JP2007259232A - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
固体撮像素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007259232A JP2007259232A JP2006082882A JP2006082882A JP2007259232A JP 2007259232 A JP2007259232 A JP 2007259232A JP 2006082882 A JP2006082882 A JP 2006082882A JP 2006082882 A JP2006082882 A JP 2006082882A JP 2007259232 A JP2007259232 A JP 2007259232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical path
- color separation
- color
- separation element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 138
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 197
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 5
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 7
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 7
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
- G01J3/51—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0224—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using polarising or depolarising elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
- G01J3/0259—Monolithic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0262—Constructional arrangements for removing stray light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
- G01J3/51—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters
- G01J3/513—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters having fixed filter-detector pairs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/10—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths
- H04N23/13—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths with multiple sensors
- H04N23/16—Optical arrangements associated therewith, e.g. for beam-splitting or for colour correction
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/10—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof for transforming different wavelengths into image signals
- H04N25/11—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics
- H04N25/13—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements
- H04N25/134—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements based on three different wavelength filter elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
【解決手段】固体撮像素子は、入射光に含まれる赤色及び緑色の光を透過させ且つ青色の光を反射する第1の色分離素子と35、入射光に含まれる緑色及び青色の光を透過させ且つ赤色の光を反射する第2の色分離素子36と、第1の色分離素子35を透過した光のうちの緑色の光を透過させて第1の受光部21Aに入射する第3の色分離素子37と、第2の色分離素子36を透過した光のうちの緑色の光を透過させて第4の受光部21Dに入射する第4の色分離素子38と、第1の色分離素子35において反射された青色の光を反射して第3の受光部21Cに入射する第1のミラー素子39と、第2の色分離素子36において反射された赤色の光を反射して第2の受光部21Bに入射する第2のミラー素子40とを有している。
【選択図】図2
Description
12 基本単位
21 受光部
21A 第1の受光部
21B 第2の受光部
21C 第3の受光部
21D 第4の受光部
22 色分離部
23A 第1の光学素子部
23B 第2の光学素子部
31 オンチップマイクロレンズ
32 コリメータ素子
35 第1の色分離素子
36 第2の色分離素子
37 第3の色分離素子
38 第4の色分離素子
39 第1のミラー素子
40 第2のミラー素子
41A 第1のハーフミラー素子
41B 第2のハーフミラー素子
42A 第1の光吸収部
42B 第2の光吸収部
43A 第1の偏光ビームスプリッタ素子
43B 第2の偏光ビームスプリッタ素子
44A 偏光子
44B 偏光子
44C 偏光子
44D 偏光子
46 遮光壁
47 遮光壁
48A 第1の原色カラーフィルタ
48B 第2の原色カラーフィルタ
48C 第3の原色カラーフィルタ
51 第1の光路
52 第2の光路
53 第3の光路
54 第4の光路
55 第5の光路
56 第6の光路
57 第7の光路
58 第8の光路
61 第1のプリズム形成膜
62 合成樹脂膜
63 第1のプリズム形状
64 下部色分離素子
65 第1の中間膜
66 第2プリズム形成膜
67 合成樹脂膜
68 第2のプリズム形状
69A 第1の上部色分離素子
69B 第2の上部色分離素子
70 ミラー素子
71 第2の中間膜
81 第1の誘電体膜
82 第2の誘電体膜
83 第3の誘電体膜
84 第4の誘電体膜
Claims (10)
- 基板に行列状に形成され、入射光を光電変換する複数の受光部と、
前記複数の受光部のうち、2行2列に隣接して形成された4つの受光部ごとにそれぞれ形成された複数の色分離部とを備え、
前記各色分離部は、
入射光を、前記4つの受光部のうちの第1の受光部に入射する第1の光路に導く第1の光学素子部と、
入射光を、前記4つの受光部のうちの前記第1の受光部と行及び列が異なる位置に配置された第4の受光部に入射する第1の光路に導く第2の光学素子部と、
前記第1の光学素子部と前記第1の受光部との間における前記第1の光路上に形成され、入射光に含まれる赤色、緑色及び青色の光のうちの1色の光を前記第1の受光部と同一の行で且つ異なる列に配置された第3の受光部側に反射して前記第1の光路と交差する第3の光路に導き且つ残りの2色の光を透過させる第1の色分離素子と、
前記第2の光学素子部と前記第4の受光部との間における前記第2の光路上に形成され、入射光に含まれる赤色、緑色及び青色の光のうちの1色の光を前記第1の受光部と同一の列で且つ異なる行に配置された第2の受光部側に反射して前記第2の光路と交差する第4の光路に導き且つ残りの2色の光を透過させる第2の色分離素子と、
前記第1の色分離素子と前記第1の受光部との間における前記第1の光路上に形成され、前記第1の色分離素子を透過した光に含まれる2色の光のうちの一方を反射して前記第1の光路と交差する第5の光路に導き、他方を透過させて前記第1の受光部に入射させる第3の色分離素子と、
前記第2の色分離素子と前記第3の受光部との間における前記第2の光路上に形成され、前記第2の色分離素子を透過した光に含まれる2色の光のうちの一方を反射して前記第2の光路と交差する第6の光路に導き、他方を透過させて前記第4の受光部に入射させる第4の色分離素子と、
前記第3の光路上に形成され、前記第3の光路に導かれた光を反射して、前記第3の受光部に入射する第7の光路に導く第1のミラー素子と、
前記第4の光路上に形成され、前記第4の光路に導かれた光を反射して、前記第2の受光部に入射する第8の光路に導く第2のミラー素子とを有し、
前記第1の色分離素子が反射する光の色と、前記第2の色分離素子が反射する光の色とは互いに異なっており、
前記第3の色分離素子が透過させる光の色と、前記第4の色分離素子が透過させる光の色とは同一であることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記第1の色分離素子は青色の光を反射し、前記第2の色分離素子は赤色の光を反射し、
前記第3の色分離素子及び第4の色分離素子は、緑色の光を透過することを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記第1の光学素子部及び第2の光学素子部は、入射光を集光するマイクロレンズ素子と、マイクロレンズ素子により集光された入射光を平行光とするコリメータ素子とをそれぞれ有してることを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像素子。
- 前記第5の光路と前記第8の光路とは交差し、
前記第6の光路と前記第7の光路とは交差し、
前記第5の光路と前記第8の光路との交差部には、前記第8の光路を進む光を透過し且つ前記第5の光路を進む光の一部を反射して前記第2の受光部に入射させる第1のハーフミラー素子が形成され、
前記第6の光路と前記第7の光路との交差部には、前記第7の光路を進む光を透過し且つ前記第6の光路を進む光の一部を反射して前記第3の受光部に入射させる第2のハーフミラー素子が形成され、
前記第5の光路における前記第1のハーフミラー素子を挟んで前記第3の色分離素子と反対側には、光を吸収する第1の光吸収部が形成され、
前記第6の光路における前記第2のハーフミラー素子を挟んで前記第4の色分離素子と反対側には、光を吸収する第2の光吸収部が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記第5の光路と前記第8の光路とは交差し、
前記第6の光路と前記第7の光路とは交差し、
前記第5の光路と前記第8の光路との交差部には、第1のビームスプリッタ素子が形成され、
前記第6の光路と前記第7の光路との交差部には、第2のビームスプリッタ素子が形成され、
前記第5の光路における前記第3の色分離素子と前記第1のビームスプリッタ素子との間には第1の偏光子が形成され、
前記第6の光路における前記第4の色分離素子と前記第2のビームスプリッタ素子との間には第2の偏光子が形成され、
前記第7の光路における前記1のミラー素子と前記第2のビームスプリッタ素子との間には第3の偏光子が形成され、
前記第8の光路における前記第2のミラー素子と前記第1のビームスプリッタ素子との間には第4の偏光子が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記各色分離部の周囲の領域に形成された第1の遮光膜と、
前記色分離部が配置された領域に形成され、前記第1の光路、第2の光路、第3の光路、第4の光路、第5の光路、第6の光路、第7の光路及び第8の光路以外の部分における光の透過を防止する第2の遮光膜とをさらに備えていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記第2の遮光膜は、光を吸収する材料又は光を反射する材料からなることを特徴とする請求項6に記載の固体撮像素子。
- 前記各色分離部における前記第1の光路、第2の光路、第3の光路、第4の光路、第5の光路、第6の光路、第7の光路及び第8の光路となる領域には、光を透過する中間膜が形成されており、
前記第2の遮光膜は、前記中間膜よりも屈折率が小さい材料からなり、
前記中間膜は光導波路として機能することを特徴とする請求項6に記載の固体撮像素子。 - 前記第3の色分離素子と前記第1の受光部との間に形成され、前記第1の受光部に入射する光の色に対応した第1の原色カラーフィルタと、
前記第1のミラー素子と前記第2の受光部との間に形成され、前記第2の受光部に入射する光の色に対応した第2の原色カラーフィルタと、
前記第2のミラー素子と前記第3の受光部との間に形成され、前記第3の受光部に入射する光の色に対応した第3の原色カラーフィルタと、
前記第4の色分離素子と前記第4の受光部との間に形成され、前記第4の受光部に入射する光の色に対応した第4の原色カラーフィルタとを有していることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 半導体基板に複数の受光部を行列状に形成する工程と、
前記半導体基板の上に第1のプリズム形成膜を形成した後、形成した第1の平坦化膜をパターニングして、前記複数の受光部のうち行方向に1行おきに且つ列方向に1列おきに形成された受光部の上に、傾斜面を有する第1のプリズム形状をそれぞれ形成する工程と、
前記各第1のプリズム形状の傾斜面に第1の誘電体膜を形成することにより、光の3原色のうちの第1の色の光のみを透過する下部色分離素子を形成する工程と
前記半導体基板の上に前記下部色分離素子を覆う層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜の上に第2のプリズム形成膜を形成した後、形成した第2のプリズム形成膜をパターニングして、前記各受光部の上に傾斜面を有する第2のプリズム形状をそれぞれ形成する工程と、
前記複数の第2のプリズム形状のうち、前記下部色分離素子の上で且つ奇数行及び偶数行の一方に形成された第2のプリズム形状の傾斜面に第2の誘電体膜を形成することにより、光の3原色のうちの第1の色の光及び第2の色の光を透過し且つ第3の色の光を列方向に隣接する第2のプリズム形状に入射する方向に反射する第1の上部色分離素子を形成する工程と、
前記複数の第2のプリズム形状のうち、前記下部色分離素子の上で且つ奇数行及び偶数行の他方に形成された第2のプリズム形状の傾斜面に第3の誘電体膜を形成することにより、光の3原色の第1の色の光及び第3の色の光を透過し且つ第2の色の光を列方向に隣接する第2のプリズム形状入射する方向に反射する第2の上部色分離素子を形成する工程と、
前記複数の第2のプリズム形状のうち、前記下部色分離素子の上に形成された第2のプリズム形状以外の第2のプリズム形状の傾斜面に第4の誘電体膜を形成することにより、前記第1の上部色分離素子又は前記第2の上部色分離素子において反射された光を前記基板と交差する方向に反射するミラー素子を形成する工程とを備えていることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006082882A JP4836625B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 固体撮像素子 |
US11/708,465 US7550709B2 (en) | 2006-03-24 | 2007-02-21 | Solid-state imaging device and method for fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006082882A JP4836625B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 固体撮像素子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007259232A true JP2007259232A (ja) | 2007-10-04 |
JP2007259232A5 JP2007259232A5 (ja) | 2008-10-16 |
JP4836625B2 JP4836625B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=38532364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006082882A Expired - Fee Related JP4836625B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 固体撮像素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7550709B2 (ja) |
JP (1) | JP4836625B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007282054A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置、カメラおよび信号処理方法 |
JP2010034735A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Ricoh Co Ltd | 撮像素子および画像撮像装置 |
JP2012156194A (ja) * | 2011-01-24 | 2012-08-16 | Sony Corp | 固体撮像素子、撮像装置 |
WO2012132670A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及びその駆動方法並びに撮影装置 |
JP2013143738A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2013143737A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2013143533A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP5296077B2 (ja) * | 2009-01-14 | 2013-09-25 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
US8767114B2 (en) | 2010-08-24 | 2014-07-01 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging element and imaging device |
US8941200B2 (en) | 2012-07-23 | 2015-01-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid-state imaging device |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5368369B2 (ja) * | 2010-04-28 | 2013-12-18 | 株式会社デンソー | 車載用撮像装置及び車載用画像処理装置 |
EP2717561B1 (en) * | 2011-05-24 | 2019-03-27 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state imaging element and camera system |
KR102163727B1 (ko) | 2014-04-03 | 2020-10-08 | 삼성전자주식회사 | 광 이용 효율이 향상된 이미지 센서 |
KR102159166B1 (ko) | 2014-05-09 | 2020-09-23 | 삼성전자주식회사 | 색분리 소자 및 상기 색분리 소자를 포함하는 이미지 센서 |
KR102316447B1 (ko) * | 2014-08-28 | 2021-10-22 | 삼성전자주식회사 | 광 이용 효율이 향상된 이미지 센서 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04328866A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-17 | Toshiba Corp | カラー固体撮像装置 |
JPH0854623A (ja) * | 1994-06-09 | 1996-02-27 | Hitachi Ltd | 光学素子、液晶パネル、液晶ディスプレイ装置および固体撮像装置 |
JP2000151933A (ja) * | 1998-11-06 | 2000-05-30 | Nec Corp | 撮像素子及びその製造方法 |
JP2001151933A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 熱硬化性樹脂の分解処理方法およびリサイクル方法 |
JP2003078917A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2003243639A (ja) * | 2002-02-21 | 2003-08-29 | Canon Inc | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2003259232A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Canon Inc | 撮像装置およびシステム |
JP2003274424A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-26 | Eastman Kodak Co | 4色式撮像装置 |
JP2005260067A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びカメラ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3821549A (en) * | 1973-09-18 | 1974-06-28 | Bell Telephone Labor Inc | Semiconductor drift photodetector for equalization of optical fiber material dispersion |
US4709144A (en) * | 1986-04-02 | 1987-11-24 | Hewlett-Packard Company | Color imager utilizing novel trichromatic beamsplitter and photosensor |
US5784202A (en) * | 1993-07-08 | 1998-07-21 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushika Kaisha | Apparatus for isometrically splitting beams |
EP1423753A4 (en) * | 2001-07-12 | 2005-08-03 | Genoa Technologies Ltd | SEQUENTIAL PROJECTION SCREEN WITH MULTIPLE PICTURE PANELS |
-
2006
- 2006-03-24 JP JP2006082882A patent/JP4836625B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-02-21 US US11/708,465 patent/US7550709B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04328866A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-17 | Toshiba Corp | カラー固体撮像装置 |
JPH0854623A (ja) * | 1994-06-09 | 1996-02-27 | Hitachi Ltd | 光学素子、液晶パネル、液晶ディスプレイ装置および固体撮像装置 |
JP2000151933A (ja) * | 1998-11-06 | 2000-05-30 | Nec Corp | 撮像素子及びその製造方法 |
JP2001151933A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 熱硬化性樹脂の分解処理方法およびリサイクル方法 |
JP2003078917A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2003243639A (ja) * | 2002-02-21 | 2003-08-29 | Canon Inc | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2003274424A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-26 | Eastman Kodak Co | 4色式撮像装置 |
JP2003259232A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Canon Inc | 撮像装置およびシステム |
JP2005260067A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びカメラ |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4740018B2 (ja) * | 2006-04-10 | 2011-08-03 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置、カメラおよび信号処理方法 |
JP2007282054A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置、カメラおよび信号処理方法 |
JP2010034735A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Ricoh Co Ltd | 撮像素子および画像撮像装置 |
JP5296077B2 (ja) * | 2009-01-14 | 2013-09-25 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
US8767114B2 (en) | 2010-08-24 | 2014-07-01 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging element and imaging device |
JP2012156194A (ja) * | 2011-01-24 | 2012-08-16 | Sony Corp | 固体撮像素子、撮像装置 |
WO2012132670A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及びその駆動方法並びに撮影装置 |
JP5377797B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2013-12-25 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及びその駆動方法並びに撮影装置 |
CN103548335A (zh) * | 2011-03-31 | 2014-01-29 | 富士胶片株式会社 | 固态成像元件、其驱动方法和成像装置 |
JPWO2012132670A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2014-07-24 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及びその駆動方法並びに撮影装置 |
JP2013143533A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2013143737A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2013143738A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
US8970751B2 (en) | 2012-01-12 | 2015-03-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid-state imaging device |
US9252177B2 (en) | 2012-01-12 | 2016-02-02 | Kabuhiki Kaisha Toshiba | Solid state imaging device |
US8941200B2 (en) | 2012-07-23 | 2015-01-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid-state imaging device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7550709B2 (en) | 2009-06-23 |
US20070221829A1 (en) | 2007-09-27 |
JP4836625B2 (ja) | 2011-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4836625B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
US7538363B2 (en) | Solid-state imaging device and method for fabricating the same | |
US7863633B2 (en) | Solid-state imaging device, camera and signal processing method | |
US9601532B2 (en) | Optical filter with Fabry-Perot resonator comprising a plate-shaped wire grid polarizer | |
JP5331107B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP5325117B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP5113249B2 (ja) | 撮像装置 | |
US20110164156A1 (en) | Image pickup device and solid-state image pickup element | |
JP5237998B2 (ja) | 固体撮像素子、撮像装置および信号処理方法 | |
JP2000151933A (ja) | 撮像素子及びその製造方法 | |
US20130181113A1 (en) | Solid-state imaging equipment | |
US9583522B2 (en) | Image sensor and electronic device including the same | |
JP5894573B2 (ja) | 固体撮像素子、撮像装置および信号処理方法 | |
JP5852006B2 (ja) | 固体撮像素子、撮像装置および信号処理方法 | |
JP4435606B2 (ja) | 固体撮像装置及びカメラ | |
KR20150115290A (ko) | 광 이용 효율이 향상된 이미지 센서 | |
JP5975229B2 (ja) | カラー撮像装置 | |
JP2018139394A (ja) | 撮像装置 | |
KR20160024345A (ko) | 이미지 센서 및 이를 구비하는 전자장치 | |
US20240014237A1 (en) | Optical element, image sensor and imaging device | |
KR102318758B1 (ko) | 이미지 센서 및 이를 구비하는 전자장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080901 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080901 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110920 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110927 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |