JP2006308528A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プリント配線基板1の中央に設けられたほぼ矩形状の開口部を7の周辺には、被検査体であるLSIチップなどの電極の配列に合わせるようにして、保持部材3で保持されている複数のプローブ針2の先端部が配置されている。プローブ針2の後端側には、複数のプローブ針2に対応してプリント配線基板1上にスルーホール4が設けられ、このスルーホール4を介して複数のプローブ針2とプリント配線基板1に設けられた配線パターンとが接続されている。信号線に使用するスルーホール4aを介して高周波信号用プローブ針と高周波コネクター5のみがマイクロストリップライン6で接続されている。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明のプローブカードの一実施形態を説明するための概略構成図で、上面図を示している。図中符号1はプリント配線基板、2はプローブ針、3は保持部材(エポキシリング)、4,4a,4bはスルーホール、5は高周波コネクター、6はマイクロストリップライン、7は開口部を示している。
2 プローブ針
3 保持部材(エポキシリング)
4,4a,4b,4c スルーホール
5 高周波コネクター
6 マイクロストリップライン
7 開口部
8 チップ部品
9 グランドパターン
10 インピーダンス整合回路
Claims (6)
- 被検査体の複数の電極配列に合わせるように配列された複数のプローブ針と、該複数のプローブ針の各々に接続された配線パターンを有するプリント配線基板とを備えたプローブカードにおいて、
前記複数のプローブ針は、インピーダンス整合されていないプローブ針であって、該プローブ針のうち、高周波信号用のプローブ針に対応する前記プリント配線基板上の領域にマイクロストリップラインを設けたことを特徴とするプローブカード。 - 前記マイクロストリップライン上にインピーダンス整合回路を設けたことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 前記複数のプローブ針が、弾性金属体からなるカンチレバータイプであることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記プリント配線基板上に前記マイクロストリップラインに接続された高周波コネクターを設けたことを特徴とする請求項1,2又は3に記載のプローブカード。
- 前記高周波コネクターが、前記プリント配線基板で、かつ前記プローブ針の前記被検査体との接触側の面とは反対側の面に設けられていることを特徴とする請求項4に記載のプローブカード。
- 前記複数のプローブ針が、矩形状に配置されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のプローブカード。
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JP2005134597A JP2006308528A (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | プローブカード |
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2005
- 2005-05-02 JP JP2005134597A patent/JP2006308528A/ja active Pending
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