JPS5822039A - 超音波振動子 - Google Patents
超音波振動子Info
- Publication number
- JPS5822039A JPS5822039A JP12084881A JP12084881A JPS5822039A JP S5822039 A JPS5822039 A JP S5822039A JP 12084881 A JP12084881 A JP 12084881A JP 12084881 A JP12084881 A JP 12084881A JP S5822039 A JPS5822039 A JP S5822039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- electrode
- voltage
- electrodes
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Circuit For Audible Band Transducer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発l!III′i、近年駒院勢で用いられるように
なった麺音液診11t*置勢に使うための超音波振動子
に関する。
なった麺音液診11t*置勢に使うための超音波振動子
に関する。
こ0*0超音緻振動子は一般に第1図に示すように%P
ZT (チタン酸ジルコン酸鉛)系の圧電セラミック勢
の圧電素子10表裏両1iK電極2.8を設け、これら
電極2.8関に駆動用O/4ルス妓形の電圧上印加し、
圧電素子lを厚み方向(矢印方角)K振動させて超音波
p4hxt発射するようkしている。ところが一方的に
超音波を打ち出すだ叶であるから、実llKどのような
超音波振動が行なわれているかが全く分らず、超音波振
動にばらつきや変動が存在した場合、これを制御する仁
とができないものであった− 杢発明社上記に龜み、実際の超音#!、娠動に対応し良
電気信号を検知する検知用電極を設け、この電気信号を
駆動*9aKllhNすることにより打ち出し超音波の
制御を行なうように改善した超音波振動子を提供するこ
とを目的とする。
ZT (チタン酸ジルコン酸鉛)系の圧電セラミック勢
の圧電素子10表裏両1iK電極2.8を設け、これら
電極2.8関に駆動用O/4ルス妓形の電圧上印加し、
圧電素子lを厚み方向(矢印方角)K振動させて超音波
p4hxt発射するようkしている。ところが一方的に
超音波を打ち出すだ叶であるから、実llKどのような
超音波振動が行なわれているかが全く分らず、超音波振
動にばらつきや変動が存在した場合、これを制御する仁
とができないものであった− 杢発明社上記に龜み、実際の超音#!、娠動に対応し良
電気信号を検知する検知用電極を設け、この電気信号を
駆動*9aKllhNすることにより打ち出し超音波の
制御を行なうように改善した超音波振動子を提供するこ
とを目的とする。
以下、本発明の一実施例についてallIj管参照し表
参照説明する。第2ailK示すように、本発明によれ
ばPZT系圧電セラン、りでなる圧電素子1(2)表1
6に設けえ電極を2分割し、一方を厘動用電1[i2m
、他方を検知用電極2bとする・そして例えば菖811
に示すように、被検体4に亀2図に示した超音波振動子
を密着させ、龜勤用電@2mと電@8との間に増幅器す
から出力される駆動用電圧を印加する。伺えば71にス
鼓形の電圧・1を加算器7を通して増幅器60入力11
に与え、こうして圧電素子1が実際に超音波振動を起こ
して被検体4に向けて超音波が打ち出されたとき、検知
用亀@2bに上記の実際の振動に対応した電圧が誘起さ
れ、これが帰還回路6會へて加算器7に送られ電圧・i
よnIする。帰at<路6には移相器や比例積分器勢が
含まれておプ、演算機能1有するものとする。
参照説明する。第2ailK示すように、本発明によれ
ばPZT系圧電セラン、りでなる圧電素子1(2)表1
6に設けえ電極を2分割し、一方を厘動用電1[i2m
、他方を検知用電極2bとする・そして例えば菖811
に示すように、被検体4に亀2図に示した超音波振動子
を密着させ、龜勤用電@2mと電@8との間に増幅器す
から出力される駆動用電圧を印加する。伺えば71にス
鼓形の電圧・1を加算器7を通して増幅器60入力11
に与え、こうして圧電素子1が実際に超音波振動を起こ
して被検体4に向けて超音波が打ち出されたとき、検知
用亀@2bに上記の実際の振動に対応した電圧が誘起さ
れ、これが帰還回路6會へて加算器7に送られ電圧・i
よnIする。帰at<路6には移相器や比例積分器勢が
含まれておプ、演算機能1有するものとする。
超音波振動子の振動波形はノ臂ルス駆動したとき一般に
次のような振幅dの減衰振動となる。
次のような振幅dの減衰振動となる。
d = Da g −’/ T sinωtDm=振幅
の最大値 τ :時定数 &I :固有振動角周波数 この場合、帰還1路6により負帰遮量を時間的に制御し
、時定数τを短くしたり長くしたシの1111が可能と
なる。そのため、長く尾を引くような減衰振動の殆んど
ないイン・fルス超音波を発射することもできる。
の最大値 τ :時定数 &I :固有振動角周波数 この場合、帰還1路6により負帰遮量を時間的に制御し
、時定数τを短くしたり長くしたシの1111が可能と
なる。そのため、長く尾を引くような減衰振動の殆んど
ないイン・fルス超音波を発射することもできる。
勿論、超音波振動子をインパルス駆動する場合だけでな
く、超音波の連続発生を行なう場合ても、上記の検知用
電極2bと帰11回路6とによ〕安定な超音波送波を行
なうことができる。
く、超音波の連続発生を行なう場合ても、上記の検知用
電極2bと帰11回路6とによ〕安定な超音波送波を行
なうことができる。
なお、電極の分割構造として1jjlk2図に示したも
のに限られず、jI4図のように隅の部分に8角形の検
知用電極2bf設は友p%j[6図に示すように中央部
に円形の検知用電極2bf設けえり、第6図に示すよう
に中央部に矩形の検知用電極2kを設けた夛することが
可能である・また、これらの実施例でt′itnすれも
片1iliKのみ分割電極構造管設けるようKしている
が、両面とも電極を分割するようKしてもよい。
のに限られず、jI4図のように隅の部分に8角形の検
知用電極2bf設は友p%j[6図に示すように中央部
に円形の検知用電極2bf設けえり、第6図に示すよう
に中央部に矩形の検知用電極2kを設けた夛することが
可能である・また、これらの実施例でt′itnすれも
片1iliKのみ分割電極構造管設けるようKしている
が、両面とも電極を分割するようKしてもよい。
]#!に、上記の実施りでは圧電素子としてPZT系圧
電セラミ、りを使用したが、水晶、チタン駿Δリウム、
チタン酸鉛、PVDF(/リピニリrンフッ素樹脂)等
の各種の圧電素子を用いることがてきる。
電セラミ、りを使用したが、水晶、チタン駿Δリウム、
チタン酸鉛、PVDF(/リピニリrンフッ素樹脂)等
の各種の圧電素子を用いることがてきる。
以上、実施例について説明したように1本発明によれば
、実際の超音波振動に対応した信号を得て負帰還をかけ
ることができる九め、打ち出し超音波の周波数帯域を広
くすることがてきるとともに、超音波の連続発生やイン
ノ曹ルス発生勢に対し安定な超音波出力を得ることがで
きる。
、実際の超音波振動に対応した信号を得て負帰還をかけ
ることができる九め、打ち出し超音波の周波数帯域を広
くすることがてきるとともに、超音波の連続発生やイン
ノ曹ルス発生勢に対し安定な超音波出力を得ることがで
きる。
#I1図は従来例の概略的な斜視図、第2図は本発明の
一実施例の概略的な斜視図、第1図は駆動時の結線関係
を示すブロック図、第4図。 第6図及び第6図はそれぞれ他の実施例を示す概略的な
斜視図である。 l・・・圧電素子、 2.8・・・電極、2m・
−・駆動用電極、 2b・・・検知用電極、4・−・被
検体、 5・・・増幅器、6−・帰還回路、
7・−・加算器。 出願人 株式会社島津袈作^ )1目 箋2@
一実施例の概略的な斜視図、第1図は駆動時の結線関係
を示すブロック図、第4図。 第6図及び第6図はそれぞれ他の実施例を示す概略的な
斜視図である。 l・・・圧電素子、 2.8・・・電極、2m・
−・駆動用電極、 2b・・・検知用電極、4・−・被
検体、 5・・・増幅器、6−・帰還回路、
7・−・加算器。 出願人 株式会社島津袈作^ )1目 箋2@
Claims (1)
- (1) 圧電素子の両−に電極を設けてなる超音波振
動子において、前記少なくとも1iiiに設けられた電
極を駆動用電極と検知用電極とに分割し、厘動用電−に
態動用電圧を印加して超音波を発射するとともに、検知
用電極よシ超音皺振動に対応した電気信号を得て、この
電気信号を鋺記厘動用電圧源儒に帰還するようKしたこ
とを特徴とする超音波振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12084881A JPS5822039A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12084881A JPS5822039A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 超音波振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5822039A true JPS5822039A (ja) | 1983-02-09 |
Family
ID=14796440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12084881A Pending JPS5822039A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 超音波振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5822039A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60114239A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-20 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子の製造方法 |
JP2008164465A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波流量計 |
JP2008164464A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波出力素子 |
-
1981
- 1981-07-31 JP JP12084881A patent/JPS5822039A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60114239A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-20 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子の製造方法 |
JPH0479263B2 (ja) * | 1983-11-28 | 1992-12-15 | Hitachi Seisakusho Kk | |
JP2008164465A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波流量計 |
JP2008164464A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Elemex Corp | 超音波出力素子 |
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