JP2007285886A - 電圧振動型ヨーレートセンサおよびその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動体1を振動させるための駆動電極として,第1駆動電極2と第2駆動電極3とを設け,互いに対称な駆動信号Vd1,Vd2をこれら駆動電極に印加する。ここでさらに,チャージアンプ8の出力信号OUTから振動体電荷の情報を取り出し,これにより駆動信号Vd1,Vd2の一方の振幅を調整する。こうして,第1駆動電極2と第2駆動電極3における電荷の量をより良好に一致させ,振動体電荷の発生を抑えている。こうすることで,振動体1を大きい駆動力で駆動しても検出信号に振動体電荷の影響が現れないようにしている。かくして,大気中でも高精度なヨーレート検出ができるヨーレートセンサを実現した。
【選択図】図1
Description
2 第1駆動電極
3 第2駆動電極
9 ヨーレート検出回路
10 駆動部
11 振幅検出部
12 ゲインコントロール部
13 駆動タイミング生成部
14 2倍周期検波部
15 補正信号生成部
22 補正部
Claims (8)
- 振動体と,前記振動体に対して静電容量をなす第1および第2駆動電極と,前記振動体の電気信号に基づいてヨーレートを検出するヨーレート検出部と,前記第1および第2駆動電極に対し逆相の振動電圧を印加する駆動部とを有する電圧振動型ヨーレートセンサにおいて,
前記振動体の電気信号に基づいて,前記駆動部が発する振動電圧の振幅を調整する振幅調整部と,
前記振動体の電気信号に基づいて,前記駆動部が発する振動電圧の周波数および位相を決定するタイミング決定部と,
前記振動体の電気信号から前記振動体の電荷に相当する信号を抽出し,その抽出した信号に基づいて,前記振動体の電荷の発生を抑制する補正信号を出力する補正部とを有することを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサ。 - 請求項1に記載の電圧振動型ヨーレートセンサにおいて,前記補正部は,
前記振動体の電気信号を,その周波数の2倍の周波数で検波する検波部と,
前記検波部の出力信号に基づいて補正信号を生成する補正信号生成部とを有することを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサ。 - 請求項2に記載の電圧振動型ヨーレートセンサにおいて,前記検波部は,
前記タイミング決定部で決定した周波数の2倍の周波数で検波を行うものであることを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサ。 - 請求項1に記載の電圧振動型ヨーレートセンサにおいて,前記駆動部は,
前記補正部が出力する補正信号により,前記第1および第2駆動電極への振動電圧の一方の振幅を補正することを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサ。 - 振動体と,前記振動体に対して静電容量をなす第1および第2駆動電極と,前記振動体の電気信号に基づいてヨーレートを検出するヨーレート検出部と,前記第1および第2駆動電極に対し逆相の振動電圧を印加する駆動部とを有する電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法において,
前記振動体の電気信号に基づく,前記駆動部が発する振動電圧の振幅の調整と,
前記振動体の電気信号に基づく,前記駆動部が発する振動電圧の周波数および位相の決定と,
前記振動体の電気信号からの,前記振動体の電荷に相当する信号の抽出と,
その抽出した信号に基づく,前記振動体の電荷の発生を抑制する補正信号の出力とを行うことを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法。 - 請求項5に記載の電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法において,
前記振動体の電荷に相当する信号の抽出を,前記振動体の電気信号をその周波数の2倍の周波数で検波することにより行うことを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法。 - 請求項6に記載の電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法において,
前記振動体の電荷に相当する信号の抽出のための検波を,前記振動体の電気信号に基づいて決定した,前記駆動部が発する振動電圧の周波数の2倍の周波数で行うことを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法。 - 請求項5に記載の電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法において,
前記補正信号により,前記第1および第2駆動電極への振動電圧の一方の振幅を補正することを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001116553A (ja) * | 1999-09-09 | 2001-04-27 | Samsung Electro Mech Co Ltd | マイクロジャイロスコープの加振駆動電圧自動利得制御回路 |
JP2001330442A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Toyota Motor Corp | センサ素子及びセンサ装置 |
JP2002148047A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | ジャイロ装置 |
JP2004028869A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Toyota Motor Corp | 加速度角速度検出装置 |
JP2005043098A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Toyota Motor Corp | 物理量検出装置 |
JP2005098892A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 角速度センサ |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001116553A (ja) * | 1999-09-09 | 2001-04-27 | Samsung Electro Mech Co Ltd | マイクロジャイロスコープの加振駆動電圧自動利得制御回路 |
JP2001330442A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Toyota Motor Corp | センサ素子及びセンサ装置 |
JP2002148047A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | ジャイロ装置 |
JP2004028869A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Toyota Motor Corp | 加速度角速度検出装置 |
JP2005043098A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Toyota Motor Corp | 物理量検出装置 |
JP2005098892A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 角速度センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011506948A (ja) * | 2007-12-19 | 2011-03-03 | サジェム デファンス セキュリテ | 容量性素子の利得の補正方法及び該補正方法を実施する装置 |
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