JP2005195268A

JP2005195268A - ファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体

Info

Publication number: JP2005195268A
Application number: JP2004002731A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Hasegawa; 永長谷川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-01-08
Filing date: 2004-01-08
Publication date: 2005-07-21

Abstract

【課題】ファンフィルタユニットにおいて、クリーン空間でのフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省スペース化および、用途に応じたフィルタの選定において固定位置の標準化ができ、種類の異なるフィルタ同士での固定位置の互換性の実現ができることを目的とする。
【解決手段】ファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、ファンユニット３の下流側に塵埃除去フィルタ５を配設した空気清浄ユニット６と、受け金具７と止め金具８からなる固定金具９からなり、チャンバー４に複数個の受け金具７を備え、塵埃除去フィルタ５に受け金具７と同数の止め金具８が配置され、受け金具７と止め金具８の一対同士を接合することによりチャンバー４と塵埃除去フィルタ５を接合することができるファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体が得られる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットのフィルタ取付け構造に関する。

従来、この種のフィルタ取付構造は、別途形状の異なる接合部材やヒンジを組み合わせてフィルタを着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
特開２０００−２４４１４７号公報（［００２７］〜［００３４］図１〜図１６）

このような従来のフィルタ着脱方法では、着脱させるための構成部品の構造が複雑となり、かつ着脱に有する時間がかかることとなり、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことによる内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。

また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、フィルタ着脱構造に関し省スペース化が望まれている。

また、フィルタ着脱作業についても製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なえることが要求されている。

本発明は、このような従来のフィルタ着脱の課題を解決するものであり、クリーン空間でのフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省スペース化および、用途に応じたフィルタの選定において固定位置の標準化ができ、種類の異なるフィルタ同士での固定位置の互換性の実現ができるファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体を提供する事を目的としている。

本発明のフィルタ交換装置は、上記目的を達成するためにファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットと、受け金具と止め金具からなる固定金具からなり、前記チャンバーに複数個の前記受け金具を備え、前記塵埃除去フィルタに前記受け金具と同数の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記塵埃除去フィルタを接合させることを特徴とするファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体である。

上記の目的を達成するために、本発明は受け金具と止め金具からなる固定金具からなり、前記チャンバーに複数個の前記受け金具を備え、前記塵埃除去フィルタに前記受け金具と同数の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記塵埃除去フィルタを容易に接合できるようにしたものである。

また、他の手段は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーと前記塵埃除去フィルタの間に少なくとも１枚以上のケミカルフィルタを備え、前記ケミカルフィルタに複数個の前記受け金具と複数個の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記ケミカルフィルタと前記塵埃除去フィルタを接合させることを特徴とするファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体である。

上記の目的を達成するために、本発明は前記ケミカルフィルタに複数個の前記受け金具と複数個の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記ケミカルフィルタと前記塵埃除去フィルタを容易に接合できるようにしたものである。

また、他の手段は、前記受け金具と前記止め金具の取りつけ位置を鉛直方向に対し一直線に位置するところに設けたことを特徴としたものである。

上記の目的を達成するために本発明は、前記チャンバに対し塵埃除去フィルタやケミカルフィルタの取りつけ位置を固定することで、用途に応じたフィルタの選定において固定位置の標準化ができるようにしたものである。

本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットと、受け金具と止め金具からなる固定金具からなり、チャンバーに複数個の受け金具を備え、塵埃除去フィルタに受け金具と同数の止め金具を備え、受け金具と止め金具の一対同士を接合することによりチャンバーと塵埃除去フィルタを接合させるようにしたので、チャンバーと塵埃除去フィルタの接合が容易に実現することが可能になる効果が得られる。

また、本発明によれば、チャンバーと塵埃除去フィルタの間に設けられたケミカルフィルタに複数個の受け金具と複数個の止め金具を備えることにより、チャンバーとケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを接合させるようにしたので、チャンバーと塵埃フィルタ、ケミカルフィルタの接合が容易に、時間をかけることなくかつ、省スペース化の実現が可能になる効果が得られる。

また、本発明によれば、受け金具と止め金具の取りつけ位置を鉛直方向に対し一直線に位置するところに設けることで、用途に応じたフィルタの選定において固定位置の標準化ができ、種類の異なるフィルタ同士での固定位置の互換性の効果が得られる。

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットと、受け金具と止め金具からなる固定金具からなり、前記チャンバーに複数個の前記受け金具を備え、前記塵埃除去フィルタに前記受け金具と同数の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記塵埃除去フィルタを接合させることを特徴とするファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体であり、チャンバーと塵埃除去フィルタの接合が容易に実現できるという作用を有する。

また、本発明の請求項２記載の発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーと前記塵埃除去フィルタの間に少なくとも１枚以上のケミカルフィルタを備え、前記ケミカルフィルタに複数個の前記受け金具と複数個の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記ケミカルフィルタと前記塵埃除去フィルタを接合させることを特徴とするファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体であり、接合方法が容易で、時間をかけることなくかつ、省スペース化の実現ができる作用を有する。

また、本発明の請求項３記載の発明は、前記受け金具と前記止め金具の取りつけ位置を鉛直方向に対し一直線に位置するところに設けたことを特徴とする請求項1記載または請求項２のファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体であり、用途に応じたフィルタの選定において固定位置の標準化ができ、種類の異なるフィルタ同士での固定位置の互換性の実現ができる作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１に示すようにファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、ファンユニット３の下流側に塵埃除去フィルタ５を配設した空気清浄ユニット６と、受け金具７と止め金具８からなる固定金具９からなり、前記チャンバー４に複数個の前記受け金具７を備え、前記塵埃除去フィルタ５に前記受け金具７と同数の前記止め金具８が配置される。

上記構成において前記受け金具７と前記止め金具８の一対同士を接合することにより前記チャンバー４と前記塵埃除去フィルタ５を接合することができる。

（実施の形態２）
図２に示すように前記チャンバー４と前記塵埃除去フィルタ５の間に少なくとも１枚以上のケミカルフィルタ１０を備え、前記ケミカルフィルタ１０に複数個の前記受け金具７と複数個の前記止め金具８が配置される。

上記構成において、前記受け金具７と前記止め金具８の一対同士を接合することにより前記チャンバー４と前記ケミカルフィルタ１０と前記塵埃除去フィルタ５を接合させることができる。

（実施の形態３）
図３に示すように前記受け金具７と前記止め金具８の取りつけ位置を鉛直方向に対し一直線に位置するところに配置される。

上記構成において固定位置の標準化ができ、種類の異なるフィルタ同士での固定位置の互換性が実現できる。

以上のように本発明によれば、チャンバーに複数個の受け金具を備え、塵埃除去フィルタおよびケミカルフィルタに受け金具と同数の止め金具を備え、受け金具と止め金具の一対同士を接合することによりチャンバーとケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタを容易に時間と手間をかけずに一体で接合することができ、また受け金具と止め金具の取りつけ位置を鉛直方向に対し一直線に位置するところに配置することにより、固定位置の標準化ができ、種類の異なるフィルタ同士での固定位置の互換性が実現ができ、クリーンルーム内で用いられるファンフィルタユニットのフィルタ取付けの用途に適用できる。

本発明の実施の形態１の構成を示す正面図本発明の実施の形態２の構成を示す正面図本発明の実施の形態３の構成を示す正面図

符号の説明

１ファン
２モーター
３ファンユニット
４チャンバー
５塵埃除去フィルタ
６空気清浄ユニット
７受け金具
８止め金具
９固定金具
１０ケミカルフィルタ

Claims

ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットと、受け金具と止め金具からなる固定金具からなり、前記チャンバーに複数個の前記受け金具を備え、前記塵埃除去フィルタに前記受け金具と同数の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記塵埃除去フィルタを接合させることを特徴とするファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体。
ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーと前記塵埃除去フィルタの間に少なくとも１枚以上のケミカルフィルタを備え、前記ケミカルフィルタに複数個の前記受け金具と複数個の前記止め金具を備え、前記受け金具と前記止め金具の一対同士を接合することにより前記チャンバーと前記ケミカルフィルタと前記塵埃除去フィルタを接合させることを特徴とするファンフィルタユニット用フィルタ取付構造体。
前記受け金具と前記止め金具の取りつけ位置を鉛直方向に対し一直線に位置するところに設けたことを特徴とする請求項1または２記載のファンフィルタユニット用フイルタ取付構造体。