JP2008010221A - テープ剥離装置、塗布システムおよびテープ剥離方法 - Google Patents
テープ剥離装置、塗布システムおよびテープ剥離方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】塗布システムのテープ剥離装置では、テープ剥離ヘッド43および基板移動機構によりマスキングテープ81が基板9から剥離され、これと並行して、基板9上のマスキングテープ81が剥離された領域のうちの封止領域に対して、照射部46によりレーザ光が照射される。これにより、マスキングテープ81の粘着剤から封止領域に転写された低分子成分が封止領域から除去され、あるいは、低分子成分の分子結合が切断されて活性化され、封止領域の封止材料に対する濡れ性が、マスキングテープ81の貼付前と同程度まで向上される。その結果、基板9の封止工程において基板9と封止用基板とを貼り合わせる際に、封止領域に封止材料を均一に塗布することができ、基板9と封止用基板との間の封止の信頼性を向上することができる。
【選択図】図12.A
Description
2 テープ貼付装置
3 塗布装置
4,4a テープ剥離装置
6 搬送ロボット
6a マルチ搬送ロボット
9 基板
23 テープ貼付ヘッド
37 ノズル
42 基板移動機構
43 テープ剥離ヘッド
45 剥離テープ
46 照射部
47 カバー部
48 排気機構
81 マスキングテープ
90 主面
92 非塗布領域
93 有機EL液
94 封止領域
432 供給リール
433 粘着機構
434 回収リール
S11〜S19 ステップ
Claims (9)
- 流動性材料が塗布された平面表示装置用の基板からマスキングテープを剥離するテープ剥離装置であって、
基板上に貼付されているマスキングテープの少なくとも一部を保持して前記マスキングテープを前記基板から剥離する剥離機構と、
前記マスキングテープが貼付されていた領域のうち前記基板が他の基板と貼り合わされる際に封止材料が塗布される封止領域に光またはプラズマを照射することにより、前記封止材料に対する前記封止領域の濡れ性を向上する照射部と、
を備えることを特徴とするテープ剥離装置。 - 請求項1に記載のテープ剥離装置であって、
前記剥離機構が、
前記マスキングテープの少なくとも一部を保持するテープ剥離ヘッドと、
前記基板上において前記マスキングテープが貼付されている方向に沿って前記テープ剥離ヘッドを前記基板に対して相対的に移動することにより前記マスキングテープを剥離する移動機構と、
を備え、
前記マスキングテープの剥離において、前記照射部が、前記移動機構により前記テープ剥離ヘッドと共に前記基板に対して相対的に移動しつつ前記封止領域に対する光またはプラズマの照射を行うことを特徴とするテープ剥離装置。 - 請求項2に記載のテープ剥離装置であって、
前記テープ剥離ヘッドが、
前記マスキングテープに粘着することにより前記マスキングテープの少なくとも一部を保持する剥離テープと、
前記剥離テープの粘着面を前記マスキングテープに対向させつつ前記剥離テープを案内して前記マスキングテープに順次粘着させる剥離テープ案内部と、
前記剥離テープを前記剥離テープ案内部へと供給する剥離テープ供給部と、
前記剥離テープを前記マスキングテープと共に前記基板から引き上げて回収する剥離テープ回収部と、
を備えることを特徴とするテープ剥離装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載のテープ剥離装置であって、
前記照射部と前記基板との間において、前記照射部の周囲を囲むとともに前記基板上における前記照射部からの光またはプラズマの照射領域を覆うカバー部と、
前記カバー部の内側の空間からガスを排出する排気機構と、
をさらに備えることを特徴とするテープ剥離装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載のテープ剥離装置であって、
前記照射部により前記封止領域にレーザ光が照射されることを特徴とするテープ剥離装置。 - 平面表示装置用の基板に流動性材料を塗布する塗布システムであって、
基板上の非塗布領域にマスキングテープを貼付するテープ貼付装置と、
マスキングテープが貼付された基板に向けて流動性材料をノズルから連続的に吐出しつつ前記ノズルを前記基板に対して相対的に移動し、前記マスキングテープを含む領域に前記流動性材料を塗布する塗布装置と、
流動性材料が塗布された基板からマスキングテープを剥離する請求項1ないし5のいずれかに記載のテープ剥離装置と、
前記テープ貼付装置、前記塗布装置および前記テープ剥離装置へと順に基板を搬送する基板搬送機構と、
を備えることを特徴とする塗布システム。 - 平面表示装置用の基板に流動性材料を塗布する塗布システムであって、
非塗布領域にマスキングテープが貼付された基板に向けて流動性材料をノズルから連続的に吐出しつつ前記ノズルを前記基板に対して相対的に移動し、前記マスキングテープを含む領域に前記流動性材料を塗布する塗布装置と、
流動性材料が塗布された基板からマスキングテープを剥離する請求項1ないし5のいずれかに記載のテープ剥離装置と、
前記塗布装置および前記テープ剥離装置へと基板を搬送する基板搬送機構と、
を備え、
前記テープ剥離装置が、流動性材料が塗布される前の基板上の非塗布領域にマスキングテープを貼付するテープ貼付機構をさらに備えることを特徴とする塗布システム。 - 平面表示装置用の基板からマスキングテープを剥離するテープ剥離方法であって、
a)基板上に貼付されているマスキングテープの少なくとも一部を保持して前記マスキングテープを前記基板から剥離する工程と、
b)前記マスキングテープが貼付されていた領域のうち前記基板が他の基板と貼り合わされる際に封止材料が塗布される封止領域に光またはプラズマを照射することにより、前記封止材料に対する前記封止領域の濡れ性を向上する工程と、
を備えることを特徴とするテープ剥離方法。 - 請求項8に記載のテープ剥離方法であって、
前記b)工程において、前記封止領域にレーザ光が照射されることを特徴とするテープ剥離方法。
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