JP2008147757A - 高周波信号伝送基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】ビアによるセラミック基板のクラックを防止すると共に、高周波特性の悪化を防止して高周波信号を通過させることができる高周波信号伝送基板を提供する。
【解決手段】信号導体線路13と、第1のグランド導体膜14と、これと複数のビア15を介して接続する下方側の第2のグランド導体膜16とからなるグランド付きコプレーナ線路17と、ストリップ導体線路19と、第2のグランド導体膜16とからなるマイクロストリップ線路20を有する高周波信号伝送基板10において、ビア15の複数個を信号導体線路13から遠ざかる方向に配列して有すると共に、稜線部12から延設する第1のグランド導体膜14の信号導体線路13の近接部21、ビア15を含むビア周辺部22、及びこれと近接部21を接続する繋ぎ部23を残して第1のグランド導体膜14に稜線部12から延設する切り欠き部24を有する。
【選択図】図1
【解決手段】信号導体線路13と、第1のグランド導体膜14と、これと複数のビア15を介して接続する下方側の第2のグランド導体膜16とからなるグランド付きコプレーナ線路17と、ストリップ導体線路19と、第2のグランド導体膜16とからなるマイクロストリップ線路20を有する高周波信号伝送基板10において、ビア15の複数個を信号導体線路13から遠ざかる方向に配列して有すると共に、稜線部12から延設する第1のグランド導体膜14の信号導体線路13の近接部21、ビア15を含むビア周辺部22、及びこれと近接部21を接続する繋ぎ部23を残して第1のグランド導体膜14に稜線部12から延設する切り欠き部24を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、グランド付きコプレーナ線路と、マイクロストリップ線路を併せ持つ構造の信号導体線路に高周波の信号を通過させるための高周波信号伝送基板に関し、より詳細には、ビア形成によるセラミック基板のクラック発生を防止すると共に、信号導体線路の両側に設ける第1のグランド導体膜のスタブ発生を回避して、伝送特性が向上できる高周波信号伝送基板に関する。
図5(A)〜(C)を参照しながら、代表的な従来の高周波信号伝送基板を説明する。ここに、図5(A)は従来の高周波信号伝送基板に半導体素子を搭載する部分拡大平面図、図5(B)、(C)はそれぞれ同高周波信号伝送基板のB−B’線縦断面図、C−C’線縦断面図である。
図5(A)〜(C)に示すように、従来の高周波信号伝送基板50は、半導体素子51を搭載するためのキャビティ部を設けるセラミックパッケージ型や、平板状のセラミック回路基板型等からなり、近年のモジュールの高周波化に伴い、セラミック基板52の上面を伝播する信号速度が高速になっており、単なる電気的接続では様々な電気的特性の低下を引き起こすので、様々な工夫が施されている。
図5(A)〜(C)に示すように、従来の高周波信号伝送基板50は、半導体素子51を搭載するためのキャビティ部を設けるセラミックパッケージ型や、平板状のセラミック回路基板型等からなり、近年のモジュールの高周波化に伴い、セラミック基板52の上面を伝播する信号速度が高速になっており、単なる電気的接続では様々な電気的特性の低下を引き起こすので、様々な工夫が施されている。
この従来の高周波信号伝送基板50は、セラミック基板52上面の一つの稜線部から延設する導体金属からなる信号導体線路53を有している。また、高周波信号伝送基板50は、信号導体線路53の両側に所定の間隔を設けてセラミック基板52の上面の同じ稜線部から延設するパターン状の第1のグランド導体膜54を信号導体線路53に近接させて有している。更に、高周波信号伝送基板50は、第1のグランド導体膜54とセラミック基板52の上、下を電気的に導通状態とする複数のビア55を介してセラミック基板52の下面側に第2のグランド導体膜56を有している。そして、この高周波信号伝送基板50は、信号導体線路53、第1のグランド導体膜54、及び第2のグランド導体膜56とからなるグランド付きコプレーナ線路57を形成している。一方、従来のこの高周波信号伝送基板50は、信号導体線路53の線幅を、近接する第1のグランド導体膜54の終端あたりの位置に設けるテーパ部58で幅広として延設するストリップ導体線路59と、第2のグランド導体膜56とからなるマイクロストリップ線路60を形成している。
この高周波信号伝送基板50は、信号導体線路53と、半導体素子51の信号用ボンディングパッド61、及び第1のグランド導体膜54と、半導体素子51のグランド用ボンディングパッド62をボンディングワイヤ63で容易に接続することができるようになっている。そして、高周波信号伝送基板50には、高速動作に対応できる特性インピーダンス等の電気的設計の考慮がされる形態としている。また、高周波信号伝送基板50には、信号導体線路53に伝播する信号の高周波化に伴い発生する信号の遅延の対策が施されるようになっている。
上記の高周波信号伝送基板50のビア55は、ビア55のインダクタンスが高周波では高インピーダンスとして働き、グランドの電位が不安定となるので、複数個設けるのが好ましい。また、このビア55は、第1のグランド導体膜54に接続して第1のグランド導体膜54に発生するスタブを回避するために、できるだけセラミック基板52の稜線部側に近接させる位置に設けるのが好ましい。しかしながら、ビア55は、セラミック基板52の稜線部に近接しすぎるとビア55を起点としてセラミック基板52にクラックが発生するので、稜線部側からクラックが発生しない位置まで遠ざけたところに設けている。
また、上記の高周波信号伝送基板50に搭載される高周波用の半導体素子51は、信号用ボンディングパッド61と、グランド用ボンディングパッド62のピッチが、例えば0.1mm〜0.3mm程度と比較的近い位置に配置されている。従って、第1のグランド導体膜54と、グランド用ボンディングパッド62のボンディング位置は、信号導体線路53側に近接した位置となっている。
また、上記の高周波信号伝送基板50に搭載される高周波用の半導体素子51は、信号用ボンディングパッド61と、グランド用ボンディングパッド62のピッチが、例えば0.1mm〜0.3mm程度と比較的近い位置に配置されている。従って、第1のグランド導体膜54と、グランド用ボンディングパッド62のボンディング位置は、信号導体線路53側に近接した位置となっている。
従来の高周波信号伝送基板には、第1のグランド導体膜に信号導体線路側から外側に除々に拡がるテーパーグランド導体膜部分を設けて、高周波の信号を小さい損失でグランド付きコプレーナ線路からマイクロストリップ線路に伝送できる変換線路を備えた伝送基板が開示されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
また、従来の高周波信号伝送基板には、高周波の信号が伝送される信号導体線路の線幅と、信号導体線路と第1のグランド導体膜の間隔を調整して、信号導体線路の特性インピーダンスを一定とすることができる伝送基板が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
また、従来の高周波信号伝送基板には、高周波の信号が伝送される信号導体線路の線幅と、信号導体線路と第1のグランド導体膜の間隔を調整して、信号導体線路の特性インピーダンスを一定とすることができる伝送基板が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかしながら、前述したような従来の高周波信号伝送基板は、次のような問題がある。
(1)従来の高周波信号伝送基板は、信号導体線路から遠い側の第1のグランド導体膜に電流が流れない領域が存在し、スタブとして働くようになっている。このスタブは、スタブ長を四分の1波長とする共振体となるため、例えば、セラミック基板のセラミックがアルミナ(Al2O3)からなり、稜線部からビアまでの距離が0.3mm程度の場合には、周波数50GHZ〜56GHZ付近の高周波の領域で、SパラメータMag.(Magnitude:以下、Mag.と記す)S21の特性が悪化したり、エネルギー放射の割合が増加することとなっている。
(2)特許第3580667号公報や、特開平6−303010号公報で開示されるような高周波信号伝送基板は、信号導体線路を通過する電流の周波数が40GHZ程度や、3GHZ程度と50GHZを下まわっており、第1のグランド導体膜に電流が流れない領域が存在してスタブとして働くようになっていても、SパラメータMag.S21の特性への影響や、エネルギー放射の割合の増加への影響には関係を及ぼさない。しかしながら50GHZを超えるような高周波の領域では、第1のグランド導体膜に電流が流れにくい領域のスタブが存在すると、急激なSパラメータMag.S21の特性の低下や、エネルギー放射の割合の増加が発生することとなっている。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、ビアによるセラミック基板のクラックを防止すると共に、SパラメータMag.S21の特性の低下や、エネルギー放射の割合の増加等の特性の悪化を防止して極めて高い周波数の高周波信号を通過させることができる高周波信号伝送基板を提供することを目的とする。
(1)従来の高周波信号伝送基板は、信号導体線路から遠い側の第1のグランド導体膜に電流が流れない領域が存在し、スタブとして働くようになっている。このスタブは、スタブ長を四分の1波長とする共振体となるため、例えば、セラミック基板のセラミックがアルミナ(Al2O3)からなり、稜線部からビアまでの距離が0.3mm程度の場合には、周波数50GHZ〜56GHZ付近の高周波の領域で、SパラメータMag.(Magnitude:以下、Mag.と記す)S21の特性が悪化したり、エネルギー放射の割合が増加することとなっている。
(2)特許第3580667号公報や、特開平6−303010号公報で開示されるような高周波信号伝送基板は、信号導体線路を通過する電流の周波数が40GHZ程度や、3GHZ程度と50GHZを下まわっており、第1のグランド導体膜に電流が流れない領域が存在してスタブとして働くようになっていても、SパラメータMag.S21の特性への影響や、エネルギー放射の割合の増加への影響には関係を及ぼさない。しかしながら50GHZを超えるような高周波の領域では、第1のグランド導体膜に電流が流れにくい領域のスタブが存在すると、急激なSパラメータMag.S21の特性の低下や、エネルギー放射の割合の増加が発生することとなっている。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、ビアによるセラミック基板のクラックを防止すると共に、SパラメータMag.S21の特性の低下や、エネルギー放射の割合の増加等の特性の悪化を防止して極めて高い周波数の高周波信号を通過させることができる高周波信号伝送基板を提供することを目的とする。
前記目的に沿う本発明に係る高周波信号伝送基板は、セラミック基板の上面の一つの稜線部から延設する信号導体線路と、信号導体線路の両側に所定の間隔を設けて稜線部から延設する第1のグランド導体膜と、第1のグランド導体膜と複数のビアを介して電気的に導通状態のセラミック基板の下方側の第2のグランド導体膜とからなるグランド付きコプレーナ線路を有すると共に、信号導体線路の線幅を近接する第1のグランド導体膜の終端あたりの位置に設けるテーパ部で幅広として延設するストリップ導体線路と、第2のグランド導体膜とからなるマイクロストリップ線路を有する高周波信号伝送基板において、ビアの複数個を信号導体線路から遠ざかる方向に配列して有すると共に、稜線部から延設する第1のグランド導体膜の信号導体線路の近接部、ビアの複数個を含むビア周辺部、及びビア周辺部と近接部を導通状態とする繋ぎ部を残して第1のグランド導体膜に稜線部から延設する導体膜が設けられない切り欠き部を有する。
ここで、上記の高周波信号伝送基板は、ビアの複数個の中にセラミック基板の信号導体線路と並行する相対向する外周辺に設けられるキャスタレーション導体が含まれるのがよい。
請求項1又はこれに従属する請求項2記載の高周波信号伝送基板は、ビアの複数個を信号導体線路から遠ざかる方向に配列して有すると共に、稜線部から延設する第1のグランド導体膜の信号導体線路の近接部、ビアの複数個を含むビア周辺部、及びビア周辺部と近接部を導通状態とする繋ぎ部を残して第1のグランド導体膜に稜線部から延設する導体膜が設けられない切り欠き部を有するので、ビアをセラミック基板の稜線部から遠ざけて設けることでビアによってセラミック基板に発生するクラックを防止できると共に、第1のグランド導体膜にスタブが発生する部分を削除する切り欠き部を設けることでスタブの発生を防止でき、SパラメータMag.S21の特性の低下や、エネルギー放射の割合の増加等の特性の悪化を防止できる極めて高い周波数の高周波信号を通過させることができる。
特に、請求項2記載の高周波信号伝送基板は、ビアの複数個の中にセラミック基板の信号導体線路と並行する相対向する外周辺に設けられるキャスタレーション導体が含まれるので、キャスタレーション導体で第1のグランド導体膜と、第2のグランド導体膜を電気的に導通状態とすることができると共に、キャスタレーション導体が第1のグランド導体膜の端部となり、電流の流れの反射による反射ノイズを防止することができる。
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1は本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送基板の部分拡大斜視図、図2は同高周波信号伝送基板の変形例の部分拡大斜視図、図3(A)〜(C)はそれぞれ同高周波信号伝送基板の他の変形例の部分拡大平面図、A−A’線縦断面図、図4(A)、(B)はそれぞれ同高周波信号伝送基板と従来の高周波信号伝送基板のシミュレーションによる特性値の説明図である。
ここに、図1は本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送基板の部分拡大斜視図、図2は同高周波信号伝送基板の変形例の部分拡大斜視図、図3(A)〜(C)はそれぞれ同高周波信号伝送基板の他の変形例の部分拡大平面図、A−A’線縦断面図、図4(A)、(B)はそれぞれ同高周波信号伝送基板と従来の高周波信号伝送基板のシミュレーションによる特性値の説明図である。
本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送基板は、半導体素子を搭載するためのキャビティ部を設けるセラミックパッケージ型や、平板状のセラミック回路基板型等のような様々な形態からなっている。図1に示すように、例えば、平板状の高周波信号伝送基板10は、アルミナ(Al2O3)や、窒化アルミニウム(AlN)等からなるセラミック基板11の上面に、このセラミック基板11上面の一つの稜線上、又は稜線に近接する周辺部を含める稜線部12からから延設するタングステン(W)や、モリブデン(Mo)等の高融点の導体金属からなる信号導体線路13を有している。また、この高周波信号伝送基板10は、信号導体線路13の両側に所定の間隔を設けてセラミック基板11上面の同じ稜線部12から延設するパターン状の第1のグランド導体膜14を信号導体線路13に近接させて有している。更に、この高周波信号伝送基板10は、第1のグランド導体膜14とセラミック基板11の上、下を電気的に導通状態とする複数のビア15を介してセラミック基板11の下方側に第2のグランド導体膜16を有している。そして、高周波信号伝送基板10は、信号導体線路13、第1のグランド導体膜14、及び第2のグランド導体膜16とからなるグランド付きコプレーナ線路17を形成している。なお、第2のグランド導体膜16は、図1ではセラミック基板11の下面に有する形態で示しているが、セラミック基板11が積層体からなる場合には、セラミック基板11の内層となる部分に設けられる場合がある。
一方、この高周波信号伝送基板10は、信号導体線路13の線幅を、近接する第1のグランド導体膜14の終端あたりの位置に設けるテーパ部18で幅広として延設するストリップ導体線路19を設けている。そして、高周波信号伝送基板10は、ストリップ導体線路19と、セラミック基板11の下面側に形成する第2のグランド導体膜16とからなるマイクロストリップ線路20を形成している。
なお、上記の高周波信号伝送基板10を形成するために用いられるセラミック基板11は、例えば、アルミナが用いられる場合には、先ず、アルミナ粉末にマグネシア、シリカ、カルシア等の焼結助剤を適当量加えた粉末に、ジオクチルフタレート等の可塑剤と、アクリル樹脂等のバインダー、及びトルエン、キシレン、アルコール類等の溶剤を加え、十分に混練し、脱泡して粘度2000〜40000cpsのスラリーを作製している。そして、スラリーからは、ドクターブレード法等によって、例えば、厚み0.25mmのロール状のシートを形成し、適当なサイズの矩形状に切断したセラミックグリーンシートを作製している。このセラミックグリーンシートには、ビア15用の貫通孔をパンチングマシーン等で穿孔して形成した後、タングステン(W)や、モリブデン(Mo)等の高融点の導体金属からなる導体ペーストを用い、スクリーン印刷してビア15や、信号導体線路13や、第1のグランド導体膜14や、第2のグランド導体膜16等の導体印刷パターンを形成している。そして、導体印刷パターンが形成されたセラミックグリーンシートは、必要に応じて複数枚を重ね合わせ、温度と圧力をかけて積層した後、還元雰囲気中の約1550℃程度で焼成して焼結体からなるセラミック基板11を作製している。
上記の高周波信号伝送基板10は、ビア15の複数個を信号導体線路13から遠ざかる方向に配列させて有している。また、高周波信号伝送基板10は、第1のグランド導体膜14を、上記のセラミック基板11の稜線部12から延設して信号導体線路13の近接部21と、ビア15の複数個を含むビア周辺部22と、及びビア周辺部22と近接部21を電気的に導通状態とする繋ぎ部23で構成している。そして、セラミック基板11の稜線部12から延設する第1のグランド導体膜14には、稜線部12から延設する導体膜が設けられない切り欠き部24を設けている。
高周波信号伝送基板10は、ビア15をセラミック基板11の稜線部12近傍に設けて、電流が流れない部分となるスタブを作らなくするようにできるものの、ビア15用の貫通孔をセラミック基板11の稜線部12近傍に設ける時に発生するセラミック基板11のクラックを回避させることができない。従って、ビア15用の貫通孔を設ける高周波信号伝送基板10は、ビア15をセラミック基板11の稜線部12から離れた位置に設けている。また、半導体素子25を搭載して高周波信号伝送基板10とボンディングワイヤ26で接続するする時には、半導体素子25の信号用ボンディングパッド27と、グランド用ボンディングパッド28が近接した状態となるので、第1のグランド導体膜14のボンディングワイヤ26が接続される位置が信号導体線路13に近接した位置となっている。この高周波信号伝送基板10には、第1のグランド導体膜14に切り欠き部24が設けられているので、例え、第1のグランド導体膜14のボンディングワイヤ26が接続される位置が信号導体線路13に近接した位置となって、ビア15に流れるまでの電流経路に偏りがあったとしても、電流が流れない部分となるスタブが形成されるのを防止することができる。なお、スタブが形成されないことで、高周波信号伝送基板10には、スタブ長を四分の1波長とする共振体となるのを防止でき、特性の悪化を防止することができる。
図2に示すように、本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送基板10の変形例の高周波信号伝送基板10aは、ビア15の複数個の中にセラミック基板11の信号導体線路13と並行する相対向する外周辺に設けられるキャスタレーション導体29が含まれるている。このキャスタレーション導体29は、セラミック基板11に形成される貫通孔の壁面にタングステンや、モリブデン等の高融点の導体金属を形成することで、セラミック基板11に設けられた第1のグランド導体膜14aと、第2のグランド導体膜16を電気的に導通状態とすることができると共に、キャスタレーション導体29が第1のグランド導体膜14aの端部となるので、電流の流れの反射による反射ノイズを防止することができる。なお、第1のグランド導体膜14aには、前記の高周波信号伝送基板10の場合と同様に、切り欠き部24が設けられている。
図3(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送基板10の他の変形例の高周波信号伝送基板10bは、パッケージ型からなり、例えば、半導体素子25を収納するためのキャビティ部30を、半導体素子25を囲繞できる程度の穴を設けたセラミック基板11aと、穴を設けないセラミック製や、金属製からなる平板31を貼り合わせることで形成する形態からなっている。そして、高周波信号伝送基板10bは、キャビティ部30の相対向する稜線部12a、12bのそれぞれからセラミック基板11aの上面に延設して信号導体線路13aと、第1のグランド導体膜14bを形成している。なお、それぞれの第1のグランド導体膜14bには、前記の高周波信号伝送基板10、10aの場合と同様に、切り欠き部24が設けられている。また、それぞれの第1のグランド導体膜14bは、ビア15を介してセラミック基板11aの下方側に形成された第2のグランド導体膜16と電気的に導通状態となっている。上記の平板31が金属製からなる場合には、半導体素子25からの発熱を効率的に放熱することができるヒートシンク板となり、例えば、セラミックと熱膨張係数が近似するKV(Fe−Ni−Co系合金、商品名「Kovar(コバール)」)や、42アロイ(Fe−Ni系合金)等の金属部材が用いられ、セラミック基板11aには、ろう付け接合等で接合されている。
次に、本発明者は、有限要素法のシミュレーションによって、本発明の高周波信号伝送基板10の第1のグランド導体膜14に、例えば、L字形状の切り欠き部24を設けた発明構造の実施例と、本発明の高周波信号伝送基板10と同じ形態からなり、第1のグランド導体膜14に切り欠き部24を設けない従来の高周波信号伝送基板の従来構造の比較例について、周波数35GHZ〜60GHZでのSパラメータMag.S21の特性と、エネルギー放射の割合の変化を比較した。その結果を図4(A)、(B)に示す。
図4(A)、(B)に示すように、本発明の高周波信号伝送基板10は、周波数50GHZ〜56GHZ付近でSパラメータMag.S21の特性と、エネルギー放射の割合のいずれもが改善していることが確認できた。
本発明の高周波信号伝送基板は、ドライバアンプ等の半導体素子のグランドと接続させて、高周波信号の特性の悪化を防止できる伝送基板として用いることができる。
10、10a、10b:高周波信号伝送基板、11、11a:セラミック基板、12、12a、12b:稜線部、13、13a:信号導体線路、14、14a、14b:第1のグランド導体膜、15:ビア、16:第2のグランド導体膜、17:グランド付きコプレーナ線路、18:テーパ部、19:ストリップ導体線路、20:マイクロストリップ線路、21:近接部、22:ビア周辺部、23:繋ぎ部、24:切り欠き部、25:半導体素子、26:ボンディングワイヤ、27:信号用ボンディングパッド、28:グランド用ボンディングパッド、29:キャスタレーション導体、30:キャビティ部、31:平板
Claims (2)
- セラミック基板の上面の一つの稜線部から延設する信号導体線路と、該信号導体線路の両側に所定の間隔を設けて前記稜線部から延設する第1のグランド導体膜と、該第1のグランド導体膜と複数のビアを介して電気的に導通状態の前記セラミック基板の下方側の第2のグランド導体膜とからなるグランド付きコプレーナ線路を有すると共に、前記信号導体線路の線幅を近接する前記第1のグランド導体膜の終端あたりの位置に設けるテーパ部で幅広として延設するストリップ導体線路と、前記第2のグランド導体膜とからなるマイクロストリップ線路を有する高周波信号伝送基板において、
前記ビアの複数個を前記信号導体線路から遠ざかる方向に配列して有すると共に、前記稜線部から延設する前記第1のグランド導体膜の前記信号導体線路の近接部、前記ビアの複数個を含むビア周辺部、及び該ビア周辺部と前記近接部を導通状態とする繋ぎ部を残して前記第1のグランド導体膜に前記稜線部から延設する導体膜が設けられない切り欠き部を有することを特徴とする高周波信号伝送基板。 - 請求項1記載の高周波信号伝送基板において、前記ビアの複数個の中に前記セラミック基板の前記信号導体線路と並行する相対向する外周辺に設けられるキャスタレーション導体が含まれることを特徴とする高周波信号伝送基板。
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KR101120043B1 (ko) | 2009-12-29 | 2012-03-22 | 이엠와이즈 통신(주) | 마이크로스트립 선로와 서스펜디드 스트립선로간 전이구조 및 그 응용 모듈 |
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-
2006
- 2006-12-06 JP JP2006329509A patent/JP2008147757A/ja active Pending
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