JP2008045091A - 加工用粘着シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る加工用粘着シート11は、少なくとも基材および粘着剤層を有する加工用粘着シート11であって、前記基材12は軟質塩化ビニルを含み構成され、前記粘着剤層13には、一分子中に少なくとも2以上の光反応性官能基を有する放射線重合性化合物が含まれることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
即ち、本発明に係る加工用粘着シートであると、粘着剤層中の放射線重合性化合物が基材中に移行するのを防止できるので、粘着剤層中にはその硬化機能を維持でき、剥離性の低下を極力抑制することができる。その結果、糊残りを低減させ、剥離性に優れた加工用粘着シートを提供できるという効果を奏する。
本発明の実施の形態1について、図を参照しながら以下に説明する。但し、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にする為に拡大または縮小等して図示した部分がある。
本発明の半導体ウェハ加工用粘着剤シートの他の実施の形態について、図2を用いて説明する。なお、前記実施の形態で用いられた部材に付された部材番号と同様の部材番号が付された部材については、その説明を省略する。
以上の説明に於いては、本発明の最も好適な実施態様について説明した。しかし、本発明は当該実施態様に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の範囲で種々の変更が可能である。
UV反応性オリゴマーの分子量の調整は次の様にして行った。先ず、UV反応性オリゴマーとしてUV−1700B(商品名、日本合成化学工業(株)製)を用い、GPCカラムを用いて所定の分子量を有する成分毎に分離した。すなわち、重量平均分子量が750未満のUV反応性オリゴマーをオリゴマーAとし、重量平均分子量が750以上のUV反応性オリゴマーをオリゴマーBとした。
カラム:TSKgel SuperHM−H/H4000/H3000/H2000
カラムサイズ:6.0mml.D.×150mm
溶離液:THF
流量:0.6ml/min
検出器:RI
カラム温度:40℃
アクリル酸メチル50部とアクリル酸2−エチルヘキシル20部とアクリル酸5部とを常法にて共重合させ重量平均分子量120万のアクリル系ポリマーを含有する溶液を得た。この溶液100部に対し、光重合開始剤として2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(チバ・スペシャルティーケミカルズ社製の商品名「イルガキユア651」、光波長365nmにおけるモル吸光係数が150mol−1・cm−1、長波長側の最大吸収波長が400nm)を3部、メラミン系架橋剤を2部添加した。さらにオリゴマーBを60部となるように添加し、紫外線硬化型粘着剤組成物を得た。
本実施例に於いては、前記実施例1に於いて使用したオリゴマーBに代えてオリゴマーCを用いた点が異なる。本実施例により得られた粘着シートを粘着シートBとした。
本比較例於いては、前記実施例1に於いて使用したオリゴマーBに代えてオリゴマーAを用いた点が異なる。本比較例により得られた粘着シートを粘着シートCとした。
実施例1、2および比較例1の各粘着シートについて、6ヶ月の間保管し、その後、以下の方法により紫外線照射前と紫外線照射後との引き剥がし粘着力を測定した。
粘着シートを流れ方向に対し20mm幅×12cm長さでサンプル片を切り出し、これをシリコンミラーウェハに貼り付け、約30分間放置して、紫外線照射前の引き剥がし粘着力を測定した。また、下記の照射条件により紫外線を照射したのち、引き剥がし粘着力を測定した。測定条件は、測定機器:テンシロン(オリエンテック社製)、引張速度:300mm/分、剥離角度:90°とした。
光源として高圧水銀灯を使用し、照射強度50mW/cm2(測定機器:ウシオ社製の「紫外線照度計・UT101」)、照射時間20秒とした。
粘着シートA、B及びaをそれぞれ貼り合わせたシリコンミラーウェハを、ダイシング装置(ディスコ社製DFD−651)にて、ダイシング速度80m/min、ダイシングブレード(ディスコ社製、2050HFDD)の回転数4万r.p.m.、粘着シート切込み深さ15μmの条件でフルカットし、10mm×10mmのチップに切断した。
粘着シートA、B及びaのそれぞれについてエキスパンド性も評価した。すなわち、ダイシングリングとして2−6−1(ディスコ製、内径19.5cm)、ダイボンダーとしてCPS−100(NEC機械製)を使用し、引落し量を13mmとしてチップ間隔を評価した。10mm以上の場合を○とした。
12 基材
13 粘着剤層
21 粘着シート(加工用粘着シート)
22 中間層
Claims (6)
- 少なくとも基材および粘着剤層を有する加工用粘着シートであって、
前記基材は軟質塩化ビニルを含み構成され、
前記粘着剤層には、一分子中に少なくとも2以上の光反応性官能基を有する放射線重合性化合物が含まれることを特徴とする加工用粘着シート。 - 前記放射線重合性化合物は、重量平均分子量が750以上の放射線重合性成分を含むことを特徴とする請求項1に記載の加工用粘着シート。
- 前記放射線重合性成分は、40重量%以上含まれていることを特徴とする請求項1または2に記載の加工用粘着シート。
- 前記粘着剤層は、
ベースポリマー100重量部に対し、放射線重合性化合物を10重量部以上配合した粘着剤を含み構成されるものであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の加工用粘着シート。 - 前記基材と粘着剤層との間には中間層が設けられており、
前記中間層は、基材中の所定の添加剤を粘着剤層中に移行するのを防止すると共に、粘着剤層中の放射線重合開始剤及び放射線重合性化合物を基材中に移行するのを防止する層であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の加工用粘着シート。 - 放射線照射前の引き剥がし粘着力は7N/20mm幅以上であり、かつ放射線照射後の引き剥がし粘着力は0.35N/20mm幅以下であることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の加工用粘着シート。
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