JP2007281419A5 - - Google Patents
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Claims (8)
- 電磁波を発生または検出するための光伝導素子であって、
基板と、
前記基板の上部に設けられ、光照射により伝導性を示す光伝導膜と、
前記光伝導膜と前記基板とに挟まれ、前記光伝導膜及び前記基板とは異なる組成の薄膜と、
前記光伝導膜の上部に設けられ、間隙部を有したアンテナ部を含む一対の電極と、を備え、
前記基板は、前記間隙部の下部に設けられた開口部を含み構成されることを特徴とする光伝導素子。 - エッチャントに対するエッチングレートに関して、前記薄膜の材料と前記基板及び前記光伝導膜の材料とが異なる材料であることを特徴とする請求項１記載の光伝導素子。
- 前記間隙部の下部における前記光伝導膜は単結晶であり、
前記薄膜は単結晶であり、
前記薄膜と前記基板あるいは前記光伝導膜とが歪構造を有するように、該薄膜の格子定数と該基板あるいは該光伝導膜の格子定数とが異なっていることを特徴とする請求項１または２記載の光伝導素子。 - 前記開口部に設けられ、前記電磁波を集光する光学素子を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光伝導素子。
- 前記開口部は、前記電磁波の波長よりも大きな寸法を有し、
前記開口部を形成する前記基板の側壁が前記基板の下部に向かってテーパ形状になっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光伝導素子。 - 前記電磁波は、30GHz以上30THz以下の周波数領域の少なくとも一部を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光伝導素子。
- 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光伝導素子を含み、テラヘルツ波を用いて検体を検査するための検査装置であって、
テラヘルツ波を発生させる発生素子と、
前記発生素子から発生し、且つ前記検体と相互作用したテラヘルツ波を検出する検出素子と、を備え、
前記発生素子あるいは前記検出素子は、前記光伝導素子であることを特徴とする検査装置。 - 30GHz以上30THz以下の周波数領域の少なくとも一部を含む電磁波を発生または検出するための光伝導素子であって、
基板と、
前記基板の上部に設けられ、光照射により伝導性を示す光伝導膜と、
前記光伝導膜と前記基板とに挟まれ、エッチャントに対するエッチングレートに関して前記基板及び前記光伝導膜の材料とは異なる材料である薄膜と、
前記光伝導膜の上部に設けられ、間隙部を有したアンテナ部を含む一対の電極と、を備え、
前記基板は、前記間隙部の下部に設けられた開口部を含み構成されることを特徴とする光伝導素子。
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