JP2008023577A - レーザ切断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ切断装置は、ワーク設置領域165に設置されたワークをレーザ光により切断する。該装置は、レーザ光を発するレーザ発振器110と、ワーク設置領域を通過したレーザ光を受けるレーザ受け部材180とを有する。レーザ受け部材は、該レーザ受け部材の外側部分から内側部分に向かってワーク設置領域に近づくレーザ受け面181を有する。レーザ受け部材は、レーザ光の走査中心軸LOに近いほどワーク設置領域に近づくレーザ受け面を有する。レーザ受け部材は、支持部材161に近いほどワーク設置領域に近づくレーザ受け面を有する。レーザ受け部材は、集塵用エアAの流れの上流側から下流側に向かってワーク設置領域に近づくレーザ受け面を有する。
【選択図】図2
Description
110 レーザ発振器
111 レーザ光源
113,114 ガルバノミラー
120,120′ メモリカード基板
130 予定切断線
135 メモリカード領域
161 吸着ヘッド
180,280 レーザ受け部材
181,281 レーザ受け面
L レーザ光
LO 走査中心軸
A 集塵用エア
Claims (6)
- ワーク設置領域に配置されたワークをレーザ光により切断するレーザ切断装置であって、
レーザ光を発するレーザ発振器と、
前記ワーク設置領域を通過したレーザ光を受けるレーザ受け部材とを有し、
前記レーザ受け部材は、該レーザ受け部材の外側部分から内側部分に向かって前記ワーク設置領域に近づくレーザ受け面を有することを特徴とするレーザ切断装置。 - ワーク設置領域に配置されたワークをレーザ光により切断するレーザ切断装置であって、
レーザ光を発し、該レーザ光の走査が可能なレーザ発振器と、
前記ワーク設置領域を通過したレーザ光を受けるレーザ受け部材とを有し、
前記レーザ受け部材は、該レーザ光の走査中心軸に近いほど前記ワーク設置領域に近づくレーザ受け面を有することを特徴とするレーザ切断装置。 - ワーク設置領域に配置されたワークをレーザ光により切断するレーザ切断装置であって、
レーザ光を発するレーザ発振器と、
前記ワーク設置領域を通過したレーザ光を受けるレーザ受け部材と、
前記ワークにおけるレーザ受け部材側の面を支持する支持部材とを有し、
前記レーザ受け部材は、前記支持部材に近いほど前記ワーク設置領域に近づくレーザ受け面を有することを特徴とするレーザ切断装置。 - 前記レーザ受け部材は、集塵用エアの流路内に設けられており、
前記レーザ受け面は、該集塵用エアの流れの上流側から下流側に向かって前記ワーク設置領域に近づく面を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ切断装置。 - ワーク設置領域に配置されたワークをレーザ光により切断するレーザ切断装置であって、
レーザ光を発するレーザ発振器と、
集塵用エアの流路内に設けられ、前記ワーク設置領域を通過したレーザ光を受けるレーザ受け部材とを有し、
前記レーザ受け部材は、該集塵用エアの流れの上流側から下流側に向かって前記ワーク設置領域に近づくレーザ受け面を有することを特徴とするレーザ切断装置。 - 前記ワークは半導体基板であり、該ワークに形成された半導体装置領域を切断することを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載のレーザ切断装置。
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