JP2007283205A

JP2007283205A - Fan filter unit

Info

Publication number: JP2007283205A
Application number: JP2006113170A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Kamisaka; 一郎上坂
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2006-04-17
Filing date: 2006-04-17
Publication date: 2007-11-01

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fine filter unit which is so constituted that its components can be attached or detached in a clean space over a short period of time and maintenance work on its attachment/detachment mechanism can be reduced. <P>SOLUTION: The fine filter is constituted of a fan 1, a motor 2, a fan guard 3, a motor support 4, a suction plate 5 and the like which are integrated into one unit so that the unit can be tightly fastened by its dead weight to a gelated sheet 8 namely a gelated seal member disposed on the opening of a chamber eliminating fastening by a screw, and thereby an effect that the chamber and the unit comprised of the components such as the fan motor are easily fastened together can be attained. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットの構造に関する。 The present invention relates to a structure of a fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.

従来、この種のファンフィルタユニットとしては構成部材などを交換する際にはクリーンルーム内側方向からアプローチして着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
特開２０００−８４３２６号公報 Conventionally, this type of fan filter unit is configured to be detachable by approaching from the inside of the clean room when replacing components or the like (see, for example, Patent Document 1).
JP 2000-84326 A

このような従来のファンフィルタユニットでは、モータ部などのメンテナンス時、ファンフィルタユニットを全て分離することが不可欠であり、着脱させるための構成部品が多点数となり、かつ着脱に有する時間がかかることとなり、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことによる内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。 In such a conventional fan filter unit, it is indispensable to separate all the fan filter units during maintenance of the motor unit, etc., and the number of components to be attached / detached is multipoint, and it takes time to attach / detach. There is a problem that a person enters a clean space in which a clean environment should be maintained and the chemical filter is exchanged to cause an obstacle to the internal clean environment.

通常メンテナンス時は上記理由より装置内部からメンテをする事はほとんどなく、装置上部からの脱着が行われる。また狭いメンテナンススペースに交換用の道具を多数持ち込まなければならないという課題もある。 During normal maintenance, there is almost no maintenance from the inside of the apparatus for the above reason, and the detachment from the upper part of the apparatus is performed. There is also a problem that many replacement tools must be brought into a narrow maintenance space.

また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、着脱構造に関し省メンテナンス性が望まれている。 In addition, with the recent movement of local cleaning, the space for maintaining a clean environment has been reduced in size, and it is difficult to secure a maintenance space in the clean space by various manufacturing equipment installed inside. Conservative maintenance is desired.

本発明は、このような従来のメンテナンス時の構成部品の着脱時の課題を解決するものであり、クリーン空間での構成部品などの着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省メンテナンス性を向上させることができるファンフイルタユニットを提供する事を目的としている。 The present invention solves such a problem of conventional component mounting / removal at the time of maintenance, and can be performed in a short time for mounting / dismounting the component in a clean space. The object is to provide a fan filter unit capable of improving maintainability.

本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために装置上部からメンテナンスしやすいようファンとモータやファンガードおよびモータサポート、などを一体化した天板ユニットとすることで、着脱時に例えば開口部周りにゲル化されたシール材を配置したチャンバーの開口部に上記の一体化されたユニットを設置することで簡単に着脱可能となる。 The fan filter unit of the present invention is a top plate unit in which a fan, a motor, a fan guard, a motor support, and the like are integrated so that maintenance can be easily performed from the upper part of the apparatus in order to achieve the above object. It becomes easy to attach and detach by installing the integrated unit in the opening of the chamber in which the sealing material gelled is arranged.

また、他の手段は、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットに設けた取付穴を、例えば開口部の周りに設けられた突起物に挿入する事によって簡単に着脱可能となる。 In addition, other means can be easily achieved by inserting mounting holes provided in a unit in which a fan, a motor, a fan guard, a motor support, a suction plate, and the like are integrated into, for example, a protrusion provided around the opening. Detachable.

また、他の手段は、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置し、さらに、一体化したユニットに取付穴を設け、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入することを特徴とする。この手段により、一体化されたユニットは、ファンフィルタユニットの上方から簡単に着脱可能となり、さらに、位置決めが容易となる。 Another means is to install a unit in which a fan, a motor, a fan guard, a motor support, a suction plate, and the like are integrated in an opening of a chamber in which a gelled sealing material is arranged around the opening. A mounting hole is provided in the integrated unit, and the unit is inserted into a protrusion provided around the opening of the chamber. By this means, the integrated unit can be easily attached and detached from above the fan filter unit, and further, positioning becomes easy.

本発明によれば、装置上部からメンテナンスしやすいようファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットとし、ねじによる締結をなくし、ユニットの自重で、チャンバーの開口部に配置したゲル化されたシール材に密着させるようにしたので、チャンバーとファンモータなどから構成されるユニットとの結合が容易に実現することが可能になる効果が得られる。 According to the present invention, a fan, a motor, a fan guard, a motor support, a suction plate, and the like are integrated into a unit so that maintenance can be easily performed from the upper part of the apparatus. Since it is made to adhere to the gelled sealing material, it is possible to easily realize the coupling between the chamber and the unit composed of a fan motor and the like.

また、本発明によれば、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットとし、ねじによる締結をなくし、チャンバー開口部周りに設けた突起部に、ユニットに設けた穴を挿入して結合させるようにしたので、時間をかけることなくかつ、部品交換を簡単に行うことが可能になる効果が得られる。 In addition, according to the present invention, a unit in which a fan, a motor, a fan guard, a motor support, a suction plate, and the like are integrated, screw fastening is eliminated, and a hole provided in the unit is provided in a protrusion provided around the chamber opening. Thus, it is possible to easily replace parts without taking time.

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータ、モータサポートやオリフィス、ファンガードを一枚の板に取り付け一体化をする。一体化したユニットが取付できるようチャンバーに開口部を設け、その周りにエアリークしないゲル化されたシートを貼り付けておく。このゲル化されたシートは何回着脱を行っても硬化したりすることがない。一体化されたユニットを取り付ける場合、ユニットの自重でシートに密着する事により簡単に取付できるし、エアリークも防ぐ事が可能となる作用を有する。 According to the first aspect of the present invention, a fan and a motor, a motor support, an orifice, and a fan guard are attached and integrated on a single plate. An opening is provided in the chamber so that an integrated unit can be attached, and a gelled sheet that does not leak air is pasted around the opening. This gelled sheet does not harden no matter how many times it is attached or detached. When an integrated unit is attached, the unit can be easily attached by being in close contact with the sheet by its own weight, and air leakage can be prevented.

また、本発明の請求項２記載の発明は、ファンとモータ、モータサポートや吸込み板、ファンガードを一枚の板に取り付け一体化をする。一体化したユニットの板に取付穴が規則性を有して配列しており、一体化したユニットが取付できるようチャンバーに開口部周囲に突起を複数備え、ユニットの穴とチャンバー開口周りの突起を簡単に挿入する事により結合できることを特徴とするファンフイルタユニットであり、結合方法が容易で、時間をかけることなくかつ、省メンテナンス化できる作用を有する。 According to a second aspect of the present invention, a fan and a motor, a motor support, a suction plate, and a fan guard are attached and integrated on a single plate. Mounting holes are regularly arranged on the plate of the integrated unit, and the chamber has a plurality of protrusions around the opening so that the integrated unit can be attached. It is a fan filter unit characterized in that it can be connected by simply inserting it, and it has an action that can be connected easily, saves time, and saves maintenance.

また、本発明の請求項３記載の発明は、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置し、さらに、一体化したユニットに取付穴を設け、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入するものであり、一体化されたユニットは、ファンフィルタユニットの上方から簡単に着脱可能となり、さらに、位置決めが容易となる。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a chamber opening in which a unit in which a fan, a motor, a fan guard, a motor support, a suction plate and the like are integrated is provided with a gelled sealing material around the opening. In addition, a mounting hole is provided in the integrated unit and inserted into a protrusion provided around the opening of the chamber. The integrated unit can be easily installed from above the fan filter unit. It becomes detachable, and positioning becomes easier.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１に示すようにファン１とモータ２、ファンガード３、モータサポート４や吸込み板５を天板部ユニット６に取り付け一体化をする。天板部ユニット６が取付できるようチャンバー７に開口部を設け、その周りにエアリークしないようにゲル化されたシール材であるゲル化シート８を貼り付けておく。そして、天板部ユニット６の周辺部がゲル化シート８に密着するよう、天板部ユニット６を取り付ける。 (Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, the fan 1, the motor 2, the fan guard 3, the motor support 4 and the suction plate 5 are attached to and integrated with the top plate unit 6. An opening is provided in the chamber 7 so that the top plate unit 6 can be attached, and a gelled sheet 8 which is a gelled sealing material is pasted around the chamber 7 so as not to leak air. Then, the top plate unit 6 is attached so that the peripheral portion of the top plate unit 6 is in close contact with the gelled sheet 8.

上記構成により、ゲル化されたゲル化シート８は、粘着性を持つため、天板部ユニット６は、自重でチャンバー７に貼り付けたゲル化シート８に密着し、エアリークを防ぐ事が可能となる。メンテナンスの際には、ゲル化シート８に粘着した天板部ユニット６をはがすようにして取り外すことでファンフィルタユニット内のメンテナンスが可能になる。 With the above configuration, since the gelled sheet 8 has adhesiveness, the top panel unit 6 can be in close contact with the gelled sheet 8 attached to the chamber 7 by its own weight, and air leakage can be prevented. Become. During maintenance, the fan filter unit can be maintained by removing the top plate unit 6 adhered to the gelled sheet 8 so as to be removed.

（実施の形態２）
図２に示すようにファン１とモータ２、ファンガード３、モータサポート４や吸込み板５を天板部ユニット６に取り付け一体化をする。天板部ユニット６が取付できるようチャンバー７に開口部を設け、その周りに天板部ユニット６の取付穴９と一対になるよう突起１０を複数備えた構造とする。 (Embodiment 2)
As shown in FIG. 2, the fan 1, the motor 2, the fan guard 3, the motor support 4 and the suction plate 5 are attached to and integrated with the top plate unit 6. An opening is provided in the chamber 7 so that the top plate unit 6 can be attached, and a plurality of projections 10 are provided around the chamber 7 so as to be paired with the attachment holes 9 of the top plate unit 6.

上記構成により、天板部ユニット６の取付穴９にチャンバー開口周りの突起１０を挿入する事により、チャンバー７と天板部ユニット６をねじ締め等の作業をせずに簡単に結合させることができる。 With the above configuration, by inserting the projection 10 around the chamber opening into the mounting hole 9 of the top plate unit 6, the chamber 7 and the top plate unit 6 can be easily coupled without performing operations such as screwing. it can.

（実施の形態３）
図３に示すようにファン１とモータ２やファンガード３およびモータサポート４、吸込み板５などを一体化した天板部ユニット６に、ゲル化されたシール材であるゲル化シート８を開口部周りに配置したチャンバー７の開口部に設置し、さらに、天板部ユニット６が取付できるようチャンバー７に開口部を設け、その周りに天板部ユニット６の取付穴９と一対になるよう突起１０を複数備えた構造とする。 (Embodiment 3)
As shown in FIG. 3, a gelled sheet 8 which is a gelled sealing material is opened in a top plate unit 6 in which a fan 1, a motor 2, a fan guard 3, a motor support 4, a suction plate 5, and the like are integrated. Installed in the opening of the chamber 7 disposed around, and further provided with an opening in the chamber 7 so that the top plate unit 6 can be attached, and a projection to be paired with the attachment hole 9 of the top plate unit 6 around the opening. It is set as the structure provided with two or more.

上記構成により、天板部ユニット６の取付穴９にチャンバー開口周りの突起１０を挿入する事により、チャンバー７と天板部ユニット６を簡単に結合させることができ、また、粘着性を持ったゲル化シート８により天板部ユニット６とチャンバー７とが密着し、チャンバー７と天板部ユニット６との接合部からの空気漏れを防ぐことができる。 With the above configuration, by inserting the protrusion 10 around the chamber opening into the mounting hole 9 of the top plate unit 6, the chamber 7 and the top plate unit 6 can be easily combined and have adhesiveness. The top plate unit 6 and the chamber 7 are in close contact with each other by the gelled sheet 8, and air leakage from the joint between the chamber 7 and the top plate unit 6 can be prevented.

以上のように本発明によれば、容易に時間と手間をかけずにユニットを脱着することができ、またファン、モータなどが一体化されたユニットとチャンバーの固定位置の標準化ができ、大きさの異なるチャンバーでも固定位置の互換性が実現でき、クリーンルーム内で用いられるファンフイルタユニットのメンテナンスに適用できる。 As described above, according to the present invention, the unit can be easily attached and detached without taking time and effort, and the unit in which the fan and the motor are integrated and the fixing position of the chamber can be standardized. Even in different chambers, interchangeability of fixed positions can be realized, which can be applied to maintenance of fan filter units used in clean rooms.

本発明の実施の形態１の構成を示す構成図The block diagram which shows the structure of Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態２の構成を示す構成図The block diagram which shows the structure of Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態３の構成を示す構成図The block diagram which shows the structure of Embodiment 3 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ファン
２モータ
３ファンガード
４モータサポート
５吸込み板
６天板部ユニット
７チャンバー
８ゲル化シート
９取付穴
１０突起 1 fan 2 motor 3 fan guard 4 motor support 5 suction plate 6 top plate unit 7 chamber 8 gelling sheet 9 mounting hole 10 protrusion

Claims

ファンとモータ、フィルタ−から成るファンフィルタユニットにおいて、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置することにより得られるファンフィルタユニット。 A fan filter unit consisting of a fan, a motor, and a filter. An opening part of a chamber in which a unit in which a fan, a motor, a fan guard, a motor support, a suction plate, etc. are integrated is placed with a gelled sealant around the opening part. Fan filter unit obtained by installing in

ファンとモータ、フィルタ−から成るファンフィルタユニットにおいて、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入することにより得られるファンフイルタユニット。 In a fan filter unit consisting of a fan, motor, and filter, by inserting a unit in which the fan, motor, fan guard, motor support, suction plate, etc. are integrated, into a protrusion provided around the opening of the chamber The resulting fan filter unit.

ファンとモータ、フィルタ−から成るファンフィルタユニットにおいて、ファンとモータやファンガードおよびモータサポート、吸込み板などを一体化したユニットを、ゲル化されたシール材を開口部周りに配置したチャンバーの開口部に設置し、さらに、一体化したユニットに取付穴を設け、チャンバーの開口部の周りに設けられた突起物に挿入する事によって得られるファンフィルタユニット。 A fan filter unit consisting of a fan, a motor, and a filter. An opening part of a chamber in which a unit in which a fan, a motor, a fan guard, a motor support, a suction plate, etc. are integrated is placed with a gelled sealant around the opening part. A fan filter unit that is obtained by installing in a unit, further providing a mounting hole in the integrated unit, and inserting it into protrusions provided around the opening of the chamber.