JP2007335700A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】工数の削減、コストの低減化が図れる配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】金属箔62を支持基板60の基板面に剥離可能に積層する工程と、金属箔62上に、ビルドアップ法により絶縁層73を介して層間で配線パターン74が電気的に接続された積層体76を形成する工程と、該積層体76を、金属箔62と支持基板60との間で支持基板60から剥離する工程と、金属箔62をエッチングにより所要の配線パターン78に形成するフォトリソグラフィー工程とを具備することを特徴とする。
【選択図】図6
【解決手段】金属箔62を支持基板60の基板面に剥離可能に積層する工程と、金属箔62上に、ビルドアップ法により絶縁層73を介して層間で配線パターン74が電気的に接続された積層体76を形成する工程と、該積層体76を、金属箔62と支持基板60との間で支持基板60から剥離する工程と、金属箔62をエッチングにより所要の配線パターン78に形成するフォトリソグラフィー工程とを具備することを特徴とする。
【選択図】図6
Description
本発明は配線基板の製造方法に関し、より詳細には、コストの低減化が図れる配線基板の製造方法に関する。
図10〜図11は、従来の配線基板の製造方法の一例を示す工程図である(特開2004−235323号公報)。
図10(a)において、10は支持基板であり、樹脂板10aの表裏面に銅箔11が貼付された両面銅貼基板からなる。
この支持基板10の両面に、接着層40により、ダミー金属層41を接着し、さらにこのダミー金属層41を覆って、ダミー金属層41より大判の2層金属積層体43をその周縁部にて接着層40により支持基板10の基板面に接着する(図10(b))。2層金属積層体43は、銅層42の上に、銅のエッチング液によっては侵食されない、ニッケル、チタン、あるいはクロムの金属層42aを積層したものとする。
図10(a)において、10は支持基板であり、樹脂板10aの表裏面に銅箔11が貼付された両面銅貼基板からなる。
この支持基板10の両面に、接着層40により、ダミー金属層41を接着し、さらにこのダミー金属層41を覆って、ダミー金属層41より大判の2層金属積層体43をその周縁部にて接着層40により支持基板10の基板面に接着する(図10(b))。2層金属積層体43は、銅層42の上に、銅のエッチング液によっては侵食されない、ニッケル、チタン、あるいはクロムの金属層42aを積層したものとする。
次に、図10(c)に示すように、2層金属積層体43上に、ビルドアップ法により、絶縁層46を介して層間でビア48により配線パターン44が電気的に接続された積層体50を形成する。
次いで、図10(d)に示すように、ダミー金属層41の外周縁よりも内側位置で積層体50と支持基板10とを切断することにより、ダミー金属層41と2層金属積層体43との間で積層体50を剥離する。
次いで、図10(d)に示すように、ダミー金属層41の外周縁よりも内側位置で積層体50と支持基板10とを切断することにより、ダミー金属層41と2層金属積層体43との間で積層体50を剥離する。
次に図11(a)に示すように、2層金属積層体43の銅層42を金属層42aをバリア層としてエッチングして除去する。
次いで図11(b)に示すように、金属層42aをエッチングして除去する。
次に、積層体50を上下反転し(図11(c))、次いで、積層体50の表裏面にソルダーレジストによりパターン52を形成し(図11(d))、パターン52をマスクとして、露出している配線パターン44上に、ニッケルめっき、次いで金めっきを施して保護めっき層54を形成し(図11(e))、所要個所にはんだバンプ56を形成して配線基板に完成する(図11(f))。
次いで図11(b)に示すように、金属層42aをエッチングして除去する。
次に、積層体50を上下反転し(図11(c))、次いで、積層体50の表裏面にソルダーレジストによりパターン52を形成し(図11(d))、パターン52をマスクとして、露出している配線パターン44上に、ニッケルめっき、次いで金めっきを施して保護めっき層54を形成し(図11(e))、所要個所にはんだバンプ56を形成して配線基板に完成する(図11(f))。
ところで、上記従来の配線基板の製造方法では、最終的に2層金属積層体43はエッチングによって除去されてしまい、材料の無駄となり、それだけコスト高になり、また工数も増大するという課題がある。
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、工数の削減、コストの低減化が図れる配線基板の製造方法を提供するにある。
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、本発明に係る配線基板の製造方法は、支持基板の基板面上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成し、前記支持基板の基板面から、前記積層体を分離し、該積層体に所要の処理を施して、絶縁層を介して配線パターンが層間で電気的に接続された配線基板を形成する配線基板の製造方法において、金属箔を前記支持基板の基板面に剥離可能に積層する工程と、前記金属箔上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成する工程と、該積層体を、前記金属箔と前記支持基板との間で支持基板から剥離する工程と、前記金属箔をエッチングにより所要の配線パターンに形成するフォトリソグラフィー工程とを具備することを特徴とする。
すなわち、本発明に係る配線基板の製造方法は、支持基板の基板面上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成し、前記支持基板の基板面から、前記積層体を分離し、該積層体に所要の処理を施して、絶縁層を介して配線パターンが層間で電気的に接続された配線基板を形成する配線基板の製造方法において、金属箔を前記支持基板の基板面に剥離可能に積層する工程と、前記金属箔上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成する工程と、該積層体を、前記金属箔と前記支持基板との間で支持基板から剥離する工程と、前記金属箔をエッチングにより所要の配線パターンに形成するフォトリソグラフィー工程とを具備することを特徴とする。
また、前記支持基板の基板面に、接着層によりダミー金属層を接着し、該ダミー金属層を覆って、該ダミー金属層よりも大判に形成した前記金属箔を、該金属箔の周縁部において前記接着層により前記支持基板面に接着し、前記積層体を前記支持基板面から剥離する際には、前記ダミー金属層の外周縁よりも内側位置で前記積層体と支持基板とを切断することにより、前記ダミー金属層と前記金属箔との間で前記積層体を剥離することを特徴とする。
また本発明にかかる配線基板の製造方法では、支持基板の基板面上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成し、前記支持基板の基板面から、前記積層体を分離し、該積層体に所要の処理を施して、絶縁層を介して配線パターンが層間で電気的に接続された配線基板を形成する配線基板の製造方法において、金属箔を前記支持基板の表裏の基板面にそれぞれ剥離可能に積層する工程と、前記各金属箔上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成する工程と、該各積層体を、前記金属箔と前記支持基板との間で支持基板から剥離する工程と、前記金属箔をエッチングにより所要の配線パターンに形成するフォトリソグラフィー工程とを具備することを特徴とする。
また、前記支持基板の表裏の基板面に、接着層によりそれぞれダミー金属層を接着し、該各ダミー金属層を覆って、該ダミー金属層よりも大判に形成した前記金属箔を、該金属箔の周縁部において前記接着層により前記支持基板面に接着し、前記積層体を前記支持基板面から剥離する際には、前記ダミー金属層の外周縁よりも内側位置で前記積層体と支持基板とを切断することにより、前記ダミー金属層と前記金属箔との間で前記積層体を剥離することを特徴とする。
本発明では、支持基板上に剥離可能に積層した金属箔を、エッチングにより除去することなく積層体の配線パターンの1つとして加工して使用するので、無駄がなく、また工数の削減も図れ、コストの低減化を図れるという作用効果を奏する。また、支持基板上に作り込んで剥離するものであるため、薄型で高密度配線が可能な配線基板を効率よく製造できる。
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面と共に詳細に説明する。
図1〜図9は、本発明に係る配線基板の製造方法を示す説明図である。
まず図1に示すように、支持基板60の表裏面に金属箔62をそれぞれ剥離可能に積層する。
金属箔62は、厚さ18〜70μm程度の銅箔を用いる。
図1〜図9は、本発明に係る配線基板の製造方法を示す説明図である。
まず図1に示すように、支持基板60の表裏面に金属箔62をそれぞれ剥離可能に積層する。
金属箔62は、厚さ18〜70μm程度の銅箔を用いる。
支持基板60には、支持基板60に絶縁層やめっき層といったワーク(積層体)を形成し、搬送する際、取り扱い操作が容易に可能な保形性を備え、ワークに収縮や反り等の変形が生じることを抑える強度を備えている材料を選択する。本実施形態では、支持基板60には、0.3〜0.4mmの厚さのガラスクロス入りエポキシ樹脂基板を使用した。支持基板60は所要の強度を備えているものであれば、ガラスクロス入りエポキシ樹脂等の樹脂基板のみからなるものであっても良いし、樹脂基板以外に金属板のみから成るものであってもよい。
なお、支持基板60に対して金属箔62を剥離可能に積層するには、図2に示すようにすると好適である。
すなわち、支持基板60の表裏の基板面に、接着層67によりそれぞれダミー金属層68を接着し、各ダミー金属層68を覆って、ダミー金属層68よりも大判に形成した上記金属箔62を、その周縁部において接着層67により支持基板面に接着するのである。
すなわち、支持基板60の表裏の基板面に、接着層67によりそれぞれダミー金属層68を接着し、各ダミー金属層68を覆って、ダミー金属層68よりも大判に形成した上記金属箔62を、その周縁部において接着層67により支持基板面に接着するのである。
図2で太線によって描いたA線の部分が、ダミー金属層68と金属箔62が接着層67に接着している部位である。また、同図で破線Bによって示した部位は、金属箔62とダミー金属層68とが単に接触している部分を示す。したがって、ダミー金属層68の外周縁よりも内側位置となるC線の位置で、金属箔62、ダミー金属層68および支持基板60を切断することにより、ダミー金属層68と金属箔62を剥離するようにすることができる。なお、破線Bによって示した部位に空気が入り込まないように、これら積層工程は真空装置中で行うと好適である。
次に、図3に示すように、各金属箔62上に、ビルドアップ法により絶縁層73を介して層間で配線パターン74がビア75により電気的に接続された積層体76を形成する。
次いで、これら積層物を、図2に示すC線位置で切断することにより、図4に示すように、支持基板60から積層体76を剥離(分離)する。
こうして分離した積層体76の金属箔62を、図5に示すように、レジストパターン77を形成し、次いでこのレジストパターン77をマスクとしてエッチングをし、次にレジストパターン77を除去するといった一連のフォトリソグラフィー工程を行って、配線パターン78に加工する。
こうして分離した積層体76の金属箔62を、図5に示すように、レジストパターン77を形成し、次いでこのレジストパターン77をマスクとしてエッチングをし、次にレジストパターン77を除去するといった一連のフォトリソグラフィー工程を行って、配線パターン78に加工する。
次いで、図7に示すように、積層体76の表裏の配線パターン74、78の所要部位が露出するように積層体76の表裏面にソルダーレジスト層80を形成する。そして図8に示すように、露出した配線パターン74、78部分に、ニッケルめっきを下地とする金めっきを施して、保護めっき皮膜82を形成し、さらに、配線パターン78の側に外部接続用のはんだバンプ84を形成して配線基板86に完成する。
なお、配線基板86は、通常複数の基板を同時に作り込み、これを切断分離することによって、所望の配線基板を得る。
また、上記実施の形態では、支持基板60の表裏面に積層体76を形成するようにしたが、支持基板60の片面側にのみ積層体76を形成していくようにしてもよい。
また、上記実施の形態では、支持基板60の表裏面に積層体76を形成するようにしたが、支持基板60の片面側にのみ積層体76を形成していくようにしてもよい。
60 支持基板
62 金属箔
67 接着層
68 ダミー金属層
73 絶縁層
74 配線パターン
75 ビア
76 積層体
77 レジストパターン
78 配線パターン
80 ソルダーレジスト層
82 保護めっき層
84 はんだバンプ
86 配線基板
62 金属箔
67 接着層
68 ダミー金属層
73 絶縁層
74 配線パターン
75 ビア
76 積層体
77 レジストパターン
78 配線パターン
80 ソルダーレジスト層
82 保護めっき層
84 はんだバンプ
86 配線基板
Claims (4)
- 支持基板の基板面上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成し、前記支持基板の基板面から、前記積層体を分離し、該積層体に所要の処理を施して、絶縁層を介して配線パターンが層間で電気的に接続された配線基板を形成する配線基板の製造方法において、
金属箔を前記支持基板の基板面に剥離可能に積層する工程と、
前記金属箔上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成する工程と、
該積層体を、前記金属箔と前記支持基板との間で支持基板から剥離する工程と、
前記金属箔をエッチングにより所要の配線パターンに形成するフォトリソグラフィー工程とを具備することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記支持基板の基板面に、接着層によりダミー金属層を接着し、
該ダミー金属層を覆って、該ダミー金属層よりも大判に形成した前記金属箔を、該金属箔の周縁部において前記接着層により前記支持基板面に接着し、
前記積層体を前記支持基板面から剥離する際には、前記ダミー金属層の外周縁よりも内側位置で前記積層体と支持基板とを切断することにより、前記ダミー金属層と前記金属箔との間で前記積層体を剥離することを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。 - 支持基板の基板面上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成し、前記支持基板の基板面から、前記積層体を分離し、該積層体に所要の処理を施して、絶縁層を介して配線パターンが層間で電気的に接続された配線基板を形成する配線基板の製造方法において、
金属箔を前記支持基板の表裏の基板面にそれぞれ剥離可能に積層する工程と、
前記各金属箔上に、ビルドアップ法により絶縁層を介して層間で配線パターンが電気的に接続された積層体を形成する工程と、
該各積層体を、前記金属箔と前記支持基板との間で支持基板から剥離する工程と、
前記金属箔をエッチングにより所要の配線パターンに形成するフォトリソグラフィー工程とを具備することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記支持基板の表裏の基板面に、接着層によりそれぞれダミー金属層を接着し、
該各ダミー金属層を覆って、該ダミー金属層よりも大判に形成した前記金属箔を、該金属箔の周縁部において前記接着層により前記支持基板面に接着し、
前記積層体を前記支持基板面から剥離する際には、前記ダミー金属層の外周縁よりも内側位置で前記積層体と支持基板とを切断することにより、前記ダミー金属層と前記金属箔との間で前記積層体を剥離することを特徴とする請求項3記載の配線基板の製造方法。
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