JP2007530922A - 位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4・・・基体部
6・・・試料台
8・・・圧電素子(駆動機構)
10,12、14、16・・・レバー
11,13,15,17・・・曲げピボット
18,20・・・支持壁
19,23・・・曲げヒンジ
22,24・・・可撓性入力連結部
26,28・・・可撓性出力連結部
29a,29b,29c・・・歪みゲージ
38,40・・・荷重ばね(付勢要素)
Claims (42)
- 基体部及び該基体部に対して移動可能な試料台と、
前記基体部と前記試料台との間で作用するように配置された駆動機構と、
互いから離間するように延びる複数のレバーと、
を備える位置決め部材において、
前記レバーは前記試料台を支持するとともに、前記駆動機構に接続され、該駆動機構の起動は前記レバーで機械的に増倍して伝導され、前記試料台を位置決めする位置決め部材。 - それぞれの前記レバーは支点に回転可能に取り付けられ、前記レバーを内側、及び外側アーム部に細分し、前記内側アーム部は前記駆動機構に接続され、前記外側アーム部は前記試料台を支持していることを特徴とする、請求項1に記載の位置決め部材。
- 前記駆動機構は前記レバーに同一の方向に向かって作用するように配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の位置決め部材。
- 前記駆動機構は、圧電素子を備えてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記複数のレバーは、互いに反対方向に延在する少なくとも一対のレバーを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記レバーの少なくともいくつかを接続する曲げヒンジをさらに備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記レバーは単一の横材から形成され、前記曲げヒンジは前記横材の薄くされた部分により提供されていることを特徴とする請求項6に記載の位置決め部材。
- 前記支点を形成するように可撓性接続によって前記レバーに接続された支持壁をさらに備えることを特徴とする、請求項2〜7のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- それぞれの前記レバー及びその支持壁は一体に構成され、前記可撓性接続は薄くされた接続部分によって提供されていることを特徴とする請求項8に記載の位置決め部材。
- 前記支点は、前記試料台を前記基体部に対して回転することができるように、互いに対して移動可能であることを特徴とする請求項2〜9のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記試料台は、一対の出力連結部によって前記レバーに取り付けられ、該出力連結部はその軸に沿って加えられる力に対して剛性を有していることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記出力連結部は、その軸に対して横方向に加えられる力に対して変形可能であることを特徴とする請求項11に記載の位置決め部材。
- 前記出力連結部は、前記レバーの前記駆動機構が配置されている側と同じ側から離れるように延在していることを特徴とする請求項11または請求項12に記載の位置決め部材。
- 前記出力連結部は、前記駆動機構が始動力を与える駆動軸に沿って略平行に延在することを特徴とする請求項11〜13のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- それぞれの前記レバーに接続されるとともに、前記基体部に対する前記レバーの動きに抗するように配置された付勢要素をさらに備え、該付勢要素が、前記レバーが動かされたときに復元力を提供することを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- それぞれの前記レバーに接続され、基体部に対して可動である量を制限する機械的停止部材をさらに備えることを特徴とする請求項1〜15に記載の位置決め部材。
- 前記レバーの機械的増倍は、前記試料台を前記駆動機構の移動量よりも多い量動かすように作用することを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記レバーの機械的増倍は、前記試料台を前記駆動機構の移動量よりも少ない量動かすように作用することを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記レバーの位置を測定するための一以上の歪みゲージをさらに備えていることを特徴とする請求項1〜18のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記一以上の歪ゲージは、前記位置決め部材に取り付けられたそれぞれのブリッジ状測定回路に取り付けられていることを特徴とする請求項19に記載の位置決め部材。
- 互いから離間するように延在する複数のさらなるレバーを備え、これらのさらなるレバーは前記基体部及び前記駆動機構に接続され、前記駆動機構の起動がこれらのさらなるレバーに伝導し、これらのさらなるレバーを前記基体部に対して動かすことを特徴とする、請求項1〜20のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- それぞれの前記さらなるレバーは支点に回転自在に取り付けられ、前記さらなるレバーを前記内側及び外側アーム部に細分し、前記内側アーム部は駆動機構に接続され、外側アーム部は基体部に接続されていることを特徴とする、請求項21に記載の位置決め部材。
- 前記駆動機構は、それぞれの前記さらなるレバーに対して同一の方向に作用することを特徴とする請求項21または22に記載の位置決め部材。
- 前記駆動機構は、前記さらなるレバーに対し、前記駆動機構が最初に示した前記レバーに作用するのとは別の方向に作用するように配置されていることを特徴とする請求項21〜23のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- それぞれの前記さらなるレバーは、最初に示した前記レバーのうちの対応する一のレバーに位置合わせされていることを特徴とする請求項21〜24のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記さらなるレバーは、曲げヒンジによってともに接続されていることを特徴とする請求項21〜25のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記さらなるレバーは単一の横材から形成され、前記曲げヒンジは前記横材の薄くされた部分によって提供されていることを特徴とする請求項26に記載の位置決め部材。
- 前記支持壁はまた、前記さらなるレバーを支持し、前記さらなるレバーは、支点を提供するための可撓性接続によって前記支持壁に接続されていることを特徴とする、請求項8に記載の位置決め部材とした場合の請求項22〜27に記載の位置決め部材。
- それぞれの前記さらなるレバー及びその支持壁は一体に構成され、前記可撓性接続はそれらの結合部分の薄くされた部分によって提供されていることを特徴とする請求項28に記載の位置決め部材。
- 最初に示した前記レバー、前記支持壁、及び前記さらなるレバーは一体に構成されていることを特徴とする、請求項28または29に記載の位置決め部材。
- 前記さらなるレバーは、その軸に沿って加えられる力に対して剛性を有している一対の入力連結部によって基体部に接続されていることを特徴とする、請求項21〜30のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記入力連結部は、軸に対して横方向に加えられる力に対して変形可能であることを特徴とする、請求項31に記載の位置決め部材。
- 前記入力連結部は、前記入力レバーの前記駆動機構が配置されている側と同じ側から離れるように延在することを特徴とする請求項31または32に記載の位置決め部材。
- 前記入力連結部は、駆動機構がそれに沿って起動力を与える駆動軸に略平行に延在することを特徴とする請求項31〜33のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記それぞれのさらなるレバーに接続されるとともに、前記基体部に対する前記さらなるレバーの動きに対して抗するように配置された付勢要素をさらに備え、該付勢要素が、前記さらなるレバーが動かされるときに復元力を提供することを特徴とする、請求項21〜34のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- それぞれの前記さらなるレバーに接続され、前記さらなるレバーが前記基体部に対して可動である量を制限する機械的停止部材をさらに備えていることを特徴とする請求項21〜35のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記さらなるレバーの位置を測定するための一以上の歪みゲージをさらに備えていることを特徴とする請求項21〜36のいずれか一項に記載の位置決め部材。
- 前記一以上の歪ゲージは、前記位置決め部材に取り付けられたそれぞれのブリッジ状測定回路に取り付けられていることを特徴とする請求項37に記載の位置決め部材。
- 第1の方向に沿って位置決めされた請求項1〜38のいずれか一項に記載の第1の位置決め部材と、前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って位置決めされた請求項1〜38のいずれか一項に記載の第2の位置決め部材とを備え、前記第1及び第2の位置決め部材は、共通の基体部と共通の試料台との間を接続していることを特徴とする多軸の位置決め部材。
- 前記第1の方向及び前記第2の方向は互いに直角であることを特徴とする請求項39に記載の多軸の位置決め部材。
- 第3の方向に沿って位置決めされた請求項1〜38のいずれか一項に記載の第3の位置決め部材をさらに備え、前記第3の方向は前記第1及び第2の方向とは異なり、前記第3の位置決め部材は前記共通の基体部と前記共通の試料台との間を接続していることを特徴とする、請求項39または請求項40に記載の多軸の位置決め部材。
- 前記第3の方向は、前記第1または第2の方向のうちの少なくとも一に対して直角とされていることを特徴とする、請求項41に記載の多軸の位置決め部材。
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