JP2007320124A - 被加工脆性板の切断装置および切断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザー切断装置1は、被加工脆性板50を保持する保持機構26,27およびこの保持機構26,27によって保持された被加工脆性板50に当接することによって被加工脆性板50を支持する支持部21,22を含む載置台20Aと、載置台20A上に載置された被加工脆性板50を切断する切断機構11〜15とを備える。保持機構26,27は、自身が変形することによって被加工脆性板50を保持するパッド式吸着保持部からなる。
【選択図】図2
Description
図2は、本発明の実施の形態1における被加工脆性板の切断装置の構成を示した模式図であり、図3は、図2に示す載置台の上面図である。なお、図2において示す載置台の断面は、図3に示すII−II線に沿ったものである。以下においては、これらの図を参照して、本実施の形態におけるレーザー切断装置の構成について説明する。
図8ないし図11は、本発明の実施の形態2における被加工脆性板の切断装置および切断方法を説明するための図である。なお、図8(A)、図9ないし図11は、本実施の形態における切断装置の載置台の上面図であり、図8(B)は、図8(A)に示すVIIIB−VIIIB線に沿った載置台の断面図である。以下においては、これらの図を参照して、本実施の形態における被加工脆性板の切断装置および切断方法について説明する。なお、上述の実施の形態1における被加工脆性板の製造装置と同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
Claims (8)
- 被加工脆性板を切断するための切断装置であって、
被加工脆性板を保持する保持機構および前記保持機構によって保持された被加工脆性板に当接することによって被加工脆性板を支持する支持部を含む載置台と、
前記載置台上に載置された被加工脆性板を切断する切断機構とを備え、
前記保持機構は、自身が変形することによって被加工脆性板を保持するパッド式吸着保持部を含んでいる、被加工脆性板の切断装置。 - 前記支持部は、被加工脆性板に接触する部位にクッション部を有している、請求項1に記載の被加工脆性板の切断装置。
- 前記保持機構は、前記パッド式吸着保持部の吸着面を水平面に対して所定の角度にまで傾斜可能とする角度可変機構を含んでいる、請求項1または2に記載の被加工脆性板の切断装置。
- 前記保持機構は、前記パッド式吸着保持部を昇降させる昇降機構を含み、
前記昇降機構は、前記パッド式吸着保持部を前記載置台の内部に収容可能にする、請求項1から3のいずれかに記載の被加工脆性板の切断装置。 - 前記パッド式吸着保持部は、前記載置台に複数配置され、
前記切断機構による被加工脆性板の切断の際に、被加工脆性板を保持するパッド式吸着保持部が選択的に切り換え可能である、請求項1から4のいずれかに記載の被加工脆性板の切断装置。 - 前記切断機構は、被加工脆性板の切断予定領域にレーザーを照射することにより被加工脆性板を切断するレーザー切断機構である、請求項1から5のいずれかに記載の被加工脆性板の切断装置。
- 被加工脆性板を切断するための切断装置であって、
被加工脆性板を保持する保持機構および前記保持機構によって保持された被加工脆性板に当接することによって被加工脆性板を支持する支持部を含む載置台と、
前記載置台上に載置された被加工脆性板を切断する切断機構とを備え、
前記保持機構は、気流を用いて被加工脆性板を保持する気流式吸着保持部を含んでいる、被加工脆性板の切断装置。 - 載置台に載置された被加工脆性板を切断機構を用いて切断する被加工脆性板の切断方法であって、
前記載置台に配置された複数のパッド式吸着保持部のうち、被加工脆性板を保持するパッド式吸着保持部を順次選択的に切り換え、これにより被加工脆性板の保持されている領域を順次切り換えつつ前記切断機構による被加工脆性板の切断を行なうことを特徴とする、被加工脆性板の切断方法。
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