JP2005273948A

JP2005273948A - クリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造

Info

Publication number: JP2005273948A
Application number: JP2004084669A
Authority: JP
Inventors: Takashi Katazawa; 隆片澤
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 2004-03-23
Filing date: 2004-03-23
Publication date: 2005-10-06

Abstract

【課題】天井と吹出口ユニットとの接合部における、吹出口ユニット又は天井の振動等によるシール材の剥離を防止し、クリーンルームの清浄な環境を確実に維持可能なクリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造を提供する。
【解決手段】箱状の吹出口ユニット１２の下方の開口部１２ｂ周縁全周に額縁１３を有する。天井材１４と対向する側の額縁１３には、全周に亘って額縁１３の外縁部からわずかに内側に位置して、天井材１４に向かって立設された起立壁３２を備える。吹出口ユニット１２を天井に取り付けて額縁１３の起立壁３２を天井材１４に当接させ、吹出口ユニット１２を固定し、天井材１４と額縁１３と起立壁３２により形成され吹出口ユニット１２を囲むような環状の溝部３７を設ける。溝部３７の全周に、シール材２２を充填して成る。
【選択図】図１

Description

この発明は、エアフィルタが内部に装着され、クリーンルームの空調ダクトに取り付けられるクリーンルーム用吹出口吹出口ユニットの取付構造に関する。

例えば半導体製造工場や製薬工場、精密機械製造工場などでは、塵埃による製造設備や製品への悪影響を防止するためにクリーンルームが使用されている。クリーンルームの天井部には空調用のダクトが設けられ、このダクトに接続され天井の吹出口に設けられたクリーンルーム用吹出口ユニットには、内部にエアフィルタが設置されている。そして、吹出口から供給される空気は、エアフィルタにより濾過され、清浄な空気を室内に供給するようになっている。

クリーンルーム天井の吹出口ユニットに設けられるエアフィルタは、例えば０．３μｍ粒子の捕集効率が９９．９７％以上あるＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Airfilter）フィルタ等の超高性能微粒子フィルタが用いられる。

この吹出口ユニットの天井への取り付けは、図９に示すように、天井材４の表面に吹出口ユニット２の額縁３の折り返し３ａが当接して固定されている。この折り返し３ａの外側面と天井材４の表面とにより形成される２面の角部には、シリコーン樹脂等のシール材６が塗布され、天井裏の濾過されていない空気の通過を防いでいる。さらに、吹出口ユニット２の開口部は、パンチング孔が多数形成されたカバー部材８により覆われ、カバー部材８は、取付ねじ９により、吹出口ユニット２の額縁３に固定されている。

シール材６のシール方法は、天井材４とそれに垂直に接する吹出口ユニット２の額縁３の折り返し３ａとの角部に、室内側からシール材６を塗布するものである。乾燥後のシール材６の断面は、天井材４と額縁３の折り返し３ａの当接部を頂点にした直角三角形状に形成され、乾燥後は、その直角三角形の底辺の部分が頂点側に湾曲するような状態になる。これにより、シール材６は乾燥硬化後も弾性を有するため、吹出口ユニット２又は天井材４から伝わる微細な振動によっても隙間が発生せず、気密性を維持する。

特開２００３−２４７７３８号公報

上記従来のシール材６のシール構造は、天井材４と吹出口ユニット２の額縁３の折り返し３ａとの当接部を頂点とした直角三角形状をなしているため、この頂点の角部から離れて行くに従い徐々にシール材６の厚みが薄くなっていた。そのため、吹出口ユニット２又は天井材４から伝わる振動やその他の力により、薄い部分から次第にシール材６の剥離が生じ、やがては隙間が出来てしまうことがあった。特に、わずかな隙間の場合、発見が難しく、結果としてクリーンルームの中に、フィルタを通過しない天井裏の空気が漏れ、塵埃などの進入によりクリーンルームの清浄な環境を維持出来なくなってしまうことがあった。また、シール材６の塗布量を増やしシール材６の厚みを増やそうとしても、三角形状の角部にシール材６を付けているだけであるので、垂れが発生し、厚く塗布するにも限界があった。また、厚く塗布しても、シール部の断面は直角三角形状を成すため、薄い部分からの剥離は防ぎようがなかった。

この発明は、上記従来技術の問題を鑑みて成されるもので、天井と吹出口ユニットとの接合部における、吹出口ユニット又は天井の振動等によるシール材の剥離を防止し、クリーンルームの清浄な環境を確実に維持可能なクリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造を提供することを目的とする。

この発明は、クリーンルームの天井部に取り付けられクリーンエアが吹き出るクリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造であって、箱状の吹出口ユニットの下方の開口部周縁全周に額縁を有し、この額縁の前記天井部と対向する側の全周に亘って設けられ前記額縁の外縁部からわずかに内側に位置して前記天井部に向かって立設された起立壁を備え、前記吹出口ユニットを天井部に取り付けて前記額縁の起立壁を天井材に当接させ前記吹出口ユニットを固定し、前記天井材と額縁と起立壁により形成され吹出口ユニットを囲むような環状の溝部を形成して、この溝部全周にシール材を充填して成る吹出口ユニットの取付構造である。前記起立壁は、前記額縁にスポット溶接により固定されている。

この発明のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造によれば、吹出口ユニットと天井との接合部に、シール材を厚く且つ均等に充填することができ、確実にシールすることができる。さらに、シール材を厚く充填して成るので、吹出口ユニット又は天井材の振動によるシール材の剥離が防止され、気密状態を確実に維持することができる。

以下、この発明の吹出口ユニットの隙間充填構造の一実施形態を、図１〜図８に基づいて説明する。この実施形態の吹出口ユニット１２は、半導体製造工場や医薬品製造工場などのクリーンルーム天井部に設けられた空調ダクト用開口部１０に設置される。

この吹出口ユニット１２は、図１に示すように、空調ダクト用開口部１０に挿入され、天井材１４の表面側に吹出口ユニット１２の下端の額縁１３が対面して位置する。吹出口ユニット１２は、図３に示すように、建物の天井スラブ１１に一端が固定された吊りボルト１６により吊り下げられている。吊りボルト１６は、吹出口ユニット１２の上面側に一対のナット１７，１９により固定されている。ナット１７は吹出口ユニット１２の位置調整用のものであり、ナット１９はその位置で吹出口ユニット１２を固定するためのものである。

吹出口ユニット１２の上側の開口部１２ａには、空気を送り込むダクト２４が接続されている。ダクト２３が取り付けられた開口部１２ａは、通気可能なバッフル板２５により塞がれている。また、吹出口ユニット１２の下方の開口部１２ｂ及び額縁１３全体は、パンチング孔が多数形成されたカバー部材１８により覆われ、カバー部材１８は取付ねじ２１により、吹出口ユニット１２の額縁１３に固定されている。

吹出口ユニット１２の額縁１３と天井材１４の表面側との間には、図２に示すように、額縁１３の天井材１４側に固定された起立壁３２が、額縁１３の全周に亘って設けられている。起立壁３２は、額縁１３の外縁部からわずかに内側の下方の開口部１２ｂ側の位置にスポット溶接部３３により固定されている。

吹出口ユニット１２の内壁面中央部には、水平方向全周に亘ってコの字型の受け材２０が溶接により固定されている。更に、受け材２０と吹出口ユニット１２の内壁面との溶接部の室内側の角部には、シール材２２が全周に塗布されている。このシール材２２は、シリコーン樹脂等の柔軟なシール用気密剤である。

受け材２０の下面には、ＨＥＰＡフィルタ等のエアフィルタ２４の枠が当接し、エアフィルタ２４は、固定金具２６により固定されている。固定金具２６は、受け材２０に一端部が取り付けられナット２８により固定されたボルト３０と、このボルト３０の下端部に螺合したナット３５、及びナット３５により支持されてボルト３０が挿入されてなるフィルタ受け３４とからなる。エアフィルタ２４は、パッキン３６を介して受け材２０の下面に当接し、ナット３５により固定されている。

また、吹出口ユニット１２の内壁面中央部には、クリーンルームの用途によりエアフィルタ２４の性能試験用パイプ３８が適宜設けられている。性能試験用パイプ３８は、上端部が受け材２０に嵌合し、ナット４０で固定されるとともに、シール材２２により気密状態に取り付けられている。性能試験用パイプ３８の下端部はフィルタ受け３４を貫通し、開口部にキャップ４１が嵌められ、不使用時には気密状態を維持可能に設けられている。

吹出口ユニット１２の額縁１３と天井材１４との対向部は、額縁１３に固定された起立壁３２が、吹出口ユニット１２の下方の開口１２ｂを囲むように全周に亘って天井材１４に当接している。これにより、吹出口ユニット１２の額縁１３と天井材１４との間には、断面コ字状の溝部３７が形成されている。この溝部３７内の空間には、シール材２２が全周に亘って充填されている。

次に、この実施形態の吹出口ユニット１２の取付方法について、以下に説明する。吹出口ユニット１２の取り付けにおいて、まず、図３に示すように、建物の天井スラブ１１に吹出口ユニット１２の吊りボルト１６を設け、吊りボルト１６に吹出口ユニット１２を吊り下げて、調整用のナット１７により位置決めして保持し、固定用のナット１９により仮固定する。

次に、図４に示すように吹出口ユニット１２の上方の開口部１２ａに、空調用のダクト２３を接続する。さらに、図５に示すように、建物の天井スラブ１１から天井吊りボルト４０を設け、その天井吊りボルト４０に天井下地材４２を吊り下げ固定する。その天井下地材４２には、室内側より天井仕上げ材等の天井材１４を対面させて張り付ける。

次に、吹出口ユニット１２を吊り下げたボルト１６に螺合したナット１９を緩めて上昇させるとともにナット１７を締めて、吹出口ユニット１２の額縁１３に設けられた起立壁３２を天井材１４に当接させる。そして図６に示すように、吹出口ユニット１２の額縁１３と天井材１４との間の断面コ字状の溝部３７に、シール材２２を全周に亘って充填する。このとき、シール材２２は、溝部３７の体積分の量を十分に充填する。

シール材２２の充填完了後、エアフィルタ２４を図７に示すように取り付ける。エアフィルタ２４は、吹出口ユニット１２の下方の開口部１２ｂから挿入し、受け材２０にパッキン３６を当接させ、固定金具２６により固定する。固定金具２０は、フィルタ受け３４によりエアフィルタ２４を保持し、ナット３５を締めてエアフィルタ２４を確実に固定する。

この後、必要に応じてエアフィルタ２４の性能試験等を行い、最後に、カバー部材１８を、取付ねじ２１により吹出口ユニット１２の額縁１３に固定し、吹出口ユニット１２の取付が完了する。

この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニット１２の取付構造によれば、吹出口ユニット１２の額縁１３と天井材１４との接合部に、コ字状の溝部３７が形成されるようにし、その溝部３７にシール材２２を十分に充填してなるので、吹出口ユニット１２や天井部からの微細な振動に対しても、シール材２２の剥離が生ぜず、気密性が破れることがなく、極めて高い信頼性を備え、より高いクリーン度が要求されるクリーンルーム等に貢献するものである。

なお、この発明の吹出口ユニットの取付構造は、上記実施形態に限定されるものではなく、吹出口ユニットの形状や額縁の形状等は適宜設定可能なものである。

この発明の一実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造を示す概略縦断面図である。この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの額縁の部分拡大斜視図である。この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付工程を示す概略縦断面図である。この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付工程を示す概略縦断面図である。この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付工程を示す概略縦断面図である。この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付工程を示す概略縦断面図である。この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付工程を示す概略縦断面図である。この実施形態のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付工程を示す概略縦断面図である。従来のクリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造を表す概略縦断面図である。

符号の説明

１２吹出口ユニット
１３額縁
１４天井材
１８カバー部材
２０受け材
２２シール材
２４エアフィルタ
２６固定金具
３２起立壁
３７溝部

Claims

クリーンルームの天井部に取り付けられクリーンエアが吹き出るクリーンルーム用吹出口ユニットの取付構造において、箱状の吹出口ユニットの下方の開口部周縁全周に額縁を有し、この額縁の前記天井部と対向する側の全周に亘って設けられ前記額縁の外縁部からわずかに内側に位置して前記天井部に向かって立設された起立壁を備え、前記吹出口ユニットを天井部に取り付けて前記額縁の起立壁を天井材に当接させ前記吹出口ユニットを固定し、前記天井材と額縁と起立壁により形成され吹出口ユニットを囲むような環状の溝部を形成して、この溝部全周にシール材を充填して成ることを特徴とする吹出口ユニットの取付構造。
前記起立壁は前記額縁にスポット溶接により固定されていることを特徴とする請求項１記載の吹出口ユニットの取付構造。