JP2007252970A - 触媒表面の活性化方法及びカーボンナノチューブの成長方法 - Google Patents
触媒表面の活性化方法及びカーボンナノチューブの成長方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007252970A JP2007252970A JP2006076797A JP2006076797A JP2007252970A JP 2007252970 A JP2007252970 A JP 2007252970A JP 2006076797 A JP2006076797 A JP 2006076797A JP 2006076797 A JP2006076797 A JP 2006076797A JP 2007252970 A JP2007252970 A JP 2007252970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- gas
- radical
- catalyst
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】 基板表面にラジカル種を供給して触媒表面を活性化させた後にCNTを成長せしめる。ラジカル
種は、水素原子含有ガス、炭化水素ガス及び一酸化炭素ガスから選ばれた少なくとも1種のガスをプラズマ中で
分解して得られたラジカルであることが好ましい。ラジカル種の照射は、200〜600℃で行われることが好ましい。
【選択図】図2
Description
(比較例1)
12 真空チャンバ 13 ガス導入手段
14 ガス供給管 15 基板ステージ
16 マイクロ波発生器 17 導波管
18 網部材 19 バイアス電源
S 基板
Claims (13)
- カーボンナノチューブ成長用触媒金属又は合金の表面にラジカル種を照射して触媒表面を活性化させることを特徴とする触媒表面の活性化方法。
- 前記ラジカル種が、水素原子含有ガス、炭化水素ガス及び一酸化炭素ガスから選ばれた少なくとも1種のガスをプラズマ中で分解して得られたラジカルであることを特徴とする請求項1記載の触媒表面の活性化方法。
- 前記水素原子含有ガスが水素ガス又はアンモニアであり、前記炭化水素ガスが、メタン、エタン、プロパン、プロピレン、アセチレン及びエチレンから選ばれた少なくとも1種の炭化水素ガスであることを特徴とする請求項2記載のカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記ラジカル種が水素ラジカル及び炭素ラジカルであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の触媒表面の活性化方法。
- 前記ラジカル種の照射が、200〜600℃で行われることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の触媒表面の活性化方法。
- 基板上に設けた触媒金属又は合金上にカーボンナノチューブを成長させる方法において、その基板表面にラジカル種を照射して触媒表面を活性化させ、次いでカーボンナノチューブを成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記ラジカル種を、基板温度の上昇時又は上昇後に照射することを特徴とする請求項6記載のカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記ラジカル種が、水素原子含有ガス、炭化水素ガス及び一酸化炭素ガスから選ばれた少なくとも1種のガスをプラズマ中で分解して得られたラジカルであることを特徴とする請求項6又は7に記載のカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記水素原子含有ガスが水素ガス又はアンモニアであり、前記炭化水素ガスが、メタン、エタン、プロパン、プロピレン、アセチレン及びエチレンから選ばれた少なくとも1種の炭化水素ガスであることを特徴とする請求項8記載のカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記ラジカル種が、水素ラジカル及び炭素ラジカルであることを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載のカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記基板とプラズマとの間に、所定のメッシュサイズを有する網部材を設置して、所定の値のバイアス電圧若しくは磁場を印加して、又は該網部材を設置すると共に該バイアス電圧若しくは磁場を印加して、プラズマ中で発生するイオン種を除去し、ラジカル種だけを基板表面に照射して触媒表面を活性化させることを特徴とする請求項6〜10のいずれかに記載のカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記ラジカル種の基板表面への照射が、基板温度が200℃以上からカーボンナノチューブを成長させる温度以下である時に行われることを特徴とする請求項6〜11のいずれかに記載のカーボンナノチューブの成長方法。
- 前記触媒表面の活性化された基板上に、300〜700℃でカーボンナノチューブを成長させることを特徴とする請求項6〜12のいずれかに記載のカーボンナノチューブの成長方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006076797A JP5089898B2 (ja) | 2006-03-20 | 2006-03-20 | カーボンナノチューブの成長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006076797A JP5089898B2 (ja) | 2006-03-20 | 2006-03-20 | カーボンナノチューブの成長方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007252970A true JP2007252970A (ja) | 2007-10-04 |
JP5089898B2 JP5089898B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=38627740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006076797A Active JP5089898B2 (ja) | 2006-03-20 | 2006-03-20 | カーボンナノチューブの成長方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5089898B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009239207A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | リアクトル |
JP2010006696A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Commissariat A L'energie Atomique | 導体または半導体基板上に堆積させたカーボンナノチューブマットの製造方法 |
WO2011136338A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボンナノチューブの形成方法及びカーボンナノチューブ成膜装置 |
CN102649547A (zh) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 东京毅力科创株式会社 | 碳纳米管的形成方法及前处理方法 |
JP2012176856A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Tokyo Electron Ltd | カーボンナノチューブの形成方法、その前処理方法、電子放出素子及び照明装置 |
US20140227454A1 (en) * | 2011-07-29 | 2014-08-14 | Tokyo Electron Limited | Pretreatment method and carbon nanotube formation method |
US20140227481A1 (en) * | 2011-09-14 | 2014-08-14 | Fujikura Ltd. | Structure for forming carbon nanofiber, carbon nanofiber structure and method for producing same, and carbon nanofiber electrode |
US10961618B2 (en) | 2014-07-16 | 2021-03-30 | Imperial College Innovations Limited | Process for producing carbon-nanotube grafted substrate |
JP2021533076A (ja) * | 2019-06-19 | 2021-12-02 | ジィァンシー コパー テクノロジー リサーチ インスティテュート カンパニー リミテッドJiangxi Copper Technology Research Institute Co., Ltd. | カーボンナノチューブの製造装置及び方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004067413A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Nec Corp | 触媒担持基板およびそれを用いたカーボンナノチューブの成長方法ならびにカーボンナノチューブを用いたトランジスタ |
JP2005350342A (ja) * | 2004-05-10 | 2005-12-22 | Ulvac Japan Ltd | カーボンナノチューブの作製方法及びその方法を実施するプラズマcvd装置 |
JP2006036593A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Univ Waseda | 単層カーボンナノチューブの製造方法およびその製造装置 |
JP2006265079A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Kyoto Institute Of Technology | プラズマ化学気相堆積装置及びカーボンナノチューブの製造方法 |
JP2007063034A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Sony Corp | 線状炭素材料の製造方法及び機能デバイスの製造方法 |
JP2008525183A (ja) * | 2005-03-17 | 2008-07-17 | モトローラ・インコーポレイテッド | ナノチューブ成長用の安定な触媒の製造 |
-
2006
- 2006-03-20 JP JP2006076797A patent/JP5089898B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004067413A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Nec Corp | 触媒担持基板およびそれを用いたカーボンナノチューブの成長方法ならびにカーボンナノチューブを用いたトランジスタ |
JP2005350342A (ja) * | 2004-05-10 | 2005-12-22 | Ulvac Japan Ltd | カーボンナノチューブの作製方法及びその方法を実施するプラズマcvd装置 |
JP2006036593A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Univ Waseda | 単層カーボンナノチューブの製造方法およびその製造装置 |
JP2008525183A (ja) * | 2005-03-17 | 2008-07-17 | モトローラ・インコーポレイテッド | ナノチューブ成長用の安定な触媒の製造 |
JP2006265079A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Kyoto Institute Of Technology | プラズマ化学気相堆積装置及びカーボンナノチューブの製造方法 |
JP2007063034A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Sony Corp | 線状炭素材料の製造方法及び機能デバイスの製造方法 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009239207A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | リアクトル |
JP2010006696A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Commissariat A L'energie Atomique | 導体または半導体基板上に堆積させたカーボンナノチューブマットの製造方法 |
WO2011136338A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボンナノチューブの形成方法及びカーボンナノチューブ成膜装置 |
JP2011230980A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-17 | Tokyo Electron Ltd | カーボンナノチューブの形成方法及びカーボンナノチューブ成膜装置 |
US10041174B2 (en) | 2010-04-30 | 2018-08-07 | Tokyo Electron Limited | Method for forming carbon nanotubes and carbon nanotube film forming apparatus |
US9059178B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-06-16 | Tokyo Electron Limited | Method for forming carbon nanotubes and carbon nanotube film forming apparatus |
US8728917B2 (en) | 2011-02-25 | 2014-05-20 | Tokyo Electron Limited | Carbon nanotube forming method and pre-treatment method therefor |
JP2012176855A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Tokyo Electron Ltd | カーボンナノチューブの形成方法及び前処理方法 |
JP2012176856A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Tokyo Electron Ltd | カーボンナノチューブの形成方法、その前処理方法、電子放出素子及び照明装置 |
US20120220106A1 (en) * | 2011-02-25 | 2012-08-30 | Tokyo Electron Limited | Carbon nanotube forming method and pre-treatment method therefor |
CN102649547A (zh) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 东京毅力科创株式会社 | 碳纳米管的形成方法及前处理方法 |
US20140227454A1 (en) * | 2011-07-29 | 2014-08-14 | Tokyo Electron Limited | Pretreatment method and carbon nanotube formation method |
US9650252B2 (en) | 2011-07-29 | 2017-05-16 | Tokyo Electron Limited | Pretreatment method and carbon nanotube formation method |
US20140227481A1 (en) * | 2011-09-14 | 2014-08-14 | Fujikura Ltd. | Structure for forming carbon nanofiber, carbon nanofiber structure and method for producing same, and carbon nanofiber electrode |
US9737885B2 (en) * | 2011-09-14 | 2017-08-22 | Fujikura Ltd. | Structure for forming carbon nanofiber, carbon nanofiber structure and method for producing same, and carbon nanofiber electrode |
US10961618B2 (en) | 2014-07-16 | 2021-03-30 | Imperial College Innovations Limited | Process for producing carbon-nanotube grafted substrate |
JP2021533076A (ja) * | 2019-06-19 | 2021-12-02 | ジィァンシー コパー テクノロジー リサーチ インスティテュート カンパニー リミテッドJiangxi Copper Technology Research Institute Co., Ltd. | カーボンナノチューブの製造装置及び方法 |
JP7178494B2 (ja) | 2019-06-19 | 2022-11-25 | ジィァンシー コパー テクノロジー リサーチ インスティテュート カンパニー リミテッド | カーボンナノチューブの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5089898B2 (ja) | 2012-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5089898B2 (ja) | カーボンナノチューブの成長方法 | |
JP4963539B2 (ja) | カーボンナノチューブの作製方法及びその方法を実施するプラズマcvd装置 | |
JP4534215B2 (ja) | カーボンナノチューブ成長用基板 | |
KR101190136B1 (ko) | 카본 나노 튜브의 제작 방법 및 그 방법을 실시하는플라즈마 화학기상증착 장치 | |
EP1129990A1 (en) | Process for controlled growth of carbon nanotubes | |
JP5052954B2 (ja) | Cnt成長方法 | |
US20080182027A1 (en) | Synthesis of Carbon Nanotubes by Selectively Heating Catalyst | |
TW200521079A (en) | Method for forming carbon nanotubes | |
JP2008038164A (ja) | プラズマcvd装置 | |
JP4963584B2 (ja) | プラズマcvd装置及びプラズマcvd方法 | |
JP5032042B2 (ja) | プラズマcvd装置および成膜方法 | |
JP5788627B2 (ja) | カーボンナノチューブ成長方法 | |
JP2007314391A (ja) | カーボンナノチューブ成長用基板及びその基板を用いたカーボンナノチューブの作製方法 | |
JP5140296B2 (ja) | リモートプラズマcvd装置及びこの装置を用いたカーボンナノチューブの作製方法 | |
JP4521174B2 (ja) | クラスター製造装置およびクラスター製造方法 | |
Wang et al. | Field emission property of copper nitride thin film deposited by reactive magnetron sputtering | |
JPH0992643A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
WO2014192955A1 (ja) | グラフェンの生成方法及びカーボンナノチューブの成長方法 | |
JP3359475B2 (ja) | 薄膜形成方法および薄膜形成装置 | |
JP3291274B2 (ja) | 炭素被膜作製方法 | |
JP3367687B2 (ja) | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 | |
Ren et al. | Physics of direct current plasma-enhanced chemical vapor deposition | |
KR100480663B1 (ko) | 변형된 유도결합형 플라즈마 화학기상증착법에 의한탄소나노튜브의 합성방법 | |
JP2022055886A (ja) | 炭素膜とその製造方法および成膜装置 | |
JP3443381B2 (ja) | 硬質炭素被膜の形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120724 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120828 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120912 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5089898 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |