JP2008112493A - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜磁気ヘッドの製造方法は、コイルが形成されるべき面上にレジスト層を形成するステップS4と、レジスト層に、コイルの形状に対応して巻回しながら延びる渦巻状の開口と、開口の最外周部のさらに外側を最外周部に沿って延び、コイルが形成されるべき面が露出しない深さを有する凹部と、を形成するレジスト層加工ステップS5と、開口および凹部の形成されたレジスト層に熱処理または紫外線照射をおこなうステップS6と、熱処理または紫外線照射がおこなわれたレジスト層の開口内にコイルを形成するステップS7と、コイルが形成された後、レジスト層を除去するステップS8と、を有している。
【選択図】図1
Description
2 絶縁膜
3 上部磁気シールド層
4 センサー素子
5 非磁性層
6 レジスト層
7 開口
8 コンタクトパターン
9 シード層
10,110 レジスト層
10a,10b,10c,110a,110b,110c レジスト壁
10d,110d 外側レジスト部
10e 部分
12,112 コイル
13 層間絶縁層
15 磁極層
21,121 マスク
22 主開口
23 補助開口
25a,25b,25c,125a,125b,125c 開口
26 凹部
Claims (3)
- 書込素子を有する薄膜磁気ヘッドであって、該書込素子の一部を構成する磁極層に磁束を発生させるコイルが該薄膜磁気ヘッドの積層方向と直交する面内で該磁極層の周りを巻回して設けられる薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、
前記コイルが形成されるべき面上にレジスト層を形成するステップと、
前記レジスト層に、前記コイルの形状に対応して巻回しながら延びる渦巻状の開口と、該開口の最外周部のさらに外側を該最外周部に沿って延び、前記コイルが形成されるべき面が露出しない深さを有する凹部と、を形成するレジスト層加工ステップと、
前記開口および前記凹部の形成された前記レジスト層に熱処理または紫外線照射をおこなうステップと、
前記熱処理または前記紫外線照射がおこなわれた前記レジスト層の前記開口内に前記コイルを形成するステップと、
前記コイルが形成された後、前記レジスト層を除去するステップと、
を有する、薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記レジスト層加工ステップは、前記凹部を、前記開口の最外周部のうち、磁極先端側の部分に形成することを含む、請求項1に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。
- 前記レジスト層加工ステップは、前記開口に対応する主開口と前記凹部に対応する補助開口とを有するマスクを介して、ポジ型レジストを露光することを含み、
前記補助開口の幅は、前記主開口の幅よりも小さく、かつ露光装置の解像度よりも大きく形成されている、
請求項1または2に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。
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JP2006293905A JP2008112493A (ja) | 2006-10-30 | 2006-10-30 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009010654A1 (de) | 2008-04-23 | 2009-11-05 | Yazaki Corporation | Anschluss-Anquetschstruktur |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07141624A (ja) * | 1993-11-17 | 1995-06-02 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド用コイル層の製造方法及びそれに用いられるフォトマスクにおける切り込み部形成用の透過幅決定方法 |
JP2003338677A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Dainippon Printing Co Ltd | めっき用レジストパタ−ン形成方法およびそれに用いるフォトマスク |
-
2006
- 2006-10-30 JP JP2006293905A patent/JP2008112493A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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