振動子Info
- Publication number
- JPS5822039A JPS5822039A JP12084881A JP12084881A JPS5822039A JP S5822039 A JPS5822039 A JP S5822039A JP 12084881 A JP12084881 A JP 12084881A JP 12084881 A JP12084881 A JP 12084881A JP S5822039 A JPS5822039 A JP S5822039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- electrode
- voltage
- electrodes
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Circuit For Audible Band Transducer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発ｌ！ＩＩＩ′ｉ、近年駒院勢で用いられるように
なった麺音液診１１ｔ＊置勢に使うための超音波振動子
に関する。
なった麺音液診１１ｔ＊置勢に使うための超音波振動子
に関する。
こ０＊０超音緻振動子は一般に第１図に示すように％Ｐ
ＺＴ （チタン酸ジルコン酸鉛）系の圧電セラミック勢
の圧電素子１０表裏両１ｉＫ電極２．８を設け、これら
電極２．８関に駆動用Ｏ／４ルス妓形の電圧上印加し、
圧電素子ｌを厚み方向（矢印方角）Ｋ振動させて超音波
ｐ４ｈｘｔ発射するようｋしている。ところが一方的に
超音波を打ち出すだ叶であるから、実ｌｌＫどのような
超音波振動が行なわれているかが全く分らず、超音波振
動にばらつきや変動が存在した場合、これを制御する仁
とができないものであった− 杢発明社上記に龜み、実際の超音＃！、娠動に対応し良
電気信号を検知する検知用電極を設け、この電気信号を
駆動＊９ａＫｌｌｈＮすることにより打ち出し超音波の
制御を行なうように改善した超音波振動子を提供するこ
とを目的とする。
ＺＴ （チタン酸ジルコン酸鉛）系の圧電セラミック勢
の圧電素子１０表裏両１ｉＫ電極２．８を設け、これら
電極２．８関に駆動用Ｏ／４ルス妓形の電圧上印加し、
圧電素子ｌを厚み方向（矢印方角）Ｋ振動させて超音波
ｐ４ｈｘｔ発射するようｋしている。ところが一方的に
超音波を打ち出すだ叶であるから、実ｌｌＫどのような
超音波振動が行なわれているかが全く分らず、超音波振
動にばらつきや変動が存在した場合、これを制御する仁
とができないものであった− 杢発明社上記に龜み、実際の超音＃！、娠動に対応し良
電気信号を検知する検知用電極を設け、この電気信号を
駆動＊９ａＫｌｌｈＮすることにより打ち出し超音波の
制御を行なうように改善した超音波振動子を提供するこ
とを目的とする。
以下、本発明の一実施例についてａｌｌＩｊ管参照し表
参照説明する。第２ａｉｌＫ示すように、本発明によれ
ばＰＺＴ系圧電セラン、りでなる圧電素子１（２）表１
６に設けえ電極を２分割し、一方を厘動用電１［ｉ２ｍ
、他方を検知用電極２ｂとする・そして例えば菖８１１
に示すように、被検体４に亀２図に示した超音波振動子
を密着させ、龜勤用電＠２ｍと電＠８との間に増幅器す
から出力される駆動用電圧を印加する。伺えば７１にス
鼓形の電圧・１を加算器７を通して増幅器６０入力１１
に与え、こうして圧電素子１が実際に超音波振動を起こ
して被検体４に向けて超音波が打ち出されたとき、検知
用亀＠２ｂに上記の実際の振動に対応した電圧が誘起さ
れ、これが帰還回路６會へて加算器７に送られ電圧・ｉ
よｎＩする。帰ａｔ＜路６には移相器や比例積分器勢が
含まれておプ、演算機能１有するものとする。
参照説明する。第２ａｉｌＫ示すように、本発明によれ
ばＰＺＴ系圧電セラン、りでなる圧電素子１（２）表１
６に設けえ電極を２分割し、一方を厘動用電１［ｉ２ｍ
、他方を検知用電極２ｂとする・そして例えば菖８１１
に示すように、被検体４に亀２図に示した超音波振動子
を密着させ、龜勤用電＠２ｍと電＠８との間に増幅器す
から出力される駆動用電圧を印加する。伺えば７１にス
鼓形の電圧・１を加算器７を通して増幅器６０入力１１
に与え、こうして圧電素子１が実際に超音波振動を起こ
して被検体４に向けて超音波が打ち出されたとき、検知
用亀＠２ｂに上記の実際の振動に対応した電圧が誘起さ
れ、これが帰還回路６會へて加算器７に送られ電圧・ｉ
よｎＩする。帰ａｔ＜路６には移相器や比例積分器勢が
含まれておプ、演算機能１有するものとする。
超音波振動子の振動波形はノ臂ルス駆動したとき一般に
次のような振幅ｄの減衰振動となる。
次のような振幅ｄの減衰振動となる。
ｄ ＝ Ｄａ ｇ −’／ Ｔ ｓｉｎωｔＤｍ＝振幅
の最大値 τ ：時定数 ＆Ｉ ：固有振動角周波数 この場合、帰還１路６により負帰遮量を時間的に制御し
、時定数τを短くしたり長くしたシの１１１１が可能と
なる。そのため、長く尾を引くような減衰振動の殆んど
ないイン・ｆルス超音波を発射することもできる。
の最大値 τ ：時定数 ＆Ｉ ：固有振動角周波数 この場合、帰還１路６により負帰遮量を時間的に制御し
、時定数τを短くしたり長くしたシの１１１１が可能と
なる。そのため、長く尾を引くような減衰振動の殆んど
ないイン・ｆルス超音波を発射することもできる。
勿論、超音波振動子をインパルス駆動する場合だけでな
く、超音波の連続発生を行なう場合ても、上記の検知用
電極２ｂと帰１１回路６とによ〕安定な超音波送波を行
なうことができる。
く、超音波の連続発生を行なう場合ても、上記の検知用
電極２ｂと帰１１回路６とによ〕安定な超音波送波を行
なうことができる。
なお、電極の分割構造として１ｊｊｌｋ２図に示したも
のに限られず、ｊＩ４図のように隅の部分に８角形の検
知用電極２ｂｆ設は友ｐ％ｊ［６図に示すように中央部
に円形の検知用電極２ｂｆ設けえり、第６図に示すよう
に中央部に矩形の検知用電極２ｋを設けた夛することが
可能である・また、これらの実施例でｔ′ｉｔｎすれも
片１ｉｌｉＫのみ分割電極構造管設けるようＫしている
が、両面とも電極を分割するようＫしてもよい。
のに限られず、ｊＩ４図のように隅の部分に８角形の検
知用電極２ｂｆ設は友ｐ％ｊ［６図に示すように中央部
に円形の検知用電極２ｂｆ設けえり、第６図に示すよう
に中央部に矩形の検知用電極２ｋを設けた夛することが
可能である・また、これらの実施例でｔ′ｉｔｎすれも
片１ｉｌｉＫのみ分割電極構造管設けるようＫしている
が、両面とも電極を分割するようＫしてもよい。
］＃！に、上記の実施りでは圧電素子としてＰＺＴ系圧
電セラミ、りを使用したが、水晶、チタン駿Δリウム、
チタン酸鉛、ＰＶＤＦ（／リピニリｒンフッ素樹脂）等
の各種の圧電素子を用いることがてきる。
電セラミ、りを使用したが、水晶、チタン駿Δリウム、
チタン酸鉛、ＰＶＤＦ（／リピニリｒンフッ素樹脂）等
の各種の圧電素子を用いることがてきる。
以上、実施例について説明したように１本発明によれば
、実際の超音波振動に対応した信号を得て負帰還をかけ
ることができる九め、打ち出し超音波の周波数帯域を広
くすることがてきるとともに、超音波の連続発生やイン
ノ曹ルス発生勢に対し安定な超音波出力を得ることがで
きる。
、実際の超音波振動に対応した信号を得て負帰還をかけ
ることができる九め、打ち出し超音波の周波数帯域を広
くすることがてきるとともに、超音波の連続発生やイン
ノ曹ルス発生勢に対し安定な超音波出力を得ることがで
きる。
＃Ｉ１図は従来例の概略的な斜視図、第２図は本発明の
一実施例の概略的な斜視図、第１図は駆動時の結線関係
を示すブロック図、第４図。 第６図及び第６図はそれぞれ他の実施例を示す概略的な
斜視図である。 ｌ・・・圧電素子、 ２．８・・・電極、２ｍ・
−・駆動用電極、 ２ｂ・・・検知用電極、４・−・被
検体、 ５・・・増幅器、６−・帰還回路、
７・−・加算器。 出願人 株式会社島津袈作＾ ）１目 箋２＠
一実施例の概略的な斜視図、第１図は駆動時の結線関係
を示すブロック図、第４図。 第６図及び第６図はそれぞれ他の実施例を示す概略的な
斜視図である。 ｌ・・・圧電素子、 ２．８・・・電極、２ｍ・
−・駆動用電極、 ２ｂ・・・検知用電極、４・−・被
検体、 ５・・・増幅器、６−・帰還回路、
７・−・加算器。 出願人 株式会社島津袈作＾ ）１目 箋２＠
Claims (1)
- （１） 圧電素子の両−に電極を設けてなる超音波振
動子において、前記少なくとも１ｉｉｉに設けられた電
極を駆動用電極と検知用電極とに分割し、厘動用電−に
態動用電圧を印加して超音波を発射するとともに、検知
用電極よシ超音皺振動に対応した電気信号を得て、この
電気信号を鋺記厘動用電圧源儒に帰還するようＫしたこ
とを特徴とする超音波振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12084881A JPS5822039A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12084881A JPS5822039A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 超音波振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5822039A true JPS5822039A (ja) | 1983-02-09 |
Family
ID=14796440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12084881A Pending JPS5822039A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 超音波振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5822039A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60114239A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-20 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子の製造方法 |
| JP2008164465A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波流量計 |
| JP2008164464A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波出力素子 |
-
1981
- 1981-07-31 JP JP12084881A patent/JPS5822039A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60114239A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-20 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子の製造方法 |
| JPH0479263B2 (ja) * | 1983-11-28 | 1992-12-15 | Hitachi Seisakusho Kk | |
| JP2008164465A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波流量計 |
| JP2008164464A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波出力素子 |
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