JP2007283205A

JP2007283205A - ファンフィルタユニット

Info

Publication number: JP2007283205A
Application number: JP2006113170A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Kamisaka; 一郎上坂
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2006-04-17
Filing date: 2006-04-17
Publication date: 2007-11-01

Abstract

【課題】ファンフイルタユニットにおいて、クリーン空間での構成部品の着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省メンテナンス化を図る事ができることを目的とする。
【解決手段】ファン１とモータ２やファンガード３およびモータサポート４、吸い込み板５などを一体化したユニットとし、ねじによる締結をなくし、ユニットの自重で、チャンバーの開口部に配置したゲル化されたシール材であるゲル化シート８に密着させるようにしたので、チャンバーとファンモータなどから構成されるユニットとの結合が容易に実現することが可能になる効果が得られる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットの構造に関する。

従来、この種のファンフィルタユニットとしては構成部材などを交換する際にはクリーンルーム内側方向からアプローチして着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
特開２０００−８４３２６号公報

このような従来のファンフィルタユニットでは、モータ部などのメンテナンス時、ファンフィルタユニットを全て分離することが不可欠であり、着脱させるための構成部品が多点数となり、かつ着脱に有する時間がかかることとなり、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことによる内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。

通常メンテナンス時は上記理由より装置内部からメンテをする事はほとんどなく、装置上部からの脱着が行われる。また狭いメンテナンススペースに交換用の道具を多数持ち込まなければならないという課題もある。

また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、着脱構造に関し省メンテナンス性が望まれている。

本発明は、このような従来のメンテナンス時の構成部品の着脱時の課題を解決するものであり、クリーン空間での構成部品などの着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省メンテナンス性を向上させることができるファンフイルタユニットを提供する事を目的としている。

本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために装置上部からメンテナンスしやすいようファンとモータやファンガードおよびモータサポート、などを一体化した天板ユニットとすることで、着脱時に例えば開口部周りにゲル化されたシール材を配置したチャンバーの開口部に上記の一体化されたユニットを設置することで簡単に着脱可能となる。

また、他の手段は、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットに設けた取付穴を、例えば開口部の周りに設けられた突起物に挿入する事によって簡単に着脱可能となる。

また、他の手段は、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置し、さらに、一体化したユニットに取付穴を設け、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入することを特徴とする。この手段により、一体化されたユニットは、ファンフィルタユニットの上方から簡単に着脱可能となり、さらに、位置決めが容易となる。

本発明によれば、装置上部からメンテナンスしやすいようファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットとし、ねじによる締結をなくし、ユニットの自重で、チャンバーの開口部に配置したゲル化されたシール材に密着させるようにしたので、チャンバーとファンモータなどから構成されるユニットとの結合が容易に実現することが可能になる効果が得られる。

また、本発明によれば、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットとし、ねじによる締結をなくし、チャンバー開口部周りに設けた突起部に、ユニットに設けた穴を挿入して結合させるようにしたので、時間をかけることなくかつ、部品交換を簡単に行うことが可能になる効果が得られる。

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータ、モータサポートやオリフィス、ファンガードを一枚の板に取り付け一体化をする。一体化したユニットが取付できるようチャンバーに開口部を設け、その周りにエアリークしないゲル化されたシートを貼り付けておく。このゲル化されたシートは何回着脱を行っても硬化したりすることがない。一体化されたユニットを取り付ける場合、ユニットの自重でシートに密着する事により簡単に取付できるし、エアリークも防ぐ事が可能となる作用を有する。

また、本発明の請求項２記載の発明は、ファンとモータ、モータサポートや吸込み板、ファンガードを一枚の板に取り付け一体化をする。一体化したユニットの板に取付穴が規則性を有して配列しており、一体化したユニットが取付できるようチャンバーに開口部周囲に突起を複数備え、ユニットの穴とチャンバー開口周りの突起を簡単に挿入する事により結合できることを特徴とするファンフイルタユニットであり、結合方法が容易で、時間をかけることなくかつ、省メンテナンス化できる作用を有する。

また、本発明の請求項３記載の発明は、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置し、さらに、一体化したユニットに取付穴を設け、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入するものであり、一体化されたユニットは、ファンフィルタユニットの上方から簡単に着脱可能となり、さらに、位置決めが容易となる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１に示すようにファン１とモータ２、ファンガード３、モータサポート４や吸込み板５を天板部ユニット６に取り付け一体化をする。天板部ユニット６が取付できるようチャンバー７に開口部を設け、その周りにエアリークしないようにゲル化されたシール材であるゲル化シート８を貼り付けておく。そして、天板部ユニット６の周辺部がゲル化シート８に密着するよう、天板部ユニット６を取り付ける。

上記構成により、ゲル化されたゲル化シート８は、粘着性を持つため、天板部ユニット６は、自重でチャンバー７に貼り付けたゲル化シート８に密着し、エアリークを防ぐ事が可能となる。メンテナンスの際には、ゲル化シート８に粘着した天板部ユニット６をはがすようにして取り外すことでファンフィルタユニット内のメンテナンスが可能になる。

（実施の形態２）
図２に示すようにファン１とモータ２、ファンガード３、モータサポート４や吸込み板５を天板部ユニット６に取り付け一体化をする。天板部ユニット６が取付できるようチャンバー７に開口部を設け、その周りに天板部ユニット６の取付穴９と一対になるよう突起１０を複数備えた構造とする。

上記構成により、天板部ユニット６の取付穴９にチャンバー開口周りの突起１０を挿入する事により、チャンバー７と天板部ユニット６をねじ締め等の作業をせずに簡単に結合させることができる。

（実施の形態３）
図３に示すようにファン１とモータ２やファンガード３およびモータサポート４、吸込み板５などを一体化した天板部ユニット６に、ゲル化されたシール材であるゲル化シート８を開口部周りに配置したチャンバー７の開口部に設置し、さらに、天板部ユニット６が取付できるようチャンバー７に開口部を設け、その周りに天板部ユニット６の取付穴９と一対になるよう突起１０を複数備えた構造とする。

上記構成により、天板部ユニット６の取付穴９にチャンバー開口周りの突起１０を挿入する事により、チャンバー７と天板部ユニット６を簡単に結合させることができ、また、粘着性を持ったゲル化シート８により天板部ユニット６とチャンバー７とが密着し、チャンバー７と天板部ユニット６との接合部からの空気漏れを防ぐことができる。

以上のように本発明によれば、容易に時間と手間をかけずにユニットを脱着することができ、またファン、モータなどが一体化されたユニットとチャンバーの固定位置の標準化ができ、大きさの異なるチャンバーでも固定位置の互換性が実現でき、クリーンルーム内で用いられるファンフイルタユニットのメンテナンスに適用できる。

本発明の実施の形態１の構成を示す構成図本発明の実施の形態２の構成を示す構成図本発明の実施の形態３の構成を示す構成図

符号の説明

１ファン
２モータ
３ファンガード
４モータサポート
５吸込み板
６天板部ユニット
７チャンバー
８ゲル化シート
９取付穴
１０突起

Claims

ファンとモータ、フィルタ−から成るファンフィルタユニットにおいて、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置することにより得られるファンフィルタユニット。
ファンとモータ、フィルタ−から成るファンフィルタユニットにおいて、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入することにより得られるファンフイルタユニット。
ファンとモータ、フィルタ−から成るファンフィルタユニットにおいて、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置し、さらに、一体化したユニットに取付穴を設け、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入する事によって得られるファンフィルタユニット。