JP2007307662A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】、小型化を図りつつ、高精度に質量部の挙動を検知し、質量部の挙動を所望のものとすることができるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ1は、弾性部(第1の弾性部26、27、第2の弾性部28、29)を捩れ変形させながら、質量部(第1の質量部21、22、第2の質量部25)を回動させるように構成されたものであって、第2の弾性部28、29は、その少なくとも一部に、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28、29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部281、282、291、292を備え、曲げ変形部281、282、291、292上に設けられたピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化に基づいて、第2の質量部25の挙動を検知する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のアクチュエータ1は、弾性部(第1の弾性部26、27、第2の弾性部28、29)を捩れ変形させながら、質量部(第1の質量部21、22、第2の質量部25)を回動させるように構成されたものであって、第2の弾性部28、29は、その少なくとも一部に、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28、29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部281、282、291、292を備え、曲げ変形部281、282、291、292上に設けられたピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化に基づいて、第2の質量部25の挙動を検知する。
【選択図】図1
Description
本発明は、アクチュエータに関するものである。
例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、捩り振動子で構成されたアクチュエータを用いたものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
特許文献1には、1自由度振動系の捩り振動子を備えるアクチュエータが開示されている。このようなアクチュエータは、1自由度振動系の捩り振動子として、質量部をその両側で捩りバネにより支持した構造を有している。そして、質量部上には光反射性を有する光反射部が設けられており、捩りバネを捩れ変形させながら質量部を回動駆動させて、光反射部で光を反射し走査する。これにより、光走査により描画を行うことができる。
特許文献1には、1自由度振動系の捩り振動子を備えるアクチュエータが開示されている。このようなアクチュエータは、1自由度振動系の捩り振動子として、質量部をその両側で捩りバネにより支持した構造を有している。そして、質量部上には光反射性を有する光反射部が設けられており、捩りバネを捩れ変形させながら質量部を回動駆動させて、光反射部で光を反射し走査する。これにより、光走査により描画を行うことができる。
特に、特許文献1にかかるアクチュエータにあっては、直線状をなす捩りバネ上にその長手方向に沿って、歪ゲージが形成されている。そして、捩りバネを捩れ変形させながら質量部を回動させ、歪ゲージの抵抗値の変化量に基づき、質量部の回動角を検知する。このような検知結果に基づいて質量部を回動駆動することにより、質量部の挙動を所望のものとすることができる。このとき、歪ゲージの抵抗値の変化は捩りバネの捩れ変形に伴うせん断応力によるものである。
しかしながら、特許文献1にかかるアクチュエータでは、前述したように直線状をなす捩りバネ上に歪ゲージを設けているため、せん断応力を検出するタイプの歪ゲージを用いると、1つの歪ゲージにつき電極端子が4つとなり、配線が複雑になってしまい、捩れバネの幅を細く形成するのが難しくなる。その結果、デバイス全体の形状が大きくなってしまうことがある。
本発明の目的は、小型化を図りつつ、高精度に質量部の挙動を検知し、質量部の挙動を所望のものとすることができるアクチュエータを提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、少なくとも1つの質量部と、
前記質量部を回動可能とするように支持する少なくとも1つの弾性部と、
前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、
前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、
前記挙動検知手段の検知結果に基づいて、前記駆動手段を作動させることにより、前記弾性部を捩れ変形させながら、前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記弾性部は、その少なくとも一部に、前記質量部の回動中心軸に対し直角な方向成分をもって延在し、前記弾性部全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を備え、
前記挙動検知手段は、前記曲げ変形部上に設けられたピエゾ抵抗素子を備え、該ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化に基づいて、前記質量部の挙動を検知するように構成されていることを特徴とする。
これにより、弾性部の捩れ変形量に対するピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量を大きくすることができる。そのため、質量部の回動角が小さくても、ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量を大きくすることができる。その結果、挙動検知手段の検知精度や検知感度を向上させ、小型化を図りつつ、質量部の挙動を高精度に検知して、質量部の挙動を所望のものとすることができる。
本発明のアクチュエータは、少なくとも1つの質量部と、
前記質量部を回動可能とするように支持する少なくとも1つの弾性部と、
前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、
前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、
前記挙動検知手段の検知結果に基づいて、前記駆動手段を作動させることにより、前記弾性部を捩れ変形させながら、前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記弾性部は、その少なくとも一部に、前記質量部の回動中心軸に対し直角な方向成分をもって延在し、前記弾性部全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を備え、
前記挙動検知手段は、前記曲げ変形部上に設けられたピエゾ抵抗素子を備え、該ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化に基づいて、前記質量部の挙動を検知するように構成されていることを特徴とする。
これにより、弾性部の捩れ変形量に対するピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量を大きくすることができる。そのため、質量部の回動角が小さくても、ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量を大きくすることができる。その結果、挙動検知手段の検知精度や検知感度を向上させ、小型化を図りつつ、質量部の挙動を高精度に検知して、質量部の挙動を所望のものとすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記質量部として、1対の第1の質量部と、該1対の質量部間に設けられた第2の質量部とを有するとともに、前記弾性部として、各前記第1の質量部を回動可能とするように支持する1対の第1の弾性部と、各前記第1の質量部と前記第2の質量部とを連結し、前記第2の質量部を回動可能とするように支持する1対の第2の弾性部とを有し、前記駆動手段の作動により、前記第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、これに伴い、前記第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させるように構成されていることが好ましい。
これにより、本発明を2自由度振動系のアクチュエータに適用することができる。
これにより、本発明を2自由度振動系のアクチュエータに適用することができる。
本発明のアクチュエータでは、各前記第1の質量部は、前記回動中心軸からの遠位側の両端部に、それぞれ、櫛歯状電極部が設けられ、前記駆動手段は、前記質量部の各前記櫛歯状電極部に間隙を隔てて噛み合うように、固定配置された櫛歯状電極部を備える電極を有し、前記電極の前記櫛歯状電極部と前記質量部の前記櫛歯状電極部との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、前記第1の質量部を回動させることが好ましい。
これにより、平行平板型の電極を用いて第1の質量部を回動するものに比し、第1の質量部の回動角を大きくし、これに伴って、第2の質量部の回動角を大きくすることができる。
これにより、平行平板型の電極を用いて第1の質量部を回動するものに比し、第1の質量部の回動角を大きくし、これに伴って、第2の質量部の回動角を大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記曲げ変形部は、各前記第2の弾性部に設けられていることが好ましい。
2自由度振動系のアクチュエータは、一般に、第2の質量部の回動角が第1の質量部の回動角よりも大きく、第2の弾性部の変形量は第1の弾性部の変形量よりも大きい。そのため、第2の弾性部に曲げ変形部を設けると、ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量の幅を大きくすることができる。その結果、挙動検知手段の検知精度や検知感度をより優れたものとすることができる。
2自由度振動系のアクチュエータは、一般に、第2の質量部の回動角が第1の質量部の回動角よりも大きく、第2の弾性部の変形量は第1の弾性部の変形量よりも大きい。そのため、第2の弾性部に曲げ変形部を設けると、ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量の幅を大きくすることができる。その結果、挙動検知手段の検知精度や検知感度をより優れたものとすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記弾性部は、その途中から分岐した2つの分岐部を有し、各前記分岐部は、前記質量部の回動中心軸を介して対向する位置で前記質量部に接続されるとともに、前記分岐部の少なくとも一部が前記曲げ変形部を構成することが好ましい。
これにより、弾性部から質量部へ捩りモーメントが質量部の回動中心軸から離れた位置で伝達されるので、駆動時の弾性部の横断面形状の変化に伴う質量部の撓みを抑えるとともに、質量部の慣性力による撓みを抑えることができる。
これにより、弾性部から質量部へ捩りモーメントが質量部の回動中心軸から離れた位置で伝達されるので、駆動時の弾性部の横断面形状の変化に伴う質量部の撓みを抑えるとともに、質量部の慣性力による撓みを抑えることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記分岐部は、その途中に、前記弾性部から前記質量部に伝達される捩りモーメントを緩衝させる緩衝部を有していることが好ましい。
これにより、曲げ変形部の曲げ変形量を大きくするとともに、弾性部から質量部に伝達される捩りトルクを緩衝部で低減して、駆動時の分岐部の撓みに伴う質量部の撓みも抑えることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部は、前記弾性部の前記分岐部以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されていることが好ましい。
これにより、弾性部の捩れ変形に対する質量部の追従性を良好なものとしつつ、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
これにより、曲げ変形部の曲げ変形量を大きくするとともに、弾性部から質量部に伝達される捩りトルクを緩衝部で低減して、駆動時の分岐部の撓みに伴う質量部の撓みも抑えることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部は、前記弾性部の前記分岐部以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されていることが好ましい。
これにより、弾性部の捩れ変形に対する質量部の追従性を良好なものとしつつ、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部の横断面積は、前記弾性部の前記分岐部以外の部分の横断面積よりも小さいことが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部は、複数回折れ曲がるように形成された折曲部であることが好ましい。
これにより、アクチュエータの製造時に、比較的簡単に、緩衝部を形成することができる。
これにより、比較的簡単な構成で、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部は、複数回折れ曲がるように形成された折曲部であることが好ましい。
これにより、アクチュエータの製造時に、比較的簡単に、緩衝部を形成することができる。
本発明のアクチュエータでは、各前記分岐部は、前記質量部の前記回動中心軸と該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側の部分に接続されていることが好ましい。
これにより、より確実に、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
これにより、より確実に、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記弾性部は、その途中に、複数回折れ曲がるように形成された折曲部を有し、該折曲部の少なくとも一部が前記曲げ変形部を構成することが好ましい。
これにより、弾性部の長さを抑えつつ、弾性部のバネ定数を小さくすることができる。その結果、質量部の回動角を大きくして、質量部の挙動を所望のものとすることができる。
これにより、弾性部の長さを抑えつつ、弾性部のバネ定数を小さくすることができる。その結果、質量部の回動角を大きくして、質量部の挙動を所望のものとすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記ピエゾ抵抗素子は、前記曲げ変形部の部分のうち、前記質量部の回動に伴う曲げ変形量の最も大きい部分上に設けられていることが好ましい。
これにより、弾性部の変形量や質量部の回動角に対するピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量をより大きくして、挙動検知手段の検知精度や検知感度を向上させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、本発明のアクチュエータを光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに適用することができる。
これにより、弾性部の変形量や質量部の回動角に対するピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化量をより大きくして、挙動検知手段の検知精度や検知感度を向上させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、本発明のアクチュエータを光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに適用することができる。
以下、本発明のアクチュエータの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
<第1実施形態>
まず、本発明のアクチュエータの第1実施形態を説明する。
図1は、本発明のアクチュエータの第1実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1中のB−B線断面図、図4は、図1に示すアクチュエータの第2の質量部および第2の弾性部を示す部分拡大斜視図、図5は、図1に示すアクチュエータの制御系の概略構成を示す図、図6は、図1に示すアクチュエータにおける第2の質量部の挙動検出を説明するための図、図7は、図1に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図、図8は、図1に示すアクチュエータの駆動電圧として交流電圧を用いた場合における交流電圧の周波数と、第1の質量部および第2の質量部のそれぞれの振幅との関係を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図1中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2中および図3中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
<第1実施形態>
まず、本発明のアクチュエータの第1実施形態を説明する。
図1は、本発明のアクチュエータの第1実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1中のB−B線断面図、図4は、図1に示すアクチュエータの第2の質量部および第2の弾性部を示す部分拡大斜視図、図5は、図1に示すアクチュエータの制御系の概略構成を示す図、図6は、図1に示すアクチュエータにおける第2の質量部の挙動検出を説明するための図、図7は、図1に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図、図8は、図1に示すアクチュエータの駆動電圧として交流電圧を用いた場合における交流電圧の周波数と、第1の質量部および第2の質量部のそれぞれの振幅との関係を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図1中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2中および図3中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
アクチュエータ1は、図1ないし図3に示すような2自由度振動系を有する基体2と、この基体2を支持する支持基板3とを有している。
基体2は、1対の第1の質量部(駆動部)21、22と、1対の支持部23、24と、第2の質量部(可動部)25と、1対の第1の弾性部26、27と、1対の第2の弾性部28、29と、1対の電極32、33とを備えている。
基体2は、1対の第1の質量部(駆動部)21、22と、1対の支持部23、24と、第2の質量部(可動部)25と、1対の第1の弾性部26、27と、1対の第2の弾性部28、29と、1対の電極32、33とを備えている。
このようなアクチュエータ1にあっては、1対の電極32、33に電圧を印加することにより、1対の第1の弾性部26、27を捩れ変形させながら1対の第1の質量部21、22を回動させ、これに伴って、1対の第2の弾性部28、29を捩れ変形させながら第2の質量部25を回動させる。このとき、1対の第1の質量部21、22および第2の質量部25は、それぞれ、図1に示す回動中心軸Xを中心にして回動する。
1対の第1の質量部21、22は、それぞれ、板状をなし、互いにほぼ同一寸法でほぼ同一形状をなしている。
また、第1の質量部21の平面視にて回動中心軸Xに直角な方向での両端部(回動中心軸Xからの遠位側の両端部)には、櫛歯状をなす櫛歯状電極部211、212が設けられている。これと同様に、第1の質量部22の平面視にて回動中心軸Xに直角な方向での両端部(回動中心軸Xからの遠位側の両端部)には、櫛歯状をなす櫛歯状電極部221、222が設けられている。
また、1対の質量部21、22の間には、第2の質量部25が設けられており、1対の質量部21、22は、図1における平面視にて、第2の質量部25を中心として、ほぼ左右対称となるように設けられている。
また、第1の質量部21の平面視にて回動中心軸Xに直角な方向での両端部(回動中心軸Xからの遠位側の両端部)には、櫛歯状をなす櫛歯状電極部211、212が設けられている。これと同様に、第1の質量部22の平面視にて回動中心軸Xに直角な方向での両端部(回動中心軸Xからの遠位側の両端部)には、櫛歯状をなす櫛歯状電極部221、222が設けられている。
また、1対の質量部21、22の間には、第2の質量部25が設けられており、1対の質量部21、22は、図1における平面視にて、第2の質量部25を中心として、ほぼ左右対称となるように設けられている。
第2の質量部25は、板状をなし、その板面に光反射部251が設けられている。これにより、アクチュエータ1を光スキャナ、光アッテネータ、光スイッチなどの光デバイスに適用することができる。
このような第1の質量部21、22および第2の質量部25にあっては、第1の質量部21、22が第1の弾性部26、27を介して支持部23、24に接続され、第2の質量部25が第2の弾性部28、29を介して第1の質量部21、22に接続されている。
このような第1の質量部21、22および第2の質量部25にあっては、第1の質量部21、22が第1の弾性部26、27を介して支持部23、24に接続され、第2の質量部25が第2の弾性部28、29を介して第1の質量部21、22に接続されている。
第1の弾性部26は、第1の質量部21を支持部23に対して回動可能とするように、第1の質量部21と支持部23とを連結している。これと同様に、第1の弾性部27は、第1の質量部22を支持部24に対して回動可能とするように、第1の質量部22と支持部24とを連結している。
第2の弾性部28は、第2の質量部25を第1の質量部21に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部21とを連結している。これと同様に、第2の弾性部29は、第2の質量部25を第1の質量部22に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部22とを連結している。
第2の弾性部28は、第2の質量部25を第1の質量部21に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部21とを連結している。これと同様に、第2の弾性部29は、第2の質量部25を第1の質量部22に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部22とを連結している。
本発明にかかるアクチュエータ1では、第2の弾性部28は、その途中から分岐した2つの分岐部281、282を有している。これと同様に、第2の弾性部29は、その途中から分岐した2つの分岐部291、292を有している。
このような各分岐部281、282は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形するもの(曲げ変形部)である。これと同様に、各分岐部291、292は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形するもの(曲げ変形部)である。
このような各分岐部281、282は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形するもの(曲げ変形部)である。これと同様に、各分岐部291、292は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形するもの(曲げ変形部)である。
各分岐部281、282、291、292は、第2の質量部25の回動中心軸Xを介して対向する位置で第2の質量部25に接続されている。より具体的には、各分岐部281、282、291、292は、第2の質量部25の回動中心軸Xと該回動中心軸Xからの遠位端との中間点より前記遠位端側で、第2の質量部25に接続されている。
各分岐部281、282、291、292は、図4に示すように、その途中に弾性部28の他の部分よりも肉薄な肉薄部を有し、この肉薄部が、第2の弾性部28、29から第2の質量部25に伝達される捩りトルクを緩衝させる緩衝部を構成する。
すなわち、各分岐部281、282、291、292は、その途中に、第2の弾性部28、29から第2の質量部25に伝達される捩りトルクを緩衝させる緩衝部を有する。この緩衝部は、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されている。
各分岐部281、282、291、292は、図4に示すように、その途中に弾性部28の他の部分よりも肉薄な肉薄部を有し、この肉薄部が、第2の弾性部28、29から第2の質量部25に伝達される捩りトルクを緩衝させる緩衝部を構成する。
すなわち、各分岐部281、282、291、292は、その途中に、第2の弾性部28、29から第2の質量部25に伝達される捩りトルクを緩衝させる緩衝部を有する。この緩衝部は、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されている。
本実施形態では、このように、緩衝部(肉薄部)の厚さは、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の厚さよりも小さくなっているが、緩衝部(肉薄部)の幅は第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の幅とほぼ同じになっている。
これにより、緩衝部(肉薄部)の横断面積が、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の横断面積よりも小さくなっている。なお、前述したような機能を有する緩衝部を分岐部281、282、291、292の途中に設ける場合、緩衝部(肉薄部)の幅と、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の幅とは、異なっていてもよい。
これにより、緩衝部(肉薄部)の横断面積が、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の横断面積よりも小さくなっている。なお、前述したような機能を有する緩衝部を分岐部281、282、291、292の途中に設ける場合、緩衝部(肉薄部)の幅と、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の幅とは、異なっていてもよい。
各第1の弾性部26、27および各第2の弾性部28、29は、同軸的に設けられており、これらを回動中心軸(回転軸)Xとして、第1の質量部21、22が支持部23、24に対して、また、第2の質量部25が第1の質量部21、22に対して回動可能となっている。
このように、基体2は、第1の質量部21、22と第1の弾性部26、27とで構成された第1の振動系と、第2の質量部25と第2の弾性部28、29とで構成された第2の振動系とを有する。すなわち、基体2は、第1の振動系および第2の振動系からなる2自由度振動系を有する。
このように、基体2は、第1の質量部21、22と第1の弾性部26、27とで構成された第1の振動系と、第2の質量部25と第2の弾性部28、29とで構成された第2の振動系とを有する。すなわち、基体2は、第1の振動系および第2の振動系からなる2自由度振動系を有する。
前述した第2の弾性部28において、分岐部281の上面には、その長手方向に沿ってピエゾ抵抗素子41が設けられている。これと同様に、分岐部282の上面には、その長手方向に沿ってピエゾ抵抗素子42が設けられ、分岐部291の上面には、その長手方向に沿ってピエゾ抵抗素子43が設けられ、分岐部292の上面には、その長手方向に沿ってピエゾ抵抗素子44が設けられている。
すなわち、各ピエゾ抵抗素子41、42、43、44は、前述した曲げ変形部上に設けられている。
すなわち、各ピエゾ抵抗素子41、42、43、44は、前述した曲げ変形部上に設けられている。
各ピエゾ抵抗素子41、42、43、44は、前記曲げ変形部の部分のうち、第2の質量部25の回動に伴う曲げ変形量の最も大きい部分上に設けられている。より具体的には、各ピエゾ抵抗素子41、42、43、44は、分岐部281、282、291、292の長手方向(回動中心軸Xに直角な方向)でのほぼ中央部の上面に設けられている。
ピエゾ抵抗素子41、42は、第2の弾性部28の捩れ変形により、引張応力または圧縮応力を受け、また、ピエゾ抵抗素子43、44は、第2の弾性部29の捩れ変形により、引張応力または圧縮応力を受ける。
ピエゾ抵抗素子41、42は、第2の弾性部28の捩れ変形により、引張応力または圧縮応力を受け、また、ピエゾ抵抗素子43、44は、第2の弾性部29の捩れ変形により、引張応力または圧縮応力を受ける。
より具体的には、ピエゾ抵抗素子41は、第2の弾性部28の捩れ変形に伴う分岐部281の曲げ変形により、引張応力または圧縮応力を受ける。また、ピエゾ抵抗素子42は、第2の弾性部28の捩れ変形に伴う分岐部282の曲げ変形により、引張応力または圧縮応力を受ける。また、ピエゾ抵抗素子43は、第2の弾性部29の捩れ変形に伴う分岐部291の曲げ変形により、引張応力または圧縮応力を受ける。また、ピエゾ抵抗素子44は、第2の弾性部29の捩れ変形に伴う分岐部292の曲げ変形により、引張応力または圧縮応力を受ける。
このようなピエゾ抵抗素子41、42、43、44は、後述するようにブリッジ回路(ホイーストンブリッジ回路)である検知回路11を構成している。このようなピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化に基づいて、第2の質量部25の挙動を検知するように構成されている。
このようなピエゾ抵抗素子41、42、43、44のそれぞれの構成材料としては、特に限定されないが、例えば、不純物をドープしたシリコンを用いることができる。
なお、本実施形態では、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44を分岐部281、282、291、292上に別体として形成しているが、分岐部281、282、291、292の一部として一体的に形成されていてもよい。
このようなピエゾ抵抗素子41、42、43、44のそれぞれの構成材料としては、特に限定されないが、例えば、不純物をドープしたシリコンを用いることができる。
なお、本実施形態では、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44を分岐部281、282、291、292上に別体として形成しているが、分岐部281、282、291、292の一部として一体的に形成されていてもよい。
このような2自由度振動系は、基体2の全体の厚さよりも薄く形成されているとともに、図2および図3にて上下方向で基体2の上部に位置している。換言すれば、基体2には、基体2の全体の厚さよりも薄い部分が形成されており、この薄い部分に異形孔が形成されることにより、第1の質量部21、22と第2の質量部25と第1の弾性部26、27と第2の弾性部28、29とが形成されている。
本実施形態では、前記薄肉部の上面が支持部23、24の上面と同一面上に位置することにより、前記薄い部分の下方には、各質量部21、22、25の回動のための空間(凹部)30が形成されている。
本実施形態では、前記薄肉部の上面が支持部23、24の上面と同一面上に位置することにより、前記薄い部分の下方には、各質量部21、22、25の回動のための空間(凹部)30が形成されている。
このような基体2は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、第1の質量部21、22と、第2の質量部25と、支持部23、24と、第1の弾性部26、27と、第2の弾性部28、29とが一体的に形成されている。
なお、基体2は、SOI基板等の積層構造を有する基板から、第1の質量部21、22と、第2の質量部25と、支持部23、24と、第1の弾性部26、27と、第2の弾性部28、29と、電極32、33とを形成したものであってもよい。その際、第1の質量部21、22と、第2の質量部25と、支持部23、24の一部と、第1の弾性部26、27と、第2の弾性部28、29とが一体的となるように、これらを積層構造の基板の1つの層で構成するのが好ましい。
なお、基体2は、SOI基板等の積層構造を有する基板から、第1の質量部21、22と、第2の質量部25と、支持部23、24と、第1の弾性部26、27と、第2の弾性部28、29と、電極32、33とを形成したものであってもよい。その際、第1の質量部21、22と、第2の質量部25と、支持部23、24の一部と、第1の弾性部26、27と、第2の弾性部28、29とが一体的となるように、これらを積層構造の基板の1つの層で構成するのが好ましい。
また、電極32、33は、第1の質量部21、22と第2の質量部25と支持部23、24と第1の弾性部26、27と第2の弾性部28、29とに対し、離間している。これにより、電極32、33は、第1の質量部21、22と第2の質量部25と支持部23、24と第1の弾性部26、27と第2の弾性部28、29に対し電気的に絶縁されている。
また、電極32は、前述した第1の質量部21の櫛歯状電極部211に対し間隔を隔てつつ噛み合うように設けられた櫛歯状電極部321と、第1の質量部22の櫛歯状電極部221に対し間隔を隔てつつ噛み合うように設けられた櫛歯状電極部322とが形成されている。
これと同様に、電極33は、前述した第1の質量部21の櫛歯状電極部212に対し間隔を隔てつつ噛み合うように設けられた櫛歯状電極部331と、第1の質量部22の櫛歯状電極部222に対し間隔を隔てつつ噛み合うように設けられた櫛歯状電極部332とが形成されている。
これと同様に、電極33は、前述した第1の質量部21の櫛歯状電極部212に対し間隔を隔てつつ噛み合うように設けられた櫛歯状電極部331と、第1の質量部22の櫛歯状電極部222に対し間隔を隔てつつ噛み合うように設けられた櫛歯状電極部332とが形成されている。
ここで、櫛歯状電極部211は、櫛歯状電極部321に対し、上下方向に初期変位しているのが好ましい。これと同様に、櫛歯状電極部212は櫛歯状電極部331に対し、櫛歯状電極部221は櫛歯状電極部322に対し、櫛歯状電極部222は櫛歯状電極部332に対し、上下方向に初期変位しているのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の回動駆動の開始を簡単にすることができる。
電極32、33は、後述する電源回路12に接続されており、電極32、33に交流電圧(駆動電圧)を印加できるよう構成されている。
前述したような基体2に接合した支持基板3は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。
支持基板3の上面には、図2および図3に示すように、第2の質量部25に対応する部分に開口部31が形成されている。
この開口部31は、第2の質量部25が回動(振動)する際に、支持基板3に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部(逃げ部)31を設けることにより、アクチュエータ1全体の大型化を防止しつつ、第2の質量部25の振れ角(振幅)をより大きく設定することができる。
前述したような基体2に接合した支持基板3は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。
支持基板3の上面には、図2および図3に示すように、第2の質量部25に対応する部分に開口部31が形成されている。
この開口部31は、第2の質量部25が回動(振動)する際に、支持基板3に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部(逃げ部)31を設けることにより、アクチュエータ1全体の大型化を防止しつつ、第2の質量部25の振れ角(振幅)をより大きく設定することができる。
なお、前述したような逃げ部は、前記効果を十分に発揮し得る構成であれば、必ずしも支持基板3の下面(第2の質量部25と反対側の面)で開放(開口)していなくてもよい。すなわち、逃げ部は、支持基板3の上面に形成された凹部で構成することもできる。また、空間30の深さが第2の質量部25の振れ角(振幅)に対し大きい場合などには、逃げ部を設けなくともよい。
ここで、アクチュエータ1の制御系を説明する。
本実施形態にかかるアクチュエータ1は、図5に示すように、前述したピエゾ抵抗素子41、42、43、44を含む検知回路11(挙動検知手段)と、電極32、33に電圧を印加する電源回路12と、検知回路11の出力信号に応じて電源回路12の駆動を制御する制御回路13(制御手段)とを有している。
本実施形態にかかるアクチュエータ1は、図5に示すように、前述したピエゾ抵抗素子41、42、43、44を含む検知回路11(挙動検知手段)と、電極32、33に電圧を印加する電源回路12と、検知回路11の出力信号に応じて電源回路12の駆動を制御する制御回路13(制御手段)とを有している。
検知回路11(挙動検知手段)は、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44で構成されたホイートストンブリッジ回路111と、ホイートストンブリッジ回路111の出力を増幅する作動アンプ112とを有している。このように構成された検知回路11は、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44の歪み量(変形量)に応じた信号を出力するようになっている。すなわち、検知回路11は、前述した曲げ変形部(分岐部281、282、291、292)上に設けられたピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化に基づいて、第2の質量部25の挙動を検知するように構成されている。
電源回路12は、駆動電圧として交流電圧を電極32、33に印加するように構成されている。ここで、電極32、33および電源回路12は、第1の質量部21、22を回動駆動させる駆動手段を構成する。
制御回路13は、検知回路11の出力信号に基づき、電源回路12の駆動を制御するように構成されている。
制御回路13は、検知回路11の出力信号に基づき、電源回路12の駆動を制御するように構成されている。
以上のような構成のアクチュエータ1は、次のようにして駆動する。
すなわち、電極32、33に、例えば、正弦波(交流電圧)等を印加する。具体的には、例えば、第1の質量部21、22をアースしておき、電極32に、図7(a)に示すような波形の電圧を印加し、電極33に、図7(b)に示すような波形の電圧を印加する。すなわち、電極32と電極33とに交互に電圧を印加する。すると、電極32と第1の質量部21、22との間(より具体的には、櫛歯状電極部321と櫛歯状電極部211との間、および、櫛歯状電極部322と櫛歯状電極部221との間)と、電極33と第1の質量部21、22との間(より具体的には、櫛歯状電極部331と櫛歯状電極部212との間、および、櫛歯状電極部332と櫛歯状電極部222との間)とに交互に静電引力が生じる。
すなわち、電極32、33に、例えば、正弦波(交流電圧)等を印加する。具体的には、例えば、第1の質量部21、22をアースしておき、電極32に、図7(a)に示すような波形の電圧を印加し、電極33に、図7(b)に示すような波形の電圧を印加する。すなわち、電極32と電極33とに交互に電圧を印加する。すると、電極32と第1の質量部21、22との間(より具体的には、櫛歯状電極部321と櫛歯状電極部211との間、および、櫛歯状電極部322と櫛歯状電極部221との間)と、電極33と第1の質量部21、22との間(より具体的には、櫛歯状電極部331と櫛歯状電極部212との間、および、櫛歯状電極部332と櫛歯状電極部222との間)とに交互に静電引力が生じる。
この静電気力により、第1の弾性部26、27を軸に(すなわち、回動中心軸Xまわりに)、支持基板3の板面(図1における紙面)に対して傾斜するように振動(回動)する。
そして、この第1の質量部21、22の振動(駆動)に伴って、第2の弾性部28、29を介して連結されている第2の質量部25も、第2の弾性部28、29を軸に(すなわち、回動中心軸Xまわりに)、支持基板3の板面(図1における紙面)に対して傾斜するように振動(回動)する。
そして、この第1の質量部21、22の振動(駆動)に伴って、第2の弾性部28、29を介して連結されている第2の質量部25も、第2の弾性部28、29を軸に(すなわち、回動中心軸Xまわりに)、支持基板3の板面(図1における紙面)に対して傾斜するように振動(回動)する。
このとき、分岐部281、282が第2の弾性部28の捩れ変形により主として曲げ変形し、これにより、ピエゾ抵抗素子41、42が引張応力または圧縮応力を受け、また、分岐部291、292が第2の弾性部29の捩れ変形により主として曲げ変形し、これにより、ピエゾ抵抗素子43、44が引張応力または圧縮応力を受ける。以下、ピエゾ抵抗素子41、42に作用する圧縮応力および引張応力について、図6に基づき詳細に説明する。なお、ピエゾ抵抗素子43、44に作用する圧縮応力および引張応力については、ピエゾ抵抗素子41、42に作用する圧縮応力および引張応力と同様である。
より具体的には、例えば、図6(a)に示すように非駆動状態にある第2の質量部25を、第2の弾性部28を捩れ変形させながら、回動中心軸Xを中心として回動させると、第2の弾性部28の分岐部281、282は、図6(b)または図6(c)に示すように、回動中心軸Xを中心として略S字状に撓む。
したがって、図6(b)に示すように第2の質量部25が回動しているとき、分岐部281の上面には圧縮応力が生じ、分岐部282の上面には引張応力が生じる。そのため、分岐部281上に設けられたピエゾ抵抗素子41の抵抗値と、分岐部282上に設けられたピエゾ抵抗素子42の抵抗値とのうち、一方が増加し、他方が減少する。
したがって、図6(b)に示すように第2の質量部25が回動しているとき、分岐部281の上面には圧縮応力が生じ、分岐部282の上面には引張応力が生じる。そのため、分岐部281上に設けられたピエゾ抵抗素子41の抵抗値と、分岐部282上に設けられたピエゾ抵抗素子42の抵抗値とのうち、一方が増加し、他方が減少する。
また、図6(c)に示すように第2の質量部25が回動しているとき、分岐部281の上面には引張応力が生じ、分岐部282の上面には圧縮応力が生じる。そのため、分岐部281上に設けられたピエゾ抵抗素子41の抵抗値と、分岐部282上に設けられたピエゾ抵抗素子42の抵抗値とのうち、前記一方が減少し、前記他方が増加する。
このようなピエゾ抵抗素子41、42の抵抗値の変化は、第2の弾性部28の捩れ変形量(より具体的には、分岐部281、282の曲げ変形量)に応じたものとなる。
これと同様に、ピエゾ抵抗素子43、44の抵抗値の変化は、第2の弾性部29の捩れ変形量(より具体的には、分岐部291、292の曲げ変形量)に応じたものとなる。
このようなピエゾ抵抗素子41、42の抵抗値の変化は、第2の弾性部28の捩れ変形量(より具体的には、分岐部281、282の曲げ変形量)に応じたものとなる。
これと同様に、ピエゾ抵抗素子43、44の抵抗値の変化は、第2の弾性部29の捩れ変形量(より具体的には、分岐部291、292の曲げ変形量)に応じたものとなる。
このように第2の質量部25の回動に伴ってピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値が変化すると、その変化量に応じて、図5に示す検知回路11の出力信号(電圧値)も変化する。
すなわち、検知回路11からの出力信号は、第2の質量部25の挙動(例えば、回動角、振幅、振動数など)に対応したものとなる。
したがって、制御回路13は、検知回路11からの出力信号に基づき、電源回路12の駆動を制御して、第2の質量部25の挙動を所望のものとすることができる。
すなわち、検知回路11からの出力信号は、第2の質量部25の挙動(例えば、回動角、振幅、振動数など)に対応したものとなる。
したがって、制御回路13は、検知回路11からの出力信号に基づき、電源回路12の駆動を制御して、第2の質量部25の挙動を所望のものとすることができる。
以上説明したように、本実施形態のアクチュエータ1は、前述したような曲げ変形部(分岐部281、282、291、292)上に設けられたピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化に基づいて、第2の質量部25の挙動を検知するように構成されているので、第2の弾性部28、29の捩れ変形量に対するピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化量を大きくすることができる。そのため、第2の質量部25の回動角が小さくても、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化量を大きくすることができる。その結果、小型化を図りつつ(配線の複雑なピエゾ抵抗素子を用いなくても)、第2の質量部25の挙動検知の精度や感度を向上させ、第2の質量部25の挙動を高精度に検知して、第2の質量部25の挙動を所望のものとすることができる。
特に、各ピエゾ抵抗素子41、42、43、44は、前述した曲げ変形部の部分のうち、第2の質量部25の回動に伴う曲げ変形量の最も大きい部分上に設けられているので、第2の弾性部28、29の変形量や第2の質量部25の回動角に対するピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化量をより大きくして、第2の質量部25の挙動検知の精度や感度を向上させることができる。
また、前述したような曲げ変形部は、各第2の弾性部28、29に設けられているので、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化量の幅を大きくすることができる。その結果、第2の質量部25の挙動検知の精度や感度をより優れたものとすることができる。これは、2自由度振動系のアクチュエータが、一般に、第2の質量部25の回動角が第1の質量部21、22の回動角よりも大きく、また、第2の弾性部28、29の変形量が第1の弾性部26、27の変形量よりも大きいからである。
また、本実施形態のアクチュエータ1は、前述したような櫛歯状電極部211、212、221、222、321、322、331、332を用いて第1の質量部21、22を回動させるように構成されているので、平行平板型の電極を用いて第1の質量部21、22を回動するものに比し、第1の質量部21、22の回動角を大きくし、これに伴って、第2の質量部25の回動角を大きくすることができる。
ここで、本実施形態では、第2の弾性部28、29から第2の質量部25へ捩りトルクが第2の質量部25の回動中心軸Xから離れた位置で伝達されるので、駆動時の第2の弾性部28、29の横断面形状の変化に伴う第2の質量部25の撓みを抑えるとともに、第2の質量部25の慣性力による撓みを抑えることができる。その際、第2の弾性部28、29から第2の質量部25に伝達される捩りモーメントを分岐部281、282、291、292の緩衝部で低減して、駆動時の分岐部281、282、291、292の撓みに伴う第2の質量部25の撓みも抑えることができる。その結果、第2の質量部25の撓みを大幅に低減して、第2の質量部25の駆動時における平滑性を極めて高いものとすることができる。
したがって、アクチュエータ1にあっては、第2の質量部25の振れ角を大きくしたり、第2の質量部25の厚さを小さくしたりしても、第2の質量部25の撓みを抑えて、高精度に駆動を行うことができる。
特に、本実施形態では、緩衝部(肉薄部)の厚さが、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の厚さよりも小さくなっているので、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。
特に、本実施形態では、緩衝部(肉薄部)の厚さが、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の厚さよりも小さくなっているので、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。
また、緩衝部(肉薄部)の横断面積が、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の横断面積よりも小さくなっているので、この点でも、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。
その際、緩衝部の横断面積をAとし、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の横断面積をBとしたとき、1/4<A/B<1の関係を満たすのが好ましく、1/4<A/B<1/2の関係を満たすのがより好ましい。これにより、比較的簡単な構成で、かつ、より確実に、駆動時における第2の質量部25の撓みを低減することができる。
その際、緩衝部の横断面積をAとし、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の横断面積をBとしたとき、1/4<A/B<1の関係を満たすのが好ましく、1/4<A/B<1/2の関係を満たすのがより好ましい。これにより、比較的簡単な構成で、かつ、より確実に、駆動時における第2の質量部25の撓みを低減することができる。
また、前述した緩衝部は、第2の弾性部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されているので、第2の弾性部28、29の捩れ変形に対する第2の質量部25の追従性(応答性)を良好なものとしつつ、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。
また、各分岐部281、282、291、292は、第2の質量部25の回動中心軸Xと該回動中心軸Xからの遠位端との中間点より前記遠位端側で、第2の質量部25に接続されているので、より確実に、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。
また、第2の弾性部28、29は、第2の質量部25を介して、その両側に1対設けられ、1対の第2の弾性部28、29がそれぞれ分岐部を有しているので、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減するとともに、第2の質量部25をより高精度に駆動することができる。
また、第2の弾性部28、29は、第2の質量部25を介して、その両側に1対設けられ、1対の第2の弾性部28、29がそれぞれ分岐部を有しているので、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減するとともに、第2の質量部25をより高精度に駆動することができる。
また、第1の質量部21の回動中心軸Xからこれにほぼ垂直な方向(長手方向)での長さをL1とし、第1の質量部22の回動中心軸Xからこれにほぼ垂直な方向(長手方向)での長さをL2とし、第2の質量部25の回動中心軸Xからこれにほぼ垂直な方向での長さをL3としたとき、本実施形態では、第1の質量部21、22が、それぞれ独立して設けられているため、第2の質量部25の大きさ(長さL3)にかかわらず、第1の質量部21、22と第2の質量部25とが干渉せず、L1およびL2を小さくすることができる。これにより、第1の質量部21、22の回転角度(振れ角)を大きくすることができ、その結果、第2の質量部25の回転角度を大きくすることができる。
また、第1の質量部21、22および第2の質量部25の寸法は、それぞれ、L1<L3かつL2<L3なる関係を満足するよう設定されるのが好ましい。
また、第1の質量部21、22および第2の質量部25の寸法は、それぞれ、L1<L3かつL2<L3なる関係を満足するよう設定されるのが好ましい。
前記関係を満たすことにより、L1およびL2をより小さくすることができ、第1の質量部21、22の回転角度をより大きくすることができ、第2の質量部25の回転角度をさらに大きくすることができる。
この場合、第2の質量部25の最大回転角度が、20°以上となるように構成されるのが好ましい。
この場合、第2の質量部25の最大回転角度が、20°以上となるように構成されるのが好ましい。
これらによって、第1の質量部21、22の低電圧駆動と、第2の質量部25の大回転角度での振動(回動)とを実現することができる。
このため、このようなアクチュエータ1を、例えばレーザープリンタや、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合には、より容易に装置を小型化することができる。
なお、前述したように、本実施形態では、L1とL2とはほぼ等しく設定されているが、L1とL2とが異なっていてもよいことは言うまでもない。
このため、このようなアクチュエータ1を、例えばレーザープリンタや、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合には、より容易に装置を小型化することができる。
なお、前述したように、本実施形態では、L1とL2とはほぼ等しく設定されているが、L1とL2とが異なっていてもよいことは言うまでもない。
ところで、このような質量部21、22、25の振動系(2自由度振動系)では、第1の質量部21、22および第2の質量部25の振幅(振れ角)と、印加する交流電圧の周波数との間に、図8に示すような周波数特性が存在している。
すなわち、かかる振動系は、第1の質量部21、22の振幅と、第2の質量部25の振幅とが大きくなる2つの共振周波数fm1[kHz]、fm3[kHz](ただし、fm1<fm3)と、第1の質量部21、22の振幅がほぼ0となる、1つの***振周波数fm2[kHz]とを有している。
すなわち、かかる振動系は、第1の質量部21、22の振幅と、第2の質量部25の振幅とが大きくなる2つの共振周波数fm1[kHz]、fm3[kHz](ただし、fm1<fm3)と、第1の質量部21、22の振幅がほぼ0となる、1つの***振周波数fm2[kHz]とを有している。
この振動系では、電極32、33に印加する交流電圧の周波数Fが、2つの共振周波数のうち低いもの、すなわち、fm1とほぼ等しくなるように設定するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振幅を抑制しつつ、第2の質量部25の振れ角(回転角度)を大きくすることができる。
なお、本明細書中では、F[kHz]とfm1[kHz]とがほぼ等しいとは、(fm1−1)≦F≦(fm1+1)の条件を満足することを意味する。
なお、本明細書中では、F[kHz]とfm1[kHz]とがほぼ等しいとは、(fm1−1)≦F≦(fm1+1)の条件を満足することを意味する。
第1の質量部21、22の平均厚さは、それぞれ、1〜1500μmであるのが好ましく、10〜300μmであるのがより好ましい。
第2の質量部25の平均厚さは、1〜1500μmであるのが好ましく、10〜300μmであるのがより好ましい。
第1の弾性部26、27のばね定数k1は、1×10−4〜1×104Nm/radであるのが好ましく、1×10−2〜1×103Nm/radであるのがより好ましく、1×10−1〜1×102Nm/radであるのがさらに好ましい。これにより、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
第2の質量部25の平均厚さは、1〜1500μmであるのが好ましく、10〜300μmであるのがより好ましい。
第1の弾性部26、27のばね定数k1は、1×10−4〜1×104Nm/radであるのが好ましく、1×10−2〜1×103Nm/radであるのがより好ましく、1×10−1〜1×102Nm/radであるのがさらに好ましい。これにより、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
一方、第2の弾性部28、29のばね定数k2は、1×10−4〜1×104Nm/radであるのが好ましく、1×10−2〜1×103Nm/radであるのがより好ましく、1×10−1〜1×102Nm/radであるのがさらに好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の振れ角をより大きくすることができる。
また、第1の弾性部26、27のばね定数k1と第2の弾性部28、29のばね定数をk2とは、k1>k2なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
さらに、第1の質量部21、22の慣性モーメントをJ1とし、第2の質量部25の慣性モーメントをJ2としたとき、J1とJ2とは、J1≦J2なる関係を満足することが好ましく、J1<J2なる関係を満足することがより好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
さらに、第1の質量部21、22の慣性モーメントをJ1とし、第2の質量部25の慣性モーメントをJ2としたとき、J1とJ2とは、J1≦J2なる関係を満足することが好ましく、J1<J2なる関係を満足することがより好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
ところで、第1の質量部21、22と第1の弾性部26、27とからなる第1の振動系の固有振動数ω1は、第1の質量部21、22の慣性モーメントJ1と、第1の弾性部26、27のばね定数k1とにより、ω1=(k1/J1)1/2によって与えられる。一方、第2の質量部25と第2の弾性部28、29とからなる第2の振動系の固有振動数ω2は、第2の質量部25の慣性モーメントJ2と、第2の弾性部28、29のばね定数k2とにより、ω2=(k2/J2)1/2によって与えられる。
このようにして求められる第1の振動系の固有振動数ω1と第2の振動系の固有振動数ω2とは、ω1>ω2なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
このようにして求められる第1の振動系の固有振動数ω1と第2の振動系の固有振動数ω2とは、ω1>ω2なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
このようなアクチュエータ1は、例えば、次のようにして製造することができる。
図9、図10は、それぞれ、第1実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図(縦断面図)である。なお、以下では、説明の便宜上、図9、図10中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
[A1] まず、図9(a)に示すように、例えばシリコン基板5を用意する。
次に、シリコン基板5の一方の面に、図9(b)に示すように、支持部23、24と各質量部21、22、25と各弾性部26、27、28、29と電極32、33との形状(平面視形状)に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスク6を形成する。なお、このとき、金属マスク6は、図示しないが、支持部23、24に対応する部分と電極32、33に対応する部分とは互いに連結した形状とする。
そして、図9(c)に示すように、シリコン基板5の他方の面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行って、空間30の平面視形状と同様の形状をなす開口を有するレジストマスク7を形成する。なお、レジストマスク7の形成は、金属マスク6の形成よりも先に行ってもよい。
図9、図10は、それぞれ、第1実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図(縦断面図)である。なお、以下では、説明の便宜上、図9、図10中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
[A1] まず、図9(a)に示すように、例えばシリコン基板5を用意する。
次に、シリコン基板5の一方の面に、図9(b)に示すように、支持部23、24と各質量部21、22、25と各弾性部26、27、28、29と電極32、33との形状(平面視形状)に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスク6を形成する。なお、このとき、金属マスク6は、図示しないが、支持部23、24に対応する部分と電極32、33に対応する部分とは互いに連結した形状とする。
そして、図9(c)に示すように、シリコン基板5の他方の面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行って、空間30の平面視形状と同様の形状をなす開口を有するレジストマスク7を形成する。なお、レジストマスク7の形成は、金属マスク6の形成よりも先に行ってもよい。
次に、このレジストマスク7を介して、シリコン基板5の前記他方の面をエッチングした後、レジストマスク7を除去する。これにより、図9(d)に示すように、空間30の平面視に対応する領域に凹部51が形成される。
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
次に、金属マスク6を介して、シリコン基板5の前記一方の面側を、前記凹部51に対応する部分が貫通するまでエッチングする。
そして、シリコン基板5の分岐部281、282、291、292の肉薄部に対応する部分をシリコン基板5の前記他方の面側からエッチングやレーザー加工等により肉薄化する。
そして、シリコン基板5の分岐部281、282、291、292の肉薄部に対応する部分をシリコン基板5の前記他方の面側からエッチングやレーザー加工等により肉薄化する。
そして、金属マスク6を除去した場合、この後、第2の質量部25上に金属膜を成膜し、光反射部251を形成する。
なお、ここで、シリコン基板5に対しエッチングを行った後、金属マスク6は除去してもよく、除去せずに残存させてもよい。金属マスク6を除去しない場合、第2の質量部25上に残存した金属マスク6は光反射部251として用いることができる。
なお、ここで、シリコン基板5に対しエッチングを行った後、金属マスク6は除去してもよく、除去せずに残存させてもよい。金属マスク6を除去しない場合、第2の質量部25上に残存した金属マスク6は光反射部251として用いることができる。
金属膜の成膜方法としては、真空蒸着、スパッタリング(低温スパッタリング)、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。なお、以下の各工程における金属膜の成膜においても、同様の方法を用いることができる。
以上の工程により、図9(e)に示すように、支持部23、24と各質量部21、22、25と各弾性部26、27、28、29と電極32、33が一体的に形成された構造体が得られる。なお、支持部23、24と電極32、33との間の部分を、後述する工程にて除去する。
以上の工程により、図9(e)に示すように、支持部23、24と各質量部21、22、25と各弾性部26、27、28、29と電極32、33が一体的に形成された構造体が得られる。なお、支持部23、24と電極32、33との間の部分を、後述する工程にて除去する。
[A2] 次に、図10(a)に示すように、支持基板3を形成するための基板として、例えばシリコン基板9を用意する。
そして、シリコン基板9の一方の面に、開口部31を形成する領域を除いた部分に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスクを形成する。
次に、この金属マスクを介して、シリコン基板9の一方の面側をエッチングした後、金属マスクを除去し、図10(b)に示すように、開口部31を形成する。すなわち、支持基板3が得られる。
そして、シリコン基板9の一方の面に、開口部31を形成する領域を除いた部分に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスクを形成する。
次に、この金属マスクを介して、シリコン基板9の一方の面側をエッチングした後、金属マスクを除去し、図10(b)に示すように、開口部31を形成する。すなわち、支持基板3が得られる。
[A3] 次に、図10(c)に示すように、前記工程[A1]で得られた構造体と、前記工程[A2]で得られた支持基板3とを直接接合により接合した後に、前記構造体の支持部23、24と電極32、33との間の部分を除去して、アクチュエータ1を得る。なお、基体2と支持基板3との間に可動イオンを含む硼珪酸ガラスのようなガラスを介在させ、これらを陽極接合により接合してもよい。また、シリコン基板9に代えてガラス基板を用いて、基体2と支持基板3とを陽極接合により接合することもできる。
以上のようにして、第1実施形態のアクチュエータ1が製造される。
以上のようにして、第1実施形態のアクチュエータ1が製造される。
<第2実施形態>
次に、本発明のアクチュエータの第2実施形態について説明する。
図11は、本発明のアクチュエータの第2実施形態を示す平面図、図12は、図9に示すアクチュエータの第2の質量部および第2の弾性部を示す部分拡大斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、図11中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、図12中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
次に、本発明のアクチュエータの第2実施形態について説明する。
図11は、本発明のアクチュエータの第2実施形態を示す平面図、図12は、図9に示すアクチュエータの第2の質量部および第2の弾性部を示す部分拡大斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、図11中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、図12中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第2実施形態のアクチュエータについて、前述した第1実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第2実施形態のアクチュエータ1Aは、図11および図12に示すように、第2の弾性部28、29に代えて第2の弾性部28A、29Aを有していて、第2の弾性部の構成が異なるとともに、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44の配置が異なる以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
第2実施形態のアクチュエータ1Aは、図11および図12に示すように、第2の弾性部28、29に代えて第2の弾性部28A、29Aを有していて、第2の弾性部の構成が異なるとともに、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44の配置が異なる以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
第2実施形態のアクチュエータ1Aは、図11に示すように、2自由度振動系を有する基体2Aを有しており、その基体2Aにおいて、第2の弾性部28Aは、その途中から分岐した2つの分岐部281A、282Aを有している。これと同様に、第2の弾性部29Aは、その途中から分岐した2つの分岐部291A、292Aを有している。
各分岐部281A、282A、291A、292Aは、その途中に、図11での平面視にて、矩形に複数回折れ曲がった折曲部を有している。
このような折曲部の一部は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28、29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を構成する。
各分岐部281A、282A、291A、292Aは、その途中に、図11での平面視にて、矩形に複数回折れ曲がった折曲部を有している。
このような折曲部の一部は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28、29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を構成する。
また、この折曲部は、第2の弾性部28A、29Aから第2の質量部25に伝達される捩りトルクを緩衝させる緩衝部を構成する。このような緩衝部によっても、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。また、このような折曲部(緩衝部)は、アクチュエータの製造時に、比較的簡単に形成することができる。
特に、このような緩衝部は、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。また、このような場合、アクチュエータの製造時において、前述した第1実施形態のような肉薄化を必要とせずに緩衝部を形成することができるので、アクチュエータの製造工程をより簡略化することができる。なお、分岐部281A、282A、291A、292Aの緩衝部を、前述した第1実施形態のように肉薄化してもよい。この場合、第2の弾性部28A、29Aから第2の質量部25に伝達される捩りトルクをより効果的に緩衝させることができる。
特に、このような緩衝部は、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。また、このような場合、アクチュエータの製造時において、前述した第1実施形態のような肉薄化を必要とせずに緩衝部を形成することができるので、アクチュエータの製造工程をより簡略化することができる。なお、分岐部281A、282A、291A、292Aの緩衝部を、前述した第1実施形態のように肉薄化してもよい。この場合、第2の弾性部28A、29Aから第2の質量部25に伝達される捩りトルクをより効果的に緩衝させることができる。
なお、本実施形態では、分岐部を矩形に複数回折り曲げて緩衝部を構成した場合について説明したが、緩衝部を構成することができれば、これに限定されず、緩衝部を構成する分岐部の折り曲げ形状は任意である。また、本実施形態では、第2の質量部25の板面にほぼ平行な面上で分岐部が複数回折り曲げられているが、これに限定されず、例えば、第2の質量部25の板面に直角な面上で分岐部が複数回折り曲げられていてもよい。
このような分岐部281A、282A、291A、292A上に、対応するピエゾ抵抗素子41、42、43、44が設けられている。
より具体的に説明すると、本実施形態では、分岐部281Aの回動中心軸Xに直角な方向成分をもって延びる部分のうち、最も回動中心軸Xに近い部分にピエゾ抵抗素子41が取り付けられている。
より具体的に説明すると、本実施形態では、分岐部281Aの回動中心軸Xに直角な方向成分をもって延びる部分のうち、最も回動中心軸Xに近い部分にピエゾ抵抗素子41が取り付けられている。
これと同様に、分岐部282Aの回動中心軸Xに直角な方向成分をもって延びる部分のうち、最も回動中心軸Xに近い部分にピエゾ抵抗素子42が取り付けられている。また、分岐部291Aの回動中心軸Xに直角な方向成分をもって延びる部分のうち、最も回動中心軸Xに近い部分にピエゾ抵抗素子43が取り付けられている。また、分岐部292Aの回動中心軸Xに直角な方向成分をもって延びる部分のうち、最も回動中心軸Xに近い部分にピエゾ抵抗素子44が取り付けられている。
このような分岐部281A、282A、291A、292Aは、第2の弾性部28、29が捩れ変形する際に、回動中心軸Xに近い側ほど変形量が大きいため、前記近い部分にピエゾ抵抗素子41、42、43、44を取り付けることにより、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化量の幅を大きくし、第2の質量部25の挙動の検知精度を向上させることができる。すなわち、第2の弾性部28、29の変形量や第2の質量部25の回動角に対するピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化量をより大きくして、第2の質量部25の挙動検知の精度や感度を向上させることができる。
以上説明したような第2実施形態のアクチュエータ1Aによっても、前述した第1実施形態のアクチュエータ1と同様の効果を得ることができる。
以上説明したような第2実施形態のアクチュエータ1Aによっても、前述した第1実施形態のアクチュエータ1と同様の効果を得ることができる。
<第3実施形態>
次に、本発明のアクチュエータの第3実施形態について説明する。
図13は、本発明のアクチュエータの第3実施形態を示す平面図、図14は、図13に示すアクチュエータの第2の質量部および第2の弾性部を示す部分拡大斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、図13中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、図14中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
次に、本発明のアクチュエータの第3実施形態について説明する。
図13は、本発明のアクチュエータの第3実施形態を示す平面図、図14は、図13に示すアクチュエータの第2の質量部および第2の弾性部を示す部分拡大斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、図13中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、図14中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第3実施形態のアクチュエータについて、前述した第1実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第3実施形態のアクチュエータ1Bは、1自由度振動系のアクチュエータである以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
第3実施形態のアクチュエータ1Bは、1自由度振動系のアクチュエータである以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
図13及び図14に示すアクチュエータ1Bは、第1の質量部21、22に対し第2の質量部25を回動可能とするように、第1の質量部21と第2の質量部25とを連結する第2の弾性部28B、および、第1の質量部22と第2の質量部25とを連結する第2の弾性部29Bを備えている。
第2の弾性部28Bは、その途中に、図13での平面視にて、矩形に複数回折れ曲がった折曲部281Bを有している。これと同様に、第2の弾性部29Bは、その途中に、図13での平面視にて、矩形に複数回折れ曲がった折曲部291Bを有している。このような折曲部281B、291Bの一部は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28、29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を構成する。
第2の弾性部28Bは、その途中に、図13での平面視にて、矩形に複数回折れ曲がった折曲部281Bを有している。これと同様に、第2の弾性部29Bは、その途中に、図13での平面視にて、矩形に複数回折れ曲がった折曲部291Bを有している。このような折曲部281B、291Bの一部は、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28、29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を構成する。
このような折曲部281B、291Bを設けると、第2の弾性部28、29の長さを抑えつつ、第2の弾性部28、29のバネ定数を小さくすることができる。その結果、構造全体のサイズを小さくすることができる。
そして、第2の弾性部28Bの折曲部281Bの上面には、ピエゾ抵抗素子41が設けられ、折曲部281Bの下面には、ピエゾ抵抗素子42が設けられている。これと同様に、第2の弾性部29Bの折曲部291Bの上面には、ピエゾ抵抗素子43が設けられ、折曲部291Bの下面には、ピエゾ抵抗素子44が設けられている。
そして、第2の弾性部28Bの折曲部281Bの上面には、ピエゾ抵抗素子41が設けられ、折曲部281Bの下面には、ピエゾ抵抗素子42が設けられている。これと同様に、第2の弾性部29Bの折曲部291Bの上面には、ピエゾ抵抗素子43が設けられ、折曲部291Bの下面には、ピエゾ抵抗素子44が設けられている。
特に、ピエゾ抵抗素子41、42、43、44は、前述した曲げ変形部の部分のうち、第2の質量部25の回動に伴う曲げ変形量の最も大きい部分上に設けられている。より具体的には、ピエゾ抵抗素子41、42は、折曲部281Bの回動中心軸X付近に設けられ、ピエゾ抵抗素子43、44は、折曲部291Bの回動中心軸X付近に設けられている。これにより、第2の弾性部28、29の変形量や第2の質量部25の回動角に対するピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化量をより大きくして、第2の質量部25の挙動検知の精度や感度を向上させることができる。
以上説明したような第3実施形態のアクチュエータ1Bによっても、前述した第1実施形態のアクチュエータ1Bと同様の効果を得ることができる。
上述したようなアクチュエータ1〜1Bは、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
以上説明したようなアクチュエータ1〜1Bは、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ等に好適に適用することができる。
上述したようなアクチュエータ1〜1Bは、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
以上説明したようなアクチュエータ1〜1Bは、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ等に好適に適用することができる。
以上、本発明のアクチュエータについて、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、曲げ変形部は、弾性部全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形するものであれば、前述した実施形態に限定されず、形状、位置、大きさ等は任意である。例えば、前述した実施形態において、曲げ変形部を第1の弾性部26、27に設けてもよい。
また、曲げ変形部は、弾性部全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形するものであれば、前述した実施形態に限定されず、形状、位置、大きさ等は任意である。例えば、前述した実施形態において、曲げ変形部を第1の弾性部26、27に設けてもよい。
また、前述した第1〜3実施形態では、第1の弾性部を1対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、2対以上であってもよい。
また、前述した第1〜3実施形態では、第2の弾性部を1対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、2対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、2自由動振動系のアクチュエータ(すなわち、質量部として第1の質量部21、22および第2の質量部25を有し、弾性部として第1の弾性部26、27および第2の弾性部28、29を有するもの)について説明したが、1自由度または3自由度以上の振動系のアクチュエータにも本発明を適用することができる。
また、前述した第1〜3実施形態では、第2の弾性部を1対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、2対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、2自由動振動系のアクチュエータ(すなわち、質量部として第1の質量部21、22および第2の質量部25を有し、弾性部として第1の弾性部26、27および第2の弾性部28、29を有するもの)について説明したが、1自由度または3自由度以上の振動系のアクチュエータにも本発明を適用することができる。
また、前述した実施形態では、光反射部が第2の質量部の上面(支持基板とは逆側の面)に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆の面に設けられている構成であってもよいし、両方の面に設けられている構成であってもよい。
また、前述した実施形態では静電駆動方式により駆動するものについて説明したが、これに限定されない。例えば、2自由度振動系を有するアクチュエータの駆動方式としては、第1の質量部を回動させ、これに伴い、第2の弾性部を捩れ変形させながら、第2の質量部を回動させることができるものであれば、前述したものに限定されず、例えば、圧電素子を用いた駆動方式や、磁力を用いた駆動方式などであってもよい。
また、前述した実施形態では静電駆動方式により駆動するものについて説明したが、これに限定されない。例えば、2自由度振動系を有するアクチュエータの駆動方式としては、第1の質量部を回動させ、これに伴い、第2の弾性部を捩れ変形させながら、第2の質量部を回動させることができるものであれば、前述したものに限定されず、例えば、圧電素子を用いた駆動方式や、磁力を用いた駆動方式などであってもよい。
1、1A、1B……アクチュエータ 11……検知回路 111……ホイートストンブリッジ回路 112……作動アンプ 12……電源回路 13……制御回路 2、2A、2B……基体 21、22……第1の質量部 211、212、221、222……櫛歯状電極部 23、24……支持部 25……第2の質量部 251……光反射部 26、27……第1の弾性部 28、28A、28B、29、29A、29B……第2の弾性部 281、281A、282、282A、291、291A、292、292A……分岐部 281B、291B……折曲部 3……支持基板 30……空間 31……開口部 32、33……電極 321、322、331、332……櫛歯状電極部 41、42、43、44……ピエゾ抵抗素子 5……シリコン基板 51……凹部 6……金属マスク 7……レジストマスク 9……シリコン基板
Claims (13)
- 少なくとも1つの質量部と、
前記質量部を回動可能とするように支持する少なくとも1つの弾性部と、
前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、
前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、
前記挙動検知手段の検知結果に基づいて、前記駆動手段を作動させることにより、前記弾性部を捩れ変形させながら、前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記弾性部は、その少なくとも一部に、前記質量部の回動中心軸に対し直角な方向成分をもって延在し、前記弾性部全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を備え、
前記挙動検知手段は、前記曲げ変形部上に設けられたピエゾ抵抗素子を備え、該ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化に基づいて、前記質量部の挙動を検知するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記質量部として、1対の第1の質量部と、該1対の質量部間に設けられた第2の質量部とを有するとともに、前記弾性部として、各前記第1の質量部を回動可能とするように支持する1対の第1の弾性部と、各前記第1の質量部と前記第2の質量部とを連結し、前記第2の質量部を回動可能とするように支持する1対の第2の弾性部とを有し、前記駆動手段の作動により、前記第1の弾性部を捩れ変形させながら前記第1の質量部を回動させ、これに伴い、前記第2の弾性部を捩れ変形させながら前記第2の質量部を回動させるように構成されている請求項1に記載のアクチュエータ。
- 各前記第1の質量部は、前記回動中心軸からの遠位側の両端部に、それぞれ、櫛歯状電極部が設けられ、前記駆動手段は、前記質量部の各前記櫛歯状電極部に間隙を隔てて噛み合うように、固定配置された櫛歯状電極部を備える電極を有し、前記電極の前記櫛歯状電極部と前記質量部の前記櫛歯状電極部との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、前記第1の質量部を回動させる請求項2に記載のアクチュエータ。
- 前記曲げ変形部は、各前記第2の弾性部に設けられている請求項2または3に記載のアクチュエータ。
- 前記弾性部は、その途中から分岐した2つの分岐部を有し、各前記分岐部は、前記質量部の回動中心軸を介して対向する位置で前記質量部に接続されるとともに、前記分岐部の少なくとも一部が前記曲げ変形部を構成する請求項4に記載のアクチュエータ。
- 前記分岐部は、その途中に、前記弾性部から前記質量部に伝達される捩りモーメントを緩衝させる緩衝部を有している請求項5に記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部は、前記弾性部の前記分岐部以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されている請求項6に記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の横断面積は、前記弾性部の前記分岐部以外の部分の横断面積よりも小さい請求項7に記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部は、複数回折れ曲がるように形成された折曲部である請求項7または8に記載のアクチュエータ。
- 各前記分岐部は、前記質量部の前記回動中心軸と該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側の部分に接続されている請求項5ないし9のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記弾性部は、その途中に、複数回折れ曲がるように形成された折曲部を有し、該折曲部の少なくとも一部が前記曲げ変形部を構成する請求項1ないし4のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記ピエゾ抵抗素子は、前記曲げ変形部の部分のうち、前記質量部の回動に伴う曲げ変形量の最も大きい部分上に設けられている請求項1ないし11のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項1ないし12のいずれかに記載のアクチュエータ。
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-
2006
- 2006-05-18 JP JP2006139605A patent/JP2007307662A/ja active Pending
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