JP2007248136A - 熱式ガス流量測定装置 - Google Patents
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- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims abstract description 30
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 190
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 26
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 34
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 29
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 16
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 15
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 8
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000010705 motor oil Substances 0.000 description 3
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000009841 combustion method Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical group [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical compound O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
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- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
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Abstract
【解決手段】被測定ガス中に第1の発熱抵抗体21が配置され、この第1の発熱抵抗体21の上流あるいは下流側に配置された測温抵抗体24から流量に関係する信号を出力する。第1の発熱抵抗体21とそれを支持する支持体2との間に第1の発熱抵抗体21とは電気的に絶縁された第2の発熱抵抗体22を配置する。この第2の発熱抵抗体22により第1の発熱抵抗体21から支持体2に伝達される熱量を抑制する。第2の発熱抵抗体22の実用温度範囲若しくは第1の発熱抵抗体21と第2の発熱抵抗体22との間の接続部の温度範囲を水滴が膜沸騰で蒸発消滅する温度以上となるように、第1の発熱抵抗体21と第2発熱抵抗体22の温度を制御回路31により制御する。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の原理図、図2は本発明の一実施形態である熱式ガス流量測定装置における検出温度の出力回路図、図3は本発明の一実施形態における制御回路図、図4は第1の発熱抵抗体と第2の発熱抵抗体の接続部分における温度変動要因の説明図、図5は本発明の効果を示すグラフである。
被測定ガスの質量流量を計量する手段の一つとして熱式が挙げられる。この方式は2つの発熱抵抗体を利用したものであり、図6において、一つは被測定ガス温度を検出する測温抵抗体24であり、もう一方はそれに対して高い温度(実用温度:200〜300℃程度)に設定される検出用発熱抵抗体21である。
まず、材料表面の水滴が加熱されて消滅する現象について説明する。現象としては、以下の4つの状態が存在する。
(2)核沸騰:伝熱面場のくぼみ、突起などで沸騰する。その他の部分では対流。
(3)遷移沸騰:核沸騰から膜沸騰への遷移領域。
(4)膜沸騰:伝熱面全面が蒸気で覆われる。
核沸騰(遷移沸騰)の温度条件では、伝熱面は部分的に沸騰している箇所と、沸騰していない箇所が存在する。沸騰していない箇所では、水滴と伝熱面が接触している。膜沸騰の温度条件では、伝熱面は全面が蒸気で覆われているため、熱伝達は核沸騰に比べて小さい。すなわち、蒸気膜内の熱伝導による膜を隔てた静かな安定な沸騰形態である。
図1は、本発明の実施形態である熱式流量計の概略原理構成図である。
この図1に示した本発明と、図6に示した例との相違点は、検出用発熱抵抗体(第1の発熱抵抗体)21とそれを支持する支持体2の間に第2の発熱抵抗体22を新設したことである。第2発熱抵抗体22の役割は、流量検出用の発熱抵抗体21から支持体2への伝熱量Δqを常時一定に保つことである。
ただし、上記式(1)において、ΔThは発熱抵抗体21の温度とガス温度との差、A、Bは、熱的定数、Qは発熱抵抗体21に流れるガスの質量流量、Ihは発熱抵抗体21の加熱電流、Rhは発熱抵抗体21の抵抗値である。
ただし、R1は流量検出抵抗23の抵抗値っである。上記式(2)から分かるように、汚損によって変化し得る定数は、先に示した熱的定数のAとBである。
ただし、上記(3)式において、λは熱伝達率、Cは熱の流れに垂直な断面積、ΔTは移動距離間の温度差、Δxは熱の移動距離、Δtは伝熱が行なわれる時間である。
図3において、基本流量検出回路101は、図2に示した回路と同等であるので、説明は省略する。
サブヒータ温度制御回路102は、第2発熱抵抗体22(抵抗値Rh2)と、これに直列に接続された固定抵抗27(抵抗値R6)と、温度補償抵抗28(抵抗値Rc2)と、これに直列に接続された固定抵抗29(抵抗値R4)及び固定抵抗30(抵抗値R5)とを有し、第2の発熱手抵抗体及び固定抵抗27と、温度補償抵抗28及び固定抵抗29、30とが並列に接続されたホイートストンブリッジ回路を備える。また、サブヒータ温度制御回路102は、ホイートストンブリッジ回路を構成する2つの直列回路の中間点c、dの電位を入力とする演算増幅器(オペアンプ)OP2と、演算増幅器OP2の出力に応じて、上記ホイートストンブリッジ回路に供給する電流量を制御するパワートランジスタTR2を備えている。
ただし、上記式(4)において、Rh10は、温度0℃における第1の発熱抵抗体21の抵抗値、α1は温度係数である。
サブヒータ温度制御回路102のホイートストンブリッジ回路に、パワートランジスタTR2を介して電源VBからの電流(電圧V4)を供給するようになっている。
図5に示すグラフは、横軸に被測定ガスの質量流量を示し、縦軸に出力誤差を示す。図5中□で表記した従来技術の構造においては、軽度の汚損によって出力誤差幅で約7%の誤差が生じることが分かる。さらに汚損の度合いを増すと、図中黒塗りの四角(汚損重度)のとおり、一段と大きな誤差を招く。
図11と図12は、本発明によるセンサの具体的構成例を示す図である。
従来技術においては、熱式ガス流量装置の使用開始から一定時間経過すると、図13の(a)に示したように、温度の低い支持体に煤17が堆積を始める。さらに時間が経過し汚損が進行すると、特に排気に含まれるPM揮発成分は非常に粘着力が強いため、やがて、図13の(b)に示すように、検出領域の両端を覆うように堆積する場合がある。
3 汚損物質
4 被測定ガスの流れ
5、9、14 アルミナパイプ
6 検出用発熱抵抗体の支持体
7 流量検出用巻線(第1の発熱抵抗体)
8 絶縁ガラス
10 第2の巻線(第2発熱抵抗体)
11 第2発熱抵抗体端部
12 第2発熱体の支持体
13 検出用発熱抵抗体端部
15 第2発熱体の支持体用挿入孔
16 検出用発熱抵抗体の支持体用挿入孔
17 煤
21 検出用発熱抵抗体(第1の発熱抵抗体)
22 第2の発熱抵抗体
23 流量検出用抵抗
24、28 温度補償抵抗
25、26 固定抵抗
27、29、30 固定抵抗
31 制御回路
32 補償回路
34〜37 抵抗
100 流量検出回路
101 基本流量検出回路
102 サブヒータ温度制御回路
OP1、OP2 演算増幅器
TR1、TR2 トランジスタ
Claims (10)
- 被測定ガス中に配置される発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の上流部あるいは下流部に配置された測温抵抗体とを有し、被測定ガスの流量を測定する熱式ガス流量測定装置において、
上記発熱抵抗体とこの発熱抵抗体を支持する支持体との間に配置され、上記発熱体から支持体への伝熱を抑制する手段を備えることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。 - 請求項1記載の熱式ガス流量測定装置において、上記伝熱抑制手段は、上記発熱抵抗体を第1の発熱抵抗体としたとき、この第1の発熱抵抗体と、これを支持する支持体との間に上記第1の発熱抵抗体とは電気的に絶縁された第2の発熱抵抗体であることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項2記載の熱式ガス流量測定装置において、上記第2の発熱抵抗体の温度範囲が、第1の発熱抵抗体の表面に接触した水滴が膜沸騰で蒸発消滅する温度以上となるように設定されていることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項2記載の熱式ガス流量測定装置において、上記第1の発熱抵抗体と第2の発熱抵抗体との間の領域の温度範囲が、上記領域の表面に接触した水滴が膜沸騰で蒸発消滅する温度以上となるように第1の発熱抵抗体の温度と第2の発熱抵抗体の温度が設定されていることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項2記載の熱式ガス流量測定装置において、上記第1の発熱抵抗体と、上記測温抵抗体と、上記第2の発熱抵抗体相互間の伝熱量が、被測定ガスの温度変化に関わらず一定となるように、上記第1の発熱抵抗体と、上記第2の発熱抵抗体の温度を制御することを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項2記載の熱式ガス流量測定装置において、被測定ガスの温度変化に関わらず、上記第1の発熱抵抗体と、上記測温抵抗体との相互間の伝熱量が一定となり、かつ、上記第2の発熱抵抗体の温度が一定となるようにを制御することを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項2記載の熱式ガス流量測定装置において、上記第1の発熱抵抗体は、第1の測定温抵抗体と互いに並列に接続されて第1のブリッジ回路を形成し、上記第2の発熱抵抗体は、第2の測定温抵抗体と互いに並列に接続されて第2のブリッジ回路を形成し、上記第1の発熱抵抗体を第1の一定温度となるように制御すると共に、上記第2の発熱抵抗体を第2の一定温度となるように制御する制御手段を備えることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項2記載の熱式ガス流量測定装置において、上記第1の発熱抵抗体は第1の円筒状部材の中央表面部に配置され、上記第2の発熱抵抗体は上記第1の円筒状部材の両端表面部に配置された第2の円筒状部材の表面上に配置され、上記第1の発熱抵抗体の支持体は、上記円筒状部材の中空部の両端付近に接続されていることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項2記載の熱式ガス流量測定装置において、上記第1の発熱抵抗体は円筒状部材の中央表面部に配置され、上記第2の発熱抵抗体は上記円筒状部材の両端表面部に配置され、上記第1の発熱抵抗体の支持体は、上記円筒状部材の両端付近に接続されていることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
- 請求項8又は9のうちのいずれか一項記載の熱式ガス流量測定装置において、上記第1の発熱抵抗体及び上記第2の発熱抵抗体は、ガラス膜により絶縁保護されていることを特徴とする熱式ガス流量測定装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006069379A JP2007248136A (ja) | 2006-03-14 | 2006-03-14 | 熱式ガス流量測定装置 |
EP07001343A EP1835267A3 (en) | 2006-03-14 | 2007-01-22 | Thermal gas-flow measuring instrument |
US11/657,612 US7587938B2 (en) | 2006-03-14 | 2007-01-25 | Thermal type flow meter including a secondary heating device to suppress heat transfer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006069379A JP2007248136A (ja) | 2006-03-14 | 2006-03-14 | 熱式ガス流量測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007248136A true JP2007248136A (ja) | 2007-09-27 |
Family
ID=38226403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006069379A Pending JP2007248136A (ja) | 2006-03-14 | 2006-03-14 | 熱式ガス流量測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7587938B2 (ja) |
EP (1) | EP1835267A3 (ja) |
JP (1) | JP2007248136A (ja) |
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US7587938B2 (en) | 2009-09-15 |
EP1835267A2 (en) | 2007-09-19 |
EP1835267A3 (en) | 2010-12-01 |
US20070220968A1 (en) | 2007-09-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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