JPH0312948A - 基板ホルダ - Google Patents

基板ホルダ

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JPH0312948A
JPH0312948A JP1146770A JP14677089A JPH0312948A JP H0312948 A JPH0312948 A JP H0312948A JP 1146770 A JP1146770 A JP 1146770A JP 14677089 A JP14677089 A JP 14677089A JP H0312948 A JPH0312948 A JP H0312948A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、集積回路やプリント配線板製造用の露光装
置等において基板を保持するために用いられる基板ホル
ダに関するものである。
［従来の技術］ 集積回路やプリント配線板を製造する際に用いられる露
光装置においては、基板のそりやねしれを矯正して基板
表面を焦平面に合致させた状態で保持するための基板ボ
ルタか必要である。また、露光装置以外にも例えは、プ
リント配線板製造用のスクリーン印刷機等においても版
と基板表面の間隔を一定の距離に設定するために基板表
面を所定の平面に合致させた状態で基板を保持する必要
がある。
第４図Ａ、Ｂは従来のこの種の基板ホルダをボず平面図
及び側面図である。図において、基板ホルタの基板載置
面２０１は平面度良く加工されており、真空吸着用の溝
２０３が設けられている。
そして、この溝２０３は配管部材２０７を介して吸引手
段（図示せず）に連通されており、載置された基板２０
２は吸引手段によって基板載置面２０１上に吸着される
ことによりそり等か矯正された状態で保持される。
［発明が解決しようとする課題］ しかし、上記のような従来の基板ホルダにおいては、基
板のそりやねしれか大きい場合、特に周辺部が載置面か
ら浮き上がるようにそっているような場合は、周辺部か
ら空気が漏れてしまうため基板を真空吸着することかて
きないという問題があった。また、基板か載置面上に固
定されたとしても、周辺部のそりが矯正されずに基板の
周辺部が焦平面から外れた状態で露光がなされると、基
板上に適正な画像か形成されず不良品を製造することに
なってしまう。
この発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、基
板のそりが大きい場合でもそりを矯正した状態て基板保
持することのてきる基板ボルダを提供することを目的と
するものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明の基板ボルタは、基板が載置される載置面てあっ
て溝又は孔の開口部を有する載置面と、この載置面に設
けられた溝又は孔の開口部と連通され、前記基板を前記
載置面上に吸着固定する吸引手段とを備えた基板ホルダ
であって、前記課題の達成のために、前記載置面の基板
周辺部が載置される領域に、前記吸引手段に連通された
吸着口を表面に有し載置面と直交する方向に変位可能な
吸着部材か、載置面から吸着口を突出させた状態で配置
された基板ホルダである。
［作用］ 本発明の基板ホルダにおいては、基板の周辺部が載置さ
れる領域に載置面と直交する方向に変位可能な吸着部材
が、吸着口を載置面から突出させた状態で配置されてお
り、基板のそりが大きい場合ても吸着部材の吸着口が基
板周辺部裏面に接触する。そして、基板を吸着した状態
て、吸着部材か基板載置面と吸着口表面とかほぼ一致す
る位置まで後退（埋没）すると、基板周辺部裏面が載置
面に接し吸着溝（孔）の周囲が閉止された状態となる。
しかる後、吸Ｓ溝（孔）からホルダの基板載置面と基板
との間にある空気を吸引ずれは、周辺部から空気が漏れ
ることなく基板全体か載置面上に吸着固定されることに
なる。これにより、基板表面は配置面と同等の平面度（
基板自体の厚さのばらつきや表面の凹凸等による誤差は
ある）で保持されることになる。
［実施例］ 第１図Ａは本発明実施例による基板ホルダの模式的な平
面図及び側面図である。図において、基板ボルダの基板
配着面１には吸着溝３かほぼ均等に配置されており、こ
の吸着溝３は配管部イΔ７を介して吸引手段９に連通さ
れている。また、載置面１の基板２周辺部か載置される
領域（本実施例では載置面の４隅）には、載置面１と直
交する方向に変位可能な吸着部材４（詳細後述）が吸着
口を載置面から突出さぜた状態で配置されており、この
吸着部材４の吸着口も配管部材７を介して吸引手段９に
連通されている。
このような構成の基板ホルダにおいては、ます載置面１
から突出している吸着部材４ににって載置面１から浮き
上かっている基板２周辺部が吸着され、その状態で吸着
部材４か下方に後退することにより浮き上がっていた基
板２の周辺部が載置面１上まで引き下げられる。この状
態で、吸引溝３から基板２と載置面１の間にある空気が
吸引手段９によって引き込まれると基板２全体が載置面
１に密着固定される。
次に、本実施例における吸着部材４の構造及び動作につ
いて第２図Ａ、Ｂを用いてより具体的に説明する。吸着
部材４は載置面１に開口部を有する取イ」り孔内に配設
されており、表面に吸着口５を備えている。この吸着口
５は、シリコンゴム等からなる中空の弾性部材６及び配
管部材７を介して吸引手段（第２図では図示せず）と連
通されている。弾性部材６は側壁断面形状がヘローズ状
になっており軸方向に圧縮可能な形状（図に示された形
状に限らず、載置面と平行な方向に剛性が高く、載置面
と直交する方向に剛性が低い形状であれは良い）をなし
ている。
このような構造の吸着部材４は、吸着前の状態（第２図
Ａ）ては吸着口５は基板載置面１ａから突出しており載
置面１ａから浮き上っている基板２周辺部の裏面に接し
ている。そして、吸引手段により弾性部材６内部の空気
か引き込まれると、基板２が吸着口５に吸着されるとと
もに弾性部月６は大気圧によって軸方向（載置面と直交
する方向）に押しつぶされる。これにより吸着口５か下
方に後退し、吸着された基板２か載置面と接する位置ま
で引き下げられることになる。
第３図Ａ、Ｂは、本発明におりる更に別の吸着部材の例
を示した断面図である。第３図の例では、吸着部材１０
４は載置面１０１に設けられた凹部に配設されており、
吸着口１０５は直接配管部材１０７に接続されている。
そして、吸着口１０５の鍔部と凹部底面の間にはハネ部
月１０８か介装されており、吸着口１０５と接続された
配管部材１０７には吸着口１０５を下方へ引き下げるた
めの位置変動手段（図示せず）か取イ」りられている。
このような構造の吸着部オΔては、吸着前（第３図Ａ）
においては吸着口１０５が載置面から突出した状態（バ
ネ部月１０８が伸びた状態）となっており、吸引手段に
よって基板２が吸着されると、位置変動手段によって吸
着口１０５が下方に引き下げられ（はね部材１０８か圧
縮される）、吸着口１０５表面と基板載置面１０１が一
致したところで位置変動手段が固定され、基板が載置面
１０１に接した状態て保持される。そして露光等の動作
が終了した後には、位置変動手段が開放さればね部材１
０８か復元して再び吸着口１０５は載置面１０１から突
出した状態となる。
以上説明したようにして、本実施例では載置面から浮き
上がっている基板周辺部か吸着部材によって吸着されて
載置面まで引き下げられ、そりの大きい基板であっても
そりを矯正した状態で載置面に真空吸着することができ
る。
２ｔお、上記の実施例ては吸着部材が下方にのみ変位す
るようになっているが、基板のそりの程度のばらつきが
大きい場合には吸着部材を上方にも変位させるようにし
ても良い。また、吸着部材のみを変位させるたりてなく
、吸着部材の高さ位置は固定したまま載置面の吸着溝形
成領域を配置面と直交する方向に変位可能に構成しても
良い。また、本発明にかかる吸着部材は周辺部たりでな
く中央部にも配置しても良いことは言うまても１１く、
基板の形状、大きさ、そりの傾向等に応して適宜配置数
、設置箇所を選択ずれば良い。
更に、上記に説明した基板ホルダにおいては基板の吸着
を真空吸着によって行なっているが、例えは電子線荷電
粒子等を用いた静電描画装置のように真空吸着が適応で
きない場合は、例えば静電吸着によって基板を吸着する
ことができる。
また、吸着溝３及び吸着部制４は共に配管部材７を介し
て吸引手段９に連通されているが、吸着溝３及び吸着部
材４をそれぞれ異なる吸引手段に連通させるように構成
しても良いことは明かである。
［発明の効果］ 以上のように、本発明の基板ホルダにおいては、基板周
辺部が載置される領域に、載置面と直交する方向に変位
可能な吸着部月が載置面から吸着口を突出させた状態で
配置されているので、基板周辺部が載置面から浮き上か
っているような場合ても何等支障なく基板を載置面に密
着固定することができる。
かかる基板ホルダを集積回路やプリント配線板製造用の
露光装置や印刷装置に用いれば、大型の基板や前工程で
熱履歴を経ている基板を扱う場合のように基板のそりか
大きい場合でも、そりを矯正した状態で基板を保持する
ことができるので、基板のそりによって製造工程が乱れ
たり不良品が発生したりすることを回避することができ
、微細パターンを効率良く形成する上て非常に有益であ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図Ａ、Ｂは本発明の実施例を示す模式的な平面図及
び側面図、第２図Ａ、Ｂは本発明実施例におりる吸着部
材の構造及び動作を説明する断面図、第３図Ａ、Ｂは吸
着部材の更に別の例の構造及び動作を説明する断面図、
第４図Ａ、Ｂは従来例を説明する平面図及び側面図であ
る。 ［主要部分の符号の説明コ １．１０１・・・載置面 ２１０２・・・基板 ３・・・・・・・・・・・・・・・吸着溝４・・・・・
・・・・・・・・・・吸着部材５．１０５・・・吸着口 ６・・・・・・・・・・・・・・・弾性部材７．１０７
・・・配管部材 １０８・・・ばね部材

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）基板が載置される載置面であって溝又は孔の開口
    部を有する載置面と、該載置面に設けられた溝又は孔の
    開口部と連通され、前記基板を前記載置面上に吸着固定
    する吸引手段とを備えた基板ホルダにおいて、 前記載置面の前記基板の周辺部が載置される領域に、前
    記吸引手段に連通された吸着口を表面に有するとともに
    前記載置面と直交する方向に変位可能な吸着部材が、前
    記載置面から前記吸着口を突出させた状態で配置された
    こと特徴とする基板ホルダ。
  2. （２）前記吸着部材の吸着口が、前記載置面と直交する
    方向に圧縮可能な中空部材を介して前記吸引手段と連通
    されたことを特徴とする請求項１記載の基板ホルダ。
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