JP2018138282A - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで本発明者は先に、プリント配線基板の端面に膜形成液を塗布して膜を形成することで、端面部分の崩壊を防止することのできる塗布装置を提案した(特許文献1)。
特許文献1記載の塗布装置により、塗布円盤によってプリント配線基板の両側端面に膜形成液が塗布され、プリント配線基板の両端面に塗膜を形成することが可能となった。
さらに本発明者らは、基板の端面のほか、基板の孔部内面に膜形成液を塗布する塗布装置及び塗布方法を提案した。(特許文献2)
しかしながら、上記した塗布装置では、基板の塗布部の上面周縁部及び下面周縁部に膜形成液の飛沫などの一部が残り、その部分に塗膜が形成されることがあり、後のプリント配線基板等の製造において、特に孔部周縁部の配線不良などを皆無にすることが難しいという課題があった。
上記塗布装置(2)によれば、前記基板テーブルを回転させる機能を備えているので、前記塗布手段を回転又は旋回させることなく、前記基板テーブルを回転させることにより前記膜形成液の塗布面を設定し、前記基板移動手段で前記基板を移動させながら、すなわち、前記基板の位置を移動させながら、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に前記膜形成液を塗布することができる。したがって、前記塗布手段の構成を簡略化することができる。また、前記基板移動手段により前記基板の搬送も行うことができる。
上記塗布装置(3)によれば、前記基板の端面の上面周縁部、及び孔部内面の上面周縁部に付着した膜形成液を効率よく吸着し、拭き取ることができる。
上記塗布装置(4)によれば、前記膜形成液吸着ローラが前記回転軸部で着脱可能なため、前記膜形成液吸着層の膜形成液吸着効果が低下した場合には、速やかに前記膜形成液吸着ローラを交換することが可能であり、生産性を向上させることができる。
上記塗布装置(5)によれば、表面側の液拭き取り性に優れた前記液拭き取り層と、その内側の液体の保持性に優れた前記液保持層とで構成されているので、不要な膜形成液の拭き取り効果に優れているとともに、前記膜形成液吸着層の交換頻度を大幅に減少させることができ、生産性を向上させることができる。
上記塗布装置(6)によれば、前記基板テーブルの前記膜形成液吸着層が、表面側の液拭き取り性に優れた前記液拭き取り層と、その下側の液体の保持性に優れた前記液保持層とで構成されているので、前記基板の下面の膜形成液の拭き取り効果に優れているとともに、前記膜形成液吸着層の交換頻度を大幅に減少させることができ、生産性を向上させることができる。
上記塗布装置(7)によれば、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に前記膜形成液を塗布することができるとともに、前記基板の端面の上面周縁部及び下面周縁部、及び/又は前記基板の孔部の上面周縁部及び下面周縁部における前記膜形成液の飛沫などによる膜形成を防止することができる。特に前記孔部の上面周縁部における不要な膜形成を防止することが可能である。それにより、前記基板が、パッケージ基板などの薄型基板である場合には、上記塵案等の発生防止効果の他、基板強度を高めることができ、これによりさらに製品不良を減らすことができる。
上記塗布装置(8)によれば、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に対して斜め方向から前記膜形成液を吐出させ、前記基板移動手段を移動させながら塗布するので、前記基板の端面及び前記孔部内面に対して精度良く、きれいに膜形成液を塗布することができる。また、前記基板移動手段に設けられた前記基板テーブルを回転させる制御を行うこともできるので、前記基板テーブルを回転させることにより、前記基板の各方向の端面、及び/又は前記基板の孔部の各方向の内面に対しても精度良く、きれいに膜形成液を塗布することができる。
上記塗布方法(2)によれば、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に対して斜め方向から前記膜形成液を吐出させ、前記基板移動手段を移動させながら塗布するので、前記基板の端面だけでなく、種々のサイズに形成された孔部内面に対しても精度良く、きれいに膜形成液を塗布することができる。
上記塗布方法(3)によれば、前記基板移動手段に設けられた基板テーブルの回転機能により、前記基板のX−Y面における方向を任意に設定することができる。そのために、前記基板の端面の各面のほか、前記基板の孔部内面の各面及び様々な形状の孔部内面に対して、前記塗布手段の移動手段及び前記基板移動手段を併用することにより、種々の形状の孔部内面に対しても精度よく膜形成液を塗布することができる。
基板1の孔部1bには、基板1に形成されるスリット孔(ミシン目を含む)、くり貫き孔、切欠き、長孔(直線状、折曲状、曲線状を問わない)、ドリル孔、角孔、円孔(楕円状を含む)などが含まれ、塗布対象となる孔部1bの形状は特に限定されない。ただし、スルーホール、ビアホールなどの配線接続用孔(電気的導通孔)は、基本的に塗布対象としないが、条件によっては塗布対象とすることも可能である。
塗布ユニット20は、インクジェット方式の塗布手段、例えば、インクジェットヘッド部21、インクタンク部22、インク供給部23などを含んで構成され、イングジェットヘッド部21の吐出制御は、制御ユニット40に含まれるヘッド制御部41により行われるようになっている。
インクジェットヘッド部21は、ヘッド制御部41が行う吐出制御に基づいて、基板1の端面1aと孔部1b内面に向けてインクジェットヘッド用の膜形成液を吐出し、非接触により基板1の端面1aと孔部1b内面だけを塗布(印刷、コーティング)する機能を備えている。
ピエゾ方式は、ピエゾ素子に電圧をかけて変形させ、その振動やたわみによって液体を吐出する方式である。ピエゾ方式は膜形成液に熱がかからないなどの点から好ましい。
サーマル方式・バブルジェット(登録商標)方式は、ヒーター部で熱を急速に加えて液体を沸騰させ、この時に発生する泡(気泡)又は液体の膨張を利用して液体を吐出する方式である。
電磁バルブ方式は、例えば、ソレノイドコイルなどをバルブとして用い、開閉時間に応じた電流をコイルに流すことにより液滴の吐出を行う方式である。
また、膜形成液には、塗布箇所を着色するために染料、顔料などの色素が含有されていてもよく、また、接着力を高めるためのコンパウンドなどの材料が含有されていてもよい。
また、エッチング時の塩化第二鉄又は塩化第二銅液等に耐性(非剥離性)を有し、苛性ソーダ等で剥離可能な性質を有した液組成とすることもできる。
塗布機構移動ユニット30は、基板1の搬送方向(Y軸方向)と直交する方向(X軸方向)に塗布ユニット20を水平移動させるX軸方向の直動機構部31と、直動機構部31に取り付けられた回動機構部33と、直動機構部31に取り付けられた上面膜形成液吸着部32とを備え、回動機構部33にインクジェットヘッド部21が取り付けられている。直動機構部31、及び回動機構部33の各駆動制御は、制御ユニット40に含まれる移動制御部42で行われるようになっている。
回動機構部33は、塗布機構移動ユニット30の一端側に取り付けられた回動駆動部33aと、ヘッド部21を保持するヘッド保持部33bとを備え、駆動モーターなどを含む回動駆動部33aの回転軸(水平方向回転軸)がヘッド保持部33bに連結されている。回動駆動部33aの回転軸の回動動作によりヘッド保持部33bが所定の角度回動可能となっている。回動機構部33の動作により、ヘッド保持部33bに保持されたインクジェットヘッド部21のインク吐出面が、鉛直方向に対して所定の角度傾けた状態に制御可能になっている。ヘッド21は、回動駆動部33aの回転軸部に直接取り付けてもよいが、図2に例示したように、ヘッド保持部33bを介して間接的に取り付けて回動動作を行わせるようにしてもよい。
基板移動ユニット60は、基板1(例えば、大きさが500×400mm程度の基板)を塗布機構移動ユニット20と直交する方向(Y軸方向)に往復移動させることができるとともに、基板1をX−Y面で回転させる機能を備えたテーブル式の搬送装置である。本実施の形態では、基板移動ユニット60は、Y軸方向に移動させる直動機構部61、基板テーブル62及び回転機構部63を備えた基板テーブル台64、これらが上部に形成されたスライド台65を含んで構成されている。直動機構部61は、レール台61a、61a、レール台61a、61a上にそれぞれ設けられたY軸レール61b、61b、スライド台65がX軸方向の両端で支持され、Y軸レール61b、61b上をスライド移動可能なY軸スライダ61cを含んで構成されている。
基板移動ユニット60による基板1の移動(移動タイミング・距離、停止タイミング、移動方向など)、及び回転(回転タイミング、角度、停止タイミングなど)は、制御ユニット40からの指令により制御されるようになっている。
基板移動ユニット60については、レールによりY軸方向に移動させるテーブル方式を例示したが、ローラ式のコンベア装置、ベルト式の搬送装置、ボールネジ機構による搬送装置などで構成することもできる。
膜形成液吸着ローラ36に設けられた膜形成液吸着層36a、及び基板テーブル62に設けられた膜形成液吸着層62aは、膜形成液を吸着できるものであれば適宜利用することができる。例えば、ポリウレタン、ポリビニルアルコールなどで構成されたシート状の樹脂スポンジ、ポリ−N−ビニルアセトアミド、ポリアクリル酸ナトリウムなどの高吸水性粒子を含む不織布シートなどの液体吸収性の高い材料を用いることができる。特に、膜形成液吸着層は、膜形成液の拭き取り効果が高く、長時間その効果を持続できることがより好ましい。
制御ユニット40は、イングジェットヘッド部21の吐出制御などを行うヘッド制御部41と、塗布機構移動ユニット30を構成する直動機構部31、及び回動機構部33の各部、基板移動ユニット60の直動機構部61、及び回転機構部33の各部を制御する移動制御部42とを含んで構成されている。また、制御ユニット40は、基板移動ユニット60を構成する直動機構部61による基板1の移動(Y軸方向の搬送)動作、及び基板テーブル62の回転動作の制御も行うようになっている。
移動制御部42は、塗布箇所設定部52aから受信した塗布箇所データに基づいて、塗布機構移動ユニット30(直動機構部31、及び回動機構部33の各部)、及び膜形成液吸着ローラ位置設定部52bから受信した膜形成液吸着データに基づいて、基板移動ユニット60(直動機構部61、及び基板テーブル62の回転機構部63の各部)の動作制御を行う。
基板認識ユニット50は、基板1を画像認識する画像認識部51と、画像認識部51で画像認識された膜形成液吸着ローラ36の情報を含む基板画像情報を用いて塗布箇所(基板1の端面1aや孔部1b)を設定する塗布箇所設定部52a、膜形成液吸着ローラ36の位置を設定する膜形成液吸着ローラ位置設定部52bとを含んで構成され、操作部53、表示部54、インターフェース部(図示せず)などを備えた1台以上のコンピュータ装置で構成されている。
図3及び図4は、搬送されてきた基板1の孔部1bの前方内面を塗布している状態を示している。制御ユニット40により、基板移動ユニット60及び塗布機構移動ユニット30の各部を制御して、基板1の孔部1b内面(Z軸方向(垂直方向))とヘッド部21の液滴吐出方向Aとが所定の角度θとなるように設定するとともに、膜形成液吸着ローラ36の位置(X軸方向、Y軸方向)が所定の位置となるように設定する。これらの設定は、基板認識ユニット50から取得した塗布箇所データ(基板1の孔部1b内面の位置(座標)データなど)、膜形成液吸着ローラによる膜形成液吸着位置データを利用して行われる。
また、上記塗布装置10によれば、画像認識部51により、基板毎の外形形状だけでなく孔部1bの位置や形状などを正確に認識することができる。また、塗布箇所設定部52aにより、基板画像情報を用いて塗布箇所(基板1の端面1a及び孔部1b)を設定することができるとともに、膜形成液吸着ローラ位置設定部52bにより、基板画像情報を用いて膜形成液の吸着位置(基板1の端面1a及び孔部1bの上面周縁部)を設定することができる。
1a 端面
1b 孔部
2 膜形成液
10 塗布装置
20 塗布ユニット(塗布手段)
21 インクジェットヘッド部
21a チューブ
22 インクタンク部
23 インク供給部
30 塗布機構移動ユニット(塗布機構移動手段)
31 直動機構部
31a X軸レール
31b X軸スライダ
32 上面膜形成液吸着部
33 回動機構部
33a 回動駆動部
33b ヘッド保持部
34 支持部材
34a,34b,34c 支持プレート
34d 摺動部
34e 弾性体
36 膜形成液吸着ローラ
36a 膜形成液吸着層
36b 回転軸
36c 転がり軸受
40 制御ユニット(制御手段)
41 ヘッド制御部
42 移動制御部
50 基板認識ユニット
51 画像認識部
52a 塗布箇所設定部
52b 膜形成液吸着ローラ位置設定部
53 操作部
54 表示部
55a スキャナー部
60 基板移動ユニット(基板移動手段)
61 直動機構部
61a レール台
61b Y軸レール
61c Y軸スライダ
62 基板テーブル
62a 膜形成液吸着層
63 回転機構部
64 基板テーブル台
65 スライド台
Claims (13)
- 基板の端面、及び/又は前記基板に形成された孔部内面に膜形成液を塗布する塗布装置であって、
前記膜形成液を吐出するインクジェット方式の塗布手段と、
該塗布手段を移動させる移動手段と、
該移動手段に設けられ、前記基板上面の膜形成液を吸着する上面膜形成液吸着手段と、
前記基板下面の前記膜形成液を吸着する膜形成液吸着層が設けられた基板テーブルを含む基板移動手段と、
前記基板移動手段で前記基板テーブルを移動させながら、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に前記膜形成液を塗布する制御を行う制御手段とを備えていることを特徴とする塗布装置。 - 前記基板移動手段が、前記基板テーブルを回転させる機能を備えていることを特徴とする請求項1記載の塗布装置。
- 前記上面膜形成液吸着手段が、中心部に回転軸を備え、表面に膜形成液吸着層を備えた膜形成液吸着ローラで構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の塗布装置。
- 前記膜形成液吸着ローラが、前記回転軸部で着脱可能に構成されていることを特徴とする請求項3記載の塗布装置。
- 前記上面膜形成液吸着手段の前記膜形成液吸着層が、表面側の液拭き取り層とその内側の液保持層とで構成されていることを特徴とする請求項3又は4記載の塗布装置。
- 前記基板テーブルの前記膜形成液吸着層が、表面側の液拭き取り層とその下側の液保持層とで構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかの項に記載の塗布装置。
- 前記制御手段が、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に前記膜形成液を塗布するとともに、前記基板の端面の上面周縁部、及び/又は前記基板の孔部の上面周縁部の前記膜形成液を吸着する制御を行う機能を備えていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかの項に記載の塗布装置。
- 前記制御手段が、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に対して斜め方向から前記膜形成液を吐出させ、前記基板移動手段を移動させながら塗布する制御を行うものであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかの項に記載の塗布装置。
- 前記基板を画像認識する画像認識手段と、
該画像認識手段により画像認識された基板画像情報を用いて塗布箇所を設定する塗布箇所設定手段と、
前記画像認識手段により画像認識された基板画像情報を用いて、前記基板上面の膜形成液吸着箇所を設定する膜形成液吸着ローラ位置設定手段とを備え、
前記制御手段が、前記塗布箇所設定手段により設定された塗布箇所データに対応する前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に前記膜形成液を塗布する制御を行うとともに、
前記膜形成液吸着ローラ位置設定手段により設定された吸着箇所データに対応する前記基板の端面の上面周縁部、及び/又は前記基板の孔部の上面周縁部の膜形成液の吸着を制御するものであることを特徴とする請求項1〜8のいずれかの項に記載の塗布装置。 - 基板の端面、及び/又は前記基板に形成された孔部内面に膜形成液を塗布する塗布方法であって、
前記膜形成液を吐出するインクジェット方式の塗布手段を用いて、前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に前記膜形成液を塗布する塗布工程を含み、
前記塗布工程において、前記基板の端面の上面周縁部及び下面周縁部、及び/又は前記基板の孔部の上面周縁部及び下面周縁部に付着した前記膜形成液を吸着することを特徴とする塗布方法。 - 前記塗布工程が、
前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に対して斜め方向から前記膜形成液を吐出させるとともに、基板移動手段を移動させながら塗布する工程を含むことを特徴とする請求項10記載の塗布方法。 - 前記塗布工程において、前記基板移動手段に装備された基板テーブル回転手段により、前記膜形成液の塗布面の方向を設定することを特徴とする請求項11に記載の塗布方法。
- 前記基板を画像認識する画像認識工程と、
該画像認識工程により画像認識された基板画像情報に基づいて塗布箇所を設定する塗布箇所設定工程と、前記基板画像情報に基づいて膜形成液吸着ローラの位置を設定する膜形成液吸着ローラ位置設定工程とを含み、
前記塗布工程が、前記基板移動手段を移動させながら、前記塗布箇所設定工程で設定された塗布箇所データに対応する前記基板の端面、及び/又は前記基板の孔部内面に前記膜形成液を塗布する工程を含み、
前記膜形成液吸着ローラ位置設定工程が、前記基板の端面の上面周縁部及び下面周縁部、及び/又は前記基板の孔部の上面周縁部及び下面周縁部に付着した前記膜形成液を吸着する工程を含むことを特徴とする請求項10〜12のいずれかの項に記載の塗布方法。
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