JP2007300034A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ピラー領域の微細化に有効な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】n型ピラー領域と、n型ピラー領域に隣接して設けられたp型ピラー領域と、p型ピラー領域の上に設けられたベース領域と、ベース領域の表層部に設けられたソース領域と、トレンチと、トレンチの内壁面に設けられた絶縁膜と、絶縁膜を介してトレンチの内部に埋め込まれた制御電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、を備え、p型ピラー領域の不純物濃度は、ソース電極からドレイン電極に向かう方向の略中間部分までは略一定であり、その略中間部分からドレイン電極に向かって徐々に減少している。
【選択図】図1
【解決手段】n型ピラー領域と、n型ピラー領域に隣接して設けられたp型ピラー領域と、p型ピラー領域の上に設けられたベース領域と、ベース領域の表層部に設けられたソース領域と、トレンチと、トレンチの内壁面に設けられた絶縁膜と、絶縁膜を介してトレンチの内部に埋め込まれた制御電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、を備え、p型ピラー領域の不純物濃度は、ソース電極からドレイン電極に向かう方向の略中間部分までは略一定であり、その略中間部分からドレイン電極に向かって徐々に減少している。
【選択図】図1
Description
本発明は、いわゆるスーパージャンクション構造を有する半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。
従来より、パワーエレクトロニクス用途に適したMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)が知られている。そのパワーMOSFETのオン抵抗は、伝導層(ドリフト層)の電気抵抗に大きく依存する。ドリフト層の電気抵抗は、ドリフト層の不純物濃度で決定され、不純物濃度を高くすればオン抵抗を下げることができる。しかし、ドリフト層の不純物濃度が高くなると、ドリフト層とベース領域とのpn接合部から広がる空乏層の幅が狭くなり、より低い電圧でシリコンの最大電界強度に達するため素子耐圧が低くなる。このため、ドリフト層の不純物濃度は、耐圧に応じて決まる限界以上には上げることができない。このように、素子耐圧とオン抵抗との間にはトレードオフの関係がある。このトレードオフ関係は、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、ダイオード、バイポーラトランジスタにおいても同様に成立する。また、この問題は、オン時にドリフト電流が流れる方向と、オフ時の逆バイアスによる空乏層の延びる方向とが異なる横型半導体素子についても共通である。このトレードオフを改善することは、低消費電力のパワー用途半導体装置を提供しようとする場合に重要である。素子耐圧とオン抵抗との間のトレードオフ関係には素子材料により決まる限界があり、この限界を越えることが低オン抵抗のパワー用途半導体装置実現への道である。
この問題を解決するMOSFETの一例として、ドリフト層に「スーパージャンクション構造」と呼ばれる縦長短冊状のp型ピラー領域とn型ピラー領域とを電流経路に対して水平方向に交互に並列させた構造が知られている。スーパージャンクション構造は、p型ピラー領域とn型ピラー領域に含まれる不純物量を同じとすることで、擬似的にノンドープ層を作り出し、高耐圧を保持しつつ、オン時には高濃度にドープされたn型ピラー領域を通してドリフト電流を流すことで、材料限界を越えた低オン抵抗を実現するものである。
このようなスーパージャンクション構造において、p型ピラー領域とn型ピラー領域との不純物量の差(アンバランス量)に対する耐圧低下を抑えてプロセスマージンを広げるべく、p型ピラー領域の不純物濃度を、上部(ソース電極側)ではn型ピラー領域よりも大とし、下部(ドレイン電極側)ではn型ピラー領域よりも小としつつ、ソース電極からドレイン電極に向かう方向において徐々に小さくなる濃度勾配にすることが開示されている(特許文献1)。
スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFETのオン抵抗と耐圧とのトレードオフを改善するためには、nチャネル素子の場合、電流経路であるn型ピラー領域の不純物濃度を増加させてオン抵抗を低減させつつ、オフ時には高濃度でもピラー領域を空乏化させるためにp/nピラー領域を微細に形成することが要求される。つまり、現状よりもさらに高アスペクト比のp/nピラー領域を形成する技術が求められる。併せて、n型ピラー領域の幅が5(μm)以下に狭くなる構造においては、MOS部のセルピッチの縮小が要求される。現状、一般的なDMOS(double diffused MOS)のプレーナゲート構造では、セルピッチを10(μm)以下に形成することは困難である。このため、微細なp/nピラー領域に対してチャネル密度を追従させるためには、MOS部の構造として、より微細化可能なトレンチゲート構造を採用することが考えられる(例えば、特許文献2参照)。現在の技術では、トレンチゲートの幅を0.5(μm)以下とすることが可能であるため、n型ピラー領域の幅が5(μm)(すなわち、10(μm)のセルピッチの半分がn型ピラー領域と仮定した場合)であっても、各n型ピラー領域に十分にトレンチゲートを配置することが可能となり、p/nピラー領域の微細化に対してチャネル密度が十分追従可能である。
MOS部にトレンチゲート構造を採用しつつp/nピラー領域を微細化した構造において、特許文献1に開示されたようにプロセスマージンを広げるために、p型ピラー領域の不純物濃度に勾配をつける、すなわちピラー領域上部(ソース電極側)で、n型ピラー領域に対してp型ピラー領域の不純物濃度を大(pピラーリッチ)とすると、n型ピラー領域が微細であることもあって、n型ピラー領域へ空乏層が延びやすく、チャネルからn型ピラー領域に電子が供給される際の広がり抵抗が増大してしまう。また、オフ時には、トレンチゲートからの空乏層もn型ピラー領域に広がるため、p/nピラー領域をすべて一定な不純物濃度とした場合にも、ピラー領域上部ではn型ピラー領域へ空乏層が延びやすい傾向にあり、ピラー領域微細化の妨げになりやすい。
特許第3634830号公報
特開2005−101560号公報
本発明は、ピラー領域の微細化に有効な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
本発明の一態様によれば、第1導電型の半導体層と、前記半導体層の主面上に設けられた複数の第1導電型の第1の半導体ピラー領域と、前記第1の半導体ピラー領域に隣接して、前記半導体層の主面上に設けられた複数の第2導電型の第2の半導体ピラー領域と、前記半導体層の前記主面とは反対側の面に設けられた第1の主電極と、前記第2の半導体ピラー領域の上に設けられた第2導電型の第1の半導体領域と、前記第1の半導体領域の表層部に設けられた第1導電型の第2の半導体領域と、前記第2の半導体領域の上に設けられた第2の主電極と、前記第1の半導体領域及び前記第2の半導体領域に隣接し、前記第2の半導体領域の表面側から前記第1の半導体ピラー領域に達するトレンチと、前記トレンチの内壁面に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜を介して前記トレンチの内部に埋め込まれた制御電極と、を備え、前記第2の半導体ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度は、前記第2の主電極から前記第1の主電極に向かう方向の略中間部分までは一定であり、前記略中間部分から前記第1の主電極に向かって徐々に減少していることを特徴とする半導体装置が提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、第1導電型の第1の半導体層の主面側からエッチングを複数回に分けて行い、前記主面側から深くなるにつれて段階的に幅が狭くなるトレンチを形成する工程と、前記トレンチ内に第2導電型の第2の半導体層を埋め込む工程と、前記第2の半導体層の表層部に第2導電型の第1の半導体領域を形成する工程と、前記第1の半導体領域の表層部に第1導電型の第2の半導体領域を形成する工程と、前記第1の半導体層の前記主面の反対側に第1の主電極を形成する工程と、前記第2の半導体領域に接する第2の主電極を形成する工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、ピラー領域の微細化に有効な半導体装置及び半導体装置の製造方法が提供される。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の実施形態では、例えば、第1導電型をn型、第2導電型をp型として説明する。また、各図面中の同一部分には同一符号を付している。
[第1の実施形態]
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図であり、図1(b)は、同半導体装置における深さ方向の不純物濃度変化を表す模式図である。
図2は、同半導体装置における要部平面構造を例示する模式図である。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図であり、図1(b)は、同半導体装置における深さ方向の不純物濃度変化を表す模式図である。
図2は、同半導体装置における要部平面構造を例示する模式図である。
例えば、高不純物濃度のn+型シリコンからなる半導体層1の主面上に、n型シリコンからなる第1の半導体ピラー領域2(以下、単に「n型ピラー領域」とも称する)と、p型シリコンからなる第2の半導体ピラー領域3(以下、単に「p型ピラー領域」とも称する)とが、ストライプ状に並列して設けられている。
n型ピラー領域2とp型ピラー領域3は、いわゆるスーパージャンクション構造を構成している。すなわち、n型ピラー領域2とp型ピラー領域3は互いに隣接してpn接合部を形成している。
このようなスーパージャンクション構造は、例えば、高抵抗のエピタキシャル成長層に選択的にn型とp型の埋込層をイオン注入及び拡散によって形成した後、さらにその上に高抵抗のエピタキシャル成長層を積み増して、その高抵抗層に、再び選択的にn型とp型の埋込層をイオン注入及び拡散によって形成するというプロセスを複数回繰り返すことで得られる。あるいは、n型半導体層中にトレンチを形成し、そのトレンチにp型半導体層の埋込成長を行う方法によっても得られる。
p型ピラー領域3の上には、p型シリコンからなるベース領域(第1の半導体領域)5が、p型ピラー領域3に接して設けられている。ベース領域5の一部は、n型ピラー領域2の上面に対してpn接合している。ベース領域5の表層部には、n+型シリコンからなるソース領域(第2の半導体領域)6が選択的に設けられている。また、ベース領域5の表層部において、ソース領域6とソース領域6との間の部分には、P+型ベース領域7が設けられている。
ソース領域6の表面側からn型ピラー領域2に向けてトレンチTが形成されている。トレンチTは、ソース領域6およびベース領域5に隣接し、トレンチTの底部はn型ピラー領域2に達している。トレンチTの内部には、絶縁膜8を介して、例えばポリシリコンからなるゲート電極(制御電極)4が埋め込まれている。
トレンチT、ゲート電極4、およびソース領域6の一部分の上には、絶縁膜9が設けられている。絶縁膜9の間の、ソース領域6及びP+型ベース領域7の表面上には、ソース電極(第2の主電極)12が設けられている。ソース電極12は、ソース領域6及びP+型ベース領域7に接している。また、n+型半導体層1の主面の反対側の面には、ドレイン電極(第1の主電極)11が設けられている。
ゲート電極4に所定の電圧が印加されると、ベース領域5において絶縁膜8を介してゲート電極4に対向している部分にチャネルが形成され、ソース領域6とn型ピラー領域2とが導通する。その結果、ソース領域6、n型ピラー領域2、n+型半導体層1を介して、ドレイン電極11とソース電極12間に主電流経路が形成され、それら電極11、12間はオン状態とされる。
図1(b)に、p型ピラー領域3の深さ方向(ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向)の不純物濃度プロファイル(太線の実線)と、n型ピラー領域2の深さ方向(ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向)の不純物濃度プロファイル(点線)を表す。なお、ここでの「不純物濃度」は、各ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度を表す。
図1(b)に表されるように、本実施形態では、p型ピラー領域3の不純物濃度は、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分までは略一定であり、この略中間部分からドレイン電極11に向かって徐々に減少している。n型ピラー領域2の不純物濃度は、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向で略一定である。n型ピラー領域2及びp型ピラー領域3の上部(ソース電極12側の部分)から、p型ピラー領域3の不純物濃度が下がり始めた部分の間では、p型ピラー領域3の方が、n型ピラー領域2よりも不純物濃度がわずかに高い。n型ピラー領域2及びp型ピラー領域3の下部(ドレイン電極11側の部分)では、n型ピラー領域2の方がp型ピラー領域3よりも不純物濃度は高くなっている。
すなわち、深さ方向の略中間部から下部(ドレイン電極11側)にかけての部分のみp型ピラー領域3の不純物濃度に勾配をつけて、上部(ソース電極12側)から前記略中間部にかけては、p型ピラー領域3の不純物濃度に勾配をつけずに略一定としているため、ピラー領域の上部(ソース電極12側)において、n型ピラー領域2に対してp型ピラー領域3が高濃度になるpピラーリッチの程度が抑制される。これにより、ピラー領域を微細化した場合であっても、n型ピラー領域2への空乏層の広がりを抑制でき、チャネルとn型ピラー領域2との間の電子の広がり抵抗を低減できる。
電流経路であるn型ピラー領域2の不純物濃度を高めてオン抵抗の低減を図っても、n型ピラー領域2及びp型ピラー領域3を微細化することで、オフ時には完全空乏化しやすく、すなわち、オン抵抗と耐圧とのトレードオフを改善することができる。
また、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分以降は、前述した特許文献1と同様に、p型ピラー領域3の不純物濃度は、その略中間部分からドレイン電極11に向かって徐々に減少する濃度勾配であるため、p型ピラー領域3とn型ピラー領域2との不純物量の差(アンバランス量)に対する耐圧低下を抑えてプロセスマージンを広く確保できる。
また、その略中間部分以降においては、p型ピラー領域3とn型ピラー領域2との不純物濃度アンバランスが大きくなるため、オフ時の電界集中はその略中間部分付近で最大となり、p型ピラー領域3及びn型ピラー領域2のそれぞれの不純物濃度を深さ方向で略一定にした場合に比べて、曲率が大きく電界が集中しやすいトレンチゲート底部付近への電界集中が緩和され、ゲート絶縁膜8へのキャリア注入等が抑制され信頼性が向上する。
以下、本発明の他の実施形態について説明する。なお、前述したものと同様の要素については、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
[第2の実施形態]
図3(a)は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図であり、図3(b)は、同半導体装置における深さ方向の不純物濃度変化を表す模式図である。
図3(a)は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図であり、図3(b)は、同半導体装置における深さ方向の不純物濃度変化を表す模式図である。
本実施形態においても、p型ピラー領域3の不純物濃度は、第1の実施形態と同様、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分までは略一定であり、この略中間部分からドレイン電極11に向かって徐々に減少している。なお、本実施形態においても、「不純物濃度」は、各ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度を表す。
そして、第1の実施形態と異なる点は、ベース領域5及びトレンチTに接するn型ピラー領域2の上部2aの不純物濃度を、n型ピラー領域2の他の部分よりも高濃度にしている。すなわち、n型ピラー領域2において、トレンチTとp型ピラー領域3との間の部分2aが他の部分よりも高不純物濃度となっている。その部分2aの不純物濃度は、この部分2aに隣接するp型ピラー領域3の上部の不純物濃度よりも高くなっている。n型ピラー領域2において高不純物濃度の部分(上部)2a以外の部分は、第1の実施形態と同様に、略一定な不純物濃度となっている。
n型ピラー領域2の上部2aの不純物濃度を高めることにより、チャネルとn型ピラー領域2との間の電子の広がり抵抗を低減して、オン抵抗を低減できる。
[第3の実施形態]
図4(a)は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図であり、図4(b)は、同半導体装置における深さ方向の不純物濃度変化を表す模式図である。なお、本実施形態においても、「不純物濃度」は、各ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度を表す。
図4(a)は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図であり、図4(b)は、同半導体装置における深さ方向の不純物濃度変化を表す模式図である。なお、本実施形態においても、「不純物濃度」は、各ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度を表す。
本実施形態においても、p型ピラー領域3の不純物濃度は、第1の実施形態と同様、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分までは略一定であり、この略中間部分からドレイン電極11に向かって徐々に減少している。そして、n型ピラー領域2の不純物濃度の深さ方向のプロファイルが第1の実施形態と異なる。
n型ピラー領域2の不純物濃度は、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分まで徐々に減少し、その略中間部分からドレイン電極11に向かって徐々に増大している。n型ピラー領域2及びp型ピラー領域3の上部(ソース電極12側の部分)では、n型ピラー領域2の方がp型ピラー領域3よりも不純物濃度が高い。同様に、n型ピラー領域2及びp型ピラー領域3の下部(ドレイン電極11側の部分)では、n型ピラー領域2の方がp型ピラー領域3よりも不純物濃度が高い。n型ピラー領域2の不純物濃度は、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分で最小であり、且つこの略中間部分では、n型ピラー領域2よりもp型ピラー領域3の方が不純物濃度は高くなっている。
本実施形態によれば、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分で、p型ピラー領域3とn型ピラー領域2との不純物濃度アンバランスが大きくなるため、オフ時の電界集中はその略中間部分付近で最大となり、曲率が大きく電界が集中しやすいトレンチゲート底部付近への電界集中が緩和され、ゲート絶縁膜8へのキャリア注入等が抑制され信頼性が向上する。
[第4の実施形態]
図5は、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図である。
図5は、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図である。
例えば、高不純物濃度のn+型シリコンからなる半導体層21の主面上に、n型シリコンからなるn型ピラー領域(第1の半導体ピラー領域)22と、p型シリコンからなるp型ピラー領域(第2の半導体ピラー領域)23とが、ストライプ状に並列して設けられている。n型ピラー領域22とp型ピラー領域23は、いわゆるスーパージャンクション構造を構成している。すなわち、n型ピラー領域22とp型ピラー領域23は互いに隣接してpn接合部を形成している。
p型ピラー領域23の幅(n型ピラー領域22とp型ピラー領域23とが並列された方向の幅)は、ソース電極(第2の主電極)32からドレイン電極(第1の主電極)31に向かって段階的に狭くなっている。すなわち、p型ピラー領域23は、深くなるにつれてその幅が段階的に狭くなっている。これとは逆に、p型ピラー領域23に隣接するn型ピラー領域22の幅は、ソース電極32からドレイン電極31に向かって(深くなるにつれて)段階的に広くなっている。
本実施形態では、例えば、n型ピラー領域22とp型ピラー領域23との接合部における深さ方向の略中間部分(ソース電極32からドレイン電極31に向かう方向の略中間部分)に段部が形成されている。なお、図5に例示される具体例では、n型ピラー領域22及びp型ピラー領域23のそれぞれの幅を、2段階に変えているが。3段階以上に変えてもよい。
p型ピラー領域23の上には、p型シリコンからなるベース領域(第1の半導体領域)25が、p型ピラー領域23に接して設けられている。また、ベース領域25は、n型ピラー領域22の上部に隣接している。ベース領域25の表層部には、n+型シリコンからなるソース領域(第2の半導体領域)26が選択的に設けられている。また、ベース領域25の表層部において、ソース領域26とソース領域26との間の部分には、P+型ベース領域27が設けられている。
n型ピラー領域23から、ベース領域25を経てソース領域26に至る部分の上には、絶縁膜28が設けられている。絶縁膜28の上には、ゲート電極(制御電極)24が設けられている。ゲート電極24を覆うようにして絶縁膜29が設けられている。
ソース領域26の一部、およびベース領域25におけるソース領域26間の部分の上には、ソース電極(第2の主電極)32が設けられ、ソース領域26はソース電極32に電気的に接続されている。n+型半導体層21の主面の反対側の面には、ドレイン電極(第1の主電極)31が設けられている。
ゲート電極24に所定の電圧が印加されると、その下のベース領域25の表面付近にチャネルが形成され、ソース領域26とn型ピラー領域22とが導通する。その結果、ソース領域26、n型ピラー領域22、n+型半導体層21を介して、ドレイン電極31とソース電極32間に主電流経路が形成され、それら電極31、32間はオン状態とされる。
次に、本実施形態に係る半導体装置の製造方法の一例について説明する。
図6〜図8は、本実施形態に係る半導体装置の製造工程の要部を例示する工程断面図である。
図6〜図8は、本実施形態に係る半導体装置の製造工程の要部を例示する工程断面図である。
まず、図6(a)に表すように、主面の反対側の面にn+型半導体層21が形成された第1の半導体層(例えばn型シリコンからなる)35の主面上に、レジスト37を用いて例えば酸化シリコンからなるマスク36をパターニング形成する。なお、n+型半導体層21の裏面にはドレイン電極31が形成されているが、このドレイン電極31の形成は、後の工程で行ってもよい。
次に、マスク36を用いて、例えばRIE(Reactive Ion Etching)法により、第1の半導体層35をエッチングする。このエッチングは、第1の半導体層35の途中(例えば主面側から略中間部分)まで行われ、図6(b)に表すように、第1の半導体層35の主面側から略中間部分に至る複数のトレンチT1が形成される。
次に、図6(c)に表すように、マスク36を残した状態で、例えば熱酸化法により、トレンチT1の内壁面(側壁面及び底面)に絶縁膜(酸化膜)38を形成する。
次に、マスク36及び絶縁膜38が形成された状態で、トレンチT1より下方の第1の半導体層35を例えばRIE法によりエッチングする。これにより、図7(a)に表すように、トレンチT1の底面の絶縁膜38が除去されると共に、第1の半導体層35に、トレンチT1とつながるトレンチT2が形成される。
次に、マスク36及びトレンチT1の側壁面に形成された絶縁膜38を除去する。これにより、図7(b)に表すように、開口部から底部に向かって段階的に幅が狭くされた段付き形状のトレンチT3が形成される。また、トレンチT3とは逆に、開口部から底部部に向かって段階的に幅が広くされた段付き形状のn型ピラー領域22が、トレンチT3に隣接して形成される。
次に、図8(a)に表すように、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法により、トレンチT3内を埋め込むように全面に第2の半導体層(例えばp型シリコンからなる)39を堆積させる。この後、図8(b)に表すように、トレンチT3より上の第2の半導体層39を、例えばエッチバックまたは研磨して平坦化すると共にn型ピラー領域22の上面を露出させる。これにより、n+型半導体層21の主面に対して略平行な幅方向に、交互に隣接して並列されたn型ピラー領域22及びp型ピラー領域23からなるスーパージャンクション構造が得られる。
この後、ゲート絶縁膜28及びゲート電極24を形成した後、これらをマスクとしてイオン注入を行い、さらに注入されたイオンの拡散を行い、p型ピラー領域23の表層部にp型ベース領域25を形成する。この後、ベース領域25の表層部に、選択的にn+型ソース領域26、p+型ベース領域27を形成し、さらにこれらに接するソース電極32が形成される。
スーパージャンクション構造を有する半導体装置において、例えば、p/nの各ピラー領域の繰り返しの最小寸法(セルピッチ)が5(μm)の場合で、耐圧VB=300(V)を実現するためには、p/nの各ピラー領域の厚さは17(μm)程度必要とされる。セルピッチの片側半分をp型ピラー領域が占めるとすると、アスペクト比が6〜8程度のp型ピラー領域を形成する必要がある。このような幅が狭く高アスペクト比の半導体領域を形成するためには、例えばエピタキシャル成長層の表面側から深いトレンチを形成し、このトレンチ内をエピタキシャル成長層と異なる導電型の半導体で埋め込む方法がある。しかし、この場合、トレンチが高アスペクト比であるため、トレンチ内への半導体の充填性に難がある。すなわち、トレンチ内が半導体で完全に充填される前に、トレンチの開口部付近の側壁への付着量が増大して開口を塞いでしまうことが起こりやすい。
これに対して本実施形態では、p型ピラー領域23を埋め込むためのトレンチを2回に分けたエッチングにより形成して、開口部側がより幅広の段付き形状のトレンチとするため、そのトレンチ内にp型ピラー領域23を埋め込む際に、トレンチ開口付近における閉塞を抑制して、トレンチ内へのp型ピラー領域23の充填性を良くすることができる。これにより、ピラー領域が微細化してトレンチが高アスペクト比となった場合でも、トレンチ内へのp型ピラー領域23の充填不良を防いで、信頼性を確保できる。
なお、スーパージャンクション構造を量産性良く形成する方法として、高抵抗のエピタキシャル成長層に選択的にn型とp型の埋込層をイオン注入と拡散によって形成する工程を複数回繰り返す方法がある。しかし、この場合、n型とp型の埋込層の上に積み増しする高抵抗エピタキシャル成長層を、この高抵抗エピタキシャル成長層に形成するn型、p型層と、先の工程で高抵抗エピタキシャル成長層に形成した下層のn型、p型層とが接続可能な程度の厚さに形成しなくてはならないため、高アスペクト比とするためには、拡散時間の長時間化や、エピタキシャル成長とイオン注入の工程回数の増大をまねく。
[第5の実施形態]
図9は、本発明の第5の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図である。なお、本実施形態においても、「不純物濃度」は、各ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度を表す。
図9は、本発明の第5の実施形態に係る半導体装置の要部断面構造を例示する模式図である。なお、本実施形態においても、「不純物濃度」は、各ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度を表す。
本実施形態は、第1〜第3の実施形態のいずれかに第4の実施形態を適用した実施形態である。すなわち、p型ピラー領域43の不純物濃度は、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分までは略一定であり、この略中間部分からドレイン電極11に向かって徐々に減少しており、なおかつ、p型ピラー領域43の幅(p型ピラー領域43が埋め込まれるトレンチの幅)は、ソース電極12からドレイン電極11に向かって段階的に狭くなっている。
したがって、本実施形態においても、p型ピラー領域43が微細化してトレンチが高アスペクト比となった場合でも、そのトレンチ内へのp型ピラー領域43の充填不良を防いで、信頼性を確保できる。また、ソース電極12側におけるpピラーリッチを抑制して、チャネルとn型ピラー領域42との間の電子の広がり抵抗を低減できる。さらに、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分以降は、p型ピラー領域43の不純物濃度は、その略中間部分からドレイン電極11に向かって徐々に減少する濃度勾配であるため、p型ピラー領域43とn型ピラー領域42との不純物量の差(アンバランス量)に対する耐圧低下を抑えてプロセスマージンを広く確保できる。
また、ソース電極12からドレイン電極11に向かう方向の略中間部分には、電界が集中しやすい段部が形成されているため、トレンチゲート底部付近への電界集中が緩和され、ゲート絶縁膜8へのキャリア注入等が抑制され信頼性が向上する。
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、それらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
前述した具体例では、第1導電型をn型、第2導電型をp型として説明したが、第1導電型をp型、第2導電型をn型としても実施可能である。
また、トレンチゲートやスーパージャンクション構造の平面パターンは、ストライプ状に限らず、格子状や千鳥状にしてもよい。
また、MOSFETに限らず、MOSFETとショットキーバリアダイオードとを混載した半導体装置、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)などの半導体装置にも本発明は適用可能である。
1…n+型半導体層、2…n型ピラー領域(第1の半導体ピラー領域)、2a…n+型領域、3…p型ピラー領域(第2の半導体ピラー領域)、4…ゲート電極(制御電極)、5…p型ベース領域(第1の半導体領域)、6…n+型ソース領域(第2の半導体領域)、7…p+型ベース領域、8,9…絶縁膜、11…ドレイン電極(第1の主電極)、12…ソース電極(第2の主電極)、21…n+型半導体層、22…n型ピラー領域(第1の半導体ピラー領域)、23…p型ピラー領域(第2の半導体ピラー領域)、24…ゲート電極(制御電極)、25…p型ベース領域(第1の半導体領域)、26…n+型ソース領域(第2の半導体領域)、27…p+型ベース領域、28,29…絶縁膜、31…ドレイン電極(第1の主電極)、32…ソース電極(第2の主電極)、35…第1の半導体層、39…第2の半導体層、42…n型ピラー領域(第1の半導体ピラー領域)、43…p型ピラー領域(第2の半導体ピラー領域)
Claims (5)
- 第1導電型の半導体層と、
前記半導体層の主面上に設けられた複数の第1導電型の第1の半導体ピラー領域と、
前記第1の半導体ピラー領域に隣接して、前記半導体層の主面上に設けられた複数の第2導電型の第2の半導体ピラー領域と、
前記半導体層の前記主面とは反対側の面に設けられた第1の主電極と、
前記第2の半導体ピラー領域の上に設けられた第2導電型の第1の半導体領域と、
前記第1の半導体領域の表層部に設けられた第1導電型の第2の半導体領域と、
前記第2の半導体領域の上に設けられた第2の主電極と、
前記第1の半導体領域及び前記第2の半導体領域に隣接し、前記第2の半導体領域の表面側から前記第1の半導体ピラー領域に達するトレンチと、
前記トレンチの内壁面に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記トレンチの内部に埋め込まれた制御電極と、
を備え、
前記第2の半導体ピラー領域の幅に対して中心部における縦方向の不純物濃度は、前記第2の主電極から前記第1の主電極に向かう方向の略中間部分までは略一定であり、前記略中間部分から前記第1の主電極に向かって徐々に減少していることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の半導体ピラー領域において、前記トレンチと前記第2の半導体ピラー領域との間の部分の不純物濃度は他の部分よりも高いことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体ピラー領域の不純物濃度は、前記第2の主電極から前記第1の主電極に向かう方向の略中間部分で最も低く、且つ前記第2の半導体ピラー領域の不純物濃度よりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の半導体ピラー領域の幅は、前記第2の主電極から前記第1の主電極に向かって段階的に狭くなっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 第1導電型の第1の半導体層の主面側からエッチングを複数回に分けて行い、前記主面側から深くなるにつれて段階的に幅が狭くなるトレンチを形成する工程と、
前記トレンチ内に第2導電型の第2の半導体層を埋め込む工程と、
前記第2の半導体層の表層部に第2導電型の第1の半導体領域を形成する工程と、
前記第1の半導体領域の表層部に第1導電型の第2の半導体領域を形成する工程と、
前記第1の半導体層の前記主面の反対側に第1の主電極を形成する工程と、
前記第2の半導体領域に接する第2の主電極を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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