JP4722400B2 - ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機 - Google Patents

Description

本発明は、ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機に関する。

案内機構としてガイドレールを有する駆動装置が知られ、この駆動装置によって測定子を三次元的に移動させて被測定物形状を測定する測定機が知られている（例えば、特許文献１）。
図８に、測定機の一例として三次元測定機１を示す。
三次元測定機１は、被測定物Ｗに当接して被測定物表面を検出する測定子２と、被測定物Ｗが載置されるテーブル面３１を有する定盤３と、定盤３に立設されて測定子２を三次元的に移動させる駆動機構（駆動装置）４と、駆動機構４の駆動量を検出する駆動センサ（不図示）と、を備えて構成されている。

駆動機構４は、定盤３の両側端に沿ったＹｍ軸方向に真直に設けられたガイドレール４１と、定盤３の両側端から定盤３に略垂直方向であるＺｍ軸方向に高さを有するとともにガイドレール４１をＹｍ軸方向にスライド可能に設けられた二本のビーム支持体４２と、ビーム支持体４２の上端に支持されてＸｍ軸方向に長さを有するビーム４３と、ビーム４３にＸｍ軸方向へスライド可能に設けられＺｍ軸方向にガイドを有するコラム４４と、コラム４４内をＺｍ軸方向にスライド可能に設けられ下端にて測定子２を保持するスピンドル４５とを備えて構成されている。

ガイドレール４１は、定盤３の側端から僅かに離間して刻設された溝４１Ａを介して、定盤３の側端に沿って定盤３と一体的に形成されている。
ビーム支持体４２は、その下端がガイドレール４１に跨乗しており、移動方向がガイドレール４１により真直に案内される。
なお、駆動機構４は、ビーム支持体４２、コラム４４およびスピンドル４５を移動させるための駆動手段として例えばモータ等を有し、この駆動手段は図示しない駆動制御部によって駆動制御される。

駆動センサは、特に図示しないが、ビーム支持体４２のＹｍ軸方向への移動を検出するＹｍ軸センサと、コラム４４のＸｍ軸方向への移動を検出するＸｍ軸センサと、スピンドル４５のＺｍ軸方向への移動を検出するＺｍ軸センサと、を備えている。
例えば、Ｙｍ軸センサは、Ｙｍ軸方向に測長方向を有しガイドレール４１に設けられたスケール部材と、ビーム支持体４２の下端に設けられスケール部材に対する変位量を検出する検出部と、を備える。

このような構成において、駆動機構４によって測定子２が三次元的に移動されて、測定子２が被測定物Ｗに当接した際の駆動機構４の駆動量が駆動センサにより検出される。すると、被測定物Ｗの形状が測定される。
このとき、ビーム支持体４２は、ガイドレール４１によって真直に案内されるので、駆動は円滑であり速度も速い。また、ガイドレール４１によってスケール部材の真直性が保たれるので、Ｙｍ軸センサによってビーム支持体４２の駆動量が正確に検出される。そして、Ｙｍ軸センサによる検出値は、コラム４４およびスピンドル４５の駆動量とともに解析され、被測定物Ｗの形状が正確に測定される。

特公平３−４５３２１号

しかしながら、ガイドレール４１が定盤３に一体的に設けられているために、ガイドレール４１と定盤３とはそれぞれが独立して各々の形状を維持することができず、一方が変形すると他方も同様に変形されてしまうという問題が生じる。
例えば、テーブル面３１に被測定物Ｗを載置した場合、図９（Ａ）に示されるように、被測定物Ｗの荷重によって定盤３の中央部が凹んで湾曲するおそれがある。すると、ガイドレール４１も同様に湾曲されてしまう。
あるいは、定盤３の一辺と他辺とが異なる温度であった場合には、この温度差によって一辺と他辺とで変形量（線膨張量）に差が生じる。すると、例えば図９（Ｂ）に示されるように、両辺における変形量の差によって定盤３に歪みが生じ、その結果、定盤３の一辺と他辺とに設けられたガイドレール４１が湾曲される。

このようにガイドレール４１が湾曲されてしまうと、ビーム支持体４２が真直に案内されず正規の軌道からずれてしまうという問題が生じる。
また、ガイドレール４１の湾曲によって、二つのビーム支持体４２の間の距離が変化され、それに伴ってビーム４３が変形されるとともに、コラム４４の位置も変化される。その結果、測定子２の位置に誤差が生じるので、測定精度が劣化されるという問題がある。さらに、ガイドレール４１の湾曲により、駆動機構４に有害な負荷が増大され、駆動機構４の駆動性能が劣化される。例えば、ガイドレール４１の湾曲によって、ガイドレール４１とビーム支持体４２との間の摺動抵抗が変化するので、駆動手段の負荷が変動する。その結果、制御特性が変化し、不要な有害振動が増大する。また、駆動機構４に有害な負荷が増大すると、摺動部位が激しく磨耗される。すると、製品寿命の劣化や保守費用の増大などの経済的損失が生じる。
また、ガイドレール４１の湾曲とともにスケール部材も湾曲されることとなるので、駆動センサの検出精度が悪化するという問題が生じる。測定子座標の検出精度が悪化すると、測定誤差に繋がることはもちろん、測定子２の位置決め誤差も生じることとなる。
ガイドレール４１の変形によって生じるこれらの問題により、駆動機構４の駆動性能（軌道精度、駆動速度、位置決め精度）を向上させることには困難があり、また、駆動センサの検出精度を向上させることに困難があった。

本発明の目的は、従来の問題を解消し、ガイドレールおよび基台の少なくとも一方の形状が維持される状態でガイドレールを支持するガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機を提供することにある。

本発明のガイドレールの支持装置は、可動部材を案内するガイドレールを基台に対して略定位置に保ちつつ支持する支持装置であって、前記ガイドレールの一端側を支持する前部支持装置と、前記ガイドレールの他の部分を支持する後部支持装置と、を備え、前記前部支持装置は、前記基台に固定されるとともに前記ガイドレールを担持するベース体と、前記基台および前記ガイドレールの少なくともいずれか一方に変形が生じた際に、変形が生じた側の変形を他の側に伝えることなく許容するように前記ガイドレールを支承する支承手段と、前記ガイドレールと前記ベース体とを前記ガイドレールの長手方向へ移動不可に接合する接合手段と、を備え、前記後部支持装置は、前記基台に固定されるとともに前記ガイドレールを担持するベース体と、前記基台および前記ガイドレールの少なくともいずれか一方に変形が生じた際に、変形が生じた側の変形を他の側に伝えることなく許容するように前記ガイドレールを支承する支承手段と、を備え、
前記支承手段は、前記ガイドレールに当接して前記ガイドレールを支承する支承板と、
前記ベース体に固定された固定板と、前記固定板に対して前記支承板を揺動可能に繋ぐ支承継手手段と、を備え、
前記接合手段は、前記ベース体に固定された固定部と、前記ガイドレールに接合される接合部と、前記固定部と前記接合部との間に設けられ前記固定部に対して前記接合部を前記ガイドレールの長手方向へ移動不可かつ前記ガイドレールの長手方向に直交する面内で揺動可能に連結する接合継手手段と、を備えることを特徴とする。

このような構成によれば、基台およびガイドレールの一方の変化が他方へ影響することが防止され、他方の形状が保たれる。
例えば、周囲環境の温度変化や作業者から発せられる熱によって基台およびガイドレールに熱変形が生じることがある。この場合、両者の線膨張係数が異なるので、基台とガイドレールとで異なる伸縮を生じることがある。また、基台に載置される物体の重量によって基台が変形されたり、ガイドレール上をスライド移動する可動部材によってガイドレールが変形されたりすることがある。しかし、このように基台やガイドレールが変形される場合でも、支承手段によって一方の変形が他方に伝達されず、例えば、基台に変形が生じる場合でも基台の変形がガイドレールに伝達されないのでガイドレールの形状が維持される。ガイドレールがもともと真直に形成されている場合には、ガイドレールの真直性が維持され、可動部材の案内方向が真直に維持される。
ここで、変形が生じる側としては、基台およびガイドレールの一方のみである場合はもちろん、変形が基台およびガイドレールの両方に生じる場合であってもよい。変形が基台およびガイドレールの両方に生じた場合であっても、相互の変形がそれぞれ支承手段で許容されて、基台およびガイドレールのそれぞれは相手方から影響を受けずにそれぞれの形状を維持することができる。

本発明において、前記支承手段は、前記ガイドレールに当接して前記ガイドレールを支承する支承板と、前記ベース体に固定された固定板と、前記固定板に対して前記支承板を揺動可能に繋ぐ支承継手手段と、を備える。

このような構成において、支持装置を基台に係着し、この支持装置でガイドレールを支持する。すると、ガイドレールが基台に付設された状態となる。このとき、ベース体を基台に係着してガイドレールを担持できる状態にする。そして、ガイドレールを支承板に当接（あるいは載置）して、支承手段でガイドレールを支承する。すると、ガイドレールは支承手段によって支承された状態でベース体に担持される。

このような構成によれば、ガイドレールは支承板によって支承されて、支承板は、支承継手手段によって揺動支持されている。よって、ベース体の姿勢が変化された場合でも、支承板の揺動によってベース体の変化が相殺される。その結果、ベース体に生じる変化はガイドレールに作用せず、ガイドレールは当初の状態で維持される。例えば、ガイドレールが真直に形成されていれば、ガイドレールは真直な状態のままで支持装置により支持される。
基台に形状の変化等が生じた場合にはベース体の姿勢も変化されるが、支承手段による揺動によってベース体の変化は相殺されるので、ガイドレールは当初の状態で維持される。
すると、ガイドレールによって案内される可動部材は、正規の軌道に沿って案内され、また、可動部材の制御特性が劣化されることもないので、不要な有害振動が発生することもない。ガイドレールにスケール部材が設けられる場合でもスケール部材の形状が維持されるので、スケール部材による検出精度が向上され、ひいては可動部材の位置決め精度も向上される。

ここで、「支承する」とは、下面から重量を支えたり、あるいは、側面から傾きを支えたりするなどして、ガイドレールの姿勢を維持させるようなことを意味する。
また、ガイドレールは、真直に形成されていてもよく、当初から湾曲した形状に形成されていてもよい。本発明によれば、ガイドレールのもともとの形状に関わらず、基台の変形などによる作用を受けずにガイドレールの形状が保たれる。例えば、ガイドレールがもともと真直に形成されていれば、ガイドレールの真直性が保たれる。
基台としては、例えば、測定機や加工機械の定盤などが例として挙げられるが、ガイドレールが付設される基台であればよい。

本発明では、前記支承継手手段は、前記固定板に対して前記支承板を揺動可能、かつ、前記支承板で支承される前記ガイドレールの面に沿う方向に前記支承板を移動可能に前記固定板と前記支承板とを繋ぐことが好ましい。
このように、支承継手手段によって支承板がスライド移動可能であれば、ベース体の移動を支承板の変位によって相殺できるので、ガイドレールに無理な力を作用させることがない。従って、ガイドレールの当初の形状を保った状態でガイドレールを支持することができる。

ここで、「前記支承板で支承される前記ガイドレールの面に沿う方向に前記支承板を移動可能」とは、例えば、前記ガイドレールの面に垂直な方向において前記固定板と前記支承板とを対向させて、この固定板と支承板との間に前記支承継手手段を配設する場合、前記固定板と前記支承板との対向方向に直交する方向に前記支承板を移動可能とするに等価である。

本発明では、前記支承継手手段は、前記固定板と前記支承板との間に積層された第１連結板および第２連結板と、前記支承板と前記第１連結板との間に挟持された第１円柱体と、前記第１連結板と前記第２連結板との間に挟持された第２円柱体と、を備え、前記第１円柱体と前記第２円柱体とは前記第１連結板を隔てて９０°の角度をなしていることが好ましい。

このような構成によれば、固定板と支承板との間で立体交差する第１および第２円柱体によって支承板が揺動支持されるので、支承板は全方位的に自由に揺動できる。さらに、円柱軸に沿って第１連結板および支承板がスライド移動できれば、支承板を前後左右にスライドさせることができる。従って、ベース体に生じる総ての変化を相殺して、ガイドレールに無理な力を作用させることなくガイドレールを支持することができる。
また、支承継手手段の揺動軸が円柱体であるので、応力に対する耐久性に優れ、例えば、支承手段でガイドレールの荷重を十分に支えることができ、支承している間に無駄に揺れ動くことがない。

本発明では、前記第２連結板は前記固定板にピボット軸受されて回動可能であることが好ましく、このような構成としては、前記固定板および前記第２連結板のいずれか一方に円錐凹部が凹設され、いずれか他方に前記円錐凹部に遊嵌する円錐凸部が設けられていることが好ましい。
このような構成によれば、固定板に対して第２連結板が回動可能となる。すなわち、支承板が固定板に対して回動可能となる。すると、ベース体に回転系の変形（あるいは変位）が加えられた場合でも、支承板の回動によってベース体の変形（あるいは変位）が相殺されて、無理な力が作用しない状態でガイドレールが支承される。

本発明では、前記支承継手手段は、前記支承板と前記固定板とに挟持されるボール体で構成され、前記支承板および前記固定板はそれぞれの対向面に刻設されたＶ溝を有し、前記支承板の前記Ｖ溝と前記固定板の前記Ｖ溝とは、前記ボール体を隔てて９０°の角度をなすことが好ましい。
このような構成によれば、ボール体によって支承板が揺動支持される。さらに、固定板のＶ溝に沿ってボール体がスライド移動可能であり、また、支承板のＶ溝に沿って支承板がスライド移動可能である。よって、支承板は全方位的に揺動可能に支持され、また、スライド移動可能である。従って、ベース体に生じる総ての変化が相殺され、ガイドレールに無理な力が作用しない状態でガイドレールは支持される。
支承板はボール体によって揺動支持されるので揺動時の抵抗が小さく、ガイドレールに無理な力がほとんど作用しない状態でガイドレールは支承される。

本発明では、前記支承継手手段は、前記固定体に揺動支持された揺動体と、揺動体に配置されて前記支承板を揺動支持する円柱体と、を備えていてもよい。

なお、支承継手手段の構成は特に限定されず、固定板と支承板とを揺動可能に繋ぐ構成であるか、あるいは、固定板と支承板とを揺動可能かつ平行移動可能に繋ぐ構成であればよい。

本発明において、前記後部支持装置がベース体と支承手段とを備えるのに対し、前部支持装置はベース体と支承手段とに加えて、前記ガイドレールと前記ベース体とを前記ガイドレールの長手方向へ移動不可に接合する接合手段と、を備える。

このような構成によれば、ガイドレールは、接合手段により前部支持装置には接合されるが、他の部分では支承手段に支承されるのみで接合されない。つまり、ガイドレールは、前部支持装置に対しては固着されるが、他の部分では支持装置に固定されない。
例えば、基台が線膨張などによって伸縮する場合には、基台に係着された支持装置の間隔などが変化する。このとき、ガイドレールは前部支持装置にのみ固定されているので、他の支持装置とは互いの相対位置をある程度変えられる。従って、基台とガイドレールとの間で線膨張量などが異なる場合でも、ガイドレールは基台の線膨張量に影響されずに独立に伸縮できる。その結果、ガイドレールに余計な力が作用せず、ガイドレールの形状が維持された状態で支持される。

また、ガイドレールは、前部支持装置に接合されることにより、一端側では支持装置を介して基台に対する相対位置が固定される。すると、例えば、ガイドレールにスケール部材等が設けられていた場合でも、一端側では基台に対する原点位置を変化させずに維持することができる。

なお、接合手段は、ガイドレールとベース体とを接合できればよく、例えば、ガイドレールとベース体とをねじで固定してもよい。

本発明において、前記接合手段は、前記ベース体に固定された固定部と、前記ガイドレールに接合される接合部と、前記固定部と前記接合部との間に設けられ前記固定部に対して前記接合部を揺動可能に連結する接合継手手段と、を備える。

このような構成によれば、ガイドレールは接合部に接合された状態で固定部を介してベース体に接合される。そして、接合部は、接合継手手段により固定部に対して揺動可能である。したがって、ガイドレールを接合部に接合したあと、接合部を揺動させて基台に対するガイドレールのアラインメント調整等を行うことができる。すると、アラインメント調整された状態でガイドレールを支持装置で支持することができる。

本発明では、前記接合継手手段は、前記固定部の側面に転動可能に当接するボール体と、前記ボール体を前記固定部とにて挟持する揺動連結板と、前記揺動連結板を前記固定部に向けて予圧する予圧力を調整する予圧力調整手段と、を備えていることが好ましい。
さらに、前記予圧力調整手段としては、前記接合部を貫通して一端が前記揺動連結板に当接し他端が前記接合部の側面から突き出した状態に設けられた調整ねじを有する構成が例として挙げられる。
このような構成において、予圧力調整手段により接合継手手段を固定することができる。つまり、ガイドレールのアラインメント調整をしたあと、接合部の揺動を固定してしまえば、ガイドレールのアラインメント調整をした状態で固定することができる。

本発明において、前記支承手段は、前記ガイドレールを前記基台に対して揺動可能および進退可能に支承することが好ましい。
このような構成によれば、例えば、熱分布の不均一に起因して基台に曲がり変形が生じたり基台あるいはガイドレールが伸縮したりする場合でも、支承手段によりガイドレールの形状が維持される。
例えば、基台とガイドレールとの線膨張係数の違いで伸縮に差が生じる場合でも、支承手段によりガイドレールが基台に対して進退されるので、線膨張の違いの差を逃がすことができる。あるいは、基台とガイドレールとで一方に傾きが生じた場合でも支承手段によりガイドレールが基台に対して揺動され、傾き分が相殺されることで他方に傾きが伝達されないようにできる。

本発明において、前記ベース体と前記ガイドレールとの間に介装されて前記ガイドレールを前記ベース体に向けて引き付ける引付手段と、を備えることが好ましい。
このような構成によれば、引付手段によってガイドレールがベース体に向けて引かれ、引き付けられたガイドレールが支承手段で支承される。ガイドレールは、引付手段で引かれることにより支承手段から浮き上がることがなく支承されて、その位置が決定される。すると、例えば、ガイドレール上を可動部材が摺動する場合でもガイドレールの位置が固定されるので、可動部材は正確に案内される。
ここで、引付手段は、ばね、ゴム等の弾性体の付勢力を利用する構成であってもよく、あるいは、磁石の引力で引き付ける構成でもよい。
本発明において、前記ベース体は、このベース体が前記基台に固定された状態において水平状態となり前記ガイドレールを下から支える台座部、および、前記台座部の一端辺から連続して立ち上がって設けられ前記基台に固定される背板部を有し、前記支承手段は、前記台座部に設けられ前記ガイドレールを下支えする台座側支承手段と、前記背板部側において前記ガイドレールを支承する背板側支承手段と、を備えることが好ましい。
このような構成によれば、台座側支承手段と背板側支承手段とによって、ガイドレールの底面および側面の二面が支承される。底面のみならず側面も支承されるので、ガイドレールは姿勢を一定に保った状態で支持される。

本発明のガイドレール装置は、前記ガイドレールの支持装置と、このガイドレールの支持装置で支持されるガイドレールと、を備える。
本発明の駆動装置は、前記ガイドレールの支持装置と、このガイドレールの支持装置で支持されるガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動可能に設けられた可動部材と、を備える。
本発明の測定機は、被測定物を載置する前記基台としての定盤と、前記ガイドレールの支持装置と、このガイドレールの支持装置で支持されるガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動可能に設けられた可動部材と、前記可動部材によって移動されるとともに前記被測定物の表面を検出する検出子と、前記ガイドレールに対する前記可動部材の相対移動量を検出する移動量検出器と、前記検出子による前記被測定物表面の検出、および、前記移動量検出器による検出値に基づいて前記被測定物の形状を解析する解析部と、を備える。

このような構成によれば、上記ガイドレールの支持装置に同様の作用効果を奏する。すなわち、ガイドレールに無理な力を作用させることなく、ガイドレールの形状を保った状態でガイドレールを支持することができる。よって、可動部材の移動方向が正確に案内される駆動装置とすることができる。
また、ガイドレールに移動量検出器のスケール部材が設けられていた場合でも、ガイドレールと同様にスケール部材が変形されないので、スケール部材による検出精度を向上させることができる。従って、高精度に被測定物形状を測定できる測定機とすることができる。
基台（定盤）の変形がガイドレールに影響しないので、基台が被測定物等の荷重によってわずかに変形されてもかまわないと考えられ、基台の剛性を高める必要もなくなることから、基台の厚みを薄くすることもできる。

以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
本発明のガイドレール装置に係る一実施形態の全体斜視図を図１に示す。図１中では、ガイドレール装置１００が定盤（基台）３の両側面に取り付けられている。
定盤３は、背景技術で説明したのと略同様であり、略平坦に形成されたテーブル面３１を有する。定盤３の両側面には、フランジ状に張り出し形成されたフランジ台部３２が設けられている。

ガイドレール装置１００は、長手方向が真直に形成されたガイドレール２００と、ガイドレール２００を定盤３の側面において支持する支持装置３００と、を備えている。
ガイドレール２００は、長手方向が真直に形成された直方体形状である。図１中では図示しないが、図８または図９において説明した通り、ガイドレール２００上にはビーム支持体４２のようなスライド部材（可動部材）がスライド移動可能に設けられる。そして、ガイドレール２００によってスライド部材の移動方向が真直に案内される。

以後の説明では、ガイドレール２００が支持装置３００に支持された状態で構成を説明する。

支持装置３００は、ガイドレール２００の真直性を保つ状態で、定盤３の側辺に沿った位置にガイドレール２００を支持する。支持装置３００は、ガイドレール２００の一端側においてガイドレール２００を支持する前部支持装置４００と、ガイドレールの他端側においてガイドレール２００を支持する後部支持装置５００と、を備える。なお、図１中において手前側を前方とし、図１中において奥方を後方とする。

図２に、支持装置（前部支持装置４００および後部支持装置５００）の機構を概念的に表した概念図を示す。また、図３に、前部支持装置４００の構成を示す。
前部支持装置４００は、定盤３の側部に係着されるとともにガイドレール２００を下支えするように担持するベース体４１０と、ガイドレール２００に接合されてガイドレール２００とベース体４１０とを接合する接合手段４２０と、一端がベース体４１０に固定され他端がガイドレール２００に接続されてガイドレール２００をベース体４１０に引き付ける引付ばね４３０と、引付ばね４３０で引き付けられたガイドレール２００を支承する支承手段４４０と、を備えている。

ベース体４１０は、ベース体４１０が定盤３に係着された状態ではテーブル面３１に略平行配置となる板状体であってガイドレール２００を下から支える台座部４１１と、定盤３に係着される背板部４１２と、を備え、台座部４１１の一端辺から背板部４１２が連続して立ち上がる断面Ｌ字型に形成されている。
背板部４１２において、台座部４１１側に向いている表面とは反対側の面となる背面側には、定盤３のフランジ台部３２に引っ掛かるフック部４１３が設けられている。フック部４１３は、背板部４１２の背面側上端部から連続的に突設形成されている。
フック部４１３がフランジ台部３２に掛止されると、ベース体４１０が定盤３の側面に係着された状態となる。この時、背板部４１２はテーブル面３１に対して略垂直に配置され、台座部４１１はテーブル面３１に略平行に配置される。このとき、台座部４１１の底面は、定盤３の底面と面一になるか、あるいは、定盤３の底面よりもわずかに高い位置にある。

接合手段４２０は、台座部４１１の上面に設けられている。接合手段４２０の構成を図４に示す。
接合手段４２０は、台座部４１１の上面の略中央部分に取り付け固定された略立方体形状のブロックである固定ブロック（固定部）４２１と、固定ブロック４２１に対して揺動可能に設けられガイドレール２００に接合される接合ブロック（接合部）４２２と、固定ブロック４２１と接合ブロック４２２との間に設けられ固定ブロック４２１に対して接合ブロック４２２を揺動可能に連結する継手手段（接合継手手段）４２３と、を備える。

接合ブロック４２２は、ガイドレール２００の長手方向に平行な方向において、固定ブロック４２１を間にして二つ設けられている。すなわち、固定ブロック４２１と二つの接合ブロック４２２とは、ガイドレール２００の真下にあたる位置に配置される。
接合ブロック４２２は、ガイドレール２００の長手方向には移動不可で、かつ、ガイドレールの長手方向に直交する面内で揺動可能な状態に設けられる。例えば、台座部４１１においてガイドレール２００の長手方向に直交する方向に長めに形成された孔部に接合ブロック４２２は嵌入されている。
接合ブロック４２２は、上面から突起したピンを有し、このピンがガイドレール２００に挿嵌されることで接合ブロック４２２とガイドレール２００とが接合される。

継手手段４２３は、固定ブロック４２１と接合ブロック４２２との間に設けられ、固定ブロック４２１に対して接合ブロック４２２を揺動可能に繋ぐ。継手手段４２３は、固定ブロック４２１の側面に転動可能に当接するボール体４２５と、ボール体４２５を固定ブロック４２１とにて挟持する揺動連結板４２６と、接合ブロック４２２を貫通して一端が揺動連結板４２６に当接し他端が接合ブロック４２２の側面から突き出した状態に設けられた調整ねじ４２８と、を備える。

ボール体４２５は、ガイドレール２００の長手方向に平行な方向において、固定ブロック４２１を挟んで二つ設けられている。ここで、固定ブロック４２１の側面には、直線的にＶ溝４２４が設けられ、このＶ溝４２４にボール体４２５が嵌合している。
揺動連結板４２６は、ボール体４２５を挟んで固定ブロック４２１と反対側に配置されている。揺動連結板４２６は、固定ブロック４２１に対向する面にＶ溝４２７を有しており、このＶ溝４２７は固定ブロック４２１のＶ溝４２４に対してボール体４２５を隔てて略９０°の角度をなす。そして、揺動連結板４２６のＶ溝４２７と固定ブロック４２１のＶ溝４２４とが立体交差する位置でボール体４２５は挟持されている。
調整ねじ４２８は、接合ブロック４２２の側面から突き出した状態に接合ブロック４２２に螺合されているところ、接合ブロック４２２の側面から突き出した他端にナット４２９が螺合されている。調整ねじ４２８の一端は、ピボット受けで揺動連結板４２６に当接している。すなわち、揺動連結板４２６においてＶ溝４２７とは反対面には円錐状の凹部が凹設され、調整ねじ４２８の一端の頭部に埋め込まれたボール体（鋼球）が揺動連結板４２６の前記凹部にピボット受けされている。

引付ばね４３０は、台座部４１１に一本設けられ、背板部４１２に二本設けられている。引付ばね４３０は、台座部４１１において、固定ブロック４２１を挿通して設けられている。また、引付ばね４３０は、背板部４１２において、ガイドレール２００の長手方向に沿って所定距離離間して二本設けられている。

支承手段４４０は、台座部４１１に設けられガイドレール２００を下支えする台座側支承手段４５０と、背板部４１２側に引き付けられるガイドレール２００を支承する背板側支承手段４６０と、を備える。
台座側支承手段４５０は、ガイドレール２００の長手方向に直交する方向において固定ブロック４２１を間にして二つ設けられている。
台座側支承手段４５０は、図５に示されるように、上面がガイドレール２００に当接する平坦面に形成された支承板４５１と、台座部４１１上に固定され上面に円錐凹部４５２Ａが凹設された固定板４５２と、固定板４５２に対して支承板４５１を揺動可能に繋ぐ継手手段（支承継手手段）４５３と、を備える。

継手手段４５３は、支承板４５１と固定板４５２との間で上側連結板（第１連結板）４５５および下側連結板（第２連結板）４５７が積層され、さらに、支承板４５１と上側連結板４５５との間に上側円柱体（第１円柱体）４５４が挟持され、上側連結板４５５と下側連結板４５７との間に下側円柱体（第２円柱体）４５６が挟持された構成である。
ここで、上側円柱体４５４は、その軸方向が水平面内でガイドレール２００の長手方向に直交する向きで配設されている。下側円柱体４５６は、その軸方向が水平面内でガイドレール２００の長手方向に平行な向きで配設されている。すなわち、上側円柱体４５４と下側円柱体４５６とは上側連結板４５５を隔てて９０°の角度をなし、上側円柱体４５４の支持により支承板４５１が揺動する方向と、下側円柱体４５６の支持により上側円柱体４５４が揺動する方向とは９０°の角度をなす。

また、下側連結板４５７の下面には円錐状に突起した円錐凸部４５７Ｂが形成され、この円錐凸部４５７Ｂは固定板４５２の円錐凹部４５２Ａに遊嵌することにより、下側連結板４５７が固定板４５２にピボット軸受されている。
なお、上側円柱体４５４は、支承板４５１の下面に刻設されたＶ溝４５１Ａと、上側連結板４５５の上面に刻設されたＶ溝４５５Ａとにて挟持され、下側円柱体４５６は、上側連結板４５５の下面に刻設されたＶ溝４５５Ｂと、下側連結板４５７の上面に刻設されたＶ溝４５７Ａとにて挟持されることで、それぞれの位置が保持される。
また、支承板４５１は、上側円柱体４５４の軸方向に沿ってスライド移動可能であり、上側連結板４５５は下側円柱体４５６の軸方向に沿ってスライド移動可能である。

背板側支承手段４６０は、背板部４１２の表面側で引付ばね４３０、４３０の間に設けられている。
背板側支承手段４６０は、図３に示されるように、一面がガイドレール２００に当接する平坦面に形成された支承板４６１と、背板部４１２に固定された固定板４６２と、固定板４６２に対して支承板４６１を揺動可能に連結する継手手段４６３と、を備える。
継手手段４６３は、支承板４６１と固定板４６２とに挟持されるボール体４６３によって構成されている。ここで、支承板４６１にはＶ溝４６１Ａが刻設され、固定板４６２にはＶ溝４６２Ｂが刻設されており、支承板４６１のＶ溝４６１Ａと固定板４６２のＶ溝４６２Ｂとは、ボール体４６３を隔てて９０°の角度をなす。そして、Ｖ溝４６１ＡとＶ溝４６２Ｂとが立体交差する位置でボール体４６３が挟まれている。また、支承板４６１と固定板４６２との間にはリテーナ４６４が配設されて、リテーナ４６４によってボール体４６３が支承板４６１と固定板４６２との間に保持される。
また、支承板４６１は、Ｖ溝４６１Ａの軸方向へスライド移動可能であり、ボール体４６３はＶ溝４６２Ｂの軸方向へスライド移動可能である。

後部支持装置５００の構成は、基本的に前部支持装置４００に同様であるが、接合手段４２０を有しない点と台座側支承手段の構成とが異なる。
後部支持装置５００は、図６に示されるように、ベース体５１０と、引付ばね５２０と、支承手段５３０と、を備える。
ベース体５１０は、台座部５１１と背板部５１２とを備えているところ、これらは、前部支持装置４００のベース体４１０に同様である。
引付ばね５２０は、台座部５１１に２本設けられ、背板部５１２に２本設けられている。引付ばね５２０は、台座部５１１において、ガイドレール２００の長手方向で支承手段５３０を間にして二つ設けられている。また、引付ばね５２０は、背板部５１２において、ガイドレール２００の長手方向に沿って所定間隔だけ離間して２本設けられている。

支承手段５３０は、台座側支承手段５４０と、背板側支承手段５５０と、を備えている。
台座側支承手段５４０は、上面がガイドレール２００に当接する平坦面に形成された支承板５４１と、台座部５１１に固定され上面に断面半円形の半円凹部５４２Ａを有する固定体５４２と、固定体５４２に対して支承板５４１を揺動可能に繋ぐ継手手段５４３と、を備えている。
支承板５４１は、ガイドレール２００の長手方向に直交する方向に長さを有する板状体である。
固定体５４２の半円凹部５４２Ａは、ガイドレール２００の長手方向に直交する断面において、中央部が深くて両端に向けて次第に高くなる半月形状である。

継手手段５４３は、固定体５４２に揺動支持されてガイドレール２００の長手方向に直交する面内で揺動する揺動体５４４と、揺動体５４４の上面に配置されて支承板５４１を揺動支持する円柱体５４５と、を備える。
揺動体５４４は、下面に円弧を有し固定体５４２の半円凹部５４２Ａに嵌合するかまぼこ形状であり、ガイドレール２００の長手方向に平行方向を揺動軸として揺動する。
円柱体５４５は、軸方向をガイドレール２００の長手方向に直交する方向に向けて配設され、支承板５４１と揺動体５４４とにて挟持されている。
支承板５４１は、円柱体５４５による揺動支持によってガイドレール２００の長手方向に垂直方向を揺動軸として揺動する。すなわち、揺動体５４４の揺動軸と支承板５４１の揺動軸とは、立体的に９０°に交差する。

背板側支承手段５５０は、前部支持装置４００の背板側支承手段４６０で説明した構成に同様であり、支承板５５１と、固定板５５２と、継手手段５５３と、を備えて構成されており、支承板５５１に刻設されたＶ溝５５１Ａと固定板５５２に刻設されたＶ溝５５２Ａとにてボール体５５４が挟持されている。

このような構成を備えるガイドレール装置１００の使用および作用について説明する。
まず、前部支持装置４００と、後部支持装置５００を定盤３の側面にセットする。このとき、フック部４１３をフランジ台部３２に引っ掛けてベース体４１０、５１０を定盤３に固定する。この際、所定の固定手段でベース体４１０、５１０を定盤３に固定するが、固定手段としては例えばねじ止めなどが挙げられる。

前部支持装置４００および後部支持装置５００を定盤３にセットした後、ガイドレール２００を前部支持装置４００および後部支持装置５００に載せる。前部支持装置４００に対しては、ガイドレール２００を接合ブロック４２２に接合して、さらに引付ばね４３０をガイドレール２００に取り付ける。そして、ガイドレール２００を台座側支承手段４５０の支承板４５１に載せるとともに、背板側支承手段４６０の支承板４６１でガイドレール２００の側面を支承する。このとき、調整ねじ４２８を調整することによりボール体４２５に掛ける予圧を調整して、ガイドレール２００を定盤３の一辺に対して平行な状態にアラインメント調整をする。ガイドレール２００のアラインメントが調整されたところで調整ねじ４２８を締めて揺動連結板４２６を固定する。

後部支持装置５００に対しては、引付ばね５２０をガイドレール２００に接合して、ガイドレール２００を台座側支承手段５４０の支承板５４１に載せるとともに、背板側支承手段５５０の支承板５５１でガイドレール２００の側面を支承する。すると、この状態で、ガイドレール２００は定盤３の側面に沿った位置で支持される。

定盤３に被測定物等を載置した場合には被測定物Ｗの重量により定盤３が変形されるおそれがある。また、定盤３の一辺側と他辺側との間で温度差が生じた場合などには、定盤３に湾曲などの変形が生じるおそれがある。すると、定盤３の変形に伴って前部支持装置４００や後部支持装置５００の位置や向きは、当初の状態から変わることになる。

ここで、ガイドレール２００は支承手段４４０、５３０によって支承された状態で支持装置（前部支持装置４００、後部支持装置５００）に載っている。そして、ガイドレール２００を支承している支承板４５１、４６１、５４１、５５１は、円柱体４５４、４５６やボール体４６３、５５４によって揺動支持されている。したがって、ベース体４１０、５１０の向きが変わった分だけ、支承板４５１、４６１、５４１、５５１が円柱体４５４、４５６やボール体４６４、５５４の揺動支持で揺動してベース体４１０、５１０の変化が吸収される。
例えば、台座側支承手段４５０において、支承板４５１は立体的に直交交差する円柱体４５４、４５６を揺動軸として揺動し、さらに、ピボット軸受（４５２Ａ、４５７Ｂ）を中心軸として回転する。さらに、支承板４５１は、各円柱体４５４、４５６の軸方向に沿ってスライドする。
また、台座側支承手段５４０において、支承板５４１は、半円凹部５４２Ａのカーブに沿って揺動するとともに、円柱体５４５を揺動軸として揺動する。
背板側支承手段４６０、５５０において、支承板４６１、５５１は、ボール体４６４、５５４を揺動支点として揺動するとともに、Ｖ溝４６１Ａ、４６２Ａ、５５１Ａ、５５２Ａに沿ってスライド移動する。

つまり、台座側支承手段４５０、５４０は、ベース体４１０、５１０に生じるいかなる向きの変化にも対応して支承板４５１、５４１を揺動させ、支承板４５１、５４１を水平に保つ。また、背板側支承手段４６０、５５０は、ベース体４１０、５１０に生じるいかなる向きの変化にも対応して支承板４６１、５５１を揺動させ、支承板４６１、５５１を鉛直に保つ。
すると、定盤３の変形に伴ってベース体４１０、５１０の位置や向きが変わっても、このような変化は支承板４５１、５４１、４６１、５５１の揺動によって相殺されてベース体４１０の向きの変化はガイドレール２００に伝えられず、ガイドレール２００は真直性を保って支持される。

また、環境に温度変化があると、定盤３の線膨張量とガイドレールの線膨張量とが異なってくる場合がある。ガイドレールは、前部支持装置４００には接合されているが、後部支持装置５００には接合されずに載せられているところ、定盤３とガイドレール２００とは互いに拘束されることなく伸縮する。すなわち、定盤３とガイドレール２００との伸縮分の差は後部支持装置５００の側で逃げられる。すると、ガイドレール２００に無理な力が作用することはなく、ガイドレール２００は真直の状態で支持される。
また、ガイドレール２００と定盤３とは互いに拘束されずに伸縮するが、ガイドレール２００の一端は前部支持装置４００に接合されているので、一端側では定盤３とガイドレール２００との相対位置が変化しない。すると、例えば、ガイドレール２００にスケール部材が貼設されている場合であっても定盤３に対する原点位置がずれることがない。

以上、このような構成を備えるガイドレール装置によれば、次の効果を奏することができる。
（１）ガイドレール２００は、支承手段４４０、５３０により支承されているので、定盤３に生じる変化は支承手段４４０、５３０の揺動によって相殺される。すると、ガイドレール２００には定盤３の変形が影響せず、その結果、ガイドレール２００の真直性が保たれる。

（２）ガイドレール２００は、前部支持装置４００に対しては接合手段４２０に接合されているが、後部支持装置５００には接合されていないので、定盤３とガイドレール２００とは互いに拘束されることなく伸縮可能である。よって、定盤３とガイドレール２００との伸縮の差があってもガイドレール２００には力が作用せず、ガイドレール２００の真直性が保たれる。

（３）ガイドレール２００は接合手段４２０によって前部支持装置４００に接合されているので、定盤３とガイドレール２００との相対位置は前部支持装置４００において固定される。よって、ガイドレール２００にスケール部材が貼設されているような場合であっても、スケール部材と定盤３との相対位置を固定して、原点ずれなどを防ぐことができる。

（４）このように、ガイドレール２００の真直性が保たれ、また、スケール部材の原点位置が保持される結果として、ガイドレール２００にスライド部材をスライド移動させるような駆動機構（駆動装置）の駆動速度を保ち、スケール部材を有する移動量検出器の検出精度を向上させ、さらには、駆動機構の位置決め精度を向上させることができる。

次に、本発明に係るガイドレールの支持装置の変形例について説明する。
変形例の基本的な構成は上記実施形態と同様であるが、変形例は、支承手段の構成に特徴を有する。
変形例における支承手段の構成を図７に示す。図７において、支承手段６００は、一面がガイドレール２００に当接する平坦面に形成された支承板６１０と、ベース体（４１０、５１０）に固定される固定板６２０と、固定板６２０に対して支承板６１０を揺動可能に連結する継手手段６３０と、を備えている。

継手手段６３０は、支承板６１０と固定板６２０との間に配設された連結板６３１と、連結板６３１と支承板６１０との間に挟持されるボール体６３２と、連結板６３１と固定板６２０との間に挟持されるボール体６３３と、を備えている。
支承板６１０および連結板６３１はそれぞれの対向面にＶ溝を有し、すなわち、支承板６１０はＶ溝６１１を有し、連結板６３１はＶ溝６３１Ａを有する。そして、ボール体６３２は、支承板６１０のＶ溝６１１と連結板６３１のＶ溝６３１Ａとに嵌合された状態で両側から挟持されている。
また、固定板６２０および連結板６３１はそれぞれの対向面にＶ溝を有し、すなわち、固定板６２０はＶ溝６２１を有し、連結板６３１はＶ溝６３１Ｂを有する。そして、ボール体６３３は、固定板６２０のＶ溝６２１と、連結板６３１のＶ溝６３１Ｂとに嵌合されて両側から挟持されている。
ここで、連結板６３１の上下面にそれぞれ刻設されたＶ溝６３１Ａ、６３１Ｂは、互いに９０°で立体交差する向きに形成されている。

このような構成において、連結板６３１は、ボール体６３３による揺動支持によって固定板６２０に対して揺動する。支承板６１０は、ボール体６３２による揺動支持により連結板６３１に対して揺動する。すなわち、支承板６１０は、継手手段６３０を介して固定板６２０に対して揺動する。
また、支承板６１０は、ボール体６３２に対してＶ溝６１１に沿ってスライド移動可能であり、連結板６３１は、ボール体６３３に対してＶ溝６３１Ｂに沿ってスライド可能である。すなわち、支承板は、固定板に対して前後左右にスライド移動可能である。
また、支承板６１０は、ボール体６３２を支点に回動可能であり、連結板６３１は、ボール体６３３を支点に回動可能である。

このような構成によれば、支承板６１０は、固定板６２０に対して揺動、スライドおよび回動可能である。この支承手段６００によりガイドレール２００を支承すれば、ベース体（４１０、５１０）の姿勢や位置の変化が支承板６１０の揺動、スライドおよび回動により相殺される。すると、ガイドレール２００には無理な力が作用することなく、ガイドレール２００は真直の状態を維持して支持される。
また、継手手段６３０による支承板６１０の揺動はボール体６３２、６３３による揺動支持によるので、揺動時の抵抗が小さい。その結果、ベース体（４１０、５１０）に生じた変化が支承板６１０の揺動によって十分に相殺され、ガイドレール２００に無理な力が掛かることがなく真直性が維持される。

なお、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
ガイドレール２００が真直である場合を例にして説明したが、ガイドレール２００はもともと曲がっていてもよい。本発明によれば、ガイドレール２００が真直でも湾曲していても、もともとの形状を歪ませないで支持できる。

上記実施形態で説明したガイドレール装置１００のガイドレール２００に可動部材をスライド移動可能に設けて駆動装置としてもよい。そして、駆動装置によって測定子を移動させるとともに、可動部材の移動量を検出する移動量検出器を設けて測定機としてもよい。このような測定機としては、背景技術で説明した三次元測定機が例示されるが、測定機は、三次元測定機に限られず、例えば、測定子を直線的に移動させる構成の測定機（例えば、表面粗さ測定機）などでもよい。

ガイドレール２００は、一つの前部支持装置４００と一つの後部支持装置５００とにて担持されるとして説明したが、例えば、後部支持装置５００は一つでなくても二つまたは三つ以上設けられてもよく、すなわち、ガイドレール２００の長さに応じて必要な数だけ設けれられればよい。
なお、上記実施形態のように、ガイドレール２００の底面は、前部支持装置４００に二つ設けられた台座側支承手段４５０、４５０と、後部支持装置５００の台座側支承手段５４０と、による３点で支承されれば十分であるが、３つ以上で支承してもよい。

ガイドレール２００は、定盤３の側面に付設されるとして説明したが、ガイドレール２００が設けられる位置は、定盤３の側面に限られず、定盤３の上面や下面であってもよい。

ベース体４１０、５１０は、台座部４１１、５１１が水平となるように定盤３に係着されるとしたが、台座部４１１、５１１および背板部４１２、５１２が斜め４５度の状態で配設されてもよい。そして、斜めに配設された状態のベース体４１０、５１０によって谷となる位置にガイドレール２００を受け入れるように配置してもよい。

本発明は、ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機に利用でき、例えば、三次元測定機のガイドレールを支持する支持装置として利用できる。

本発明のガイドレール装置に係る一実施形態を示す図である。 前記実施形態において、支持装置の概念図である。 前記実施形態において、前部支持装置の構成を示す図である。 前記実施形態において、接合手段の構成を示す図である。 前記実施形態において、前部支持装置における台座側支承手段の構成を示す図である。 前記実施形態において、後部支持装置の構成を示す図である。 本発明のガイドレール装置に係る変形例において、支承手段の構成を示す図である。 三次元測定装置において従来のガイドレールを示す図である。 従来のガイドレールが曲げられる様子を示す図である。

符号の説明

１…三次元測定機、２…測定子（検出子）、３…定盤（基台）、３１…テーブル面、３２…フランジ台部、４…駆動機構（駆動装置）、４１…ガイドレール、４１Ａ…溝、４２…ビーム支持体（可動部材）、４３…ビーム、４４…コラム、４５…スピンドル、１００…ガイドレール装置、２００…ガイドレール、３００…支持装置、４００…前部支持装置、４１０…ベース体、４１１…台座部、４１２…背板部、４１３…フック部、４２０…接合手段、４２１…固定ブロック（固定部）、４２２…接合ブロック（接合部）、４２３…接合継手手段、４２４…Ｖ溝、４２５…ボール体、４２６…揺動連結板、４２７…Ｖ溝、４２９…ナット、４３０…引付手段である引付ばね、４４０…支承手段、４５０…台座側支承手段、４５１…支承板、４５１Ａ…Ｖ溝、４５２Ａ…円錐凹部、４５２…固定板、４５３…継手手段、４５４…上側円柱体（第１円柱体）、４５５…上側連結板（第１連結板）、４５５Ａ…Ｖ溝、４５５Ｂ…Ｖ溝、４５６…下側円柱体（第２円柱体）、４５７…下側連結板（第２円柱体）、４５７Ｂ…円錐凸部、４５７Ａ…Ｖ溝、４６０…背板側支承手段、４６１…支承板、４６１Ａ…Ｖ溝、４６２…固定板、４６２Ｂ…Ｖ溝、４６３…ボール体（支承継手手段）、４６４…リテーナ、５００…後部支持装置、５１０…ベース体、５１１…台座部、５１２…背板部、５３０…支承手段、５４０…台座側支承手段、５４１…支承板、５４２…固定体、５４２Ａ…半円凹部、５４３…支承継手手段、５４４…揺動体、５４５…円柱体、５５０…背板側支承手段、５５１…支承板、５５１Ａ…Ｖ溝、５５２…固定板、５５２Ａ…Ｖ溝、５５３…支承継手手段、５５４…ボール体、６００…支承手段、６１０…支承板、６１１…Ｖ溝、６２０…固定板、６２１…溝、６３０…継手手段、６３１Ａ…Ｖ溝、６３１Ｂ…Ｖ溝、６３１…連結板、６３２…ボール体、６３３…ボール体、Ｗ…被測定物

Claims (7)

1. 可動部材を案内するガイドレールを基台に対して略定位置に保ちつつ支持する支持装置であって、
   前記ガイドレールの一端側を支持する前部支持装置と、前記ガイドレールの他の部分を支持する後部支持装置と、を備え、
   前記前部支持装置は、前記基台に固定されるとともに前記ガイドレールを担持するベース体と、前記基台および前記ガイドレールの少なくともいずれか一方に変形が生じた際に、変形が生じた側の変形を他の側に伝えることなく許容するように前記ガイドレールを支承する支承手段と、前記ガイドレールと前記ベース体とを前記ガイドレールの長手方向へ移動不可に接合する接合手段と、を備え、
   前記後部支持装置は、前記基台に固定されるとともに前記ガイドレールを担持するベース体と、前記基台および前記ガイドレールの少なくともいずれか一方に変形が生じた際に、変形が生じた側の変形を他の側に伝えることなく許容するように前記ガイドレールを支承する支承手段と、を備え、
   前記支承手段は、前記ガイドレールに当接して前記ガイドレールを支承する支承板と、前記ベース体に固定された固定板と、前記固定板に対して前記支承板を揺動可能に繋ぐ支承継手手段と、を備え、
   前記接合手段は、前記ベース体に固定された固定部と、前記ガイドレールに接合される接合部と、前記固定部と前記接合部との間に設けられ前記固定部に対して前記接合部を前記ガイドレールの長手方向へ移動不可かつ前記ガイドレールの長手方向に直交する面内で揺動可能に連結する接合継手手段と、を備える
   ことを特徴とするガイドレールの支持装置。
2. 請求項１に記載のガイドレールの支持装置において、
   前記支承手段は、前記ガイドレールを前記基台に対して揺動可能および進退可能に支承する
   ことを特徴とするガイドレールの支持装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のガイドレールの支持装置において、
   前記ベース体と前記ガイドレールとの間に介装されて前記ガイドレールを前記ベース体に向けて引き付ける引付手段と、を備える
   ことを特徴とするガイドレールの支持装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のガイドレールの支持装置において、
   前記ベース体は、このベース体が前記基台に固定された状態において水平状態となり前記ガイドレールを下から支える台座部、および、前記台座部の一端辺から連続して立ち上がって設けられ前記基台に固定される背板部を有し、
   前記支承手段は、前記台座部に設けられ前記ガイドレールを下支えする台座側支承手段と、前記背板部側において前記ガイドレールを支承する背板側支承手段と、を備える
   ことを特徴とするガイドレールの支持装置。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のガイドレールの支持装置と、
   このガイドレールの支持装置で支持されるガイドレールと、を備えたガイドレール装置。
6. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のガイドレールの支持装置と、
   このガイドレールの支持装置で支持されるガイドレールと、
   前記ガイドレールに沿って移動可能に設けられた可動部材と、を備えた駆動装置。
7. 被測定物を載置する前記基台としての定盤と、
   請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のガイドレールの支持装置と、
   このガイドレールの支持装置で支持されるガイドレールと、
   前記ガイドレールに沿って移動可能に設けられた可動部材と、
   前記可動部材によって移動されるとともに前記被測定物の表面を検出する検出子と、
   前記ガイドレールに対する前記可動部材の相対移動量を検出する移動量検出器と、
   前記検出子による前記被測定物表面の検出、および、前記移動量検出器による検出値に基づいて前記被測定物の形状を解析する解析部と、を備えた測定機。

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