JP2001506752A - 高速テスト用プローブカード - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.電気的絶縁表面を有し、さらに電子部品が装着されたエポキシプローブカー ドを備え、前記電子部品は、前記プローブカード表面上に形成された導電性ライ ンによりプローブワイヤに結線されていることを特徴とする電子回路をテストす るための電子プローブ装置。 2.前記導電性ラインは、前記エポキシプローブカードの前記電気的絶縁表面に 塗布された導電性インクからなることを特徴とする請求項1に記載の電子プロー ブ装置。 3.前記導電性ラインは、前記エポキシプローブカードの前記絶縁表面に塗布さ れた電気抵抗性インクからなることを特徴とする請求項1に記載の電子プローブ 装置。 4.前記導電性ラインの少なくとも一部は、結線の信頼性を向上させるために、 金属被膜により被覆されていることを特徴とする請求項1に記載の電子プローブ 装置。 5.前記エポキシプローブカードの一部である金属補強リングを備え、前記プロ ーブの少なくとも1つは、共通線またはアース線を備え、かつ導電線により前記 金属補強リングに結線されていることを特徴とする請求項1に記載の電子プロー ブ装置。 6.前記エポキシプローブカードの一部である絶縁補強部材を備え、前記共通線 またはアース線を備えた前記プローブの少なくとも1つは、前記電気的絶縁補強 部材の上または下に延在する導電層に結線されていることを特徴とする請求項5 に記載の電子プローブ装置。 7.前記少なくとも1つのプローブは、前記エポキシプローブカードの底部絶縁 面に形成された導電層に結線されていることを特徴とする請求項5に記載の電子 プローブ装置。 8.回路基板に装着されたエポキシプローブカードを備え、かつ、前記エポキシ プローブカードが前記回路基板に装着された後に前記回路基板に装着される少な くとも1つの特別目的のプローブをさらに備えていることを特徴とする電子プロ ーブ装置。 9.エポキシプローブカードと組合わされ、絶縁軸部に接合された金属先端部を 備え、かつ関連電子回路を備え、かつ前記金属先端部を前記回路に電気的に結線 する手段をさらに備えていることを特徴とする電子プローブ構造。 10.前記絶縁軸部は、ガラス製であることを特徴とする請求項9に記載の電子 プローブ構造。 11.前記絶縁軸部は、セラミック製であることを特徴とする請求項9に記載の 電子プローブ構造。 12.前記関連電子回路は、前記プローブカード上に装着され、かつ、前記金属 先端部を前記回路に電気的に結線する手段をさらに備えていることを特徴とする 請求項9に記載の電子プローブ構造。 13.エポキシプローブカードを備え、かつ金属プローブ先端部を備え、前記プ ローブカードは、それに装着された補助回路基板をさらに備え、かつ前記プロー ブ先端部の方向と、前記プローブ先端部の少なくとも1つを前記補助基板上の回 路要素に結線する手段の方向とへ延在していることを特徴とする電子プローブ装 置。 14.前記補助回路基板は、テストされる前期回路に前記プローブ先端部が接す る際に前記金属プローブ先端部の動きを許容するために、機械的柔軟性を有する ことを特徴とする請求項13に記載の電子プローブ装置。 15.前記補助回路基板と前記金属プローブ先端部との間の前記電気的結線は、 機械的柔軟性を有することを特徴とする請求項13に記載の電子プローブ装置。 16.前記補助回路基板と前記金属プローブ先端部との間の前記電気的結線は、 機械的柔軟性を有することを特徴とする請求項14に記載の電子プローブ装置。
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