JP2007156442A - 低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造 - Google Patents
低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造 Download PDFInfo
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Abstract
画素の開口率を犠牲にせず電荷蓄積容量を増加させる、または、画素の開口率を高めながら電荷蓄積容量も維持することができるLTPS TFT−LCD用の積層蓄積容量構造を提供する。
【解決手段】
本発明のLTPS TFT−LCDに用いられる積層蓄積容量構造は、処理済み基板、第1の蓄積容量および第2の蓄積容量を備える。第1の蓄積容量は、第1の導電層、第2の導電層、およびこれらの間に位置する第1の絶縁層を含む。当該積層蓄積容量構造は、第1の部分と延伸された第2の部分とを含む第3の導電層をさらに備える。第2の蓄積容量は、第2の導電層、第3の導電層の延伸された第2の部分、およびこれらの間に位置する第2の絶縁層を含む。
【選択図】 図3H
Description
本発明の上述およびその他の目的、特徴ならびに長所がより明らかに理解されるよう、以下に好ましい実施形態を挙げ、図面と対応させながら詳細に説明する。
図3Aは、本発明の第2の実施形態によるLTPS TFT−LCD用の積層蓄積容量構造が形成された画素の平面図であり、図3Gは、図3Aに示される画素の線C−C´で切り取った断面図であり、図3Bから図3Gは該積層蓄積容量構造の製造方法を示す断面図である。
20 画素
22 第1の蓄積容量
24 TFT
26 信号線
28 ゲート線
29 第2の蓄積容量
200 TFTアレイ基板
204 基板
208 緩衝層
212 p−Si層
216 ゲート絶縁層
220 第2の導電層
224、224a 第1の層間誘電層
228、228a 第2の層間誘電層
230 開口
231 厚さ
232 開口
232a 第3の導電層の第1の部分
232b 第3の導電層の第2の部分
236 保護層
240 画素電極
244 光線を示す矢印
246 ビア
248 バックライトモジュール
250 液晶層
252 カラーフィルタ基板
2000 LTPS TFT−LCDパネル
30 画素
32 第1の蓄積容量
34 TFT
36 信号線
38 ゲート線
39 第2の蓄積容量
300 TFTアレイ基板
304 基板
308 緩衝層
312 p−Si層
316 ゲート絶縁層
320 第2の導電層
324、324a 第1の層間誘電層
326 開口
327 表面
328、328a 第2の層間誘電層
330 開口
332a 第3の導電層の第1の部分
332b 第3の導電層の第2の部分
336 保護層
340 画素電極
344 光線を示す矢印
346 ビア
348 バックライトモジュール
350 液晶層
352 カラーフィルタ基板
3000 LTPS TFT−LCDパネル
3 コントローラ
4 LTPS TFT−LCD装置
5 入力装置
6 電子デバイス
Claims (16)
- 基板と、
第1の導電層、第2の導電層、およびこれらの間に位置する第1の絶縁層を含み、前記第2の導電層が前記第1の導電層の上方に配置され、前記基板の上方に配置される第1の蓄積容量と、
第1の部分および延伸された第2の部分を含む第3の導電層と、
前記第2の導電層、前記第3の導電層の前記延伸された第2の部分、およびこれらの間に位置する第2の絶縁層を含み、前記第3の導電層の前記延伸された第2の部分が前記第2の導電層の上方に配置されており、前記第1の蓄積容量上方に位置してこれと電気的に接続する第2の蓄積容量と、
を備える低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。 - ビアをその中に有する保護層、および前記保護層上方に形成される画素電極をさらに備え、前記画素電極が、前記ビアを介して前記第3の導電層の前記第1の部分と電気的に接続する請求項1記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第2の絶縁層と前記第3の導電層の前記延伸された第2の部分との間に位置する第3の絶縁層をさらに備え、前記第3の絶縁層および前記第2の絶縁層が凹部を有している請求項2記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第3の導電層の第3の部分と前記第2の絶縁層の第4の部分とが直接接触しており、前記第2の絶縁層の前記第4の部分の厚さが、前記第2の絶縁層の他の部分に比べて小さい請求項3記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第2の絶縁層の前記第4の部分の厚さが800〜1200Åである請求項4記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記基板が基板およびその上の緩衝層を含む請求項5記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第3の導電層の前記第1の部分が、前記第3の絶縁層、前記第2の絶縁層および前記第1の絶縁層を通って前記第1の導電層と電気的に接続する請求項6記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第2の絶縁層には窒化シリコンが含まれる請求項7記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第2の導電層と前記第3の導電層の前記延伸された第2の部分との間に位置する第3の絶縁層をさらに備え、前記第2の絶縁層が、その前記第3の絶縁層に直接覆われる前記第2の導電層の前記第3の部分に当たる位置に凹部を有している請求項2記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第3の絶縁層の厚さが400〜1000Åである請求項9記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記基板が基板およびその上の緩衝層を含む請求項10記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第3の導電層の前記第1の部分が、前記第3の絶縁層、前記第2の絶縁層および前記第1の絶縁層を通って前記第1の導電層と電気的に接続する請求項11記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 前記第3の絶縁層には酸化シリコンが含まれる請求項12記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造。
- 請求項1に記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置に用いられる積層蓄積容量構造、
TFTアレイ基板に対向するカラーフィルタ基板、および、
前記TFTアレイ基板と前記カラーフィルタ基板との間に位置する液晶層、
を備える低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイパネル。 - 請求項14に記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイパネル、および、
前記低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイパネルに接続され、入力に応じて前記パネルを制御し画像を表示させる(render images)コントローラ、
を備える低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置。 - 請求項15に記載の低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置、および、
前記低温ポリシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ装置の前記コントローラに接続され、前記ディスプレイ装置を制御して画像を表示させる(render images)入力装置、
を備える電子デバイス。
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