JP2008046060A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御部16が、回路基板100の素子に接触している一対のプローブにおける接触端子31aと導線13a,13bとを接続させ、接触端子31bと導線13c,13dとを接続させ、電圧検出部12と導線13c,13dとを接続させる第1接続処理、およびプローブ21f,21gの接触端子31bと導線13cとを接続させることによって素子101c,101dを直列接続させ、プローブ21e,21hの接触端子31aと導線13a,13bとを接続させ、電圧検出部12と導線13a,13bとを接続させる第2接続処理を実行すると共に、第1接続処理後に1つの素子についての電気的パラメータを4端子法によって測定し、第2接続処理後に素子101c,101dについての電気的パラメータを2端子法によって測定する。
【選択図】図3
Description
2 プローブユニット
3 移動機構
11 電源部
11a,11b 出力端子
12 電圧検出部
12a,12b 入力端子
13a〜13d 導線
14 第1切り替え部
15 第2切り替え部
16 制御部
21a〜21h プローブ
31a,31b 接触端子
101a〜101d 素子
201 端部
Im 電流
R 抵抗
V 電圧
Claims (2)
- 接触端子を介して測定対象体の被接触部に出力される測定用信号を生成する電源部と、前記測定用信号の出力によって前記被接触部に生じる電圧を前記接触端子を介して入力して検出する電圧検出部と、前記電源部における一対の出力端子にそれぞれ接続されて前記測定用信号が供給される一対の第1導電体と、前記電圧検出部における一対の入力端子にそれぞれ接続可能な一対の第2導電体と、前記接触端子と前記各導電体との接続を切り替える第1切り替え部と、前記各導電体と前記電圧検出部の前記各入力端子との接続を切り替える第2切り替え部と、前記両切り替え部を制御する制御部と、前記測定対象体についての電気的パラメータを前記電圧に基づいて測定する測定部とを備えた測定装置であって、
前記制御部は、前記両切り替え部を制御することにより、2つの前記接触端子を対にした接触端子対が1つの前記測定対象体における一対の前記被接触部にそれぞれ接触している状態において当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第1導電体とをそれぞれ接続させかつ当該各々における他方の前記各接触端子と前記一対の第2導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第2導電体とをそれぞれ接続させる第1接続処理、および前記接触端子対が複数の前記測定対象体における前記各被接触部にそれぞれ接触している状態において前記各接触端子対のうちの2つを除く当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第2導電体のいずれかとをそれぞれ接続させることによって当該各測定対象体を直列接続させかつ当該直列接続された各測定対象体の両端に位置する各被接触部にそれぞれ接触している前記2つの接触端子対の各々におけるいずれか一方の前記各接触端子と前記一対の第1導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第1導電体とをそれぞれ接続させる第2接続処理を実行可能に構成され、
前記測定部は、前記第1接続処理後において前記1つの測定対象体についての前記電気的パラメータを4端子法によって測定すると共に、前記第2接続処理後において前記直列接続された複数の測定対象体についての前記電気的パラメータを2端子法によって測定する測定装置。 - 前記接触端子および前記測定対象体が互いに接離する方向に沿って当該接触端子および当該測定対象体の少なくとも一方を移動させる移動機構を備え、前記測定部は、前記移動機構による移動によって前記接触端子が接触された前記測定対象体についての前記電気的パラメータを測定する請求項1記載の測定装置。
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