JP2007279440A - ハーフトーン型位相シフトマスク及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透光性基板11の、遮光パターンが形成される部分、及び半遮光パターンが形成される部分に設けられたハーフトーン膜12と、ハーフトーン膜12のうち、遮光パターンが形成される部分にあるハーフトーン膜12上に設けられた遮光膜13とを備える。半遮光パターンは、ハーフトーン膜12からなる第1の半遮光パターン、及び第1の半遮光パターンよりも寸法が小さいハーフトーン膜12からなる第2の半遮光パターンを含み、ハーフトーン膜12のうち、遮光パターンが形成される部分、及び第2の半遮光パターンの部分が第1の光透過率を有し、第1の半遮光パターンの部分が第1の光透過率と異なる第2の光透過率を有する。
【選択図】 図1
Description
T. Sato, et al., "Impact of polarization for an attenuated phase shift mask with ArF hyper-NA lithography, Proceedings of SPIE vol.5754 pp1063-1069
図1は、この発明の第1実施形態に係るハーフトーン型位相シフトマスクを示す図である。
まず、マスク上に形成するパターンデータから高透過率パターンとしたい大きなパターン領域のパターンデータを発生させる。
次に、図7に示すように、レジストパターン18を剥離する。次いで、遮光膜13をマスクに用いて、大きなパターン領域の部分にあり、かつ、表面が露呈したハーフトーン膜12の部分に、光照射処理、基板加熱処理、プラズマ処理、及び薬液処理の少なくとも一つを含む処理を施し、表面が露呈したハーフトーン膜12の部分の光透過率を選択的に変化させる。本例では、ArFレーザーを100kJの照射量で、ハーフトーン膜12に照射した。その結果、表面が露呈したハーフトーン膜12の光透過率は、2%から4%に上昇した。光透過率を、さらに上げるには、例えば、ArFレーザーの照射量を増加させるか、ArFレーザーの波長よりも短波長の、例えば、F2レーザーを照射すれば良い。この結果、微細なパターンは低透過率のハーフトーン膜12のパターンとして形成され、あまり微細でないパターンはレーザー照射によって透過率を上昇させたハーフトーン膜12のパターンとして形成される。
次に、図8に示すように、透光性基板11、ハーフトーン膜12、及び遮光膜13上に、レジストを塗布し、レジスト膜を形成する。次いで、上記電子ビームマスク描画装置を用いて、デバイスパターンのパターンデータに基づき、遮光膜13に形成されたアライメントマークを基準として位置合わせを行いながら、レジスト膜に、開口パターン22を描画する。次いで、レジスト膜を現像し、開口パターン22を有するレジストパターン21を形成する。開口パターン22からは、デバイスパターンが露呈する。本例では、開口パターン22を描画し、現像する工程は、マスク上に形成する遮光帯部パターン(遮光枠)のデータを描画し、現像する工程である。
第2実施形態は、第1実施形態において説明した高透過率化処理工程の別の例である。
第3実施形態は、第2実施形態と同様に、第1実施形態において説明した高透過率化処理工程の別の例である。
第4実施形態は、第2、第3実施形態と同様に、第1実施形態において説明した高透過率化処理工程の別の例である。
第5実施形態は、第2〜第4実施形態と同様に、第1実施形態において説明した高透過率化処理工程の別の例である。
第1〜第5実施形態において説明した高透過率化処理を行なうと、微細パターン領域30を透過する光の位相差と、微細でないパターン領域31を透過する光の位相差とがずれてしまうことがある。位相がずれてしまうと、例えば、微細パターン領域30を透過する光の位相差を約180度に設定すると、微細でないパターン領域31を透過する光の位相差は約180度からずれてしまう。この状態を図11に示す。図11に示すように、微細パターン領域30において、透光性基板(石英基板)及びハーフトーン膜(HT)を介した光100の位相と、透光性基板(石英基板)のみを介した光101の位相との位相差φを“φ=180°”に設定した、と仮定すると、微細でないパターン領域31においては、上記光100の位相と、上記光101の位相との位相差φ´は、“φ´≠180°”となってしまう。
・高透過率化により位相差が小さくなる場合
・高透過率化により位相差が大きくなる場合
の2通りに分けられる。
図15に示すように、例えば、図5に示した高透過率領域の開口形成工程後に、例えば、遮光膜、又はハーフトーン膜をエッチングのマスクに用いて、透光性基板11をエッチング、例えば、プラズマエッチングする。これにより、参照符号40に示すように、透光性基板11は掘り込まれる。微細でないパターン領域31にある透光性基板11を掘り込むことで、位相差を調整(補正)する。その後の工程は、図6以降に示した工程と同様に行えばよい。図15の拡大図を図17に示す。
この場合には、図16に示すように、例えば、図6に示した高透過率領域の開口部の遮光膜をエッチングした後に、参照符号41に示すように、ハーフトーン膜12をエッチング、例えば、プラズマエッチングし、ハーフトーン膜12の厚さを変える。ハーフトーン膜12とともに透光性基板11がエッチングされてしまう可能性もあるが、両者のエッチングレートの差を利用すれば、ハーフトーン膜12を透光性基板11よりも多くエッチングすることが可能である。図16の拡大図を図18に示す。
Claims (5)
- 遮光パターン、及び半遮光パターンを備えるハーフトーン型位相シフトマスクであって、
透光性基板と、
前記透光性基板の、前記遮光パターンが形成される部分、及び前記半遮光パターンが形成される部分に設けられたハーフトーン膜と、
前記ハーフトーン膜のうち、前記遮光パターンが形成される部分にある前記ハーフトーン膜上に設けられた遮光膜と、を備え、
前記半遮光パターンは、前記ハーフトーン膜からなる第1の半遮光パターン、及び前記第1の半遮光パターンよりも寸法が小さい前記ハーフトーン膜からなる第2の半遮光パターンを含み、
前記ハーフトーン膜のうち、前記遮光パターンが形成される部分、及び前記第2の半遮光パターンの部分が第1の光透過率を有し、前記第1の半遮光パターンの部分が前記第1の光透過率と異なる第2の光透過率を有することを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスク。 - 前記第1の半遮光パターンを含む領域に、前記透光性基板を介して透過した光の位相と、前記透光性基板及び前記ハーフトーン膜を介して透過した光の位相との位相差を調整する位相差調整領域があることを特徴とする請求項1に記載のハーフトーン型位相シフトマスク。
- 遮光パターン、及び半遮光パターンを備えるハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法であって、
透光性基板上に積層されたハーフトーン膜と遮光膜とを少なくとも備えるマスクブランクスを用意する工程と、
前記マスクブランクスに、前記ハーフトーン膜、及び前記遮光膜の積層からなる遮光パターンと、前記ハーフトーン膜からなる第1の半遮光パターン、及び前記ハーフトーン膜からなり、前記第1の半遮光パターンよりも寸法が小さい第2の半遮光パターンを含む半遮光パターンとを形成する工程と、
前記ハーフトーン膜のうち、前記第1の半遮光パターンの部分の光透過率を選択的に、前記遮光パターンが形成される部分及び前記第2の半遮光パターンの部分の光透過率と変える工程と
を具備することを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法。 - 前記ハーフトーン膜の光透過率を選択的に変える工程は、
前記透過率を選択的に変える領域を画定する工程と、
前記画定された領域に対して、光照射処理、基板加熱処理、プラズマ処理、及び薬液処理の少なくとも一つを含む光透過率変化工程と
を含むことを特徴とする請求項3に記載のハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法。 - 前記マスクブランクスの、前記第1の半遮光パターンを含む領域に、前記透光性基板を介して透過した光の位相と、前記透光性基板及び前記ハーフトーン膜を介して透過した光の位相との位相差を調整する位相差調整領域を形成する工程を、さらに、具備することを特徴とする請求項3及び請求項4いずれかに記載のハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008003520A (ja) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Toshiba Corp | フォトマスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2008065139A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 階調マスク |
JP2008261958A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Sk Electronics:Kk | 多階調フォトマスク及びその製造方法 |
JP2009151030A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Toshiba Corp | フォトマスク、フォトマスクの線幅補正方法、線幅補正装置及びそれを用いた電子デバイス |
JP2009244350A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Hoya Corp | 多階調フォトマスク及びその製造方法、並びにパターン転写方法 |
KR20110047756A (ko) * | 2009-10-30 | 2011-05-09 | 삼성전자주식회사 | 하프톤형 위상반전 블랭크 포토마스크와 하프톤형 위상반전 포토마스크 및 그의 제조방법 |
JP2012531620A (ja) * | 2009-06-25 | 2012-12-10 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | ハーフトーンマスクの製造方法 |
JP7461206B2 (ja) | 2020-04-28 | 2024-04-03 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | フォトマスクの製造方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7961292B2 (en) | 2007-05-07 | 2011-06-14 | Micron Technology, Inc. | Sub-resolution assist devices and methods |
US7790338B2 (en) * | 2007-05-16 | 2010-09-07 | Micron Technology, Inc. | Optical compensation devices, systems, and methods |
WO2010092901A1 (ja) | 2009-02-16 | 2010-08-19 | 大日本印刷株式会社 | フォトマスク、フォトマスクの製造方法及び修正方法 |
WO2012086744A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | Hoya株式会社 | マスクブランク及びその製造方法、並びに転写用マスク及びその製造方法 |
JP2015049282A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | Hoya株式会社 | 表示装置製造用フォトマスク、該フォトマスクの製造方法、パターン転写方法及び表示装置の製造方法 |
US9733574B2 (en) * | 2013-10-17 | 2017-08-15 | Cypress Semiconductor Corporation | Multiple phase-shift photomask and semiconductor manufacturing method |
US10908494B2 (en) * | 2017-05-31 | 2021-02-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Photomask and manufacturing method thereof |
CN110148606B (zh) * | 2018-04-18 | 2021-03-02 | 友达光电股份有限公司 | 显示面板及其制造方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0362923A (ja) * | 1989-07-31 | 1991-03-19 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマcvd装置用電極構造 |
JPH0393632U (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-25 | ||
JPH06282063A (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-07 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスク |
JPH0943830A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-14 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスク及びハーフトーン型位相シフトマスクブランク並びにそれらの製造方法 |
JP2000231183A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | パターン形成方法及び位相シフトマスク |
JP2001337438A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの位相差の調整方法 |
JP2002162726A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-06-07 | Hoya Corp | 位相シフトマスクブランクの製造方法、及び位相シフトマスクの製造方法 |
JP2002189280A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-07-05 | Hoya Corp | グレートーンマスク及びその製造方法 |
JP2004085612A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ハーフトーン位相シフトマスク、その製造方法およびそれを用いたパターン形成方法 |
JP2004213049A (ja) * | 2004-04-19 | 2004-07-29 | Dainippon Printing Co Ltd | ハーフトーン位相シフトマスク及びハーフトーン位相シフトマスクの製造方法 |
JP2005043646A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Toppan Printing Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 |
JP2006048033A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-02-16 | Hoya Corp | フォトマスクブランク及びフォトマスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06118614A (ja) | 1992-10-05 | 1994-04-28 | Seiko Epson Corp | 位相シフトマスク及びマスクパターン発生方法及びマスクパターン発生装置及び位相シフトマスクの製造方法 |
JP3339649B2 (ja) * | 1993-07-30 | 2002-10-28 | 大日本印刷株式会社 | ハーフトーン位相シフトフォトマスク用ブランクスの製造方法、及び、ハーフトーン位相シフトフォトマスクの製造方法 |
KR970048985A (ko) * | 1995-12-26 | 1997-07-29 | 김광호 | 더미 패턴을 가지는 하프톤형 위상 반전 마스크 및 그 제조 방법 |
JP2002278040A (ja) | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトマスク及びホールパターン形成方法 |
DE10310137B4 (de) * | 2003-03-07 | 2010-08-19 | Qimonda Ag | Satz von wenigstens zwei Masken zur Projektion von jeweils auf den Masken gebildeten und aufeinander abgestimmten Strukturmustern und Verfahren zur Herstellung der Masken |
KR100549268B1 (ko) * | 2003-12-31 | 2006-02-03 | 동부아남반도체 주식회사 | 위상반전 마스크 및 그 제조방법 |
-
2006
- 2006-04-07 JP JP2006106550A patent/JP2007279440A/ja active Pending
-
2007
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- 2007-04-05 US US11/783,036 patent/US7759025B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0362923A (ja) * | 1989-07-31 | 1991-03-19 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマcvd装置用電極構造 |
JPH0393632U (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-25 | ||
JPH06282063A (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-07 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスク |
JPH0943830A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-14 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスク及びハーフトーン型位相シフトマスクブランク並びにそれらの製造方法 |
JP2000231183A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | パターン形成方法及び位相シフトマスク |
JP2001337438A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの位相差の調整方法 |
JP2002162726A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-06-07 | Hoya Corp | 位相シフトマスクブランクの製造方法、及び位相シフトマスクの製造方法 |
JP2002189280A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-07-05 | Hoya Corp | グレートーンマスク及びその製造方法 |
JP2004085612A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ハーフトーン位相シフトマスク、その製造方法およびそれを用いたパターン形成方法 |
JP2005043646A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Toppan Printing Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 |
JP2004213049A (ja) * | 2004-04-19 | 2004-07-29 | Dainippon Printing Co Ltd | ハーフトーン位相シフトマスク及びハーフトーン位相シフトマスクの製造方法 |
JP2006048033A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-02-16 | Hoya Corp | フォトマスクブランク及びフォトマスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008003520A (ja) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Toshiba Corp | フォトマスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2008065139A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 階調マスク |
JP2008261958A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Sk Electronics:Kk | 多階調フォトマスク及びその製造方法 |
JP2009151030A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Toshiba Corp | フォトマスク、フォトマスクの線幅補正方法、線幅補正装置及びそれを用いた電子デバイス |
JP2009244350A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Hoya Corp | 多階調フォトマスク及びその製造方法、並びにパターン転写方法 |
JP2012531620A (ja) * | 2009-06-25 | 2012-12-10 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | ハーフトーンマスクの製造方法 |
KR20110047756A (ko) * | 2009-10-30 | 2011-05-09 | 삼성전자주식회사 | 하프톤형 위상반전 블랭크 포토마스크와 하프톤형 위상반전 포토마스크 및 그의 제조방법 |
JP2011095744A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Samsung Electronics Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトフォトマスクブランクとハーフトーン型位相シフトフォトマスク及びその製造方法 |
KR101656456B1 (ko) * | 2009-10-30 | 2016-09-12 | 삼성전자주식회사 | 하프톤형 위상반전 블랭크 포토마스크와 하프톤형 위상반전 포토마스크 및 그의 제조방법 |
JP7461206B2 (ja) | 2020-04-28 | 2024-04-03 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | フォトマスクの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US7759025B2 (en) | 2010-07-20 |
TWI334963B (ja) | 2010-12-21 |
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