JP2007299887A - 半導体集積回路素子搭載用基板および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スティフナー20は4つの角部50を有する矩形板状に形成されている。スティフナー20には、半導体集積回路素子30を収納可能な矩形状の開口部52が、その開口部52を構成する縁の4辺をスティフナー20の4辺に平行させて形成されている。開口部52の各角部54とスティフナー20の対応する各角部50にわたりスリット56が設けられている。スリット56の延在方向の一端は開口部52に開放状に形成され、他端はスティフナー20の対応する角部50の近傍に位置している。スリット56の延在方向と直交する方向におけるスリット56の幅Wはスリット56の延在方向の長さL1よりも小さい寸法で形成されている。
【選択図】図3
Description
このような多端子数の半導体素子をプリント配線板に実装するために、半導体素子とプリント配線板の基板との間には、インターポーザと呼ばれる多層回路配線板が配置され、両者の電気的接合の橋渡しを担っている。
前記多層回路配線板(インターポーザ)では、高密度に配置した半導体素子の端子との接合に対応するため、非常に薄い配線層等の層構造と、微細なライン・アンド・スペースを有する回路配線パターンを持つ特徴がある。
インターポーザへの半導体素子の搭載は、ハンダリフロー過程の処理プロセスにより行う。この製造プロセスでは、インターポーザと半導体素子との位置合わせの後、全体の雰囲気温度を260℃近辺まで昇温して、ハンダバンプを高温で融解し、インターポーザと半導体素子の各々ハンダバンプの所定箇所間を接合し、常温に戻す。温度低下と共に、ハンダバンプは固化してハンダバンプ接合は固定される。
このハンダリフロー過程の処理プロセスでは、インターポーザは薄く撓み易いので半導体素子搭載箇所を取り囲む形状のスティフナーと呼ばれる金属板を固着させ操作する。スティフナーは同一幅の枠型が一般的である。
多層回路配線板の半導体素子が搭載された部分はハンダによって半導体素子と固定されているため半導体素子が縮む量しか縮めず、伸びを維持した状態となっているのに対し、半導体素子より外周は可動できるため内側に縮む力が働く。このことから半導体素子との境界部分の多層回路配線板に変形が生じ、更に半導体素子にも応力がかかる。
特に半導体素子の角の部分では1点で応力が集中されてしまう。
また、同一幅の枠型のスティフナーが取りつけてあることにより、多層回路配線基板は半導体素子にかかる応力が分散しづらく、バンプの接続不良および素子の割れが発生しやすくなる。
このような問題を解決するために、半導体チップの応力を分散させるべく、スティフナー内周コーナー部に湾曲状の切り欠きを形成したことを特徴とする半導体装置が提案されている(特許文献1参照)。
しかし、Low−k材による絶縁膜はもろく、実装した多層回路配線基板の変形に耐えられず破壊されてしまうという問題があった。特に、多層回路配線基板が内層コアを有さない、フレキシブルなフィルム状絶縁体を絶縁層に用いたいわゆる薄型のコアレス基板である場合、熱履歴による変形は従来のプリント配線板よりも大きいため、Low−k材を用いた半導体チップの実装は困難を極めていた。
本発明は、従来の技術における、前記の様な問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、応力の分散を図りつつ多層回路配線基板に対する変形抑制効果を確保する上で有利な半導体集積回路素子搭載用基板および半導体装置を提供することにある。
請求項2記載の発明は、前記多層回路配線基板は、絶縁性フィルムと、前記絶縁性フィルムの厚さ方向の両面に積層された配線層とを含んで構成されていることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、前記スリットは前記幅が1mm以上3mm以下の寸法で形成されていることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、前記開口部の角部とこの角部に対応する前記スティフナーの角部との間を結ぶ仮想線上に前記開口部の中心が位置していることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、前記スリットの他端とこのスリットに対応する前記スティフナーの角部との距離が0.5mm以上5mm以下であることを特徴とする。
請求項6記載の発明は、前記多層回路配線基板の厚さは0.05mm以上0.5mm以下であることを特徴とする。
請求項7記載の発明は、請求項1乃至4に何れか1項記載の半導体集積回路素子搭載用基板の前記搭載面上で前記開口部の内側に前記半導体集積回路素子が搭載され、前記半導体集積回路素子は導電部を介して前記多層回路配線基板と電気的に接続された半導体装置であって、前記半導体集積回路素子は低誘電率材料を絶縁膜として用いたものであることを特徴とする。
請求項8記載の発明は、前記導電部は、前記半導体集積回路素子が前記搭載面に臨む箇所に設けられたはんだバンプと、前記搭載面が前記半導体集積回路素子に臨む箇所に設けられた電極パッドとがはんだ接合されることで構成されていることを特徴とする。
図1は本実施の形態の半導体集積回路素子搭載用基板2の断面図、図2は本実施の形態の半導体装置100の断面図である。
図1に示すように、半導体集積回路素子搭載用基板2は、多層回路配線基板10と、スティフナー20とを備えている。
多層回路配線基板10は、絶縁基材16(特許請求の範囲の絶縁性フィルムに相当)と、絶縁基材16の厚さ方向の両面に積層された配線層15とを含んで構成されている。本実施の形態では、多層回路配線基板10の厚さは0.05mm以上0.5mm以下の寸法で形成されている。
多層回路配線基板10の厚さは、0.05mm未満であると、基板の剛性が低下し変形をスティフナーで抑えきれない点で不利があり、0.5mmより大きいと、基板の配線が長くなるので電気特性が悪くなる点で不利がある。
絶縁基材16としては、例えば、ガラス/エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などが用いられている。また、配線層15としては、素材として銅がもっとも好ましいが、金属ペーストの焼結体なども任意に選択できる。
各配線層15の表面はソルダーレジスト13、14で覆われている。
多層回路配線基板10の厚さ方向の一方の面(ソルダーレジスト13の表面)が半導体集積回路素子30(図2参照)を搭載するための搭載面10Aとして形成されている。
搭載面10Aには半導体集積回路素子30と接続するための電極バンプ11が形成され、搭載面10Aの反対面10Bには、ハンダボール用パッド12が形成されている。
スティフナー20は、多層回路配線基板10の搭載面10Aの所定位置に接着剤層21を介して貼り合わせされ、加熱、硬化して固定されている。
図2に示すように、半導体装置100は、半導体集積回路素子搭載用基板2に半導体集積回路素子30を実装し、スティフナー20の内側で半導体集積回路素子30と多層回路配線基板10との間に、半導体集積回路素子30と多層回路配線基板10との接合を強化するためのアンダーフィル樹脂41を充填し、ハンダボール用パッド12上にはんだボール51を形成したものである。
まず、厚さ方向の一方の面(搭載面10A)に電極バンプ11が形成され、他方の面(反対面10B)にはんだボール用パッド12が形成され、搭載面10A、反対面10Bにそれぞれソルダーレジスト13、14が形成された多層回路配線板10を作製する。
なお、はんだボール用パッド12は、ソルダーレジスト14に形成されたソルダーレジスト開口部を介して外方に露出している。
図3はスティフナー20の平面図である。
図3に示すように、スティフナー20は4つの角部50を有する矩形板状に形成されている。
スティフナー20には、半導体集積回路素子30を収納可能な矩形状の開口部52が、その開口部52を構成する縁の4辺をスティフナー20の4辺に平行させて形成されている。
開口部52の各角部54とスティフナー20の対応する各角部50にわたりスリット56が設けられている。
スリット56の延在方向の一端は開口部52に開放状に形成され、他端はスティフナー20の対応する角部50の近傍に位置している。
スリット56の延在方向と直交する方向におけるスリット56の幅Wはスリット56の延在方向の長さL1よりも小さい寸法で形成されている。
本実施の形態では、スリットは幅Wが1mm以上3mm以下の寸法で形成されている。
スリットの幅Wが1mm未満であると、応力緩和の効果が弱くなる点で不利があり、3mmより大きいと基板の平坦度が悪化する点で不利がある。
また、開口部52の角部54とこの角部54に対応するスティフナー20の角部50との間を結ぶ仮想線上に開口部52の中心が位置している。
スリット56の他端とこのスリット56に対応するスティフナー20の角部50との距離L2が0.5mm以上5mm以下の寸法で形成されている。
距離L2が0.5mm未満であると、スティフナーの強度が低下して基板の変形を抑えられない点で不利があり、5mmより大きいと、応力緩和効果が弱くなる点で不利がある。
また、図2に示すように、スティフナー20の厚さは半導体集積回路素子30の厚さと電極バンプ11の高さを合わせた高さと同じにする必要がある。
これは、放熱板60を半導体集積回路素子30の多層回路配線基板10と接続されていない面に貼り合わせることから、半導体集積回路素子30の多層回路配線基板10と接続されていない面とスティフナー20上面の高さが揃っている必要があるためである。
スティフナー20の製法はエッチング、金型による打ち抜き、ワイヤーカットなどによる。
スティフナー20の形状は枠型であるが、枠の内側は半導体集積回路素子30が搭載されるため、半導体集積回路素子30の外形サイズよりも大きい必要がある。
図3に示すように、スティフナー20の開口部52の各角部54から形成させるスリット56は開口部52の角部54から対応するスティフナー20の角部50に向かって形成させる。応力を均等に分散させるために、スリット56の形状は、スリット56の外側に配置されるスティフナー20の角部50と開口部52の中心とをつなぐ直線に対して線対称のU字型あるいはI字型を呈している。
スリット56の外側に配置されるスティフナー20の角部50と開口部52の中心とをつなぐ直線に対して垂直方向のスリット56の幅Wを3mm以下にすることで、半導体集積回路素子30を実装した後の多層回路配線基板10の変形を抑えるべくスティフナー20内側をより半導体集積回路素子30に近づけた場合に、多層回路配線基板10の補強効果は損なわれることはない。
また、スリット56の長さL1は長いほど多層回路配線基板10の可動性は増すが、補強効果も持ちつつ、多層回路配線基板10全体で動くことを可能とするためには、スリット56の他端とスティフナー20の角部50との距離L2を0.5mm以上とするのが良い。
その結果、スリット56全体として可動性を持たせることができ、多層回路配線基板10全体で応力を分散させることが可能となり、半導体集積回路素子30に掛かる応力を緩和させられ、更に、実装後の多層回路配線基板10の変形も抑制させることができる。
これにより半導体装置100が完成する。
まず、厚さ方向の一方の面(搭載面10A)に電極パッド11を、他方の面(反対面10B)にはんだボール用パッド12及びソルダーレジスト13を形成した40×40mmサイズで150μm厚の多層回路配線基板10を作製した。
次に、スティフナー20を作製した。スティフナー20の外形は40×40mm、開口部52の内周は25×25mmとした。厚さは500μm、材質はCuとした。
スリット56の幅Wは2.5mm、スリット56の他端とスティフナー20の角部50との距離L2は2mmとした。
次に、多層回路配線基板10の所定位置にスティフナー20を貼り合わせ、加圧、加熱した。
次に、はんだバンプ31が形成された20mm角の半導体集積回路素子30をスティフナー20が形成された多層回路配線基板10の載置面10A上の所定位置に載置し、ハンダリフローにて半導体集積回路素子30のはんだバンプ31と多層回路配線基板10の電極パッド11をはんだ接合した。
次に、半導体集積回路素子30と多層回路配線基板10間にアンダーフィル樹脂41を充填、硬化した。
次に、半導体集積回路素子30の背面に40mm角の銅からなる放熱板60を接着させた。
さらに、はんだボール用パッド12上のソルダーレジスト開口部にはんだ球を載置し、はんだリフローにてはんだボール用パッド12上にはんだボール51を形成した。
これにより、半導体装置100を得た。
比較例1で用いる多層回路配線基板10と半導体集積回路素子30は実施例1と同様のものを用いた。
また、スティフナー20の外形は40×40mm、開口部52の内周は25×25mmとした。
厚さは500μm、材質はCuとしたが、開口部52の角部54にスリット56を設けていない。
比較例1も実施例1と同様に多層回路配線基板10にスティフナー20を貼り合わせた後、半導体集積回路素子30をはんだ接合させ、半導体集積回路素子30と多層回路配線基板10との間にアンダーフィル樹脂41を充填、硬化させた。
さらに、はんだボール用パッド12上のソルダーレジスト開口部にはんだ球を載置し、はんだリフローにてはんだボール用パッド12上にはんだボール51を形成して、半導体装置100を得た。
比較例2で用いる多層回路配線基板10と半導体集積回路素子30は実施例1および比較例1と同様のものを用いた。
また、スティフナー20の外形は40×40mm、開口部52の内周は25×25mmとした。
厚さは500μm、材質はCuとした。
開口部52の角部54には、直径4mmの円形の切り欠きを設けた。
比較例2も実施例1、比較例1と同様に多層回路配線基板10にスティフナー20を貼り合わせた後、半導体集積回路素子30をはんだ接合させ、半導体集積回路素子30と多層回路配線基板10との間にアンダーフィル樹脂41を充填、硬化させた。
さらに、はんだボール用パッド12上のソルダーレジスト開口部にはんだ球を載置し、はんだリフローにてはんだボール用パッド12上にはんだボール51を形成して、半導体装置100を得た。
表1に示すように、比較例1に示すスティフナー20を用いた半導体装置100では、ハンダバンプの接続不良、半導体集積回路素子30の割れ、Low−k膜の破壊が発生し、比較例2のスティフナー20を用いた場合は、ハンダバンプの接続不良、Low−k膜の破壊が発生しが発生した。
これに対して、実施例では、接続不良、半導体集積回路素子30の割れ、Low−k膜の破壊が無く、多層回路配線基板10の補強効果を有することが可能となるため、基板の反りの初期値からの増加量も比較例1、2に比べて抑制させることができた。
Claims (8)
- 厚さ方向の一方の面が半導体集積回路素子を搭載するための搭載面として形成された多層回路配線基板と、
前記搭載面に接着され4つの角部を有する矩形板状のスティフナーとを備え、
前記スティフナーには、前記半導体集積回路素子を収納可能な矩形状の開口部が、その開口部を構成する縁の4辺を前記スティフナーの4辺に平行させて形成されている半導体集積回路素子搭載用基板であって、
前記開口部の各角部と前記スティフナーの対応する各角部にわたり延在するスリットが設けられ、
前記スリットの延在方向の一端は前記開口部に開放状に形成され、他端は前記スティフナーの対応する角部の近傍に位置し、
前記スリットの延在方向と直交する方向における前記スリットの幅は前記スリットの延在方向の長さよりも小さい寸法で形成されている、
ことを特徴とする半導体集積回路素子搭載用基板。 - 前記多層回路配線基板は、絶縁性フィルムと、前記絶縁性フィルムの厚さ方向の両面に積層された配線層とを含んで構成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路素子搭載用基板。
- 前記スリットは前記幅が1mm以上3mm以下の寸法で形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路素子搭載用基板。
- 前記開口部の角部とこの角部に対応する前記スティフナーの角部との間を結ぶ仮想線上に前記開口部の中心が位置していることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路素子搭載用基板。
- 前記スリットの他端とこのスリットに対応する前記スティフナーの角部との距離が0.5mm以上5mm以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路素子搭載用基板。
- 前記多層回路配線基板の厚さは0.05mm以上0.5mm以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路素子搭載用基板。
- 請求項1乃至6に何れか1項記載の半導体集積回路素子搭載用基板の前記搭載面上で前記開口部の内側に前記半導体集積回路素子が搭載され、前記半導体集積回路素子は導電部を介して前記多層回路配線基板と電気的に接続された半導体装置であって、前記半導体集積回路素子は低誘電率材料を絶縁膜として用いたものであることを特徴とする半導体装置。
- 前記導電部は、前記半導体集積回路素子が前記搭載面に臨む箇所に設けられたはんだバンプと、前記搭載面が前記半導体集積回路素子に臨む箇所に設けられた電極パッドとがはんだ接合されることで構成されていることを特徴とする請求項7記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006125991A JP4894347B2 (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 半導体集積回路素子搭載用基板および半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006125991A JP4894347B2 (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 半導体集積回路素子搭載用基板および半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007299887A true JP2007299887A (ja) | 2007-11-15 |
JP4894347B2 JP4894347B2 (ja) | 2012-03-14 |
Family
ID=38769147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4894347B2 (ja) |
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---|---|
JP4894347B2 (ja) | 2012-03-14 |
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