JP2008096007A - ファンフィルタユニット - Google Patents

Abstract

【課題】清浄空間を必要とするクリーンルームに使用されるファンフィルタユニットにおいて、フィルタユニットの着脱を容易にすることを目的とする。
【解決手段】ファン１とモータ２を内包したチャンバ３とチャンバ３の下流側に除塵フィルタ６を配設したファンフィルタユニット７は、前記チャンバ３と除塵フィルタ６の間に弾性体固定手段５を設けて、弾性体固定手段５はチャンバ３と除塵フィルタ６を嵌合手段で連結されることにより、除塵フィルタ６は締結工具を使用しないので着脱作業時間の短縮ができる効果を得られる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットの取付装置に関する。

従来、この種のファンフィルタユニットの取付装置は、ファンフィルタユニット構造体のチャンバ下流側に設けられる除塵フィルタと共に積層構造を成してクリーンルーム内の構造物天面に取付けられたものが知られている（例えば特許文献１参照）。

ここで、ファンフィルタユニットの取付装置について具体的な構成を図９を参照しながら説明する。

図に示すように、ファンフィルタユニット７はファン１とモータ２からなるファンユニットを内包するチャンバ３とチャンバ３の下方に着脱可能な除塵フィルタ６からなり、前記除塵フィルタ６の断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた除塵フィルタ６の上流側貫通穴１０１と下流側貫通穴１０２を設け、固定手段１０３により上流側貫通穴１０１で前記チャンバ３に固定される。また、ファンフィルタユニット７は、開口部を設けた構造物１０４の開口部天面に配し、前記チャンバ３に配した本体固定金具１０１により開口部縁部に固定している。また前記除塵フィルタ６の下流側貫通穴１０２は、前記チャンバ３に除塵フィルタ６固定後は、穿孔手段１０５を施している。また、前記除塵フィルタ６とチャンバ３の接触部の気密保持のためのシール材１０６を設けている。
特開２０００−２４４１４７号公報（段落００２７〜００３４、図１〜１６）

このような従来のチャンバと除塵フィルタの積層構造では、フィルタの交換やモータのメンテナンス交換などの際、ファンフィルタユニットを除塵フィルタと共に構造物から一旦メンテナンスのための作業スペースに移動し、フィルタ、モータなどをファンフィルタユニットから分離する必要がある。除塵フィルタ分離する際、一般的に除塵フィルタは本体下面よりねじ等の固定手段で固定されているので、除塵フィルタ固定状態でファンフィルタユニットを天地逆にひっくり返し、穿孔手段を取り除き、構成部品の除塵フィルタを取外す必要があり、着脱に有する時間と手間がかかり、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内外に人が入って除塵フィルタの交換作業をおこなうことによる内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。

また、設置当初に比べ稼動時の構造物上部のメンテナンス空間は、設備のユニット化、省スペース化により縮小傾向にあり、メンテナンススペースの確保が困難なため、除塵フィルタ着脱構造に関し簡素化が要求されている。

また、除塵フィルタの下流側貫通穴の穿孔手段は、突起物として構造物に接すため配設安定性を損なうという課題があり、ファンフィルタユニットを安定して設置できることが要求されている。

また、通常運転時には、運転騒音、運転振動が発生し、作業環境を阻害するという課題があり低騒音、低振動が要求されている。

本発明は、このような従来のフィルタ着脱の課題を解決するものであり、クリーン空間でのフィルタ着脱を省スペースで容易にかつ短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省部品および、メンテナンス省力化ができ、運転時には低騒音、振動軽減のファンフィルタユニットを提供することを目的としている。

本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、前記チャンバと除塵フィルタの間に弾性体固定手段を設けてなるファンフィルタユニットとしたものである。

また、他の手段は、弾性体固定手段で、チャンバ外部の周縁部と除塵フィルタ側面側を一部包括する断面略Ｌ形状もしくは断面略Ｓ形状の複合形状でゴム状の弾性体固定手段を有する請求項１記載のフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、弾性体固定手段で、除塵フィルタ側面周縁部分に接するように内側に張りだした断面略方形形状または断面略円形状を有する請求項１記載のフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、チャンバの吹出し側周縁部に内側に突出したＬ字状の引掛け部を設け、弾性体固定手段は、チャンバ周縁部の引掛け部に沿った断面略Ｌ形状のスリット溝を形成する請求項１記載のフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、チャンバ下部の除塵フィルタ設置側に弾性体固定手段を固定する断面コ形状を有し、前記断面コ形状に嵌合する弾性体固定手段を有する請求項１記載のフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、弾性体固定手段で、チャンバ周縁部から外側に向かい突出した所定の剛性のある庇形状を有し、庇面に所定の間隔で穴を穿った請求項１〜５記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、本発明によれば弾性体固定手段は、異なる弾性係数を有する弾性体を複数組み合せて本体仮固定手段を有する請求項１記載のフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、前記除塵フィルタのフレーム側面外周に所定の凹形状を形成して、前記チャンバと除塵フィルタの間に断面略Ｓ形状の弾性体固定手段を設けて、Ｓ形状の一端が前記除塵フィルタ凹に嵌合する請求項１記載のフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、前記弾性体固定手段は、チャンバ内側の側面を覆うような接触壁を有する請求項１〜８のいずれかに記載のフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、チャンバ、除塵フィルタの近接部分にそれぞれ外側に突出した庇部を設けて、前記チャンバと除塵フィルタの間にＥ字型の弾性体固定手段で前記庇部Ｅ字型の空間で挟み込む構成としたフィルタユニットの取付装置としたものである。

これらの手段によりクリーン空間での本体チャンバと除塵フィルタの着脱を省スペースで容易にかつ短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省部品および、メンテナンス省力化ができ、低騒音、振動軽減のファンフィルタユニットの取付装置を提供することができる。

本発明によれば、除塵フィルタをチャンバに固定する締結工具を使用しないので着脱作業時間の短縮ができる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。

また、除塵フィルタ、チャンバ間に密着性のある弾性体固定手段を用いて、気密性に効果あるフィルタユニットの取付装置を提供できる。

また、除塵フィルタ、チャンバの取付用貫通穴が不要な、設置安定性を改善できるファンフィルタユニットを提供できる。

また、チャンバの着脱が容易なファンフィルタユニットを提供できる。

また、運転時の振動を軽減できる弾性体固定手段をもつファンフィルタユニットを提供できる。

また、チャンバからの発生騒音を軽減できるファンフィルタユニットを提供できる。

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、前記チャンバと除塵フィルタの間に弾性体固定手段を設けてなるファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、除塵フィルタを弾性体固定手段で専用工具なしに組付けできるという作用を有する。

本発明の請求項２記載の発明は、弾性体固定手段は、チャンバ外部の周縁部の除塵フィルタ側を一部包括する断面略Ｌ形状もしくは断面略Ｓ形状でゴム状の弾性体固定手段を有する請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、前記形状は、チャンバへの装着性とチャンバと除塵フィルタとの気密を兼ねた作用を有する。

本発明の請求項３記載の発明は、弾性体固定手段は、除塵フィルタ側面周縁部分に接するように内側に張りだした断面略方形形状または断面略円形状を有する請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、弾性体固定手段と除塵フィルタの密着性を増長する作用を有する。

本発明の請求項４記載の発明は、弾性体固定手段は、チャンバ周縁部のＬ字状の引掛け部に沿った断面略Ｌ形状のスリット溝を形成する請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、チャンバへ容易に装着でき気密性に寄与する作用を有する。

本発明の請求項５記載の発明は、チャンバの除塵フィルタ設置側に弾性体固定手段を固定する断面コ形状を有するファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、容易に弾性体固定手段をチャンバに組付けできる構造としたので、チャンバ設置を弾性体の弾性を利用し、除塵フィルタを固定する作用を有する。

本発明の請求項６記載の発明は、弾性体固定手段は、チャンバ周縁部から外側に向かい突出した所定の剛性のある庇形状を有し、庇面に所定の間隔で穴を穿った請求項１〜５記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、ファンフィルタユニットの固定できる作用を有する。

本発明の請求項７記載の発明は、弾性体固定手段は、異なる弾性係数を有する弾性体を複数組み合せて本体仮固定手段を構成したファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、ファンフィルタユニットの製品振動伝播を構造物に軽減する作用を有する。

本発明の請求項８記載の発明は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、前記フィルタのフレーム側面外周に所定の凹形状を形成して、前記チャンバと除塵フィルタの間に断面略Ｓ形状の弾性体固定手段を設けて、Ｓ形状の一端が前記除塵フィルタ凹に嵌合するフィルタユニットの取付装置としたものであり、弾性体固定手段と集塵フィルタの取付を確実にする作用を有する。

本発明の請求項９記載の発明は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、前記除塵フィルタの間に断面略Ｓ形状の弾性体固定手段を設けて、前記弾性体固定手段がチャンバ内側の側面を覆うような接触壁を形成してなる請求項１〜８のいずれかに記載のフィルタユニットの取付装置としたものであり、弾性体固定手段が内部発生音に対し吸音する作用を有する。

本発明の請求項１０記載の発明は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、チャンバ、除塵フィルタの近接部分にそれぞれ外側に突出した庇部を設けて、前記チャンバと除塵フィルタの間にＥ字型の弾性体固定手段で前記庇部Ｅ字型の空間で挟み込む構成としたフィルタユニットの取付装置としたものであり、弾性体固定手段と集塵フィルタの取付を確実にする作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１に示すように、チャンバ３はファン１とモータ２を内包する。そのチャンバ３には、吹出し側開口部周囲に内側に突出したＬ字状の引掛け部４を備えている。チャンバ３とチャンバ３のＬ字状の引掛け部４に弾性体固定手段５を配し、さらに下側にフィルタフレームを有した除塵フィルタ６を配設した形でファンフィルタユニット７を構成している。

上記構成において、チャンバ３のＬ字状の引掛け部４に弾性体固定手段５を嵌合し、弾性体固定手段５のチャンバ３の対面に配した弾性体固定手段５の立ち下げ部内側５ａの弾性体固定手段の間隔Ａは除塵フィルタ６のフィルタの外形寸法Ｂより所定の寸法だけ小さくすることで除塵フィルタ６を下方から弾性体固定手段５の立ち下げ部内側５ａに除塵フィルタ６を装着できるものである。このように、本発明の第１の実施の形態のファンフィルタユニットによれば、工具を用いずにフィルタ交換作業をすることが可能となる。

また、図２に示すように、弾性体固定手段５は、断面略Ｌ形状１１もしくは断面略Ｓ形状１２の形状を構成している。（Ｌ形状：弾性体固定手段５のＬ字の縦の部分でフィルタ枠の側面の保持を行い、Ｌ字の底部をフィルタフレームとチャンバ３が挟み込む形状、Ｓ形状：チャンバ３の内壁とフィルタフレームの外壁を保持するような形状）。

この構成によれば、除塵フィルタ６と弾性体固定手段５の接触面積を確保し、ゴム状の弾性体で密着することでチャンバ３と除塵フィルタ６の気密性を保つことができる。また、ファンモータから発生した振動がチャンバ３を介し、除塵フィルタ６や、構造物１０４に伝わる振動を軽減することができる。

さらに、図２に示すように、弾性体固定手段５は、除塵フィルタ側面周縁部分に接するように内側に張りだした断面略方形形状１３または断面略円形状１４を有した構成としてもよい。

この構成によれば、断面略方形形状１３または断面略円形状１４の突起形状が、除塵フィルタ６の側面部分に密着することで、除塵フィルタ６をねじ等で固定することなく除塵フィルタ６の着脱を容易にできる。

また、図１、及び図２に示すように、弾性体固定手段５は、チャンバ周縁部の引掛け部４に沿ったＬ形状スリット溝１０を形成している。

上記構成によれば、弾性体固定手段５に設けたＬ形状スリット溝１０に、チャンバ３のＬ字状の引掛け部４が嵌合することで、弾性体固定手段５は容易にチャンバと一体化し、除塵フィルタ６の着脱が確実にできる。また、断面を略Ｓ形状とすることで、チャンバ３のＬ字状の引掛け部４を嵌合し易くなる。

（実施の形態２）
図３に示すように、チャンバ３の吹出し下部の除塵フィルタ６設置側に弾性体固定手段５を固定する断面コ形状８を有し、前記断面コ形状８に嵌合する弾性体固定手段５を有する構成としている。

上記構成において、弾性体固定手段５は前記断面コ形状８に嵌合し、チャンバ３の対面側を含むチャンバ内の４面で、同様に嵌合した弾性体固定手段５の間隔Ａに対し、所定の寸法Ｂだけ大きい除塵フィルタ６が弾性体固定手段５を圧縮しながら挿入するので除塵フィルタを保持することができる。

（実施の形態３）
図４、及び図５に示すように、弾性体固定手段５は、チャンバ周縁部から外側に向かい所定の剛性の突出した庇状の突出部１５を有し、庇面に所定の間隔で穴部１６を穿った構成としている。

上記構成において、弾性体固定手段５からの庇状の突出部１５に穿った穴部１６にボルトネジを通し、構造体にファンフィルタユニットを仮固定することにより、仮固定手段を使用しないので部品点数の削減をすることができる。

図４に示すように、弾性体固定手段５は、異なる弾性係数を有する弾性体１７を複数組み合せて本体仮固定手段を構成してもよい。

この構成によれば、単一の弾性体を使用した場合、製品振動に対する効果が単一的なのに対し、複数の異なる弾性係数の組合せでは特定振動数への対応を可能とすることができる。

（実施の形態４）
図６に示すように、第４の実施の形態によるファンフィルタユニットは、前記除塵フィルタ６のフレーム側面外周に所定の凹形状１８を形成して、チャンバ３と除塵フィルタ６の間に断面略Ｓ形状の弾性体固定手段１９を設けて、Ｓ形状の一端が前記除塵フィルタ凹形状１８に嵌合する構成としている。

上記構成において、断面がＳ形状の弾性体固定手段１９の一端は、実施の形態１で示すようにチャンバ３に嵌合し、除塵フィルタ６との間に挟みこむ際に、Ｓ形状の弾性体固定手段１９の他の一端が除塵フィルタ側面の凹形状１８に嵌合することで、除塵フィルタ６を容易に保持できる。

（実施の形態５）
図７に示すように、弾性体固定手段５は、チャンバ３内側の側面を覆うような接触壁３０を有する。

上記構成において、弾性体固定手段５の接触壁３０が弾性体としての遮音効果を有することにより、チャンバ３の外部への騒音を軽減できる。

（実施の形態６）
図８に示すように、第６の実施の形態によるファンフィルタユニットは、ファン１とモータ２を内包するチャンバ３と、このチャンバ３の下方側に設けた除塵フィルタ６を有する。チャンバ３の吹出し側、除塵フィルタ６の流入側には、それぞれ外側に突出した庇部４０を設ける。前記チャンバ３と除塵フィルタ６の間にＥ字型の弾性体固定手段４１で前記庇部４０をＥ字型の空間で挟み込む構成としたものであり、Ｅ字型の弾性体固定手段４１と集塵フィルタ６の取付を確実にする作用を有する。

ファンフィルタユニットに除塵フィルタを取付け、取り外しをする場合に、チャンバとフィルタの組み付け、分離作業の用途に適用できる。

本発明の実施の形態１の構成を示す断面図 本発明の実施の形態１の弾性固定手段を示す斜断面図 本発明の実施の形態２の構成を示す断面図 本発明の実施の形態３の構成を示す断面図 本発明の実施の形態３の弾性固定手段を示す斜断面図 本発明の実施の形態４の構成を示す断面図 本発明の実施の形態５の構成を示す断面図 本発明の実施の形態６の構成を示す断面図 従来の実施の形態を示す断面図

符号の説明

１ ファン
２ モータ
３ チャンバ
４ Ｌ字状の引掛け部
５ 弾性体固定手段
５ａ 立ち下げ部内側
６ 除塵フィルタ
７ ファンフィルタユニット
Ａ 弾性体固定手段の間隔
Ｂ フィルタの外形寸法
８ 断面コ形状
９ 断面略Ｓ形状
１０ Ｌ形状スリット溝
１１ 断面略Ｌ形状
１２ 断面略Ｓ形状
１３ 断面略方形形状
１４ 断面略円形状
１５ 庇状の突出部
１６ 穴部
１７ 弾性体
１８ 凹形状
１９ Ｓ形状の弾性体固定手段
３０ 接触壁
４０ 庇部
４１ Ｅ字型の弾性体固定手段
１０４ 構造物

Claims (10)

1. ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、前記チャンバと除塵フィルタの間に弾性体固定手段を設けてなるファンフィルタユニット。
2. 弾性体固定手段は、チャンバ外部の周縁部とフィルタ側面側を一部包括する断面略Ｌ形状もしくは断面略Ｓ形状でゴム状の弾性体固定手段を有する請求項１記載のファンフィルタユニット。
3. 弾性体固定手段は、除塵フィルタ側面周縁部分に接するように内側に張りだした断面略方形形状または断面略円形状を有する請求項１記載のファンフィルタユニット。
4. チャンバの吹出し側周縁部に内側に突出したＬ字状の引掛け部を設け、弾性体固定手段は、チャンバ周縁部の引掛け部に沿った断面略Ｌ形状のスリット溝を形成する請求項１記載のファンフィルタユニット。
5. チャンバ下部の除塵フィルタ設置側に弾性体固定手段を固定する断面コ形状を有し、前記断面コ形状に嵌合する弾性体固定手段を有する請求項１記載のファンフィルタユニット。
6. 弾性体固定手段は、チャンバ周縁部から外側に向かい所定の剛性の突出した庇状の突出部を有し、庇面に所定の間隔で穴部を穿った請求項１〜５いずれかに記載のファンフィルタユニット。
7. 弾性体固定手段は、異なる弾性係数を有する弾性体を複数組み合せて本体仮固定手段を構成したファンフィルタユニット。
8. ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、前記除塵フィルタのフレーム側面外周に所定の凹形状を形成して、前記チャンバと除塵フィルタの間に断面略Ｓ形状の弾性体固定手段を設けて、Ｓ形状の一端が前記除塵フィルタ凹形状に嵌合する請求項１〜７いずれかに記載のファンフィルタユニット。
9. 前記弾性体固定手段は、チャンバ内側の側面を覆うような接触壁を有する請求項１〜８のいずれかに記載のファンフィルタユニット。
10. ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、チャンバ、除塵フィルタの近接部分にそれぞれ外側に突出した庇部を設けて、前記チャンバと除塵フィルタの間にＥ字型の弾性体固定手段で前記庇部Ｅ字型の空間で挟み込む構成としたファンフィルタユニット。

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