JP2008045950A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号用配線と接地用配線とを有する基板、上記信号用配線に一端が接続された中心導体と上記接地用配線に一端が接続された外側導体とを有する同軸ケーブル、上記中心導体の他端に接合され、上記中心導体を通じて上記信号用配線に接続された信号用プローブ、および上記外側導体の他端に接合され、上記外側導体を通じて上記接地用配線に接続された接地用プローブを備えたことを特徴とするプローブカード。
【選択図】図1
Description
5−2:樹脂固定部 6:同軸ケーブル 6−1:中心導体 6−2:外側導体 6−3:誘電体 7:基板 7−1:接地用配線 8:信号用配線 9:接続部
Claims (3)
- 信号用配線と接地用配線とを有する基板、上記信号用配線に一端が接続された中心導体と上記接地用配線に一端が接続された外側導体とを有する同軸ケーブル、上記中心導体の他端に接合され、上記中心導体を通じて上記信号用配線に接続された信号用プローブ、および上記外側導体の他端に接合され、上記外側導体を通じて上記接地用配線に接続された接地用プローブを備えたことを特徴とするプローブカード。
- 上記信号用プローブと上記接地用プローブの夫々の中間部を上記基板から突出した中間支持部により一体で上記基板に固定したことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 上記信号用プローブと上記信号用プローブと平行に所定間隔を隔てた上記接地用プローブの複数対を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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- 2006-08-11 JP JP2006220536A patent/JP2008045950A/ja active Pending
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