JP2008098643A - パワーモスエフ・イー・ティー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ソース間が連結パターン15で相互に連結され、一つのソースが2個のMOSFETのボディ−領域に形成されるチャネルに電子を供給し、ソースとチャネルとが接する面が最大となるように様々に変形させて、小さい面積で大きい電流が流れるようにし、電場がゲートエッジに集中するのを防止する構成とした。
【選択図】図2A
Description
まず、本発明の第1実施例によるパワーMOS−FETは、図2Aに示すように、従来の構造とは違い、n+ドーパントによって形成されたソース間の連結パターン15がそれぞれのゲートによって孤立されないように一側方向に第1ボディー13と第2ボディー14とを相互に連結し、B−B’線に沿った切断面の図2Bに示すように、n+領域の下とドリフト領域の上でp型ボディー16がトンネルのような形態で相互に連結されている。
本発明の第2実施例によるパワーMOS−FETは、第1ボディー23と第2ボディー24がソース間連結パターン25を介して相互に連結されるようにし、小さい面積で大きい電流が流れるようにする構造とするに当たり、ソース間連結パターン25が2個のゲート、すなわち、第1ゲート21と第2ゲート22に電子を提供して高電流性能に寄与できるようにし、この場合、ソース間連結パターン25が第1ゲート21と第2ゲート22の占有面積を経由して延在することができる。すなわち、図3に示すように、第1ボディー23と第2ボディー24間の連結を直線ではなく蛇行パターン(Meandering pattern)としてチップで占める面積は小さくする一方、第1ゲート21と第2ゲート22との接触面を広めて電流の流れるチャネル幅を効率的に向上させる。
次に、パワーMOS−FETは、第2実施例のように、ソース間連結パターンを蛇行状にしても、長さの延在には限界がある。その理由は、図4に示すように、第1ボディー23と第2ボディー24間の連結中間部分に位置したソース間連結ドレイン領域で衝突イオン化が発生すると、正孔(hole)がシリコン表面に在るボディー端子まで流れるべき経路が長くなるからである。
最後に、前述のような本発明によるパワーMOS−FETは、ソース間連結パターンにおいてドリフト領域は電場が大きくかかるため、衝突イオン化が発生しやすい。したがって、電場の集中する領域が発生するとしたら、これに対する改善が必要である。
Claims (12)
- ソース間連結パターンを通してゲートに電流を供給するパワーモスエフ・イー・ティーにおいて、
前記ソース間連結パターンは、複数のゲートに接する所定のパターン経路をなし、前記複数のゲートに対する接面積を経由して延在して電流を供給することを特徴とするパワーモスエフ・イー・ティー。 - 前記ソース間連結パターンは、前記複数のゲートに接する接面積を蛇行状に経由して延びる蛇行パターンで形成されることを特徴とする請求項1に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記ソース間連結パターンは、複数のボディーを連結する直線経路上から直角に延び、前記ゲートのそれぞれの方向に複数延在するギザギザのパターンで形成されることを特徴とする請求項1に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記ソース間連結パターンは、経路の延長して折り曲げられる両側端に外側角が1つ以上形成され、ボディーを囲むソースの外側境界まで蛇行状に経由しつつ延在することを特徴とする請求項2に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記蛇行状に延在するソース間連結パターンは、三角波の形状であることを特徴とする請求項2に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記蛇行状に延在するソース間連結パターンは、矩形波の形状であることを特徴とする請求項2に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記蛇行状に延在するソース間連結パターンは、サイン波の形状であることを特徴とする請求項2に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記ソース間連結パターンは、前記複数のボディーを連結する直線経路上において前記ボディーを囲むソースの外側境界まで直角に延びて複数形成されることを特徴とする請求項3に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記ソース間連結パターンは、前記複数のボディーを連結する直線経路上において前記ゲートのそれぞれの方向に同じ直線経路の位置から直角に延在することを特徴とする請求項3に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記ソース間連結パターンは、前記複数のボディーを連結する直線経路上において前記ゲートのそれぞれの方向に相互にずれるように延在することを特徴とする請求項3に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記ソース間連結パターンの経路が前記複数のゲートの接面積を経由して延在する場合、延在するパターンの角部はそれぞれ急な角度変更を防止するように面取り面が形成されることを特徴とする請求項1に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
- 前記面取り面は、45°角度に傾斜して形成されることを特徴とする請求項11に記載のパワーモスエフ・イー・ティー。
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